JP2008197140A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008197140A JP2008197140A JP2007029209A JP2007029209A JP2008197140A JP 2008197140 A JP2008197140 A JP 2008197140A JP 2007029209 A JP2007029209 A JP 2007029209A JP 2007029209 A JP2007029209 A JP 2007029209A JP 2008197140 A JP2008197140 A JP 2008197140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- pair
- torsion
- torsion beam
- optical scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 96
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 64
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 28
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】捻り梁2の支点側端はフレーム1に固定される。捻り梁2は一対のカンチレバーの非固定側端に結合される。カンチレバー4上に駆動用圧電素子8が形成される。カンチレバー4の固定側端の近傍部位にバネ部4aが形成され、このバネ部4aに櫛歯状の電極5が、これに対向した櫛歯状の電極6がフレーム1側にそれぞれ形成される。電極5,6間の印加電圧を変化させるとカンチレバー4に働く引っ張り力が変化するため捻り梁2のバネ定数が変化する結果、ミラー部材3の共振周波数が変化する。
【選択図】図1
Description
一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対のカンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対のカンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための圧電素子が該カンチレバーに形成され、
前記カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための互いに対向する第1電極及び第2電極が、該カンチレバーのバネ部及び固定部材にそれぞれ形成され、
対向した前記第1、第2電極間の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする。
一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対のカンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対のカンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための第1圧電素子が該カンチレバーに形成され、
前記カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記カンチレバーのバネ部を変形させることにより該カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための第2圧電素子が該カンチレバーのバネ部に形成され、
前記第2圧電素子の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする。
一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第1カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第1カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第2カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第2カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記第1カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための圧電素子が該第1カンチレバーに形成され、
前記第2カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記第2カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための互いに対向する第1電極及び第2電極が該第2カンチレバーのバネ部及び固定部材にそれぞれ形成され、
対向した前記第1、第2電極間の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする。
一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第1カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第1カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第2カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第2カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記第1カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための第1圧電素子が該第1カンチレバーに形成され、
前記第2カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記第2カンチレバーのバネ部を変形させることにより該第2カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための第2圧電素子が、該第2カンチレバーのバネ部に形成され、
前記第2圧電素子の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする。
本発明の第1の実施形態に係る光走査装置について、図1を用いて説明する。図1において、(c)は光走査装置の概略平面図である。(a)と(b)は該光走査装置の構成要素のうちSOI基板の第1Si基板側に形成された要素と第2Si基板側に形成された要素を示す概略平面図である。つまり、(a)に示す構造の下側に(b)に示す構造を重ね合わせた状態が(c)に示されている。
本発明の第2の実施形態に係る光走査装置について図4により説明する。図4において、(c)は光走査装置の概略平面図である。(a)と(b)は該光走査装置の構成要素のうちSOI基板の第1Si基板側に形成された要素と第2Si基板側に形成された要素を示す概略平面図である。つまり、(a)に示す構造の下側に(b)に示す構造を重ね合わせた状態が(c)に示されている。
本発明の第3の実施形態に係る光走査装置について図5により説明する。図5において、(c)は光走査装置の概略平面図である。(a)と(b)は該光走査装置の構成要素のうちSOI基板の第1Si基板側に形成された要素と第2Si基板側に形成された要素を示す概略平面図である。つまり、(a)に示す構造の下側に(b)に示す構造を重ね合わせた状態が(c)に示されている。
本発明の第4の実施形態に係る光走査装置について図6により説明する。図6において、(c)は光走査装置の概略平面図である。(a)と(b)は該光走査装置の構成要素のうちSOI基板の第1Si基板側に形成された要素と第2Si基板側に形成された要素を示す概略平面図である。つまり、(a)に示す構造の下側に(b)に示す構造を重ね合わせた状態が(c)に示されている。
本発明の第5の実施形態に係る光走査装置について図7により説明する。図7において、(c)は光走査装置の概略平面図である。(a)と(b)は該光走査装置の構成要素のうちSOI基板の第1Si基板側に形成された要素と第2Si基板側に形成された要素を示す概略平面図である。つまり、(a)に示す構造の下側に(b)に示す構造を重ね合わせた状態が(c)に示されている。
本発明の第6の実施形態に係る光走査装置について図8により説明する。図8において、(c)は光走査装置の概略平面図である。(a)と(b)は該光走査装置の構成要素のうちSOI基板の第1Si基板側に形成された要素と第2Si基板側に形成された要素を示す概略平面図である。つまり、(a)に示す構造の下側に(b)に示す構造を重ね合わせた状態が(c)に示されている。
2 捻り梁
3 ミラー質量部
4 カンチレバー
4a バネ部
