JP2010210425A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】重り部4,5は凹部11,13が形成されている側の方が凹部11,13の形成されていない側(充実部12,14)よりも重くなるため、重力加速度のみが印加されている状態において凹部11,13の形成されていない側が相対的に鉛直下方に位置するように重り部4,5が傾いている。そのため、外部から加速度(重力加速度以外の加速度)が印加されたときに重り部4,5が容易に回動する。このとき、重り部4,5が略糸巻き状に形成されているため、重り部4,5とフレーム部3との間に存在する空気の粘性によるエアダンピングの影響が増し、過大な衝撃が印加された場合に重り部4,5の回動に伴ってビーム部6a,6b及び7a,7bに過度の応力がかかることを防いでビーム部6a,6b及び7a,7bを確実に保護することができる。
【選択図】図1
Description
C1=C0−ΔC …(1)
C2=C0+ΔC …(2)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(3)
C4=C0+ΔC …(4)
と表すことができる。
C1=C0+ΔC …(5)
C2=C0−ΔC …(6)
と表すことができる。
C3=C0−ΔC …(7)
C4=C0+ΔC …(8)
と表すことができる。
3 フレーム部
3a,3b 枠部
4,5 重り部
4a,5a 可動電極
6a,6b ビーム部
7a,7b ビーム部
20a,21a 第1の固定電極
20b,21b 第2の固定電極
Claims (1)
- 一面に可動電極が設けられた重り部と、重り部の周囲を囲むフレーム部と、フレーム部に対して重り部を回動軸の回りに回動自在に支持する一対のビーム部と、可動電極に対向して配置される固定電極とを備え、
重り部は、ビーム部によって支持される部位の幅が相対的に狭くなる略糸巻き状に形成されるとともに回動軸を挟んで対向する一方側に凹部が形成されていることを特徴とする加速度センサ。
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