JP6168353B2 - 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法に係り、更に詳しくは、光を偏向する光偏向装置、該光偏向装置を備える画像形成装置、該画像形成装置を備える車両、前記光偏向装置の制御方法、及び前記光偏向装置の調整方法に関する。

従来、反射面を有するミラーと、蛇行するように連続する複数の梁及び該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材を含み、ミラーを揺動させるための駆動部とを備え、反射面に入射された光を偏向する光偏向器の駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

この光偏向器の駆動装置では、ミラーを一定速度で揺動させることが望まれている。

しかしながら、特許文献１に開示されている光偏向器の駆動装置では、駆動部の構造に僅かでも非対称性があると、ミラーの揺動速度の変動を抑制できないおそれがあった。

本発明は、反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、該支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置において、隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に、非相似の波形の２つの電圧が並行して個別に印加され、前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率が、異なることを特徴とする光偏向装置である。

本発明によれば、駆動部の構造に僅かな非対称性があっても、ミラーの揺動速度の変動を抑制できる。

本発明の一実施形態に係るプロジェクタ装置の概略的構成を示す図である。 図１の光偏向器の平面図である。 図３（Ａ）は、ミラーの揺動速度が一定である場合のミラーの振れ角の時間変化を示す図であり、図３（Ｂ）は、ミラーの揺動速度に変動が生じている場合のミラーの振れ角の時間変化を示す図である。 隣り合う２つの圧電部材に個別に印加される２つの駆動電圧の波形を示す図（その１）である。 隣り合う２つの圧電部材に個別に印加される２つの駆動電圧の波形を示す図（その２）である。 光偏向装置の調整方法について説明するための図である。 図７（Ａ）は、ミラーの揺動速度に変動が生じているときのＰＳＤでの検出信号の波形を示す図であり、図７（Ｂ）は、ミラーの揺動速度に変動が生じているときのＰＳＤでの検出信号の波形を示す図である。 図８（Ａ）は、変形例における隣り合う２つの圧電部材の一方に印加される駆動電圧の波形を示す図であり、図８（Ｂ）は、変形例における隣り合う２つの圧電部材の他方に印加される駆動電圧の波形を示す図である。 変形例における隣り合う２つの圧電部材に個別に印加される２つの駆動電圧の波形を示す図である。 光偏向器の他の例を説明するための図である。 ヘッドアップディスプレイ装置の一例を説明するための図である。

以下、本発明の一実施形態を図１〜図７（Ｂ）に基づいて説明する。図１には、一実施形態に係る画像形成装置としてのプロジェクタ装置１０の概略構成が示されている。

プロジェクタ装置１０は、例えば建物の床もしくは設置台に載置された状態、建物の天井から吊り下げられた状態、建物の壁に掛けられた状態等で用いられる。以下では、図１に示されるＺ軸方向を鉛直方向とするＸＹＺ３次元直交座標系を適宜用いて説明する。

プロジェクタ装置１０は、一例として、光源装置５、光偏向装置１０００、画像処理部４０などを備えている。

光源装置５は、一例として、３つのレーザダイオードＬＤ１〜ＬＤ３、３つのコリメートレンズＣＲ１〜ＣＲ３、３つのダイクロイックミラーＤＭ１〜ＤＭ３、ＬＤ制御部５０などを含む。

レーザダイオードＬＤ１は、一例として、赤色レーザであり、赤色光（波長６４０ｎｍ）を＋Ｙ方向に射出するように配置されている。

レーザダイオードＬＤ２は、一例として、青色レーザであり、青色光（波長４５０ｎｍ）を＋Ｙ方向に射出するように、レーザダイオードＬＤ１の＋Ｘ側に配置されている。

レーザダイオードＬＤ３は、一例として、緑色レーザであり、緑色光（波長５２０ｎｍ）を＋Ｙ方向に射出するように、レーザダイオードＬＤ２の＋Ｘ側に配置されている。

各レーザダイオードは、ＬＤ制御部５０によって制御される。

コリメートレンズＣＲ１は、一例として、レーザダイオードＬＤ１の＋Ｙ側に配置されており、レーザダイオードＬＤ１から射出された赤色光を略平行光とする。

コリメートレンズＣＲ２は、一例として、レーザダイオードＬＤ２の＋Ｙ側に配置されており、レーザダイオードＬＤ２から射出された青色光を略平行光とする。

コリメートレンズＣＲ３は、一例として、レーザダイオードＬＤ３の＋Ｙ側に配置されており、レーザダイオードＬＤ３から射出された緑色光を略平行光とする。

３つのダイクロイックミラーＤＭ１〜ＤＭ３は、それぞれ、例えば誘電体多層膜などの薄膜から成り、特定の波長の光を反射し、それ以外の波長の光を透過させる。

ダイクロイックミラーＤＭ１は、一例として、コリメートレンズＣＲ１の＋Ｙ側に、Ｘ軸及びＹ軸に対して例えば４５°傾斜して配置されており、コリメートレンズＣＲ１を介した赤色光を＋Ｘ方向に反射させる。

ダイクロイックミラーＤＭ２は、一例として、ダイクロイックミラーＤＭ１の＋Ｘ側、かつコリメートレンズＣＲ２の＋Ｙ側に、Ｘ軸及びＹ軸に対して例えば４５°傾斜して配置されており、ダイクロイックミラーＤＭ１を介した赤色光を＋Ｘ方向に透過させ、コリメートレンズＣＲ２を介した青色光を＋Ｘ方向に反射させる。

なお、ダイクロイックミラーＤＭ１を介した赤色光及びコリメートレンズＣＲ２を介した青色光は、それぞれダイクロイックミラーＤＭ２の中央付近に入射する。

ダイクロイックミラーＤＭ３は、一例として、ダイクロイックミラーＤＭ２の＋Ｘ側かつコリメートレンズＣＲ３の＋Ｙ側に、Ｘ軸及びＹ軸に対して例えば４５°傾斜して配置されており、ダイクロイックミラーＤＭ２を介した赤色光及び青色光を＋Ｘ方向に透過させ、コリメートレンズＣＲ３を介した緑色光を＋Ｘ方向に反射させる。

