JP2009244070A - 物理量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 可動部80と固定部81間が梁82により連結されている。梁82の可動側端部82a及び固定側端部82bには幅方向の両側に切欠き83〜86が形成されており、可動側端部82a及び固定側端部82bの幅寸法T2が中央部82cの幅寸法T3よりも細くなっている。これにより可動側端部及び固定側端部のバネ定数を小さくでき、可動側端部及び固定側端部にヒンジ機能を持たせることが出来る。これにより従来に比べて、梁の可動側端部の変位量を大きくでき、全体の大きさを大きくせずに、可動部の変位量を大きくできる。よって従来に比べて、小型化で且つ検出感度を向上させることができる。
【選択図】図3
Description
前記梁の前記可動側端部及び前記固定側端部の幅が、前記可動側端部と前記固定側端部間の中央部の幅よりも細いことを特徴とするものである。
12 SOI基板
13 支持基板
14 酸化絶縁層
15 SOI層(活性層)
16、80 可動部
17、18 検知部
21〜24 アンカ部
25,26,32〜35 腕部
27〜30、82 梁
27a、82a (梁の)可動側端部
27b、82b (梁の)固定側端部
57、58 固定電極
59、60 可動電極
81 固定部
83〜86 切欠き
Claims (7)
- 支持基板と、前記支持基板の上方に位置する可動部と、可動側端部にて可動部側と連結し前記可動側端部と反対側が固定側端部である梁と、前記可動部の変位を検知するための検知部と、を有し、
前記梁の前記可動側端部及び前記固定側端部の幅が、前記可動側端部と前記固定側端部間の中央部の幅よりも細いことを特徴とする物理量センサ。 - 前記可動側端部及び前記固定側端部には切欠きが形成されて、前記可動側端部及び前記固定側端部の幅が、前記可動側端部と前記固定側端部間の中央部の幅よりも細くなっている請求項1記載の物理量センサ。
- 前記切欠きは、前記可動側端部及び前記固定側端部の幅方向の両側に形成されている請求項2記載の物理量センサ。
- 前記切欠きは、湾曲形状で形成されている請求項2又は3に記載の物理量センサ。
- 前記支持基板の表面内にて直交する2方向をX方向とY方向としたとき、前記梁は前記X方向から延びて可動部側に連結されており、前記可動側端部及び前記固定部側端部の変形により、前記可動部が前記Y方向に平行移動し、前記可動部の前記Y方向への変位量が前記検知部により検出される請求項1ないし4のいずれかに記載の物理量センサ。
- 前記可動部の最外周面を囲んだ領域よりも内側に、前記支持基板上に固定支持されたアンカ部が設けられ、前記アンカ部から前記可動部の最外周面の外側に向けて腕部が配置されており、前記梁は、前記可動部と前記腕部との間に位置し前記固定側端部が前記腕部に連結されており、前記梁よりも前記可動部の内側に前記検知部が設けられている請求項1ないし5のいずれかに記載の物理量センサ。
- 前記検知部は、交互に並設された櫛歯状の可動電極と固定電極とで構成され、前記可動電極は、前記可動部と一体化しており、前記固定電極は前記可動部から離れて前記支持基板上に固定支持されており、前記可動部の変位量は前記可動電極と固定電極間の静電容量変化に基づき検出される請求項1ないし6のいずれかに記載の物理量センサ。
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