JP2008198748A - 半導体センサ及びその製造方法 - Google Patents
半導体センサ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008198748A JP2008198748A JP2007031413A JP2007031413A JP2008198748A JP 2008198748 A JP2008198748 A JP 2008198748A JP 2007031413 A JP2007031413 A JP 2007031413A JP 2007031413 A JP2007031413 A JP 2007031413A JP 2008198748 A JP2008198748 A JP 2008198748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- semiconductor sensor
- insulating film
- gauge
- sensor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】物理量の検出感度をより高めることのできる半導体センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体圧力センサユニットは、当該センサを取り巻く雰囲気の圧力の変化に応じてひずむステム70と半導体圧力センサ1とを有している。半導体圧力センサ1は、ステム(正確にはステムの薄肉部)70のひずみに応じてひずむゲージ部31と、ゲージ部31の両端に形成されるとともに、当該センサ1外との電気的な接続に供される第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bとを有しており、当該センサ1を取り巻く雰囲気の圧力の変化を、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b間の電気抵抗値の変化として検出する。このゲージ部31は、支持基板、埋め込み絶縁膜、及び半導体層が順次積層されているSOI基板を用いて形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体圧力センサユニットは、当該センサを取り巻く雰囲気の圧力の変化に応じてひずむステム70と半導体圧力センサ1とを有している。半導体圧力センサ1は、ステム(正確にはステムの薄肉部)70のひずみに応じてひずむゲージ部31と、ゲージ部31の両端に形成されるとともに、当該センサ1外との電気的な接続に供される第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bとを有しており、当該センサ1を取り巻く雰囲気の圧力の変化を、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b間の電気抵抗値の変化として検出する。このゲージ部31は、支持基板、埋め込み絶縁膜、及び半導体層が順次積層されているSOI基板を用いて形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体センサ及びその製造方法に関する。
半導体センサとしては、従来、例えば半導体圧力センサとして構成された技術が特許文献1に記載されている。この文献に記載された半導体圧力センサは、高濃度不純物領域からなるゲージ部がイオン注入や熱拡散等を通じて半導体基板の表層部に形成され、例えば検出対象の薄肉部等に配設される。この検出対象の薄肉部に印加された圧力に応じて該薄肉部がひずむと、この薄肉部に配設された半導体基板(ゲージ部)もひずむ。そのひずみに応じてゲージ部の電気抵抗値が変化する。このように、半導体圧力センサは、検出対象に印加される圧力の変化をゲージ部の電気抵抗値の変化として検出する。ちなみに、この従来技術では、ゲージ部は、半導体基板の上表面からおよそ「2μm」までの表層部に形成されており、半導体基板自体は「10〜14μm」の厚さに形成されている。
米国特許第6635910号公報
ところで、こうした従来の半導体圧力センサでは、半導体基板の表層部に対するイオン注入を通じて、高濃度不純物領域からなるゲージ部を形成していた。こうしたイオン注入を通じて形成された不純物領域においては、イオンが注入される深さを正確に制御することが難しいため、イオン注入後、熱拡散を実行することで、不純物領域の濃度の均一化を図っていた。
しかしながら、そうした熱拡散を通じて不純物濃度の均一化を図ったとしても、注入されたイオンの、半導体基板内における拡散態様を制御することは難しく、結局のところ、不純物プロファイルにばらつきが生じてしまうことがある。そして、こうした不純物プロファイルのばらつきは、ゲージ部の電気抵抗値がばらつく原因ともなり、圧力変化の検出感度にばらつきが生じることが懸念される。
なお、こうした状況は、検出対象の薄肉部に印加される圧力の変化をゲージ部の電気抵抗値の変化として検出する半導体圧力センサに限らず、他にも、温度変化に起因する検出対象の体積変化をゲージ部の電気抵抗値の変化として検出することで、検出対象の温度変化を検出する半導体温度センサなど、他の半導体センサにおいても同様に起こり得るものとなっている。
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、物理量変化の検出感度をより高めることのできる半導体センサ及びその製造方法を提供することにある。
こうした目的を達成するため、請求項1あるいは請求項11に記載の発明では、当該半導体センサを取り巻く雰囲気の物理量が作用するように支持されるとともに、この作用する物理量の変化に応じてひずむゲージ部と、前記ゲージ部の異なる箇所に形成されるとともに、当該半導体センサ外との電気的な接続に供される第1及び第2ボンディングパッドとを備え、前記物理量の変化を、前記第1及び第2ボンディングパッド間の電気抵抗値の変化として検出する半導体センサとして、前記ゲージ部は、支持基板、埋め込み絶縁膜、及び半導体層が順次積層されているSOI基板の、半導体層に形成されることとした。
半導体センサとしての上記請求項1に記載の構成、あるいは、上記請求項11に記載の製造方法にて製造された半導体センサの構成では、まず、当該半導体センサを取り巻く雰囲気の物理量がゲージ部に作用し、このゲージ部は、作用した物理量の変化に応じてひずむ。そして、このゲージ部のひずみに応じて、第1及び第2ボンディングパッド間の電気抵抗値が変化するため、電気抵抗値の変化に基づくことで、雰囲気の物理量の変化を検出することができる。
ここで、SOI基板の半導体層に対して、従来技術と同様に、例えばイオン注入及び熱拡散を通じてゲージ部を形成すると、ゲージ部はその不純物濃度が略均一に形成される。詳しくは、SOI基板の半導体層に対して注入されたイオンは、埋め込み絶縁膜を透過して支持基板まで到達することはほとんどなく、深くとも、埋め込み絶縁膜よりも表層側、すなわち、半導体層内に留まる。こうして多数のイオンが半導体層に留まっている状態にて熱拡散されるため、均一な不純物濃度の不純物領域が形成されることとなる。そのため、課題の欄で記載した従来技術とは異なり、半導体層の不純物プロファイルがばらつくことは少なく、ひいては、ゲージ部の電気抵抗値がばらつくことも少ない。したがって、物理量の検出感度にばらつきがほとんど生じなくなり、物理量の検出感度にもばらつきがほとんど生じなくなる。すなわち、SOI基板の半導体層にゲージ部を形成する上記構成及び方法によれば、物理量変化の検出感度をより高めることができるようになる。
もっとも、SOI基板の半導体層に対するイオン注入及び熱拡散に限らず、ゲージ部をSOI基板の半導体層に形成することは可能であり、そうした場合にも、上述の効果と同様の効果を得ることができる。詳しくは、SOI基板は、通常、上表面に埋め込み絶縁膜が形成されたシリコンウエハと、もう1枚のシリコンウエハを熱圧着した後、一方のシリコンウエハを途中まで研削・除去して作製される(いわゆる貼り合わせSOI基板)。また、そうしたシリコンウエハを作製するに先立って、例えば、ピアノ線に吊るしたシリコン単結晶片(種結晶)を多結晶シリコンのシリコン融液に漬けた後、ピアノ線を徐々に巻き挙げることで、シリコンインゴットが作製される(いわゆるチョクラルスキー法)。そうしたシリコン単結晶成長時に不純物を適宜ドーピングすることで、ドーピングされた不純物は、シリコンインゴット内で十分に均一に拡散することができる。こうした均一な不純物濃度を持つシリコンインゴットからSOI基板の半導体層となるシリコンウエハを作製し、上述のように貼り合わせて、SOI基板を作製する。そして、こうしたSOI基板の半導体層にゲージ部を形成する。そのため、課題の欄に記載した従来技術のように、半導体層の不純物プロファイルがばらつくことは少なく、ひいては、ゲージ部の電気抵抗値がばらつくことも少ない。したがって、物理量の検出感度にはばらつきがほとんど生じなくなり、物理量の検出感度にもばらつきがほとんど生じなくなる。すなわち、半導体センサとしての上記構成及び方法によれば、物理量変化の検出感度をより高めることができるようになる。
こうした構成及び方法においては、例えば請求項2あるいは請求項12に記載の発明のように、前記半導体層を、1×10^19〜1×10^21cm−3の不純物濃度に形成することが望ましい。これにより、半導体センサとしての検出精度を高めることができるとともに、温度特性が安定するようになる。
ところで、こうした半導体圧力センサにあっては、ゲージ部の電気抵抗値がほとんどばらつかなくなったとしても、作用した物理量に応じてゲージ部がひずむことができなければ、物理量の変化を正確に捉えることは難しい。詳しくは、課題の欄に記載した従来技術では、半導体基板内部に形成されたゲージ部はおよそ「2μm」の厚さに薄く形成されており、ゲージ部単独での剛性は低いものの、半導体基板自体の厚さはおよそ「10〜14μm」の厚さに厚く形成されており、全体としての剛性は高い。そのため、作用した物理量に応じてひずむことが難しく、ひいては、物理量の変化に対する感度を向上することも難しい。
その点、上記請求項1または2に記載の構成あるいは上記請求項11または12に記載の方法において、例えば請求項3あるいは請求項13に記載の発明では、前記半導体層を、1〜2μmの厚さに形成し、前記SOI基板を、10μmよりも薄く形成することとした。これにより、ゲージ部単独での剛性が低いことはもちろんのこと、半導体センサ全体の剛性も低くなる。すなわち、ゲージ部は作用した物理量に応じてひずむことができるようになり、ひいては、物理量の変化を正確に捉えることができるようになる。したがって、物理量の検出感度をさらに高めることができるようになる。
ゲージ部の形状としては、例えば請求項4あるいは請求項14に記載の発明のように、複数の直線部及び複数の折り返し部から構成される形状である折れ型形状に形成されていることが望ましい。これにより、ゲージ部の電気抵抗値を所望の値に設定しつつも、ゲージ部の占める面積を小さくすることができるようになる。すなわち、半導体センサとしての体格の小型化を図ることができるようになる。
また、上記請求項1〜4あるいは上記請求項11〜14のいずれかに記載の構成あるいは方法において、例えば請求項5あるいは請求項15に記載の発明のように、前記ゲージ部を、電気的な絶縁性を持つ絶縁膜によって覆うこととすれば、電磁ノイズがゲージ部に印加されることを抑制することができるようになる。
ところで、ゲージ部が薄く形成され、剛性が低く形成されると、例えば、当該半導体センサに対して外力が加えられたり、半導体センサを、該半導体センサを支持する支持部材に配設する際に保持力が印加されたりすることに起因して、当該半導体センサ(特にゲージ部)が破壊されてしまうことも懸念される。その点、例えば請求項6あるいは請求項16に記載の発明のように、当該半導体センサを保護するための第1保護膜を絶縁膜上表面に形成することが望ましい。これにより、外力が加えられても第1保護膜によってゲージ部は保護されているため、また、半導体センサを支持部材に配設する際には第1保護膜を把持すればよいため、外力が直接ゲージ部に加えられたり、必要以上に大きな把持力がゲージ部に印加されることは抑制される。したがって、ゲージ部、ひいては、当該半導体センサが破壊されてしまうことを抑制することができる。
また、例えば水滴が当該半導体センサ(特にゲージ部)に付着するようなことがあると、付着した水滴を介してゲージ部の意図しない箇所に電流が流れ、電気抵抗値が変動してしまい、ひいては、物理量の検出感度が変動してしまうこともある。その点、例えば請求項7あるいは請求項17に記載の発明のように、前記第1保護膜と前記絶縁膜との間に、前記ゲージ部を保護するための第2保護膜を形成することとしてもよい。これにより、水滴に起因する物理量の検出感度の変動を抑制することができるようになる。
検出感度のさらなる高感度化を図るためには、上記請求項11〜17のいずれかに記載の方法において、例えば請求項18に記載の発明のように、前記支持基板及び前記埋め込み基板を順次、前記支持基板の裏面側から除去することとしてもよい。あるいは、上記請求項16または17に記載の方法において、例えば請求項19に記載の発明のように、前記第1保護膜の上表面から前記埋め込み絶縁膜の上表面に至る複数の貫通孔を形成し、これら複数の貫通孔を利用したウエットエッチングにより前記埋め込み絶縁膜の一部を除去するとともに、残存した埋め込み絶縁膜と共に前記支持基板をダイシングソーを用いて除去することとしてもよい。またあるいは、上記請求項16または17に記載の方法において、例えば請求項20に記載の発明のように、前記第1保護膜の上表面から前記埋め込み絶縁膜の上表面に至る複数の貫通孔を形成し、これら複数の貫通孔を利用したウエットエッチングにより前記埋め込み絶縁膜を除去することとしてもよい。これにより、支持基板及び埋め込み絶縁膜が割愛された半導体センサが製造され、そうした半導体センサは、半導体センサとしての剛性がより低くなるため、ゲージ部は、作用した物理量に対してより忠実にひずむことができるようになる。ひいては、物理量の変化をより正確に捉えることができるようになる。したがって、物理量の検出感度をさらに高めることができるようになる。
もっとも、例えば金属材料から形成される支持部材によって当該半導体センサが支持されるような場合にあっては、上記請求項11〜17のいずれかに記載の方法において、例えば請求項21に記載の発明のように、支持基板を除去するにとどめることが望ましい。これにより、埋め込み絶縁膜は割愛されることなく残された半導体センサが製造され、ゲージ部と支持部材との電気的な絶縁を確保しつつも、半導体センサの低剛性化を図ることができるようになる。
こうした半導体センサは、単独で使用することももちろん可能であるが、ハーフブリッジ回路やフルブリッジ回路等を構成することで、より高い検出精度にて物理量の検出が可能となる。ただし、ハーフブリッジ回路やフルブリッジ回路を構成する際、ゲージ部の配置ずれが生じると、せっかく高めた検出精度が劣化することが懸念される。
その点、上記請求項8あるいは請求項22に記載の発明のように、直列に配列された複数のゲージ部を、同一のSOI基板の半導体層に形成することが望ましい。これにより、例えばハーフブリッジ回路やフルブリッジ回路などを半導体プロセスを通じて構成することができるため、上述したゲージ部の配置ずれの発生が抑制される。ひいては、高い検出精度を持つ半導体センサが容易に実現されるようになる。
また、例えば請求項9あるいは請求項23に記載の発明のように、前記物理量は、少なくとも当該半導体センサを取り巻く雰囲気の圧力を含み、当該半導体センサは、半導体圧力センサとして構成されることとしてもよい。他にも、例えば請求項10あるいは請求項24に記載の発明のように、前記物理量は、当該半導体センサを取り巻く雰囲気の温度であり、当該半導体センサは、半導体温度センサとして構成されることとしてもよい。
以下、本発明にかかる半導体センサの一実施の形態について、図1〜図3を参照しつつ説明する。なお、図1に、本実施の形態の半導体センサをステムに配設した半導体センサユニット全体の平面構造を示し、図2に、同じく半導体センサユニット全体の側面断面構造を示す。また、図3に、本実施の形態の半導体センサの拡大側面断面図を示す。なお、本実施の形態の半導体センサは、当該半導体センサを取り巻く雰囲気の圧力の変化を検出する半導体圧力センサとして具体化されており、支持基板、埋め込み絶縁膜、及び半導体層が順次積層されているSOI基板を用いて、後述する製造方法を通じて製造される。またさらに、本実施の形態の半導体センサは、図1に示されるように、実際には、2つのゲージ部が直列に配列された一対のゲージ部を有しており、いわゆるハーフブリッジ回路を構成しているが、図2及び図3では、便宜上、ゲージ部を1つだけ有しているものとして図示している。
はじめに、これら図1〜図3を併せ参照して、本実施の形態の半導体圧力センサ1の構成及び機能について説明する。
これら図1〜図3に示されるように、半導体圧力センサ1は、例えばアルミニウム(Al)やアルミニウム合金等の金属材料を用いて有底円筒状に形成されたステム70上表面の略中央に配設されており、SOI基板を構成する埋め込み絶縁膜20上層の半導体層に作製されたゲージ部31を備える。
詳しくは、ゲージ部31は、例えば「1μm」の厚さで薄く形成されるとともに、図1に示すように、複数の直線部32と折り返し部33とからなる折れ型形状に形成されている。ゲージ部31がこのような折れ型形状に形成されるため、ゲージ部31の電気抵抗値を所望の値に設定しつつ、ゲージ部31の薄肉部70bに占める面積を小さくすることができる。すなわち、半導体圧力センサ1としての体格の小型化が図られている。
また、ゲージ部31は、図1〜図3に示されるように、その両端に、当該半導体圧力センサ1外との電気的な接続に供される第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bを有している。これら第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bの上表面にはそれぞれ、例えばアルミニウム(Al)やアルミニウム合金などの金属材料を用いて、第1電極51a及び第2電極51bが形成されている(図3参照)。なお、図2に示されるように、ステム70は、十分な厚さを有して形成されるとともに支持台(支持部材)として機能する筒部70aと、上底部中央に薄く形成されて雰囲気の圧力変化に応じてひずむ薄肉部70bとを有しており、ゲージ部31は、例えば低融点ガラスなどの接着剤80を用いて薄肉部70b上表面に接着された埋め込み絶縁膜20上に形成されている。なお、埋め込み絶縁膜20は、例えば酸化シリコン(SiO2)にて、例えば「1μm」の厚さで形成されており、この埋め込み絶縁膜20が介在することにより、ゲージ部31は、薄肉部70b(ステム70)と電気的に絶縁されている。
また、ゲージ部31は、図3に示されるように、その第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b、直線部32、並びに、直線部32間が、例えば酸化シリコン(SiO2)やBPSG等を用いて、例えば「1μm」の厚さに形成された絶縁膜40によって被覆されている。この絶縁膜40のうち、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bの略中央に位置する箇所には、貫通孔40a及び40bがそれぞれ形成され、これら貫通孔40a及び40bを介して、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bの上表面に接するように、上記第1電極51a及び51bが形成されている。この絶縁膜40により、ゲージ部31の電気的な絶縁性が高められる。また、第1及び第2電極51a及び51bにより、当該半導体圧力センサ1外とゲージ部31との電気的な接続が可能となり、当該半導体圧力センサ1の圧力検出結果を出力することができる。
また、図3に示されるように、当該半導体圧力センサ1を保護するための(第1)保護膜60が、例えばポリイミド等の材料を用いて、例えば「50μm」の厚さをもって、絶縁膜40の上表面に形成されている。また、当該半導体圧力センサ1外との電気的な接続を取るべく、保護膜60のうち、上記第1電極51a及び第2電極51bが位置する箇所には、貫通孔60a及び60bが形成されている。これにより、例えば半導体圧力センサ1に対し外力が加えられても、保護膜60によってゲージ部31は保護されるようになる。また、例えば半導体圧力センサ1をステム70の薄肉部70bに配設する際には、保護膜60を把持すればよいため、必要以上に大きな把持力がゲージ部31に印加されることを抑制することができるようになる。なお、保護膜60の厚さが「50μm」と厚く形成されているため、半導体圧力センサ1全体としての剛性が高められてしまうようにも思われるが、既述したように、保護膜60はポリイミドを用いて形成されているため、剛性は低く、そうした懸念は払拭される。
また、図1に示されるように、既述したように、当該半導体圧力センサ1は、直列に配列されたゲージ部31を2つ有している。こうした一対のゲージ部31は、後述する製造方法において、同一のSOI基板を用いて形成されており、いわゆるハーフブリッジ回路を構成している。こうしたハーフブリッジ回路については一般に知られているため、ここでの詳しい説明を割愛するが、半導体圧力センサ1は、同一のSOI基板を用いて形成されているため、ハーフブリッジ回路を構成する際のゲージ部の配置ずれが生じにくくなり、高い検出精度を有する半導体圧力センサ1を容易に構成することができるようになる。
以上のように構成された半導体圧力センサ1を取り巻く雰囲気の圧力が大きくなると、まず、ステム70の薄肉部70b下表面に印加される圧力が大きくなり、薄肉部70bは、大きくひずむ(変形する)。そして、薄肉部70bが大きくひずむと、この薄肉部70b上表面に配設された半導体圧力センサ1(正確にはゲージ部31)も、このひずみに追従して大きくひずむ(変形する)。このようにゲージ部31が大きくひずむと、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b間の電気抵抗値も大きく変化することとなる。逆に、半導体圧力センサ1を取り巻く雰囲気の圧力が小さくなると、まず、ステム70の薄肉部70b下表面に印加される圧力は小さくなり、薄肉部70bは、ほとんどひずまない(変形しない)。そして、薄肉部70bがほとんどひずまないため、この薄肉部70b上表面に配設されたゲージ部31も、薄肉部70bのひずみに追従してひずまない(変形しない)。このようにゲージ部31がほとんどひずまないため、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b間の電気抵抗値はほとんど変化しないこととなる。このように、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b間の電気抵抗値に基づくことで、当該半導体圧力センサ1を取り巻く雰囲気の圧力の変化を検出することができる。
ところで、既述したように、ゲージ部31は、SOI基板の半導体層30に形成されている。こうしたSOI基板の半導体層30は、その製造過程から、その不純物濃度が略均一であることが多い。以下、その理由を説明する。
SOI基板は、通常、上表面に埋め込み絶縁膜が形成されたシリコンウエハと、もう1枚のシリコンウエハを熱圧着した後、一方のシリコンウエハを途中まで研削・除去して作製される(いわゆる貼り合わせSOI基板)。また、そうしたシリコンウエハを作製するに先立って、例えば、ピアノ線に吊るしたシリコン単結晶片(種結晶)を多結晶シリコンのシリコン融液に漬けた後、ピアノ線を徐々に巻き上げる、いわゆるチョクラルスキー法を通じて、シリコンインゴットが作製される。なお、シリコン単結晶が成長してシリコンインゴットとなるには、長時間を要するため、そうしたシリコン単結晶成長時に不純物を随時ドーピングすることで、ドーピングされた不純物は、シリコンインゴット内で十分に均一に拡散することができる。こうした均一な不純物濃度を持つシリコンインゴットからSOI基板の半導体層となるシリコンウエハを作製し、上述のように貼り合わせて、SOI基板を作製する。そして、こうしたSOI基板の半導体層30にゲージ部31を形成する。そのため、課題の欄に記載した従来技術のように、半導体層30の不純物プロファイルがばらつくことは少なく、ひいては、ゲージ部31の電気抵抗値がばらつくことも少ない。したがって、圧力変化の検出感度にはばらつきがほとんどなくなる。すなわち、圧力変化の検出感度をより高めることができるようになる。
また、たとえ、ゲージ部31の電気抵抗値がほとんどばらつかなくなったとしても、ステム70の薄肉部70bに印加された圧力に応じてひずむステム70の薄肉部70bのひずみに追従してゲージ部31がひずむことができなければ、圧力変化を正確に捉えることは難しい。その点、本実施の形態では、半導体層30(ひいてはゲージ部31)が薄さ「1μm」と薄く形成されており、SOI基板を構成する支持基板は除去されている。そのため、ゲージ部31単独での剛性が低いことはもちろんのこと、半導体圧力センサ1全体での剛性も低くなる。すなわち、薄肉部70bのひずみに追従してゲージ部31もひずむことができるようになり、ひいては、薄肉部70bのひずみを正確に捉えることができるようになる。したがって、雰囲気の圧力変化の検出感度をさらに高めることができるようになる。
以下、上述した半導体圧力センサ1を含む半導体圧力センサユニットを製造する方法について、図4を併せ参照して説明する。なお、図4(a)〜(f)は、そうした半導体圧力センサユニットを製造する方法について、製造プロセスを模式的に示す側面断面図である。
半導体圧力センサ1を製造するにあたっては、まず、図4(a)に示されるように、例えばシリコンからなる支持基板10上表面に、酸化シリコン(SiO2)を用いて形成された埋め込み絶縁膜20を有するSOI基板を準備する。なお、このSOI基板は、既述したチョクラルスキー法及びドーピングを通じて形成されており、半導体層30はおよそ「1μm」の厚さに形成されており、SOI基板はおよそ「8μm」の厚さに形成されている。また、半導体層30の不純物濃度は、ゲージ部31のゲージ率を高めるべく、例えば「1×10^19〜1×10^20(cm−3)」に均一に設定されている。なお、半導体層30(のちにゲージ部31)の不純物濃度については、上記範囲に設定されなくとも、半導体層30全域に渡って均一であればよい。上記範囲に均一に設定されることにより、ゲージ部31のひずみに対する、該ゲージ部31の電気抵抗値の変化が大きくなる。さらに、ゲージ部31の温度変化に対して、該ゲージ部31の電気特性が変化しにくくなる。
SOI基板を準備すると、次に、図4(b)に示されるように、例えばエッチングを通じて、半導体層30をパターニングする。詳しくは、埋め込み絶縁膜20上表面の全面に形成されていた半導体層30のうち、不要な部分をエッチング除去することにより、先の図1〜図3に示したゲージ部31(直線部32、折り返し部33、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34b)を形成する。なお、既述したように、本実施の形態の半導体圧力センサ1では、ゲージ部31を2つ直列に接続した、いわゆるハーフブリッジ回路を構成するため、図4(b)に示すように、半導体層30には、1組のゲージ部31がパターニングされる。
次に、図4(c)に示されるように、例えば酸化シリコン(SiO2)を用いて、例えば「1μm」の厚さにて、ゲージ部31を被覆する絶縁膜40を形成する。詳しくは、ゲージ部31を構成する直線部32、折り返し部33(図示略)、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bの上表面のみならず、これら直線部32間も被覆されるように、絶縁膜40を形成する。このように絶縁膜40を形成することにより、電磁ノイズがゲージ部31に印加されることを抑制することができるようになる。
次に、図4(d)に示されるように、絶縁膜40のうち、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bの略中央に位置する箇所に、貫通孔40a及び40bをそれぞれ形成する。そして、貫通孔40a及び40bを介して、第1及び第2ボンディングパッド34a及び34bの上表面に接するように、例えばアルミニウムやアルミニウム合金等を用いて、第1及び第2電極51a及び51bを形成する。なお、第1及び第2電極51a及び51bの形成材料は、金属材料に限らず、例えばポリシリコンなどの半導体材料を用いて形成してもよい。また、第1及び第2電極51a及び51bの形成方法も、フォトマスクによるパターニング、めっき、インクジェット法、マスク蒸着など、様々な方法を用いることができる。
こうして第1電極51a及び51bが形成されると、次に、図4(e)に示すように、絶縁膜40並びに第1及び第2電極51a及び51bの上表面に、例えばポリイミドなどの材料を用いて、例えば「50μm」の厚さにて、保護膜60を形成する。さらに、当該半導体圧力センサ外とゲージ部31とを電気的に接続できるように、保護膜60のうち、上記第1及び第2電極51a及び51bが位置する箇所に、貫通孔60a及び60bをそれぞれ設ける。このように保護膜60を形成することにより、例えば半導体圧力センサ1に対し外力が加えられても、保護膜60によってゲージ部31は保護されるようになる。また、例えば半導体圧力センサ1をステム70の薄肉部70bに配設する際には、保護膜60を把持すればよいため、必要以上に大きな把持力がゲージ部31に印加されることを抑制することができるようになる。
そして、図4(f)に示すように、例えば機械研磨などを通じて、SOI基板を下表面(裏面)側から徐々に研磨していき、支持基板10を除去する。こうして先の図3に示した半導体圧力センサ1が完成する。また、半導体圧力センサ1の完成後、例えば低融点ガラスからなる接着剤80を用いて、薄肉部70b略中央の所定の位置にゲージ部31を貼り付けることで、先の図1及び図2に示した半導体圧力センサユニットが完成することとなる。
なお、本発明に係る半導体圧力センサ及びその製造方法は、本実施の形態で例示した構成及び方法に限られるものではなく、本実施の形態を適宜変更した例えば次の形態として実施することもできる。
上記実施の形態では、ステム70を形成する材料として、金属材料を採用したため、ゲージ部31の電気的な絶縁を図るべく、埋め込み絶縁膜20をそのまま残していた。しかし、ステム70の形成材料は金属材料に限らない。他に、例えばゴムなどの高い弾性を有する樹脂材料などを用いてステム70を形成してもよい。要は、当該センサを取り巻く雰囲気の圧力変化に伴ってひずむ材料であれば、形成材料については任意である。
上記実施の形態(変形例を含む)では、ステム70を金属材料を用いて形成したため、ゲージ部31の電気的な絶縁を図るべく、埋め込み絶縁膜20をそのまま残していた(図4(f)参照)。しかし、既述したように、ステムの形成材料は任意であるため、埋め込み絶縁膜20は必ずしも必要ではない。すなわち、ゲージ部31の電気的な絶縁が確保される場合にあっては、図4(f)に対応する図として図5に示すように、埋め込み絶縁膜20を残すことなく、除去することとしてもよい。そうした埋め込み絶縁膜20の除去方法としては、例えば機械研磨などを通じて、SOI基板を下表面(裏面)側から徐々に研磨していき、支持基板10及び埋め込み絶縁膜20を除去する方法を採用することができる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、低融点ガラスを接着剤80として採用し、ステム70の薄肉部70bとゲージ部31(正確には埋め込み絶縁膜20)とを接着していた。しかし、既述したように、埋め込み絶縁膜20が割愛された構成にあっては、ステム70の薄肉部70bとゲージ部31とを接着することとしてもよい。なお、そうした接着剤80としては、低融点ガラスに限らず、有機接着剤やポリイミド樹脂、または、銀ペーストなどを用いることもできる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、先の図1等に示すように、雰囲気の圧力変化を高い検出精度で検出すべく、同一のSOI基板を用いて、2つのゲージ部を直列に配列した一対のゲージ部を形成し、いわゆるハーフブリッジ回路を構成していた。こうしたハーフブリッジ回路に限らず、同一のSOI基板を用いて、4つのゲージ部を配列するフルブリッジ回路を構成してもよい。これにより、検出精度をさらに高めることができるようになる。また、検出精度が十分に高いのであれば、こうしたハーフブリッジ回路やフルブリッジ回路を構成しなくともよい。こうした回路を構成しない場合、先の図4(b)に示したような、1枚のSOI基板に対し複数のゲージ部をパターニングする必要はなく、1枚のSOI基板に対し、1つのゲージ部をパターニングすることとしてもよい。あるいは、図6に示すように、1枚のSOI基板に対し複数のゲージ部をパターニングしておき、そうしたSOI基板を例えばダイシングソー90を用いて切断することで、ゲージ部を各別に分離することとしてもよい。
先の図3に対応する図として、図7に示すように、第1及び第2電極51a及び51bを保護する(第2)保護膜41を、保護膜60と絶縁膜40との間に形成することとしてもよい。具体的には、先の図4(d)に示す工程と、図4(e)に示す工程との間に、絶縁膜40上表面並びに第1及び第2電極51a及び51bの上表面及び側面の全面を被覆するように、例えばプラズマCVDを通じて、窒化シリコン(SiN)にて、保護膜41を形成する工程を加えることとしてもよい。これにより、水滴に起因する圧力変化の検出感度の変動を抑制することができるようになる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、ゲージ部31は、電気的な絶縁性を持つ絶縁膜40によって覆われていることとしたが、これに限らず、電磁ノイズがゲージ部31に重畳されても、圧力の検出精度を高く維持することができる、あるいは、電磁ノイズがゲージ部31に重畳されることがほとんどないのであれば、絶縁膜40を割愛した構成としてもよい。また、上記実施の形態(変形例を含む)では、絶縁膜40上表面に、当該センサを保護するための保護膜60が形成されていたが、こうした保護膜60を割愛した構成としてもよい。
上記実施の形態(変形例を含む)では、ゲージ部31を、直線部32と折り返し部33とからなる折れ型に形成したが、これに限らない。他に例えば、図8に示すような渦巻き型や、直線型などを採用することとしてもよい。要は、ゲージ部31の両端に形成する第1及び第2ボンディングパッド間の電気抵抗値を所望の値とすることができ、高い検出感度を維持することができるのであれば、ゲージ部の形状は任意である。
また、上記変形例では、埋め込み絶縁膜20の除去方法として、例えば機械研磨などを通じて、SOI基板を下表面(裏面)側から徐々に研磨していき、支持基板10及び埋め込み絶縁膜20を除去する方法を採用していたが、これに限らない。他に例えば、図9(a)に示すように、例えばエッチング等を通じて、保護膜60の上表面から埋め込み絶縁膜20(図9(a)では図示略)の上表面に至る貫通孔60cを複数形成する。このとき、貫通孔60cは、第1ボンディングパッド34aと直線部32との間、直線部32間や、直線部32と第2ボンディングパッド34aとの間を通過するように形成される。このような貫通孔60cが形成されると、次に、貫通孔60cに所定の薬液を注ぐ。この薬液が貫通孔60cを流れ、ゲージ部31直下の埋め込み絶縁膜20を徐々に溶解することとなる。すなわち、ウエットエッチングを通じて、SOI基板の上表面(表面)側から埋め込み絶縁膜20を除去することができる。なお、こうしたウエットエッチングを通じて埋め込み絶縁膜20を全て除去することにより、支持基板10も除去されるようにしてもよく、図9(a)に示されるように、埋め込み絶縁膜20の一部を残しておき、この残された一部、保護膜60、ゲージ部31、及び、支持基板10をともども、ダイシングソー90で切断することで、ゲージ部を各別に分離してもよい。これにより、図9(b)に示す半導体圧力センサを作製することができる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、半導体層30はおよそ「1μm」の厚さに薄く形成されており、SOI基板はおよそ「8μm」の厚さに形成されていることとしたが、これに限らない。要は、半導体層30の厚さが「1〜2μm」であり、SOI基板の厚さが「10μm」よりも薄く形成されていれば、本発明は同様に有効である。
上記実施の形態(変形例を含む)では、SOI基板を構成する半導体層30の不純物濃度は、既述した製造過程から、例えば「1×10^19〜1×10^20(cm−3)」に、均一に設定されていることとしたが、こうした範囲に設定されなくとも、半導体層30全域に渡って均一であればよい。もっとも、SOI基板の半導体層30にイオン注入及び熱拡散を実行した上で、この半導体層30にゲージ部31を形成したとしても、同様の効果を得ることはできる。詳しくは、半導体層30に対して注入されたイオンは、埋め込み絶縁膜20を透過して支持基板10まで到達することはほとんどなく、深くとも、埋め込み絶縁膜よりも表層側、すなわち、半導体層内に留まる。こうして多数のイオンが半導体層に留まっている状態にて熱拡散されるため、均一な不純物濃度の半導体層が形成されることになる。そのため、半導体層の不純物プロファイルがばらつくことは少なく、ひいては、ゲージ部31の電気抵抗値がばらつくことは少ない。したがって、圧力の検出感度にもばらつきはほとんど生じなくなる。
上記実施の形態(変形例を含む)では、当該センサを取り巻く雰囲気の圧力の変化を検出する半導体圧力センサとして構成していたが、これに限らない。ステム70の薄肉部70bは、当該半導体圧力センサを取り巻く雰囲気の圧力の変化に応じてひずむだけでなく、他に例えば、ステム70の薄肉部70bに印加される荷重の変化に応じてもひずむ。したがって、当該センサに印加される荷重の変化を検出する半導体荷重センサとして構成することとしてもよい。さらに、他にも、当該センサを取り巻く雰囲気の温度の変化を検出する半導体温度センサとして構成してもよい。なお、この場合、半導体層の不純物濃度としては「1×10^19〜1×10^21(cm−3)」に設定することが望ましい。要は、当該センサを取り巻く雰囲気の物理量の変化を、ゲージ部のひずみに起因する電気抵抗値の変化として検出することができれば、検出対象とする物理量は任意である。
1…半導体圧力センサ(半導体センサ)、10…支持基板、20…埋め込み絶縁膜、30…半導体層、31…ゲージ部、32…直線部、33…折り返し部、34a…第1ボンディングパッド、34b…第2ボンディングパッド、40…絶縁膜、40a…貫通孔、50…電極、51a…第1電極、51b…第2電極、60…(第2)保護膜、60a、60b、60c…貫通孔、70…ステム(支持部材)、70a…筒部、70b…薄肉部、80…接着剤、90…ダイシングソー。
Claims (24)