なお、ダイクロイックミラーＤＭ２を介した赤色光及び青色光、並びにコリメートレンズＣＲ３を介した緑色光は、それぞれダイクロイックミラーＤＭ３の中央付近に入射する。

ダイクロイックミラーＤＭ３を介した３つの光（赤色光、青色光及び緑色光）は、１つの光に合成される。この場合、３つのレーザダイオードＬＤ１〜ＬＤ３の発光強度の強弱のバランスにより、合成された光の色が表現されるようになっている。

結果として、光源装置５は、３つのレーザダイオードＬＤ１〜ＬＤ３からの３つのレーザ光が合成されてなるレーザ光（合成光）を＋Ｘ方向に、すなわち光偏向器１００に向けて射出する。

ここで、プロジェクタ装置１０の全体動作について簡単に説明する。例えばパソコン等の上位装置からの画像情報が画像処理部４０に入力され、画像処理部４０で所定の処理（例えば歪み補正処理、画像サイズ変更処理、解像度変換処理等）が施され、ＬＤ制御部５０に送られる。ＬＤ制御部５０は、画像処理部４０からの画像情報に基づいて強度変調した駆動信号（パルス信号）を生成し、駆動電流に変換する。そして、ＬＤ制御部５０は、光偏向装置１０００からの同期信号に基づいて、各レーザダイオードの発光タイミングを決定し、該発光タイミングで、駆動電流を供給して、該レーザダイオードを駆動する。なお、上記強度変調は、駆動信号のパルス幅を変調しても良いし、駆動信号の振幅を変調しても良い。光偏向装置１０００は、光源装置５からのレーザ光（合成光）を、ＸＺ平面に平行に張設されたスクリーンＳの表面（被走査面）に向けて互いに直交する二軸周り（ここでは、Ｘ軸周り及びＸ軸に直交する軸周り）に独立に偏向する。この結果、レーザ光により被走査面が互いに直交する二軸方向（ここでは、Ｚ軸方向及びＸ軸方向）に２次元走査され、被走査面上に２次元のフルカラー画像が形成される。以下では、Ｘ軸方向を主走査方向とも称し、Ｚ軸方向を副走査方向とも称する。なお、各レーザダイオードを直接変調する強度変調に代えて、該レーザダイオードから射出されたレーザ光を光変調器で変調（外部変調）しても良い。

次に、光偏向装置１０００について詳細に説明する。光偏向装置１０００は、一例として、光偏向器１００、コントローラ２００、メモリ３００などを備えている。

光偏向器１００は、図２に示されるように、＋Ｙ側の面が反射面であるミラー１１０と、該ミラー１１０をＸ軸に直交する第１軸（例えばＺ軸）周りに駆動する第１駆動部１５０と、ミラー１１０及び第１駆動部１５０をＸ軸に平行な第２軸周りに駆動する第２駆動部２５０とを含む。

光偏向器１００では、一例として、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）プロセスによって、各構成部が一体的に形成されている。簡単に言うと、光偏向器１００は、１枚のシリコン基板１に切れ込みを入れて複数の可動部（弾性変形部）を形成し、各可動部に圧電部材を設けることで作成される。ミラー１１０の反射面は、一例として、シリコン基板１の＋Ｙ側の面に形成された例えばアルミニウム、金、銀等の金属薄膜である。

第１駆動部１５０は、一例として、ミラー１１０の第１軸方向の両端に個別に一端が連続し、第１軸方向に延びる２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂと、該２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂそれぞれの第１軸方向の他端に中間部が連続し、第２軸方向に延びる２つの梁１０６ａ、１０６ｂと、該２つの梁１０６ａ、１０６ｂそれぞれの第２軸方向の両端に内縁部が連続する第１矩形枠部１０７と、２つの梁１０６ａ、１０６ｂそれぞれの第１軸を挟む一側部及び他側部の＋Ｙ側の面に個別に設けられた２つの第１圧電部材１５、１６と、を有している。

ここでは、ミラー１１０の中心は、第１矩形枠部１０７の中心に位置している。２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂは同径かつ同長である。２つの梁１０６ａ、１０６ｂは、第２軸方向を長手方向とする矩形板状である。２つの第１圧電部材１５、１６は、同形かつ同大の第２軸方向を長手方向とする矩形板状である。

第１駆動部１５０では、２つの梁１０６ａ、１０６ｂに個別に設けられた２つの圧電部材１５に電圧（駆動電圧）が並列に印加されると、該２つの圧電部材１５が変形して、２つの梁１０６ａ、１０６ｂが撓み、２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂを介してミラー１１０に第１軸周りの駆動力が作用し、ミラー１１０が第１軸周りに揺動する。第１駆動部１５０は、コントローラ２００によって制御される。

また、第１駆動部１５０では、２つの梁１０６ａ、１０６ｂに個別に設けられた２つの圧電部材１６に電圧（駆動電圧）が並列に印加されると、該２つの圧電部材１６が変形して、２つの梁１０６ａ、１０６ｂが撓み、２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂを介してミラー１１０に第１軸周りの駆動力が作用し、ミラー１１０が第１軸周りに揺動する。

そこで、コントローラ２００によって、第１駆動部１５０の各梁に設けられた２つの圧電部材１５、１６に逆位相の正弦波電圧を並行して（例えば同時に）印加することで、ミラー１１０を、第１軸周りに該正弦波電圧の周期で効率良く振動させることができる。

ここでは、正弦波電圧の周波数が約２０ｋＨｚ（各トーションバーの共振周波数）に設定され、各トーションバーのねじれによる機械的共振を利用して、ミラー１１０を約２０ｋＨｚで振動させることができる。なお、ミラー１１０の振動中心からの最大振れ角は、±１５°程度とされている。

