JP5426906B2 - 加速度センサ - Google Patents
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Description
C1=C0−ΔC …(1)
C2=C0+ΔC …(2)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(3)
C4=C0+ΔC …(4)
と表すことができる。
C1=C0+ΔC …(5)
C2=C0−ΔC …(6)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(7)
C4=C0+ΔC …(8)
と表すことができる。
3 フレーム部
3a,3b 枠部
4,5 重り部
4a,5a 可動電極
6a,6b ビーム部
7a,7b ビーム部
20a,21a 第1の固定電極
20b,21b 第2の固定電極
Claims (1)
- 一面に可動電極が設けられた重り部と、重り部の周囲を囲むフレーム部と、フレーム部に対して重り部を回動軸の回りに回動自在に支持する一対のビーム部と、可動電極に対向して配置される固定電極とを備え、
重り部は、ビーム部によって支持される部位の幅が相対的に狭くなる略糸巻き状に形成されるとともに回動軸を挟んで対向する一方側に凹部が形成されており、一対のビーム部は、フレーム部の内周面から突設された突片に一端が連結され、重り部の側面に他端が連結されており、突片の先端が、重り部における前記幅狭の部位周辺の凹所内に進入していることを特徴とする加速度センサ。
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Family Applications (1)
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2009
- 2009-03-10 JP JP2009056950A patent/JP5426906B2/ja active Active
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