4b 弾性変形部
5 電極
6 電極
7 分離溝
8 圧電素子
14 カンチレバー
18 圧電素子
Claims (7)
- 一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対のカンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対のカンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための圧電素子が該カンチレバーに形成され、
前記カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための互いに対向する第1電極及び第2電極が、該カンチレバーのバネ部及び固定部材にそれぞれ形成され、
対向した前記第1、第2電極間の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする光走査装置。 - 一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対のカンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対のカンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための第1圧電素子が該カンチレバーに形成され、
前記カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記カンチレバーのバネ部を変形させることにより該カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための第2圧電素子が該カンチレバーのバネ部に形成され、
前記第2圧電素子の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする光走査装置。 - 一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第1カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第1カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第2カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第2カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記第1カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための圧電素子が該第1カンチレバーに形成され、
前記第2カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記第2カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための互いに対向する第1電極及び第2電極が該第2カンチレバーのバネ部及び固定部材にそれぞれ形成され、
対向した前記第1、第2電極間の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする光走査装置。 - 一対の捻り梁により支持されたミラー部材が前記一対の捻り梁を捻り回転軸として往復
振動する光走査装置であって、
前記捻り梁の支点側の端は固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第1カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第1カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記捻り梁に対し対称な位置関係にある一対の第2カンチレバーの非固定側端が該捻り梁の同一部位に結合され、該一対の第2カンチレバーの固定側端は該捻り梁に対し対称な位置で固定部材に固定され、
前記第1カンチレバーを変形させることにより前記ミラー部材の駆動用トルクを発生させるための第1圧電素子が該第1カンチレバーに形成され、
前記第2カンチレバーにはその固定側端の近傍部位にバネ部が形成され、
前記第2カンチレバーのバネ部を変形させることにより該第2カンチレバーをその固定側端へ引っ張る力を発生させるための第2圧電素子が、該第2カンチレバーのバネ部に形成され、
前記第2圧電素子の印加電圧の調整により前記ミラー部材の共振周波数を調整可能であることを特徴とする光走査装置。 - 前記第1、第2電極は櫛歯状電極であることを特徴とする請求項1又は3に記載の光走査装置。
- 前記カンチレバーがSOI基板の第1のシリコン基板側に形成され、前記捻り梁及び前記ミラー部材が前記SOI基板の第2のシリコン基板側に形成されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記カンチレバー、前記捻り梁及び前記ミラー部材がSOI基板の共通のシリコン基板側に形成されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007029209A JP4873560B2 (ja) | 2007-02-08 | 2007-02-08 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007029209A JP4873560B2 (ja) | 2007-02-08 | 2007-02-08 | 光走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008197140A true JP2008197140A (ja) | 2008-08-28 |
JP4873560B2 JP4873560B2 (ja) | 2012-02-08 |
Family
ID=39756183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007029209A Expired - Fee Related JP4873560B2 (ja) | 2007-02-08 | 2007-02-08 | 光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4873560B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011043459A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | メカニカル検出器および測定方法 |
WO2011099118A1 (ja) | 2010-02-09 | 2011-08-18 | 富士通株式会社 | 圧電発電装置 |
NL2007554C2 (en) * | 2011-10-10 | 2013-04-11 | Innoluce B V | Mems scanning micromirror. |
KR20150031328A (ko) * | 2012-07-06 | 2015-03-23 | 럭스뷰 테크놀로지 코포레이션 | 실리콘 전극을 갖는 유연성 바이폴라 마이크로 디바이스 이송 헤드 |
WO2017009660A1 (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-19 | Cambridge Enterprise Limited | Vibration-based energy harvester with strain optimised topology |
US20200081243A1 (en) * | 2016-02-17 | 2020-03-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Mirror driving apparatus and method for manufacturing thereof |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002524271A (ja) * | 1998-09-02 | 2002-08-06 | エクスロス・インク | 捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材 |
JP2005141229A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 周波数変調可能な共振型スキャナー |
JP2005148459A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Stanley Electric Co Ltd | 2次元光スキャナ及び光学装置 |