第２駆動部２５０は、一例として、第１矩形枠部１０７の−Ｚ側かつ＋Ｘ側の角部に一端が連続し、蛇行するように（折り返すように）連続する複数（例えば８つ）の梁１０８ａを含む蛇行部２１０ａと、第１矩形枠部１０７の＋Ｚ側かつ−Ｘ側の角部に一端が連続し、蛇行するように（折り返すように）連続する複数（例えば８つ）の梁１０８ｂを含む蛇行部２１０ｂと、蛇行部２１０ａの８つの梁１０８ａの＋Ｙ側の面に個別に設けられた８つの第２圧電部材と、蛇行部２１０ｂの８つの梁１０８ｂの＋Ｙ側の面に個別に設けられた８つの第２圧電部材と、２つの蛇行部２１０ａ、２１０ｂそれぞれの他端に内縁部が連続する第２矩形枠部１０９と、を有している。

ここでは、ミラー１１０の中心は、第２矩形枠部１０９の中心に位置している。各蛇行部の８つの梁は、同形かつ同大の第１軸方向を長手方向とする矩形板状である。各第２圧電部材は、同形かつ同大の第１軸方向を長手方向とする矩形板状である。第２圧電部材の第１軸方向（長手方向）の長さは、該第２圧電部材が設けられた梁の第１軸方向の長さよりも幾分短い。

第２駆動部２５０では、各蛇行部に設けられた８つの第２圧電部材のうち最も＋Ｘ側又は最も−Ｘ側の端の第２圧電部材から数えて奇数番目（１番目、３番目、５番目、７番目）の４つの第２圧電部材１１に電圧が並列に印加されると、該４つの第２圧電部材１１及び該４つの第２圧電部材が設けられた４つの梁が第２軸周りの同一方向に撓み、ミラー１１０が第２軸周りに揺動する。

また、第２駆動部２５０では、各蛇行部の８つの第２圧電部材のうち最も＋Ｘ側又は最も−Ｘ側の端の第２圧電部材から数えて偶数番目（２番目、４番目、６番目、８番目）の４つの第２圧電部材１２に電圧が並列に印加されると、該４つの第２圧電部材１２及び該４つの圧電部材１２が設けられた４つの梁が第２軸周りの同一方向に撓み、ミラー１１０が第２軸周りに揺動する。

以下では、便宜上、各蛇行部に設けられた奇数番目の４つの第２圧電部材１１を併せて圧電部材群Ｐ１と称し、該蛇行部に設けられた偶数番目の４つの第２圧電部材１２を併せて圧電部材群Ｐ２と称する。

そこで、各蛇行部に設けられた２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に鋸波電圧及び逆鋸波電圧を並行して（例えば同時に）個別に印加することで、該蛇行部の隣り合う２つの梁を第２軸周りの反対方向に撓ませて各梁の撓み量を累積させることで、ミラー１１０を、第２軸周りに該鋸波電圧の周期で効率良く（低電圧で大きい振れ角で）振動させることができる（図４（Ａ）参照）。

ここで、「鋸波電圧」とは、時間の経過につれ、徐々に高くなり、ピークに達すると、急激に低くなる電圧を意味する。「逆鋸波電圧」とは、時間の経過につれ、急激に高くなり、ピークに達すると、徐々に低くなる電圧を意味する。

結果として、第１駆動部１５０及び第２駆動部２５０を含んで、ミラー１１０を第１軸及び第２軸周りに独立に駆動する駆動手段を含む支持部が構成されている。すなわち、ミラー１１０は、該支持部によって支持されている。

第１駆動部１５０及び第２駆動部２５０の各圧電部材は、一例として、圧電材料としてのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。圧電部材は、分極方向に電圧が印加されると印加電圧の電位に比例した歪み（伸縮）が生じる、いわゆる逆圧電効果を発揮する。また、圧電部材は、力を加えると、該力に応じた電圧を分極方向に発生させる、いわゆる圧電効果を発揮する。

なお、ここでは、圧電部材がシリコン基板１の一面（例えば＋Ｙ側の面）のみに設けられた場合を一例として説明したが、配線のレイアウトや圧電部材の作成上の自由度を向上させるため、シリコン基板１の他面（例えば−Ｙ側の面）にのみ設けても良いし、シリコン基板１の一面及び他面（例えば＋Ｙ側及び−Ｙ側の面）の双方に設けても良い。いずれにしても、これらの圧電部材や電極の形成はほぼ半導体プロセスに準じるものであり、大量生産によりコストダウンを図ることができる。

ここで、第１軸周りに振動するミラー１１０に光が入射されると、反射光が第１軸周りにスキャン（偏向走査）される。また、第２軸周りに振動するミラー１１０に光が入射されると、反射光が第２軸周りにスキャン（偏向走査）される。そこで、被走査面に形成される画像の高精細化、面内均一化を図るために、ミラー１１０に入射される光を第１軸周りに直線的にスキャンし、その走査線を第２軸周りにスキャンすること、すなわちラスタスキャンを行うことができる。

具体的には、第１駆動部１５０では各トーションバーの機械的共振を利用してできるだけ少ないエネルギーでミラー１１０を高周波数で振動させ、第２駆動部２５０では非共振でミラー１１０を低周波数（例えば数十Ｈｚ）で振動させることでラスタスキャンを行うことができる。

しかしながら、この場合、各第２圧電部材の変位量は、各第１圧電部材の変位量よりも小さい。

そこで、上述の如く、第２駆動部２５０の各蛇行部の８つの梁に個別に設けられた８つの第２圧電部材を並列に動作させることで、変位量を稼ぐことができる。

本実施形態では、ラスタスキャンを行うために、各蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加する駆動電圧として同一周期の鋸波電圧及び逆鋸波電圧を用いる。

この場合、ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度、すなわちミラー１１０の振れ角（偏向角）の時間変化は、図３（Ａ）に示されるように直線的であることが望ましい。すなわち、ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度に変動が生じないことが望ましい。換言すると、第２駆動部２５０による第２軸周りの駆動は、線形駆動であることが望ましい。

