JP2014204456A - 回転型アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ10の構成を示す平面図である。回転型アクチュエータ10は、可動電極110、枠体120、支持軸130、及び固定電極140を有している。可動電極110は、可動側第1辺111及び可動側第2辺112を有している。可動側第1辺111は枠体120に対向する辺である。可動側第2辺112は、可動電極110が有する辺のうち、可動側第1辺111とは平行ではない辺である。枠体120は、枠側第1辺121を有している。枠側第1辺121は、可動電極110の可動側第1辺111に対向する辺である。支持軸130は、可動電極110を枠体120に取り付け、また可動電極110の回転軸となる。固定電極140は、平面視で可動電極110の可動側第2辺112に対向している。また、可動電極110の可動側第1辺111には第1凹部116が設けられており、枠体120の枠側第1辺121のうち第1凹部116に対向する位置には第2凹部122が設けられている。支持軸130は、一端が第1凹部116に取り付けられており、他端が第2凹部122に取り付けられている。
ここで、dは可動電極110の厚さの半値であり、kは支持軸130の幅方向の中心を通る直線と可動側第2辺112の間隔である。
図5は、第2の実施形態に係る回転型アクチュエータ10の構成を示す平面図である。本実施形態に係る回転型アクチュエータ10は、以下の点を除いて第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ10と同様の構成である。
ここで、dは可動電極110の厚さの半値であり、Kは支持軸130の幅方向の中心を通る直線から枠体120の凸部124の側壁までの距離である。
図8は、第3の実施形態に係る回転型アクチュエータ10の構成を示す平面図である。本実施形態に係る回転型アクチュエータ10は、以下の点を除いて第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ10と同様の構成である。
20 制御部
110 可動電極
111 可動側第1辺
112 可動側第2辺
113 可動側第3辺
114 可動側第4辺
116 第1凹部
117 第3凹部
120 枠体
121 枠側第1辺
122 第2凹部
123 枠側第2辺
124 凸部
130 支持軸
140 固定電極
Claims (8)
- 可動側第1辺、及び前記可動側第1辺とは平行ではない可動側第2辺を有する可動電極と、
前記可動電極に対向する辺である枠側第1辺を有する枠体と、
前記可動電極を前記枠体に取り付け、前記可動電極の回転軸となる支持軸と、
平面視で前記可動側第2辺に対向している固定電極と、
を備え、
前記可動側第1辺には第1凹部が設けられており、
前記枠側第1辺のうち前記第1凹部に対向する位置には第2凹部が設けられており、
前記支持軸は、一端が前記第1凹部に取り付けられており、他端が前記第2凹部に取り付けられている回転型アクチュエータ。 - 請求項1に記載の回転型アクチュエータにおいて、
前記第1凹部及び第2凹部は、深さが互いに同一である回転型アクチュエータ。 - 請求項1又は2に記載の回転型アクチュエータにおいて、
前記枠側第1辺と前記可動側第1辺の間隔は、前記可動側第2辺と前記固定電極の間隔に等しい回転型アクチュエータ。 - 請求項3に記載の回転型アクチュエータにおいて、
前記支持軸と前記可動側第1辺の間隔、及び前記支持軸と前記枠側第1辺の間隔は、いずれも前記枠側第1辺と前記可動側第1辺の間隔に等しい回転型アクチュエータ。 - 請求項4に記載の回転型アクチュエータにおいて、
前記支持軸と前記可動側第1辺の間隔をg、前記可動電極の厚さを2d、前記支持軸を通る直線と前記可動側第2辺の間隔をkとしたとき、以下の式を満たす回転型アクチュエータ。
k+g>√(k2+d2) - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の回転型アクチュエータにおいて、
前記可動側第1辺に設けられ、前記第1凹部よりも幅が広い第3凹部と、
前記枠側第1辺に設けられ、前記第3凹部の中に入り込んでおり、前記第2凹部よりも幅が広い凸部と、
を備え、
前記第1凹部は前記第3凹部の底部に設けられており、
前記第2凹部は前記凸部の頂部に設けられている回転型アクチュエータ。 - 可動側第1辺、及び前記可動側第1辺とは平行ではない可動側第2辺を有する可動電極と、
前記可動電極に対向する辺である枠側第1辺を有する枠体と、
前記可動電極を前記枠体に取り付け、前記可動電極の回転軸となる支持軸と、
平面視で前記可動側第2辺に対向している固定電極と、
を備え、
前記可動側第1辺には第1凹部が設けられており、
前記枠側第1辺に設けられ、前記第1凹部の中に入り込んでいる凸部を備え、
前記支持軸は、平面視で前記第1凹部の内側に位置しており、かつ、一端が前記第1凹部に取り付けられており、他端が前記枠側第1辺の前記凸部以外の部分に取り付けられている回転型アクチュエータ。 - 請求項7に記載の回転型アクチュエータにおいて、
前記支持軸は、前記第1凹部の中で偶数回180度折り返されている回転型アクチュエータ。
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