JP2013231616A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】突起部の破損を低減し、信頼性の高い加速度センサを提供する。
【解決手段】平板状の可動電極4と、可動電極4が揺動可能なように、可動電極の対向する辺をそれぞれ支持する一対のビーム部41,42と、可動電極4と離間して配置された上部固定板2と、上部固定板2の、可動電極4と対向する面に設けられた固定電極21,22と、可動電極4の、固定電極21,22と接触する箇所に設けられた突起部6とを備える。可動電極4の、突起部6が配置される配置部61は、厚さが可動電極4よりも薄く形成され、ばね性を有している。
【選択図】図7
【解決手段】平板状の可動電極4と、可動電極4が揺動可能なように、可動電極の対向する辺をそれぞれ支持する一対のビーム部41,42と、可動電極4と離間して配置された上部固定板2と、上部固定板2の、可動電極4と対向する面に設けられた固定電極21,22と、可動電極4の、固定電極21,22と接触する箇所に設けられた突起部6とを備える。可動電極4の、突起部6が配置される配置部61は、厚さが可動電極4よりも薄く形成され、ばね性を有している。
【選択図】図7
Description
本発明は、静電容量の変動から印加された加速度を検出する加速度センサに関する。
半導体製造技術を発展させた微小電気機械システム(MEMS)技術により、ごく微小に製造され、揺動可能に支持された可動電極と、可動電極と離間して配置された固定電極との間の静電容量の変化を検出することにより、印加された加速度を検出する加速度センサが知られている。
加速度センサに過大な加速度が印加されると、可動電極が対向する固定電極に直接衝突して固定電極に貼り付いたり、加速度センサが破損したりする可能性がある。これに対して、可動電極の表面に突起部を設ける技術が提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1のような加速度センサは、更に過大な加速度が印加されることにより、突起部が破損し、加速度センサの信頼性を損なう恐れがある。
本発明は、突起部の破損を低減し、信頼性の高い加速度センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の態様は、平板状の可動電極と、前記可動電極が揺動可能なように、前記可動電極の対向する辺をそれぞれ支持する一対のビーム部と、前記可動電極と離間して配置された上部固定板と、前記上部固定板の、前記可動電極と対向する面に設けられた固定電極と、前記可動電極の、前記固定電極と接触する箇所に設けられた突起部とを備える加速度センサであることを要旨とし、前記可動電極の、前記突起部が配置される配置部は、厚さが前記可動電極よりも薄く形成され、ばね性を有していることを特徴とする。
また、本発明の態様に係る加速度センサにおいては、前記可動電極は矩形平板状であり、前記配置部及び突起部は、少なくとも、前記可動電極の4つの角部近傍に形成されることができる。
また、本発明の態様に係る加速度センサにおいては、前記配置部は、薄く形成されることにより、前記突起部の周囲にばね性を有することができる。
また、本発明の態様に係る加速度センサにおいては、前記配置部は、複数の支持部により前記可動電極に支持されることにより、ばね性を有することができる。 また、本発明の態様に係る加速度センサにおいては、前記配置部は、一対の支持部により前記可動電極に支持されることにより、ばね性を有し、前記一対の支持部を互いに結ぶ直線は、前記一対のビーム部を互いに結ぶ直線と平行であることができる。
また、本発明の態様に係る加速度センサにおいては、前記固定電極の、前記突起部と接触する箇所が、ばね性を有する接触部となっていることができる。
本発明によれば、突起部の破損を低減し、信頼性の高い加速度センサを提供することができる。
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法の関係、各層の厚みの比率等は、現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
また、以下に示す実施の形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
(加速度センサ)
本発明の実施の形態に係る加速度センサは、図1に示すように、センサチップ1と、センサチップ1の上下面とそれぞれ接合することにより、センサチップ1を挟み込んで固定する上部固定板2、下部固定板3とを備える。
本発明の実施の形態に係る加速度センサは、図1に示すように、センサチップ1と、センサチップ1の上下面とそれぞれ接合することにより、センサチップ1を挟み込んで固定する上部固定板2、下部固定板3とを備える。
センサチップ1は、センサチップ1上に並ぶ2つの矩形状の領域をそれぞれ縁取るように形成された、センサチップ1の上面から下面へ貫通する窓部10a,10bと、窓部10a,10bをそれぞれ囲む枠となるフレーム部11とを有する。センサチップ1は、概略として矩形平板状である。