しかしながら、第２駆動部２５０によるミラー１１０の第２軸周りの偏向動作においては、ミラー１１０及び第１駆動部１５０を含む系の重さや各蛇行部の梁の剛性などにより決まる固有の機械的共振の振動成分が発生し、ミラー１１０に伝わる。すなわち、ミラー１１０及び第１駆動部１５０を第２軸周りに駆動する第２駆動部２５０は、固有の機械的共振の共振周波数を有する。この場合、ミラー１１０の振れ角の時間変化にうねりが生じてしまう（図３（Ｂ）参照）。すなわち、ミラー１１０の揺動速度に変動が生じてしまう。この結果、直線的な光走査が妨げられ、ひいては被走査面に形成される画像に輝度ムラ、歪みなどが発生し、画質の劣化を招く。このように第２駆動部２５０による第２軸周りの駆動は、実際には、線形駆動でなく、非線形駆動である。

そこで、本実施形態では、各蛇行部に設けられた２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に個別に印加される同一周期の鋸波電圧及び逆鋸波電圧の位相をｐだけずらすこととしている（図４参照）。そして、圧電部材群Ｐ１、圧電部材群Ｐ２に個別に印加される鋸波電圧及び逆鋸波電圧の最大値（振幅値）Ｖ１ｍａｘ、Ｖ２ｍａｘを互いに異ならせることとしている。

すなわち、本実施形態では、図４及び図５に示されるように、各蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ１の４つの第２圧電部材の変形により励起される機械的共振の振動成分と該蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ２の４つの第２圧電部材の変形により励起される機械的共振の振動成分とが互いに打ち消しあうような、位相がずれ振幅が異なる鋸波電圧及び逆鋸波電圧、すなわち非相似の波形の２つの駆動電圧を圧電部材群Ｐ１及び圧電部材群Ｐ２に並行して（例えば同時に）個別に印加する。この結果、各蛇行部における機械的共振の振動成分を大幅に低減させることが可能になる。

このようにして、第２駆動部２５０による第２軸周りの非線形駆動によるＺ軸方向（副走査方向）の光走査に対して、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加する電圧の位相及び振幅を異ならせることにより、ミラー１１０の揺動速度（ミラー１１０の振れ角の時間変化）の変動を抑制することが可能となる。すなわち、ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度の線形性を向上させることが可能となる。これにより、画像の副走査方向の輝度ムラや歪みの発生を抑制することができ、被走査面に高品質な画像を形成することができる。

さらに、光偏向器１００の製造プロセスにおいて発生する加工誤差や圧電部材の位置ずれが生じる場合にも、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加する最大電圧を異ならせる（調整する）ことで、その加工誤差や位置ずれを補償することができる。この結果、副走査方向の走査の均一性、及び光偏向器１００の製造歩留まりを向上させることができる。

コントローラ２００は、ミラー１１０の振れ角（偏向角）を検知する不図示のセンサからの検知結果に基づいて、ミラー１１０の振れ角と各レーザダイオードの発光タイミングとの同期をとるための同期信号を生成し、ＬＤ制御部５０に出力する。また、コントローラ２００は、以下に説明するように、光偏向器１００の第２駆動部２５０を制御する。

すなわち、コントローラ２００は、各蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ１の各圧電部材に波形ａの駆動電圧（鋸波電圧）を印加するとともに、該蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ２の各圧電部材に波形ｂの駆動電圧（逆鋸波電圧）を印加する（図４及び図５参照）。ここでは、波形ａ、ｂの周波数は、約６０Ｈｚとされている。但し、各蛇行部における機械的共振の共振周波数との関係により、周波数を数Ｈｚ程度シフトさせても良い。

このように、各蛇行部に設けられた２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２にそれぞれ波形ａ、波形ｂの駆動電圧が並行して印加されることにより、各蛇行部の８つの梁が撓み、ミラー１１０が第２軸周りに振動する。このようにして、第２軸周りの非線形駆動によるＺ軸方向（副走査方向）の光走査が行われる。

この際、図４及び図５に示されるように、波形ａ、ｂの位相をずらし、その位相ずれ量（位相差）を調整することで、非線形駆動である副走査方向の走査速度のムラ（ばらつき）をある程度低減することができる。

図４には、波形ｂの最大値（振幅値）が波形ａの最大値（振幅値）よりも大きい場合が示されている。図５には、波形ａの最大値（振幅値）が波形ｂの最大値（振幅値）よりも大きい場合が示されている。

ここで、圧電部材群Ｐ１、Ｐ２へ印加する駆動電圧の最大値Ｖ１ｍａｘ、Ｖ２ｍａｘを調整することで、上記位相差の調整によってもなお残存している副走査方向の走査速度のムラをさらに低減させ、より直線性の良い光走査とすることができる。

圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加する駆動電圧の位相差及び最大値を調整することで、第２軸周りのミラー１１０の振れ角の時間変化（揺動速度）の線形性を向上できる理由としては、図２に示される各蛇行部の隣り合う２つの梁がＹＺ平面に平行な平面に関して完全に対称ではないためである。すなわち、各蛇行部の隣り合う２つの梁は、安定動作のために対称性が確保されるように設計されているが完全に対称とすることはできない。そこで、隣り合う２つの梁のわずかな非対称性に対して、圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に個別に印加する２つの駆動電圧を調整することで、第２駆動部２５０に励起される機械的共振を抑えることができる。

以下に、各蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加される駆動電圧の調整方法（光偏向装置１０００の調整方法）の一例を説明する。この調整は、例えば、プロジェクタ装置１０の製造時、出荷時、メンテナンス時などに人（例えば作業者）によって行われる。

