JP4999356B2 - 加速度センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
平坦に形成する梁に比べて、同じ加速度が加わったときの梁の変形(歪み)が大きくなることを見出した。
図1〜3を参照して、この発明の三次元の半導体加速度センサについて説明する。図1〜3は加速度センサの構造を説明するための図である。図1は、加速度センサの平面図である。図2(A)及び(B)は、それぞれ図1のA−A線及びB−B線による断面図である。加速度センサ10は、第1半導体層21、シリコン酸化膜23及び第2半導体層25を順に積層して構成される積層基板27に、錘30、台座20、梁40及びストッパ60を備えて構成される。図3(A)、(B)及び(C)は、それぞれ第1半導体層21、シリコン酸化膜23及び第2半導体層25の平面図である。ここで、第1半導体層21は例えば厚さ500μmのシリコン層からなる。また、シリコン酸化膜23は、例えば厚さ4μmで形成されている。また、第2半導体層25は厚さ15μmのシリコン層で形成される。
図6及び7を参照して、加速度センサの製造方法について説明する。図6及び7は、加速度センサの製造方法を説明するための図である。図6(A)〜(D)は、図1のB−B線による断面図を示している。図7(A)〜(D)は、特に薄膜部の形成工程を説明するための図であって、梁の断面図を示している。
20、220 台座
20a、30a 下面
21 第1半導体層
23 シリコン酸化膜
25 第2半導体層
27 積層基板
30、230 錘
40、240 梁
42 厚膜部
44 薄膜部
46 境界部
50、250 ピエゾ抵抗素子
60、260 ストッパ
62 エッチング用開口部
81 シリコン酸化膜
83 シリコン窒化膜
85 LOCOS膜
121 第1台座領域
122 第2台座領域
123 第3台座領域
131 第1錘領域
132 第2錘領域
133 第3錘領域
142 梁領域
162 ストッパ領域
171 第1開口領域
172 第2開口領域
173 第3開口領域
Claims (9)
- 加速度を受けて変位する錘と、
該錘の周囲に、該錘と離間して配置されている台座と、
一端が前記錘に接続され、及び他端が前記台座に接続された梁と
を備え、
前記梁は、厚膜部と該厚膜部よりも厚みが薄い薄膜部とを備えているとともに、前記一端及び前記他端に向かって幅広くなるように形成されており、
ピエゾ抵抗素子が、前記厚膜部と前記薄膜部とに渡って均等に形成されている
ことを特徴とする加速度センサ。 - 前記梁の長手方向の両端付近それぞれに前記薄膜部が形成されており、
前記薄膜部の間の全てに前記厚膜部が形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。 - 前記梁の長手方向の両端付近それぞれに前記厚膜部が形成されており、
前記厚膜部の間の全てに前記薄膜部が形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。 - 前記厚膜部と前記薄膜部の間に、厚みが連続的に変化する境界部
を備えることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。 - 第1半導体層、シリコン酸化膜及び第2半導体層を順に積層して構成されている積層基板を用意する工程と、
前記第2半導体層に、第2錘領域、該第2錘領域を離間して囲む第2台座領域、該第2錘領域と該第2台座領域とを接続するとともに、前記第2錘領域と前記第2台座領域との接続部が、該第2錘領域と該第2台座領域とに向かって幅広となる梁領域、及び該第2錘領域と該第2台座領域と該梁領域とに隣接する第2開口領域を設定する工程と、
前記第2開口領域の第2半導体層を除去し、さらに、前記第2開口領域に対応する領域の前記シリコン酸化膜を除去する工程と、
前記第2半導体層の前記梁領域に薄膜部及び厚膜部を形成する工程と、
前記梁領域の前記厚膜部と前記薄膜部とに渡って均等にピエゾ抵抗素子を形成する工程と、
前記第1半導体層に、第1錘領域、該第1錘領域を囲む第1開口領域、及び該第1開口領域を囲む第1台座領域を設定する工程と、
前記第1開口領域の第1半導体層を除去する工程と
を備えることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 前記薄膜部及び前記厚膜部を形成する工程は、
前記第2半導体層の前記梁領域上にシリコン酸化膜及びシリコン窒化膜を積層する工程と、
前記薄膜部が形成される領域のシリコン窒化膜を除去する工程と、
熱酸化を行い、シリコン窒化膜が除去された領域のシリコン酸化膜を厚く形成する工程と、
前記シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜を除去する工程と
を備えることを特徴とする請求項5に記載の加速度センサの製造方法。 - 前記薄膜部及び前記厚膜部を形成する工程では、
前記梁領域の長手方向の両端付近それぞれに前記薄膜部を形成し、及び
前記薄膜部の間の全てに前記厚膜部を形成する
ことを特徴とする請求項5又は6に記載の加速度センサの製造方法。 - 前記薄膜部及び前記厚膜部を形成する工程では、
前記梁領域の長手方向の両端付近それぞれに前記厚膜部を形成し、及び
前記厚膜部の間の全てに前記薄膜部を形成する
ことを特徴とする請求項5又は6に記載の加速度センサの製造方法。 - 前記薄膜部及び前記厚膜部を形成する工程は、
前記薄膜部と前記厚膜部との間に、厚みが連続的に変化する境界部を形成する工程を含む
ことを特徴とする請求項5に記載の加速度センサの製造方法。
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