JP2005283402A - 慣性センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 衝撃によってビームに生じる応力が集中する部分を避けて局所的に容易変形部(厚みが薄い凹部15や穴など)を設けることとした。また、その凹部15をビーム13の中心を通る延在方向および当該延在方向と直角方向の直線に対して線対称に配置することとした。さらに、ビーム13の根元部が錘12および枠14とは直角に接することなくより緩やかな角度となるように根元部を形成することとした。これにより、センサの耐衝撃性を低下させることなくセンサの感度を向上させること、および、ビーム根元部の応力集中エリアを分散させることが可能となり、センサの感度を犠牲にすることなくその耐衝撃性を向上させることが可能となる。
【選択図】 図3
Description
11 ピエゾ抵抗
12 錘
13 ビーム
14 枠
15 ビームに設けた穴
15´ 幅狭部
16 錘ストッパ
17 センシング部
18 パッケージ
19 キャップ
20 接着剤
21 電極
22 配線
Claims (9)
- 可動部である錘を複数のビームで吊り下げる構成のセンシング部を有する慣性センサであって、
前記ビームは局所的に容易変形部を有し、当該容易変形部は前記ビームの応力集中部位である端部を避けて設けられていることを特徴とする慣性センサ。 - 前記容易変形部は局所的に厚みが薄い凹部であることを特徴とする請求項1に記載の慣性センサ。
- 前記凹部は穴であることを特徴とする請求項2に記載の慣性センサ。
- 前記容易変形部は、前記ビームの一部領域に設けられた幅狭部であることを特徴とする請求項1に記載の慣性センサ。
- 前記容易変形部は複数設けられており、前記ビームの中心を通る延在方向および当該延在方向と直角方向の直線に対して線対称に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の慣性センサ。
- 可動部である錘をビームで吊り下げる構成の慣性センサであって、
前記ビームは、当該ビーム端部の輪郭の任意の箇所が直角より緩やかな角度を有する形状を有することを特徴とする慣性センサ。 - 前記ビーム端部の輪郭は曲線であることを特徴とする請求項6に記載の慣性センサ。
- 前記ビームには、請求項1乃至5の何れかに記載の容易変形部が設けられていることを特徴とする請求項6または7に記載の慣性センサ。
- 前記センシング部の近傍には、前記錘の可動範囲を所定範囲に制限する錘ストッパが設けられていることを特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載の慣性センサ。
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