センサチップ1は、窓部10a,10bのそれぞれ内部に、それぞれフレーム部11から離間するように形成された矩形平板状の可動電極4a,4bを備える。可動電極4a,4bは、それぞれ一対のビーム部41a,42a、ビーム部41b,42bによって、フレーム部11と連結されている。可動電極4a,4b、ビーム部41a,42a,41b,42bは、例えば、センサチップ1をなす同一のSOI(Silicon On Insulator)基板から微小電気機械システム(MEMS)技術により形成可能である。MEMS技術は、リソグラフィ、エッチング、成膜等の種々の半導体製造技術と、半導体製造技術を発展させたマイクロマシニング等を含むマイクロデバイス製造技術である。
ビーム部41a,42aは、可動電極4a上面の対向する2辺上に位置し、ビーム部41a,42aがねじれることにより、可動電極4aは、ビーム部41a,42aを互いに結ぶ直線を回転軸として揺動する。同様に、ビーム部41b,42bは、可動電極4b上面の対向する2辺上にそれぞれ位置し、可動電極4bは、ビーム部41b,42bを互いに結ぶ直線を回転軸として揺動する。
図2に示すように、可動電極4aの上面の、ビーム部41a,42aにより二分された2つの矩形の領域の、それぞれ4角近傍には、それぞれ突起部6a-1〜6a-4,6a-5〜6a-8が形成されている。同様に、可動電極4bの上面には、突起部6b-1〜6b-8が形成されている。
センサチップ1は、窓部10a,10bにそれぞれ接続し、それぞれ平面パターンが概略として矩形状の、センサチップ1の上面から下面へ貫通する検出電極窓部50a,50bを有する。検出電極窓部50aの内部には、2つの検出電極部51a,52aが互いに離間して配置される。同様に、検出電極窓部50bの内部には、2つの検出電極部51b,52bが互いに離間して配置される。検出電極部51a,52a,51b,52bは、それぞれ上面の中央部に、それぞれ金属膜からなる検出電極5-1,5-2,5-4,5-5を備える。検出電極部51a,52a,51b,52bは、それぞれフレーム部11、可動電極4a,4bから離間して配置され、上部固定板2及び下部固定板3により上下面を固定される。
センサチップ1の上面の検出電極窓部50a,50bの間には、センサチップ1の外部に配線される接地電極12が設けられ、フレーム部11は接地電極12により接地電位をとる。検出電極部51a,52a,51b,52bは、例えば、それぞれセンサチップ1をなす同一のSOI基板から、MEMS技術により形成可能である。
図3に示すように、可動電極4aは、下面の、ビーム部41a,42aを互いに結ぶ直線を境界線とした一方側に、厚さが可動電極4aの他所よりも薄くなるように形成された凹部(第1凹部)44aを有する。凹部44aは、平面パターン上、4辺に側壁を持つ矩形に形成され、内部に、可動電極4aに対して垂直に設けられた補強壁45aを備える。補強壁45aは、凹部44aの4角において側壁と連結され、平面パターン上、凹部44aの4角の、2本の対角線となっている。
また、可動電極4aは、下面の、ビーム部41a,42aを結ぶ直線を境界線とした他方側に、厚さが可動電極4aの他所よりも薄くなるように形成された凹部(第2凹部)46aが形成されている。凹部46aは、例えば、平面パターン上、ビーム部41a,42aを結ぶ直線近傍に、帯状に形成される。
図4に示すように、凹部46aは、可動電極4aの重心位置Oとビーム部41a,42aを結ぶ直線と、センサチップ1の垂線とがなす角度θが45°になることによって、x方向とz方向の検出感度が等価になる位置に形成されている。凹部46aは、ビーム部41a,42aを結ぶ直線からより遠い側に形成されることにより、可動電極4aの回転モーメントがより大きくなるので、加速度センサの検出感度を高めることができる。なお、凹部44a,46aは、互いに対向する方向に領域を拡大することにより、1つの凹部として形成されてもよい。
可動電極4aは、下面の、ビーム部41a,42aを結ぶ直線を境界線とした凹部46aが形成されている側の矩形の領域の4角近傍に、それぞれ突起部7a-3〜7a-6が形成されている。可動電極4aの下面の、ビーム部41a,42aを結ぶ直線を境界線とした凹部44aが形成されている側には、可動電極4aの2つの頂角近傍に、それぞれ突起部7a-1,7a-2が形成されている。
突起部6a-1〜6a-8,7a-1〜7a-6は、それぞれ、可動電極4aが薄く形成されることによりばね性を有する配置部に配置される。なお、下面の突起部7a-1〜7a-6は、上面の突起部6a-1〜6a-8にそれぞれ対応する位置に設けられた8つの突起部としてもよい。
可動電極4bは、可動電極4aと同様に突起部6b-1〜6b-8,7b-1〜7b-6、凹部44b,46b、補強壁45b等を備えるが、可動電極4bは、可動電極4aと2回(180°)回転対称の配置となっている。すなわち、可動電極4a及び可動電極4bは、フレーム部11の、2つの窓部10a,10bの互いに隣り合う2辺に挟まれる領域の中心を通る、センサチップ1に対する垂線を回転軸(対称の中心)とした2回回転対称のトポロジーを有している。
