JP7469940B2 - 光偏向器 - Google Patents
光偏向器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7469940B2 JP7469940B2 JP2020062423A JP2020062423A JP7469940B2 JP 7469940 B2 JP7469940 B2 JP 7469940B2 JP 2020062423 A JP2020062423 A JP 2020062423A JP 2020062423 A JP2020062423 A JP 2020062423A JP 7469940 B2 JP7469940 B2 JP 7469940B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- mirror
- optical deflector
- lever
- yoke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 40
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 18
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
前記梃子部の前記揺動軸から離間した被駆動部分に力を加えて前記梃子部を前記揺動軸回りに揺動させる駆動部と、
を有することを特徴とする。
図3は、実施例1の光偏向器10のミラー部11の斜視図である。
図2に示すように、駆動部30の電磁石20は、一対の梃子部11Tを介してミラー部11を揺動軸AZの回りに揺動させる。電磁石20は、ミラー部11から離れてZ方向に伸長するヨーク21と、ヨーク21のヨーク中間部に巻き付けられたコイル22とから構成される。ヨーク21は例えば、軟質磁性体材料例えば電磁鋼板から作成される。
11 ミラー部
12 永久磁石
13 支持部
14 トーションバー
11 ミラー部
11T 梃子部
11H ミラー本体
11S 光反射面
20 電磁石
21 ヨーク
22 コイル
30 駆動部
31 駆動回路
SX 対称軸
AZ 揺動軸
Fout 作用点部
Fin 力点部
Claims (11)
- 各々が揺動軸と交差する方向に伸長しかつ前記揺動軸回りに揺動する一対の梃子部、及び光反射面を有しかつ前記梃子部の各々の伸長方向における一端に配された接続部分に接続された板状のミラー本体を有するミラー部と、
前記梃子部の前記揺動軸から離間した被駆動部分に力を加えて前記梃子部を前記揺動軸回りに揺動させる駆動部と、
前記ミラー部と前記揺動軸に沿って伸張したトーションバーによって接続された支持部と、
を有することを特徴とする光偏向器。 - 前記ミラー部は1の板によって形成され、前記一対の梃子部と前記ミラー本体とは前記接続部分以外の部分で前記1の板に形成されたスリットによって離隔している
ことを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。 - 前記支持部、前記トーションバー、前記ミラー部の前記梃子部及び前記ミラー本体は前記1の板を打ち抜くことで形成されている
ことを特徴とする請求項2に記載の光偏向器。 - 前記ミラー本体は、前記一対の梃子部の各々の前記接続部分と前記被駆動部分との間の長さと同等の長さを有する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記一対の梃子部は、前記揺動軸に直交する面に対して対称に配置され、前記被駆動部分には前記ミラー部の表面と裏面で対極となる永久磁石が各々設けられている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記一対の梃子部の前記被駆動部分に前記永久磁石に代わり強磁性体が各々設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の光偏向器。 - 前記一対の梃子部は前記揺動軸に直交する面に対して対称に配置され、前記駆動部は、前記被駆動部分の表面と裏面に垂直な方向において対向して挟む一対のヨーク先端の一組を両端に備えたヨークを有する電磁石を有する
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記一対の梃子部は前記揺動軸に直交する面に対して対称に配置され、前記駆動部は、前記被駆動部分の表面と裏面のいずれか一方の面に垂直な方向において対向する一組のヨーク先端を両端に備えたヨークを有する電磁石を有する
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記ミラー本体は両面が光反射面を有する
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記駆動部は非共振で、共振周波数以下の周波数で前記ミラー部を線形駆動する
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記駆動部は、前記一端とは前記揺動軸を挟んで反対側に配された前記被駆動部分に力を加えて前記梃子部を揺動させることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の光偏向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020062423A JP7469940B2 (ja) | 2020-03-31 | 2020-03-31 | 光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020062423A JP7469940B2 (ja) | 2020-03-31 | 2020-03-31 | 光偏向器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021162661A JP2021162661A (ja) | 2021-10-11 |
JP7469940B2 true JP7469940B2 (ja) | 2024-04-17 |
Family
ID=78004930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020062423A Active JP7469940B2 (ja) | 2020-03-31 | 2020-03-31 | 光偏向器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7469940B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004029425A (ja) | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Denso Corp | 光スキャナ、ディスプレイ装置、光スキャナの駆動方法 |
JP2011100103A (ja) | 2009-10-09 | 2011-05-19 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向子及びこの光偏向子を備えた光偏向器並びに光偏向子の製造方法 |
JP2015055829A (ja) | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 株式会社リコー | 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 |
JP2017097304A (ja) | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光偏向器及び該光偏向器を備えた画像形成装置 |
US20190310467A1 (en) | 2018-04-04 | 2019-10-10 | Stmicroelectronics Ltd | Techniques for suppressing multiple resonance modes in a quasi-statically operated movable mirror |
JP2020003629A (ja) | 2018-06-28 | 2020-01-09 | パイオニア株式会社 | 光走査装置 |
-
2020
- 2020-03-31 JP JP2020062423A patent/JP7469940B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004029425A (ja) | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Denso Corp | 光スキャナ、ディスプレイ装置、光スキャナの駆動方法 |
JP2011100103A (ja) | 2009-10-09 | 2011-05-19 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向子及びこの光偏向子を備えた光偏向器並びに光偏向子の製造方法 |
JP2015055829A (ja) | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 株式会社リコー | 光偏向装置、画像形成装置、車両、光偏向装置の制御方法、及び光偏向装置の調整方法 |
JP2017097304A (ja) | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光偏向器及び該光偏向器を備えた画像形成装置 |
US20190310467A1 (en) | 2018-04-04 | 2019-10-10 | Stmicroelectronics Ltd | Techniques for suppressing multiple resonance modes in a quasi-statically operated movable mirror |
JP2020003629A (ja) | 2018-06-28 | 2020-01-09 | パイオニア株式会社 | 光走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021162661A (ja) | 2021-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3003429B2 (ja) | ねじり振動子および光偏向子 | |
KR100942338B1 (ko) | 요동체 장치, 이의 구동 방법, 광 편향기, 및 이를 이용한화상 표시 장치 | |
US7880571B2 (en) | Two-axis driving electromagnetic micro-actuator | |
TWI446000B (zh) | 微機電系統掃描微鏡 | |
US20120228460A1 (en) | Driving apparatus | |
KR100837399B1 (ko) | 2축 구동형 맴스 디바이스 | |
JP4380233B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2002131685A (ja) | アクチュエ−タ | |
JP2005173411A (ja) | 光偏向器 | |
JP6015564B2 (ja) | 光走査装置 | |
JPH0727989A (ja) | 光偏向子 | |
US20030053186A1 (en) | Movable structure, and deflection mirror element, optical switch element and shape variable mirror including the movable structure | |
JP5084121B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2001004952A (ja) | 光偏向子 | |
JP7469940B2 (ja) | 光偏向器 | |
KR101109286B1 (ko) | 요동 구조체, 그것을 사용한 요동체 장치, 광편향 장치 및 화상 형성 장치 | |
JP2010048897A (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
CN112204450B (zh) | 光偏转器 | |
JP2003195204A (ja) | 光偏向器及び光偏向器アレイ | |
JP4407046B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP2015229220A (ja) | Mems装置 | |
JP2004237400A (ja) | プレーナー型アクチュエータ | |
JP2001264676A (ja) | 光スキャナ | |
JP2002328317A (ja) | 光偏向器 | |
WO2021100803A1 (ja) | ミラースキャナ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210301 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231031 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20231207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240405 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7469940 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |