JP5252687B2 - 光偏向器 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について、図1〜図5を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施形態における光偏向器の構成を示す斜視図、図2は、図1の光偏向器のミラー部支持体及び圧電アクチュエータの圧電カンチレバーの支持体の断面を示す説明図、図3は、図1の光偏向器の第1の圧電アクチュエータの作動を示す説明図、図4は、図1の光偏向器の第2の圧電アクチュエータの作動を示す説明図、図5は、図1に示した光偏向器の製造工程を示す説明図である。なお、図1(a)は、本実施形態の光偏向器A1を表面側から見た斜視図であり、図1(b)は、本実施形態の光偏向器A1を裏面側から見た斜視図である。
[製造工程]
図5には、本実施形態における光偏向器A1の製造工程を示す。なお、図5(a)〜(h)は、光偏向器A1の断面を模式的に示している。
[実施例1]
実施例1として、本実施形態の光偏向器A1の駆動特性の試験について説明する。本実施例では、上述の光偏向器を、共振周波数が15[kHz]となるように設計し、上述の製造工程で作製した。このとき、SOI基板の各層の厚みは、活性層50[μm]、中間酸化膜層2[μm]、ハンドリング層525[μm]とし、熱酸化シリコン膜の厚みは500[nm]とした。また、下部電極層(Ti/Pt)の厚みはTiを50[nm]、Ptを=150[nm]とし、圧電体層の厚みは3[μm]とし、上部電極層(Pt)の厚みは150[nm]とした。
[実施例2]
実施例2では、実施例1と同様の光偏向器を、共振周波数が20kHzとなるように設計し、上述の製造工程で作製した。そして、第1の圧電アクチュエータ8a〜8dにピーク間電圧Vpp=25[V]、周波数25[kHz]の交流電圧を駆動信号として印加し、第2の圧電アクチュエータ10a,10bにピーク間電圧Vpp=25[V]、周波数60[Hz]の交流電圧を駆動信号として印加した。このとき、水平軸で最大偏向角±5°、垂直軸で最大偏向角±4°を得られた。
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態について、図6を参照して説明する。図6は、本発明の第2実施形態における光偏向器A2の構成を示す斜視図である。本実施形態の光偏向器は、ミラー部1のミラー面反射膜1bを形成する面のみが第1実施形態と相違する。第1実施形態と同じ構成は、同じ符号を付して説明を省略する。
[第3実施形態]
本発明の第3実施形態について、図7を参照して説明する。図7は、本発明の第3実施形態における光偏向器の構成を示す斜視図である。本実施形態の光偏向器A3は、ミラー部のミラー部支持体を形成する支持層のみが第1実施形態と相違する。第1実施形態と同じ構成は、同じ符号を付して説明を省略する。
31…SOI基板、31a…活性層、31b…中間酸化膜層、31c…ハンドリング層、32a,32b…熱酸化シリコン膜、33…下部電極層、34…圧電体層、35…上部電極層、36…反射膜、37…Al薄膜。
Claims (8)
- 反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動する少なくとも1つの圧電アクチュエータとを備え、該圧電アクチュエータは、支持体上に形成された圧電体に駆動電圧を印加することで圧電駆動により屈曲変形を行う1つ以上の圧電カンチレバーを含み、該圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することで該ミラー部を回転駆動させる光偏向器において、
前記圧電カンチレバーの支持体は、厚みが異なる複数の単結晶シリコン層を貼り合わせて構成された半導体基板の複数の単結晶シリコン層のうち少なくとも1つの単結晶シリコン層からなる第1の支持層を形状加工して形成され、
前記ミラー部は、前記複数の単結晶シリコン層のうち少なくとも1つの単結晶シリコン層からなり且つ前記第1の支持層より厚い第2の支持層を形状加工して、前記支持体と一体的に形成されることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記圧電アクチュエータは、前記ミラー部と該ミラー部の両端から外側に伸びた1対のトーションバーとを挟んで対向するように1対又は2対配置され、各圧電アクチュエータの少なくとも一端が前記1対のトーションバーに連結され、他端が該ミラー部を囲むように設けられた支持部に連結されて支持された第1の圧電アクチュエータから構成され、
該ミラー部は、該1対又は2対の第1の圧電アクチュエータにより該1対のトーションバーを介して回転駆動されることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記圧電アクチュエータは、前記ミラー部と該ミラー部の両端から外側に伸びた1対のトーションバーとを挟んで対向するように1対又は2対配置され、各圧電アクチュエータの少なくとも一端が該1対のトーションバーに連結され、他端が該ミラー部を囲むように設けられた可動枠の内側に連結されて支持された第1の圧電アクチュエータと、前記1対のトーションバーと異なる方向に該ミラー部及び可動枠を挟んで対向するように1対配置され、各圧電アクチュエータの一端が該可動枠の外側に連結され、他端は該可動枠を囲むように設けられた支持部に支持された第2の圧電アクチュエータから構成され、
前記ミラー部は、前記1対又は2対の第1の圧電アクチュエータにより前記1対のトーションバーを介して第1の軸周りで駆動されると共に、前記1対の第2の圧電アクチュエータにより駆動される前記可動枠を介して該第1の軸周りと異なる第2の軸周りで駆動されることを特徴とする光偏向器。 - 請求項2又は3記載の光偏向器において、前記トーションバーは、前記半導体基板の複数の単結晶シリコン層のうち少なくとも1つの単結晶シリコン層からなる、前記第1の支持層と厚さが異なる第3の支持層を形状加工して形成されることを特徴とする光偏向器。
- 請求項2〜4のうちいずれか記載の光偏向器において、前記1対又は2対の第1の圧電アクチュエータに印加される駆動電圧は交流電圧であることを特徴とする光偏向器。
- 請求項5記載の光偏向器において、前記1対又は2対の第1の圧電アクチュエータのうちの、前記トーションバーの一方の側の圧電アクチュエータに印加される第1の交流電圧と、該トーションバーの他方の側の圧電アクチュエータに印加される第2の交流電圧とは、互いに180度位相が異なることを特徴とする光偏向器。
- 請求項1〜6のいずれか記載の光偏向器において、前記圧電カンチレバーの圧電体は、前記半導体基板上に直接成膜された単層の圧電膜を形状加工して形成されることを特徴とする光偏向器。
- 請求項7記載の光偏向器において、前記ミラー部の反射面及び前記圧電カンチレバーの電極は、前記半導体基板上に直接成膜された金属薄膜と、前記圧電膜上に直接成膜された金属薄膜とを形状加工して形成されることを特徴とする光偏向器。
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