JP2015055829A5 - - Google Patents
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Claims (19)
- 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、該支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置において、
隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に、非相似の波形の２つの電圧が並行して個別に印加されることを特徴とする光偏向装置。 - 前記２つの電圧の波形は、前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
- 前記２つの電圧の波形の一方は、鋸波であり、他方の波形は、前記鋸波と周期が等しく位相がずれた逆鋸波であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向装置。
- 前記２つの電圧の振幅は、異なることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光偏向装置。
- 予め保存された前記２つの電圧の振幅の比及び前記２つの電圧の一方の波形に基づいて、前記２つの電圧の他方の波形が求められることを特徴とする請求項４に記載の光偏向装置。
- 予め保存された前記２つの電圧の振幅に基づいて、前記２つの電圧の波形が求められることを特徴とする請求項４に記載の光偏向装置。
- 前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率が、異なることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光偏向装置。
- 予め保存された前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率の比、及び前記２つの電圧の一方の波形に基づいて、前記２つの電圧の他方の波形が求められることを特徴とする請求項７に記載の光偏向装置。
- 予め保存された前記２つの電圧の周期に対する立ち上り時間又は立ち下がり時間の比率に基づいて、前記２つの電圧の波形が求められることを特徴とする請求項７に記載の光偏向装置。
- 前記支持部は、前記駆動部に連続し、前記ミラーを前記一軸に直交する他軸周りに揺動させるための別の駆動部を含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の光偏向装置。
- 前記別の駆動部は、前記ミラーに一部が連続し、前記他軸方向に延びるトーションバーと、該トーションバーの他の一部に連続する別の梁と、該別の梁に設けられた別の圧電部材とを有することを特徴とする請求項１０に記載の光偏向装置。
- 画像情報に基づいて変調された光により被走査面を走査し、画像を形成する画像形成装置であって、
光源を含み、前記光を射出する光源装置と、
前記光源装置からの光を前記被走査面に向けて偏向する請求項１〜１１のいずれか一項に記載の光偏向装置と、を備える画像形成装置。 - 前記被走査面は、前記光偏向器で偏向された光を透過させる部材の表面であることを特徴とする請求項１２に記載の画像形成装置。
- 請求項１２又は１３の画像形成装置を備える車両。
- 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、前記支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置の制御方法において、
隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に、互いに非相似の波形の２つの電圧を並行して個別に印加する工程を含む光偏向装置の制御方法。 - 前記２つの電圧の波形は、前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように設定されていることを特徴とする請求項１５に記載の光偏向装置の制御方法。
- 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、前記支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置の調整方法であって、
隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に２つの電圧を並行して個別に印加する工程と、
前記２つの電圧の少なくとも一方の振幅を前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように調整する工程と、
調整後の前記振幅又は該振幅に基づく値を保存する工程と、を含む光偏向装置の調整方法。 - 反射面を有するミラーと該ミラーを支持する支持部とを備え、前記支持部は、蛇行するように連続する複数の梁と、該複数の梁に個別に設けられた複数の圧電部材とを有し、前記ミラーを一軸周りに揺動させるための駆動部を含み、前記反射面に入射された光を偏向する光偏向装置の調整方法であって、
隣り合う２つの前記梁に個別に設けられた２つの前記圧電部材に２つの電圧を並行して個別に印加する工程と、
前記２つの電圧の少なくとも一方の周期に対する立ち上り時間もしくは立ち下がり時間の比率を前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように調整する工程と、
調整後の前記周期に対する立ち上り時間もしくは立ち下がり時間の比率、又は該比率に基づく値を保存する工程と、を含む光偏向装置の調整方法。 - 前記２つの電圧の位相差を前記ミラーの前記一軸周りの揺動速度の変動が抑制されるように調整する工程と、
調整後の位相差を保存する工程と、を更に含むことを特徴とする請求項１７又は１８に記載の光偏向装置の調整方法。
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