先ず、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に、図６に示されるような同一周期、同一デューティ比かつ同一振幅（最大値Ｖ１ｍａｘ）の波形ａの鋸波電圧、波形ｂの逆鋸波電圧を並行して個別に印加して第２駆動部２５０を動作させ、ミラー１１０を第２軸周りに振動させる。そして、第２軸周りに振動するミラー１１０に対してレーザ光を照射すると、該レーザ光は第２軸周りに偏向される。そこで、波形ａ、ｂの位相を相対的にずらしながら、例えばポジションセンサダイオード（ＰＳＤ）を用いて副走査方向の走査速度をモニタし、該走査速度（ミラー１１０の揺動速度）の均一性が高くなる位相ずれ量（位相差）を求める。なお、鋸波電圧のデューティ比は、周期に対する立ち上がり時間の比率を意味する。逆鋸波電圧のデューティ比は、周期に対する立ち下り時間の比率を意味する。

そして、求められた位相ずれ量ｐを、メモリ３００に保存する。なお、波形ａ、波形ｂの周期、振幅（最大値）及びデューティ比は、ミラー１１０の第２軸周りの振れ角が概ね適切になるような値に設定されている。

次に、波形ａの最大値Ｖ１ｍａｘを固定した状態で、波形ｂの最大値Ｖ２ｍａｘを変化させ、走査速度（ミラー１１０の揺動速度）が均一になるようにＶ２ｍａｘの調整を行う。このとき、走査速度の均一性が最も高くなるときの最大電圧比（振幅の比）＝Ｖ２ｍａｘ／Ｖ１ｍａｘを、位相ずれ量ｐと同様にメモリ３００に保存する。

コントローラ２００は、被走査面に画像を形成する際のミラー１１０の駆動時に、メモリ３００から位相ずれ量ｐ及び最大電圧比Ｖ２ｍａｘ／Ｖ１ｍａｘを読み出し、該位相ずれ量及び最大電圧比を満たす２つの駆動電圧を各蛇行部に設けられた圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に並行して個別に印加し、ミラー１１０を第２軸周りに駆動する。

詳述すると、メモリ３００には、各蛇行部の２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２の一方に印加される電圧の波形（周期及び振幅）、最大電圧比Ｖ２ｍａｘ／Ｖ１ｍａｘ及び位相差ｐが格納されている。コントローラ２００は、これらに基づいて２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２の他方に印加される電圧の波形を求める。

なお、ここでは、Ｖ１ｍａｘを固定した状態でＶ２ｍａｘを調整し、最大電圧比をメモリ３００に保存しているが、Ｖ２ｍａｘを固定した状態でＶ１ｍａｘを調整し、最大電圧比をメモリ３００に保存しても良い。

また、Ｖ１ｍａｘ、Ｖ２ｍａｘの双方を調整し、Ｖ１ｍａｘ、Ｖ２ｍａｘそれぞれの調整値をメモリ３００に保存し、読み出すことも可能である。この場合、メモリ３００に更に、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加される電圧の周期及び位相差ｐを保存することで、コントローラ２００は、これらとＶ１ｍａｘ、Ｖ２ｍａｘそれぞれの調整値に基づいて、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加される電圧の波形を求めることができる。

また、最大電圧比として、Ｖ１ｍａｘ／Ｖ２ｍａｘを用いても良い。

以上の説明から分かるように、調整後の波形ａ、ｂは、周期及びデューティ比が等しく、振幅が異なる非相似の波形となることが分かる（図４及び図５参照）。

ここで、図７（Ａ）には、同一周期かつ同一振幅かつ同一デューティ比、すなわち波形が相似の鋸波電圧及び逆鋸波電圧を圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に並行して個別に印加したときのポジションセンサダイオードＰＳＤからの検出信号が示されている。この場合、副走査方向の走査速度（ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度）が一定（均一）でないことが分かる。

一方、図７（Ｂ）には、上述のようにして調整された波形ａ、ｂの駆動電圧をそれぞれ圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加したときのポジションセンサダイオードからの検出信号が示されている。この場合、副走査方向の走査速度（ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度）が一定（均一）であることが分かる。

以上説明した本実施形態の光偏向装置１０００は、反射面を有するミラー１１０と該ミラー１１０を支持する支持部とを備え、該支持部は、蛇行するように連続する複数（例えば８つ）の梁を含む蛇行部と、該複数の梁に個別に設けられた複数（例えば８つ）の第２圧電部材とを有し、ミラー１１０を第２軸周りに揺動させるための第２駆動部２５０（駆動部）を含み、隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの第２圧電部材１１、１２に、非相似の波形の２つの駆動電圧が並行して（例えば同時に）個別に印加される。

この場合、駆動部の構造に僅かな非対称性があっても、該非対称性に起因する機械的共振の振動成分の発生を十分に抑制できる。

結果として、光偏向装置１０００では、駆動部の構造に僅かな非対称性があっても、ミラーの揺動速度の変動を抑制できる。

一方、例えば特許文献１に開示されている光偏向器の駆動装置のように、蛇行部の隣り合う２つの梁に個別に設けられた２つの圧電部材に相似の波形の２つの電圧を逆位相で並行に個別に印加する場合、該蛇行部の構造に僅かでも非対称性があると、該非対称性に起因する機械的共振の振動成分の発生を十分に抑制することができず、ミラーの揺動速度の変動を抑制できないおそれがある。

そして、前記２つの駆動電圧の波形はミラー１１０の第２軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように設定されるため、ミラー１１０の振れ角（偏向角）を直線的に変化させることができる。

具体的には、前記２つの駆動電圧の一方は、鋸波電圧であり、他方は該鋸波電圧と周期が等しく位相がずれた逆鋸波電圧であるため、蛇行部の構造上の僅かな非対称性に起因する機械的共振の振動成分の発生をある程度抑制することができ、ミラー１１０の振れ角を概ね直線的に変化させることができる。

さらに、前記２つの駆動電圧の振幅は異なるため、蛇行部の構造上の僅かな非対称性に起因する機械的共振の振動成分の発生を十分に抑制することができ、ミラー１１０の振れ角をほぼ直線的に変化させることができる。

また、前記支持部は、第２駆動部２５０に連続し、ミラー１１０を第２軸に直交する第１軸周りに揺動させるための第１駆動部１５０を含んでいる。この場合、第１駆動部１５０によってミラー１１０を第１軸周りに振動させ、かつ第２駆動部２５０によって第２軸周りに振動させることができる。そこで、第１駆動部１５０及び第２駆動部２５０によるミラー１１０の偏向動作を用いて光により被走査面を２次元走査することができる。この場合、例えばミラーを一軸周りにのみ揺動可能な光偏向器を２つ組み合わせる場合よりも、小型化、低コスト化が可能になる。

また、第１駆動部１５０は、ミラー１１０に一端が連続し、第１軸方向に延びる２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂと、該２つのトーションバー１０５ａ、１０５ｂそれぞれの他端に連続する２つの梁１０６ａ、１０６ｂと、該２つの梁１０６ａ、１０６ｂそれぞれに設けられた２つの圧電部材１５、１６とを有している。この場合、各トーションバーの共振周波数（機械的共振）を利用してミラー１１０を第１軸周りに低電力で大きな振れ角で振動させることができる。

また、プロジェクタ装置１０は、３つのレーザダイオードＬＤ１〜ＬＤ３を含み、画像情報に基づいて変調されたレーザ光を射出する光源装置５と、該光源装置５からの光を被走査面に向けて偏向する光偏向装置１０００と、を備えている。この場合、画像情報に基づいて変調された光により被走査面を安定して走査することができ、被走査面に高品質な画像を形成することができる。すなわち、ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度の均一性が得られることにより、簡易な構成により、輝度ムラや歪みの発生が抑えられた高品質な画像を形成することができる。

ところで、特開２０１１−１０７５０５号公報に開示されている２次元スキャナ駆動装置では、以下のような方法によりラスタスキャンにおける走査速度の均一性を確保している。

すなわち、通常、光による２次元走査を行う場合、副走査方向の非共振駆動の高調波と走査駆動手段の副走査方向の構造による共振周波数が干渉して、副走査方向に波打ち現象が生じ、副走査方向の走査速度が不均一になる。そのため、光走査の速度を検出する速度検出手段を設け、速度検出信号を生成する。その速度検出信号に基づいて走査駆動手段へのフィードバックを行い、副走査方向の走査速度の不均一性を低減させている。

しかしながら、この２次元スキャナ駆動装置では、光走査の速度信号を検出するための追加のセンサ機構が必要となり、装置の構成が煩雑となり、装置の大型化を招く。また、２次元走査を行っているため、主走査方向と副走査方向の信号の混入が避けられず、信号の混入を回避するための処理に負担がかかり、また完全に除去することは難しい。さらに、これらの条件の最適化には精密な調整技術が必要であり、コストアップを招く。

本実施形態の光偏向装置１０００では、追加のセンサ機構、複雑な信号処理が必要なく、非共振駆動による副走査方向の走査速度の均一性を確保し、輝度ムラ、歪みのない高品質な画像を形成することができる。すなわち、簡易な構成及び制御で、かつ低コストで、副走査方向の走査速度の均一化を図ることができる。

以下に、圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加する駆動電圧の調整方法（光偏向装置１０００の調整方法）の他の例について説明する。この調整は、例えば、プロジェクタ装置１０の製造時、出荷時、メンテンス時などに人（例えば作業者）によって行われる。

先ず、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に、図６に示される同一周期、同一デューティ比及び同一振幅（最大値）の波形ａの鋸波電圧、波形ｂの逆鋸波電圧を並行して個別に印加して第２駆動部２５０を動作させ、ミラー１１０を第２軸周りに振動させる。そして、第２軸周りに振動するミラー１１０に対してレーザ光を照射すると、該レーザ光は第２軸周りに偏向される。そこで、波形ａ、波形ｂの位相を相対的にずらしながら、例えばポジションセンサダイオード（ＰＳＤ）を用いて副走査方向の走査速度をモニタし、該走査速度（ミラー１１０の揺動速度）の均一性が高くなる位相ずれ量（位相差）を求める。このようにして、２つの波形の位相差の調整が行われる。

そして、求められた位相ずれ量ｐを、メモリ３００に保存する。なお、波形ａ、波形ｂの周期、振幅（最大値）及びデューティ比は、ミラー１１０の第２軸周りの振れ角（偏向角）が概ね適切になるような値に設定されている。

ここで、波形ａは、図８（Ａ）に示される鋸波であり、１周期は、ラスタスキャンさせるために時間の経過につれ電圧値が徐々に高くなる期間（立ち上がり期間）と時間の経過につれ電圧値が急激に低くなる期間（立ち下り期間）とに分けられる。また、波形ｂは、図８（Ｂ）に示される逆鋸波であり、１周期は、ラスタスキャンさせるために時間の経過につれ電圧値が徐々に低くなる期間（立ち下がり期間）と時間の経過につれ電圧値が急激に高くなる期間（立ち上がり期間）とに分けられる。

すなわち、波形ａは、１周期の時間Ｔａに対して、ラスタ走査のための立ち上がり期間の時間Ｔａ１、元に戻すための立下り期間の時間Ｔａ２に分けられる。ここで、１周期に対するラスタスキャンのための時間の割合（デューティ比）をシンメトリＳａとすると、Ｓａ＝Ｔａ１／Ｔａとなる。同様に波形ｂについての１周期の時間Ｔｂに対するラスタ走査のための立下り期間の時間Ｔｂ１の割合（デューティ比）をシンメトリＳｂとすると、Ｓｂ＝Ｔｂ１／Ｔｂとなる。

通常、波形ａのシンメトリＳａと波形ｂのシンメトリＳｂは、同じにして駆動させるが、ここでは、シンメトリＳａ、Ｓｂを少しずらして調整することで、上記位相差の調整によってもなお残存している副走査方向の走査速度のムラをさらに低減させることができ、直線性のよい光走査とすることができる。

この理由としては、上述した最大電圧値の調整により走査速度の均一化を図ることができるのと同様に、図２に示される光偏向器１００の各蛇行部の隣り合う２つの梁が完全な対称ではないためである。そこで、わずかに生じた非対称性に対して、各蛇行部に設けられた２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加する電圧を調整することで、誘起される機械的共振が抑えられる効果が得られる。

また、波形ａのシンメトリＳａ、波形ｂのシンメトリＳｂを調整することで、光偏向器１００の製造プロセスにおいて発生する加工誤差、圧電部材の位置ずれによる走査速度のムラがわずかに生じる場合にも、その加工誤差や位置ずれを補償することができる。

具体的には、図９に示されるように、圧電部材群Ｐ１に印加する駆動電圧の波形ａのシンメトリＳａを固定した状態で、圧電部材群Ｐ２に印加する駆動電圧の波形ｂのシンメトリＳｂを変化させ、副走査方向の走査速度（ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度）が均一になるようにＳｂを調整する。そして、走査速度の均一性が最も高くなるときの波形ｂ´のシンメトリＳｂ´＝Ｔｂ２´／ＴｂとシンメトリＳａの比であるシンメトリ比Ｓｂ´／Ｓａを、位相ずれ量と同様にメモリ３００に保存する。

コントローラ２００は、被走査面に画像を形成する際のミラー１１０の駆動時に、メモリ３００から位相ずれ量、シンメトリ比Ｓｂ´／Ｓａを読み出し、該位相ずれ量及びシンメトリ比Ｓｂ´／Ｓａを満たす２つの駆動電圧を圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に個別に印加し、ミラー１１０を第２軸周りに駆動する。

詳述すると、メモリ３００には、各蛇行部の２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２の一方に印加される電圧の波形（周期及び振幅）、該２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加される電圧のシンメトリ比Ｓｂ´／Ｓａ及び位相差ｐが格納されている。コントローラ２００は、これらに基づいて２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２の他方に印加される電圧の波形を求める。

なお、Ｓａを固定した状態でＳｂを調整し、シンメトリ比をメモリ３００に保存したが、Ｓｂを固定した状態でＳａを調整し、シンメトリ比をメモリ３００に保存しても良い。また、Ｓａ、Ｓｂの双方を調整し、Ｓａ、Ｓｂそれぞれの調整値をメモリ３００に保存し、読み出すことも可能である。この場合、メモリ３００に、更に、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加される電圧の周期（同一周期）及び位相差ｐを保存することで、コントローラ２００は、これらとＳａ、Ｓｂそれぞれの調整値に基づいて、２つの圧電部材群Ｐ１、Ｐ２に印加される電圧の波形を求めることができる。

なお、シンメトリ比Ｓｂ´／Ｓａに代えて、シンメトリ比Ｓａ／Ｓｂ´を用いても良い。

また、上記実施形態では、ＲＧＢの３原色に対応する３つのレーザダイオードからの３つのレーザ光の合成光を光偏向装置１０００で偏向して被走査面を２次元走査することによりカラー画像を形成するプロジェクタ装置について説明したが、これに限らず、例えば、１つのレーザダイオードからの１つレーザ光を光偏向装置１０００で偏向して被走査面を２次元走査することによりモノクロ画像を形成するプロジェクタ装置を提供しても良い。

また、第１駆動部１５０及び第２駆動部２５０を含む駆動手段を有する支持部の構成は、上記実施形態で説明したものに限らず、適宜変更可能である。例えば上記実施形態の駆動手段は、ミラーを互いに直交する二軸（第１軸及び第２軸）周りに独立に駆動しているが、例えばミラー１１０を一軸周りにのみ駆動しても良い。具体的には、図１０に示されるように、非共振駆動による１次元光走査用の光偏向器にも適用可能である。図１０における駆動部は、第２駆動部２５０と同様の構成を有している。この場合、光偏向装置を２つ組み合わせて、２つのミラーを互いに直交する二軸周りにそれぞれ駆動するようにしても良い。また、例えば第１駆動部は、第２駆動部と同様の構成を有していても良い。また、例えば第２駆動部は、第１駆動部と同様の構成を有していても良い。

また、上記実施形態では、画像形成装置の一例として、プロジェクタ装置１０を採用しているが、これに限らず、例えば、プリンタ、複写機等を採用しても良い。具体的には、例えば、図１０に示される１次元走査用の光偏向装置で偏向されたレーザ光により像担持体としての感光体ドラムの表面を走査して静電潜像を形成し、該静電潜像にトナーを付着させて現像し、得られたトナー画像を媒体に転写し、画像を形成しても良い。

また、上記実施形態では、画像形成装置としてのプロジェクタ装置１０に光偏向装置１０００が配備されているが、これに限らず、例えば図１１に示される画像形成装置としてのヘッドアップディスプレイ７に光偏向装置１０００が配備されても良い。ヘッドアップディスプレイ７は、例えば車両、航空機、船舶等に搭載される。

詳述すると、ヘッドアップディスプレイ７は、一例として図１１に示されるように、光偏向装置で偏向されたレーザ光の光路上に配置されたＸＺ平面に沿って２次元配列された複数のマイクロレンズ６０ａを含むマイクロレンズアレイ６０と、該マイクロレンズアレイ６０を介したレーザ光の光路上に配置された半透明部材７０（例えばコンバイナ）と、を備えている。この場合、光偏向装置１０００による第１軸及び第２軸周りのレーザ光の偏向動作に伴い該レーザ光によりマイクロレンズアレイ６０が２次元走査され、マイクロレンズアレイ６０上に画像が形成される。そして、マイクロレンズアレイ６０を介した画像光が半透明部材７０に入射し、該画像光の拡大された虚像が形成される。すなわち、観察者は、半透明部材７０を介して画像光の拡大された虚像を視認することができる。この場合、マイクロレンズアレイ６０により画像光が拡散されるため、所謂スペックルノイズの低減が期待できる。