JP2006195290A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Ricoh Co Ltd | 画像読取装置及び画像形成装置 |
JP2007010823A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 駆動ミラー及び光走査光学装置並びに画像表示装置 |
-
2007
- 2007-02-08 JP JP2007029209A patent/JP4873560B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002524271A (ja) * | 1998-09-02 | 2002-08-06 | エクスロス・インク | 捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材 |
JP2005141229A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 周波数変調可能な共振型スキャナー |
JP2005148459A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Stanley Electric Co Ltd | 2次元光スキャナ及び光学装置 |
JP2006195290A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Ricoh Co Ltd | 画像読取装置及び画像形成装置 |
JP2007010823A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 駆動ミラー及び光走査光学装置並びに画像表示装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011043459A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | メカニカル検出器および測定方法 |
US8847468B2 (en) | 2010-02-09 | 2014-09-30 | Fujitsu Limited | Piezoelectric generator |
WO2011099118A1 (ja) | 2010-02-09 | 2011-08-18 | 富士通株式会社 | 圧電発電装置 |
US9588337B2 (en) | 2011-10-10 | 2017-03-07 | Elmos Semiconductor Artiengesellschaft | MEMS scanning micromirror |
WO2013055210A1 (en) | 2011-10-10 | 2013-04-18 | Innoluce B.V. | Mems scanning micromirror |
JP2014534461A (ja) * | 2011-10-10 | 2014-12-18 | イノルース・ベー・フェー | Memsスキャニングマイクロミラー |
NL2007554C2 (en) * | 2011-10-10 | 2013-04-11 | Innoluce B V | Mems scanning micromirror. |
KR20150031328A (ko) * | 2012-07-06 | 2015-03-23 | 럭스뷰 테크놀로지 코포레이션 | 실리콘 전극을 갖는 유연성 바이폴라 마이크로 디바이스 이송 헤드 |
KR101702789B1 (ko) | 2012-07-06 | 2017-02-06 | 애플 인크. | 실리콘 전극을 갖는 유연성 바이폴라 마이크로 디바이스 이송 헤드 |
WO2017009660A1 (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-19 | Cambridge Enterprise Limited | Vibration-based energy harvester with strain optimised topology |
US10826414B2 (en) | 2015-07-16 | 2020-11-03 | Cambridge Enterprise Limited | Vibration-based energy harvester with strain optimised topology |
US20200081243A1 (en) * | 2016-02-17 | 2020-03-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Mirror driving apparatus and method for manufacturing thereof |
US10852529B2 (en) * | 2016-02-17 | 2020-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Mirror driving apparatus and method for manufacturing thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4873560B2 (ja) | 2012-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5229704B2 (ja) | 光走査装置 | |
US8879132B2 (en) | Mirror driving apparatus, method of driving same and method of manufacturing same | |
US8508826B2 (en) | Meandering oscillator, optical reflecting element using meandering oscillator, and image projection device using meandering oscillator | |
JP5659056B2 (ja) | 光偏向器の駆動装置 | |
JP4092283B2 (ja) | 2次元光スキャナ及び光学装置 | |
JP4984117B2 (ja) | 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 | |
JP4873560B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP5769988B2 (ja) | 光偏向器の駆動装置 | |
JP5458837B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP5240953B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
JP4982814B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
JP6024269B2 (ja) | 光走査装置 | |
WO2008038649A1 (fr) | Dispositif de balayage optique | |
TW200933194A (en) | MEMS scanning micromirror | |
JP2009258210A (ja) | 光学反射素子 | |
JP5718075B2 (ja) | 光偏向モジュール | |
JP2007326204A (ja) | アクチュエータ | |
JP2007226108A (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
JP5045470B2 (ja) | 光学反射素子 | |
JP6092589B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP5045532B2 (ja) | 光学反射素子 | |
JP2008000869A (ja) | マイクロ揺動デバイス及び光学素子 | |
JP4446345B2 (ja) | 光偏向素子と光偏向器と光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2009217207A (ja) | 光学反射素子 | |
JP2009223114A (ja) | 光学反射素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141202 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4873560 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141202 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |