JP5046240B2 - 加速度センサの製造方法 - Google Patents
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Description
11 枠部
12 重錘体
13 ビーム
14 補助重錘体
Claims (1)
- 断面視で矩形状をなす枠状のストッパ、前記ストッパの中心部に設けられた重錘体、前記重錘体と前記ストッパとを接続するものであり、交叉する二直線状をなす4本のビーム、及び前記ビームのうちの2本と前記ストッパの内周面とにより包囲される空間内に遊挿する状態で前記重錘体に連設されており、側面が垂直柱状をなす4つの補助重錘体を有するマイクロ構造体の加速度の作用に基づく機械的変形を、前記マイクロ構造体に形成した抵抗素子の電気抵抗の変化により検出して、加速度の向き及び大きさを検出すべくなしてある加速度センサの製造方法であって、
ビームに対応する所定位置に抵抗素子を形成し、
第1層乃至第3層を有するSOI基板を、前記ストッパ表面を含む第1主面に対して前記マイクロ構造体中心の垂直上方から見たときに、前記4本のビームのそれぞれの長さが同じであり、前記マイクロ構造体の第1主面中心を軸として90度回転させたときの前記垂直上方から見た前記ストッパ、前記重錘体、前記補助重錘体及び前記4本のビームの写像が、元の写像と同じとなるよう第1層から第2層に向けて前記第1層を反応性イオンエッチングして前記重錘体、前記ビーム、及び、前記補助重錘体を途中まで形成し、
前記基板を、前記マイクロ構造体の第1主面の反対側の主面を第2主面としたとき、第1主面と第2主面とは、前記マイクロ構造体中心の垂直上方から見たときに、前記重錘体、前記補助重錘体、及び前記ストッパにおける平面視が同じであり、さらに、前記重錘体及び前記補助重錘体が同一の厚みを有し、前記補助重錘体が揺動した場合に、該補助重錘体が前記ストッパの内周面に抑止されるよう第3層から第2層に向けて前記第3層を反応性イオンエッチングして前記重錘体、及び、前記補助重錘体を途中まで形成し、
前記第2層をエッチングして前記重錘体、前記ビーム、及び、前記補助重錘体をリリースする
ことを特徴とする加速度センサの製造方法。
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