なお、マイクロレンズアレイ６０に代えて、マイクロレンズアレイ以外の光を透過させる部材（例えば透過スクリーン）を用いても良い。また、例えばマイクロレンズアレイ、透過スクリーン等の光を透過させる部材と半透明部材との間の光路上に例えば凹面鏡、平面鏡等のミラーを設けても良い。また、半透明部材を例えば車両の窓ガラスで代用しても良い。

また、光偏向装置１０００を、ヘッドアップディスプレイ７と同様の構成のヘッドマウントディスプレイに配備しても良い。

また、上記実施形態では、波形ａと波形ｂの位相差は、０以外にされているが、０にされても良い。

また、上記実施形態では、波形ａと波形ｂの周期は、等しくされているが、異なっていても良い。

また、上記実施形態では、圧電部材に印加される駆動電圧の波形は、正弦波、鋸波、逆鋸波とされているが、これに限らず、要は、周期的な波形であることが好ましい。特に、隣り合う２つの第２圧電部材に印加される駆動電圧の波形は、ミラー１１０の第２軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように設定されていることが好ましい。

また、上記実施形態における光偏向器１００の各構成部の配置、大きさ、形状、数、材質等は、適宜変更可能である。例えば、第１駆動部１５０において、トーションバーの一端にミラー１１０が連続し、該トーションバーの他端に梁が連続しているが、要は、トーションバーの一部にミラーが連続し、該トーションバーの他の一部に梁が連続していれば良い。

また、上記実施形態における光源装置５の構成は、適宜変更可能である。例えば、光源装置５は、光の３原色に対応する３つのレーザダイオードを有しているが、１つ又は４つ以上のレーザダイオードを有していても良い。この場合、レーザダイオードの数に応じて、コリメートレンズ、ダイクロイックミラーの数（０を含む）を変更しても良い。

また、上記実施形態では、光源として、レーザダイオード（端面発光レーザ）を用いているが、これに限られない。例えば、面発光レーザを用いても良いし、レーザ以外の光源を用いても良い。

また、上記実施形態では、プロジェクタ装置１０は、画像処理部４０を有しているが、必ずしも有していなくても良い。

７…ヘッドアップディスプレイ（画像形成装置）、１０…プロジェクタ装置（画像形成装置）、１１、１２…第２圧電部材（圧電部材）、１５、１６…第１圧電部材（別の圧電部材）、１００…光偏向器、１１０…ミラー、１０５ａ、１０５ｂ…トーションバー（支持部の一部）、１０６ａ、１０６ｂ…梁（支持部の一部）、１０８ａ、１０８ｂ…梁（支持部の一部）１５０…第１駆動部（別の駆動部）、２５０…第２駆動部（駆動部）、１０００…光偏向装置。

特開２０１２−１９８４１５号公報

Claims (18)

1. 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、該支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置において、
   隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に、非相似の波形の２つの電圧が並行して個別に印加され、
   前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率が、異なることを特徴とする光偏向装置。
2. 前記２つの電圧の波形は、前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
3. 前記２つの電圧の波形の一方は、鋸波であり、他方の波形は、前記鋸波と周期が等しく位相がずれた逆鋸波であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向装置。
4. 前記２つの電圧の振幅は、異なることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光偏向装置。
5. 予め保存された前記２つの電圧の振幅の比及び前記２つの電圧の一方の波形に基づいて、前記２つの電圧の他方の波形が求められることを特徴とする請求項４に記載の光偏向装置。
6. 予め保存された前記２つの電圧の振幅に基づいて、前記２つの電圧の波形が求められることを特徴とする請求項４に記載の光偏向装置。
7. 予め保存された前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率の比、及び前記２つの電圧の一方の波形に基づいて、前記２つの電圧の他方の波形が求められることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光偏向装置。
8. 予め保存された前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率に基づいて、前記２つの電圧の波形が求められることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光偏向装置。
9. 前記支持部は、前記駆動部に連続し、前記ミラーを前記一軸に直交する他軸周りに揺動させるための別の駆動部を含むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光偏向装置。
10. 前記別の駆動部は、前記ミラーに一部が連続し、前記他軸方向に延びるトーションバーと、該トーションバーの他の一部に連続する別の梁と、該別の梁に設けられた別の圧電部材とを有することを特徴とする請求項９に記載の光偏向装置。
11. 画像情報に基づいて変調された光により被走査面を走査し、画像を形成する画像形成装置であって、
    光源を含み、前記光を射出する光源装置と、
    前記光源装置からの光を前記被走査面に向けて偏向する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光偏向装置と、を備える画像形成装置。
12. 前記被走査面は、前記光偏向装置で偏向された光を透過させる部材の表面であることを特徴とする請求項１１に記載の画像形成装置。
13. 請求項１１又は１２の画像形成装置を備える車両。
14. 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、前記支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置の制御方法において、
    隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に、互いに非相似の波形の２つの電圧を並行して個別に印加する工程を含み、
    前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率が、異なることを特徴とする光偏向装置の制御方法。
15. 前記２つの電圧の波形は、前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように設定されていることを特徴とする請求項１４に記載の光偏向装置の制御方法。
16. 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、前記支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置の調整方法であって、
    隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に２つの電圧を並行して個別に印加する工程と、
    前記２つの電圧の少なくとも一方の振幅を前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように調整する工程と、
    調整後の前記振幅又は該振幅に基づく値を保存する工程と、を含み、
    前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率が、異なることを特徴とする光偏向装置の調整方法。
17. 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、前記支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置の調整方法であって、
    隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に２つの電圧を並行して個別に印加する工程と、
    前記２つの電圧の少なくとも一方の周期に対する立ち上り時間もしくは立ち下がり時間の比率を前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように調整する工程と、
    調整後の前記周期に対する立ち上り時間もしくは立ち下がり時間の比率、又は該比率に基づく値を保存する工程と、を含む光偏向装置の調整方法。
18. 前記２つの電圧の位相差を前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように調整する工程と、
    調整後の位相差を保存する工程と、を更に含むことを特徴とする請求項１６又は１７に記載の光偏向装置の調整方法。