上部固定板2は、センサチップ1と対向する下面の、可動電極4aと対向する領域に、それぞれ矩形の電極膜である第1固定電極21a及び第2固定電極22aを備える。第1固定電極21a及び第2固定電極22aは、ビーム部41a,42aを互いに結ぶ直線を境界線として、互いに離間して配置されている。同様に、上部固定板2の下面の可動電極4bと対向する領域には、第1固定電極21b及び第2固定電極22bが設けられ、第1固定電極21b及び第2固定電極22bは、ビーム部41b,42bを互いに結ぶ直線を境界線として、互いに離間して配置されている。各固定電極21a,22a,21b,22bは、例えば、アルミニウム(Al)をスパッタ法やCVD法等により上部固定板2に蒸着することにより形成される。
検出電極部51a,52aは、第1固定電極21a及び第2固定電極22aに、検出電極部51b,52bは、第1固定電極21b及び第2固定電極22bにそれぞれ電気的に接続されている。検出電極部51a,52a,51b,52bは、それぞれフレーム部11、可動電極4a,4bから離間しているので、各検出電極部が互いに絶縁され、各検出電極部の寄生容量や、各検出電極部間のクロストークを低減し、高精度な容量検出を行うことができる。
上部固定板2は更に、上面から下面へ貫通する貫通口20-1〜20-5を有し、検出電極5-1,5-2、接地電極12、検出電極5-4,5-5は、それぞれ5つの貫通口20-1〜20-5を介して、外部に露出、配線される。
下部固定板3は、センサチップ1と対向する上面の、可動電極4aと対向する領域に付着防止膜31aを備える。同様に、下部固定板3は、上面の、可動電極4bと対向する領域に付着防止膜31bを備える。
−加速度の検出方法−
本発明の実施の形態に係る加速度センサは、例えば図5に示すように、ASIC200に接続され、印加される加速度の算出に必要な演算を処理する。
本発明の実施の形態に係る加速度センサは、例えば図5に示すように、ASIC200に接続され、印加される加速度の算出に必要な演算を処理する。
以下、図6に示す表を用いて、本発明の実施の形態に係る加速度センサによる加速度の検出方法を説明する。可動電極4aにx方向の加速度が印加された場合、可動電極4aと、固定電極22a,21aとの間の静電容量C1,C2が変化する。ここで、x方向の加速度が印加されていないときの可動電極4aと、固定電極21a,22aとの間の静電容量をC0とし、加速度の印加によって生じる静電容量の変化分をΔCとすれば、x方向の加速度が印加されたときの静電容量C1,C2は、
C1=C0+ΔC …(1)
C2=C0−ΔC …(2)
と表すことができる。
C1=C0+ΔC …(1)
C2=C0−ΔC …(2)
と表すことができる。
同様に、他方の可動電極4bにx方向の加速度が印加された場合、可動電極4bと各固定電極22b,21bとの間の静電容量C3,C4は、
C3=C0+ΔC …(3)
C4=C0−ΔC …(4)
と表すことができる。
C3=C0+ΔC …(3)
C4=C0−ΔC …(4)
と表すことができる。
静電容量C1〜C4の値は、検出電極部52a,51a及び52b,51bから取出す電圧信号を演算処理することで検出することができる。静電容量C1,C2の差分値CA(=C1−C2)と、静電容量C3,C4の差分値CB(=C3−C4)との和(±4ΔC)を算出すれば、この差分値CA,CBの和に基づいて、印加されたx方向の加速度を検出できる。
一方、可動電極4aにz方向の加速度が印加された場合、z方向の加速度が印加されていないときの可動電極4aと、固定電極21a,22aとの間の静電容量をC0とし、加速度の印加によって生じる静電容量の変化分をΔCとする。このとき、z方向の加速度が印加されたときの静電容量C1,C2は、
C1=C0−ΔC …(5)
C2=C0+ΔC …(6)
と表すことができる。
C1=C0−ΔC …(5)
C2=C0+ΔC …(6)
と表すことができる。
同様に、他方の可動電極4bにz方向の加速度が印加された場合、可動電極4bと各固定電極22b,21bとの間の静電容量C3,C4は、
C3=C0+ΔC …(7)
C4=C0−ΔC …(8)
と表すことができる。
C3=C0+ΔC …(7)
C4=C0−ΔC …(8)
と表すことができる。
静電容量C1,C2の差分値CA(=C1−C2)と、静電容量C3,C4の差分値CB(=C3−C4)との差(±4ΔC)を算出すれば、この差分値CA,CBの差に基づいて、印加されたz方向の加速度を検出できる。
−突起部の配置部−
本発明の実施の形態に係る加速度センサが備える可動電極4a,4bの突起部6a-1〜6a-8,6b-1〜6b-8(以下、総称する場合において単に「突起部6」という。)は、図7(a),(b)に示すように、ばね性を有する配置部61に配置される。なお、以下の説明において突起部を、可動電極4の上面に設けられた突起部6として説明するが、下面に設けられた突起部7についても、配置部は、上下を逆転させた同様の構成とすることができる。