- 当該半導体センサを取り巻く雰囲気の物理量が作用するように支持されるとともに、この作用する物理量の変化に応じてひずむゲージ部と、
前記ゲージ部の異なる箇所に形成されるとともに、当該半導体センサ外との電気的な接続に供される第1及び第2ボンディングパッドとを備え、
前記物理量の変化を、前記第1及び第2ボンディングパッド間の電気抵抗値の変化として検出する半導体センサであって、
前記ゲージ部は、支持基板、埋め込み絶縁膜、及び半導体層が順次積層されているSOI基板の、半導体層に形成されることを特徴とする半導体センサ。 - 前記半導体層は、1×10^19〜1×10^21cm−3の不純物濃度に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体センサ。
- 前記半導体層は、1〜2μmの厚さに形成されており、前記SOI基板は、10μmよりも薄く形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体センサ。
- 前記ゲージ部は、複数の直線部及び複数の折り返し部から構成される形状である折れ型形状に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体センサ。
- 前記ゲージ部は、電気的な絶縁性を持つ絶縁膜によって覆われていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体センサ。
- 前記絶縁膜の上表面には、当該半導体センサを保護するための第1保護膜が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体センサ。
- 前記絶縁膜と前記第1保護膜との間には、前記ゲージ部を保護するための第2保護膜が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体センサ。
- 直列に配列された複数のゲージ部が、同一のSOI基板の半導体層に形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体センサ。
- 前記物理量は、少なくとも当該半導体センサを取り巻く雰囲気の圧力を含み、当該半導体センサは、半導体圧力センサとして構成されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体センサ。
- 前記物理量は、当該半導体センサを取り巻く雰囲気の温度であり、当該半導体センサは、半導体温度センサとして構成されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体センサ。
- 当該半導体センサを取り巻く雰囲気の物理量が作用するように支持されるとともに、作用する物理量の変化に応じてひずむゲージ部と、
前記ゲージ部の異なる箇所に形成されるとともに、当該半導体センサ外との電気的な接続に供される第1及び第2ボンディングパッドとを備え、
前記物理量の変化を、前記第1及び第2ボンディングパッド間の電気抵抗値の変化として検出する半導体センサを製造する方法であって、
前記ゲージ部を、支持基板、埋め込み絶縁膜、及び半導体層が順次積層されているSOI基板の、半導体層に形成することを特徴とする半導体センサの製造方法。 - 前記半導体層を、1×10^19〜1×10^21cm−3の不純物濃度に形成することを特徴とする請求項11に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記半導体層を、1〜2μmの厚さに形成し、前記SOI基板を、10μmよりも薄く形成することを特徴とする請求項11または12に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記ゲージ部を、複数の直線部及び複数の折り返し部から構成される形状である折れ型形状に形成することを特徴とする請求項11〜13のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記ゲージ部を、電気的な絶縁性を持つ絶縁膜によって覆うことを特徴とする請求項11〜14のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記絶縁膜上表面に、当該半導体センサを保護するための第1保護膜を形成することを特徴とする請求項15に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記第1保護膜と前記絶縁膜との間に、前記ゲージ部を保護するための第2保護膜を形成することを特徴とする請求項16に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記支持基板及び前記埋め込み絶縁膜を順次、前記支持基板の裏面側から除去することを特徴とする請求項11〜17のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記第1保護膜の上表面から前記埋め込み絶縁膜の上表面に至る複数の貫通孔を形成し、これら複数の貫通孔を利用したウエットエッチングにより前記埋め込み絶縁膜の一部を除去するとともに、残存した埋め込み絶縁膜と共に前記支持基板をダイシングソーを用いて除去することを特徴とする請求項16または17に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記第1保護膜の上表面から前記埋め込み絶縁膜の上表面に至る複数の貫通孔を形成し、これら複数の貫通孔を利用したウエットエッチングにより前記埋め込み絶縁膜を除去することを特徴とする請求項16または17に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記支持基板を除去することを特徴とする請求項11〜17のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
- 直列に配列された複数のゲージ部を、同一のSOI基板の半導体層に形成することを特徴とする、請求項11〜21のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記物理量を、少なくとも当該半導体センサを取り巻く雰囲気の圧力を含むものとし、当該半導体センサを、半導体圧力センサとして構成することを特徴とする請求項11〜22のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記物理量を、当該半導体センサを取り巻く雰囲気の温度とし、当該半導体センサを、半導体温度センサとして構成することを特徴とする請求項11〜22のいずれか一項に記載の半導体センサの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007031413A JP2008198748A (ja) | 2007-02-12 | 2007-02-12 | 半導体センサ及びその製造方法 |
DE102008000128A DE102008000128B4 (de) | 2007-01-30 | 2008-01-22 | Halbleitersensorvorrichtung und deren Herstellungsverfahren |
US12/010,758 US7644623B2 (en) | 2007-01-30 | 2008-01-29 | Semiconductor sensor for measuring a physical quantity and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007031413A JP2008198748A (ja) | 2007-02-12 | 2007-02-12 | 半導体センサ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008198748A true JP2008198748A (ja) | 2008-08-28 |
Family
ID=39757436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007031413A Pending JP2008198748A (ja) | 2007-01-30 | 2007-02-12 | 半導体センサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008198748A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015219044A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | キヤノン株式会社 | 力覚センサおよび把持装置 |
-
2007
- 2007-02-12 JP JP2007031413A patent/JP2008198748A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015219044A (ja) * | 2014-05-14 | 2015-12-07 | キヤノン株式会社 | 力覚センサおよび把持装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8393223B2 (en) | Pressure sensor with resistance strain gages | |
US8199963B2 (en) | Microphone arrangement and method for production thereof | |
US20030049878A1 (en) | Micromechanical component and corresponding production method | |
JP2015515609A (ja) | カテーテルダイおよびその製造方法 | |
JP2009507658A (ja) | Mems装置及び製造方法 | |
US8148792B2 (en) | Pressure sensor and method for manufacturing the pressure sensor | |
EP2202791B1 (en) | Semiconductor device having deep through vias | |
JP4999356B2 (ja) | 加速度センサ及びその製造方法 | |
JP2007309914A (ja) | 物理量センサの製造方法 | |
US20180340901A1 (en) | Gas sensor platform and the method of making the same | |
JP2011501126A (ja) | 半導体マイクロアネモメータ装置およびファブリケーション方法 | |
JP2016215366A (ja) | 熱的に絶縁される微小電気機械システム(mems)デバイスのモノリシック製作 | |
JP2010199133A (ja) | Memsの製造方法、mems | |
WO2015153938A1 (en) | Membrane-based sensor and method for robust manufacture of a membrane-based sensor | |
EP3534129B1 (en) | Mems device | |
JP2008198748A (ja) | 半導体センサ及びその製造方法 | |
US7737514B1 (en) | MEMS pressure sensor using area-change capacitive technique | |
US8217476B2 (en) | Micromechanical component and method for the manufacture thereof | |
JP2005538568A (ja) | センサ素子を備えた構成部材の製造方法 | |
US11940346B2 (en) | Micromechanical pressure sensor device and a corresponding production method | |
JP2010194622A (ja) | Memsの製造方法 | |
US8387459B2 (en) | MEMS sensor | |
US7321156B2 (en) | Device for capacitive pressure measurement and method for manufacturing a capacitive pressure measuring device | |
JPH11186566A (ja) | 微小装置の製造方法 | |
JPH11103074A (ja) | シリコン基板の陽極化成方法及びそれを利用した加速度センサの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090709 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090728 |