本発明の実施の形態に係る加速度センサが備える可動電極4a,4bの突起部6a-1〜6a-8,6b-1〜6b-8(以下、総称する場合において単に「突起部6」という。)は、図7(a),(b)に示すように、ばね性を有する配置部61に配置される。なお、以下の説明において突起部を、可動電極4の上面に設けられた突起部6として説明するが、下面に設けられた突起部7についても、配置部は、上下を逆転させた同様の構成とすることができる。
配置部61は、可動電極4に下面を開口するキャビティ部60が形成されることにより、厚さが可動電極4の他所より薄く形成される。キャビティ部60は、例えば、平面パターンが矩形である。配置部61は、他所より薄く形成されることにより、突起部6の周囲にばね性を有している。この為、突起部6は、本発明の実施の形態に係る加速度センサに過大な加速度が印加され、対向する固定電極21,22に衝突したときに発生する応力を低減して、破損する可能性が低減される。
また、キャビティ部60は、可動電極4の下面を開口する構造である必要はなく、図7(c)に示すように、可動電極4の表面近傍のみを中空構造とするキャビティ部601であってもよい。
また、配置部61は、図8(a),(b)に示すように、複数の支持部62により、可動電極4に支持される構造としてもよい。図8(a)に示すように、配置部61は、矩形の4辺のそれぞれ中央部から外側に延伸する4本の支持部62を介して、可動電極4の表面に連結して支持される。支持部62は、例えば、キャビティ部60から可動電極4の上面に貫通する複数の孔部を形成することにより、その残余部として形成される。また、キャビティ部60は、図8(b)に示すように、可動電極4の下面を開口する構造である必要はなく、図8(c)に示すように、可動電極4の表面近傍のみを中空構造とするキャビティ部601であってもよい。
配置部61は、複数の支持部62に支持されることにより、支持部62の寸法に応じた剛性でばね性を有することができ、突起部6が破損する可能性を低減できる。
また、配置部61は、図9(a),(b)に示すように、一対の支持部63により可動電極4に支持される構造であってもよい。図9(a)に示すように、配置部61は、矩形の対向する2辺のそれぞれ中央部から外側に延伸する一対の支持部63を介して、可動電極4の表面に連結して支持される。一対の支持部63を互いに結ぶ直線は、可動電極4のビーム部41,42を互いに結ぶ直線と平行になっている。
配置部61は、一対の支持部63に支持されることにより、可動電極4が揺動する方向と同じ方向に揺動可能である。よって、突起部6が固定電極21,22に衝突するとき、突起部6の上面全体で接触させることができ、衝突により発生する応力を低減して突起部6が破損する可能性を低減することができる。
また、図10に示すように、固定電極21,22の、可動電極4の突起部に対応する位置が、ばね性を有するようにしてもよい。上部固定板2及び固定電極21,22の、可動電極4の突起部6に対応する位置は、過大な加速度が印加された際に突起部6に接触する
接触部71となっている。
接触部71となっている。
接触部71は、上部固定板2及び固定電極21,22の下面を開口するキャビティ部602に位置し、一対の支持部72により、上部固定板2及び固定電極21,22に連結して支持される。一対の支持部72を互いに結ぶ直線は、可動電極4のビーム部41,42を互いに結ぶ直線と平行になっている。
突起部6が配置される配置部61と、ばね性を有する接触部71とを組み合わせることにより、突起部6の上面全体で接触させることができ、衝突により発生する応力を分散して突起部6が破損する可能性を更に低減することができる。
本発明の実施の形態に係る半導体装置によれば、過大な加速度が印加され、可動電極と固定電極とが接触したときに発生する応力を低減し、突起部の破損を抑制することができ、耐衝撃性、信頼性を向上できる。
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
2 上部固定板
4,4a,4b 可動電極
6,6a,6b,7a 突起部
21,22,21a,22a,21b,22b 固定電極
61 配置部
62,63,72 支持部
71 接触部
4,4a,4b 可動電極
6,6a,6b,7a 突起部
21,22,21a,22a,21b,22b 固定電極
61 配置部
62,63,72 支持部
71 接触部
Claims (6)
- 平板状の可動電極と、
前記可動電極が揺動可能なように、前記可動電極の対向する辺をそれぞれ支持する一対のビーム部と、
前記可動電極と離間して配置された上部固定板と、
前記上部固定板の、前記可動電極と対向する面に設けられた固定電極と、
前記可動電極の、前記固定電極と接触する箇所に設けられた突起部と
を備え、
前記可動電極の、前記突起部が配置される配置部は、厚さが前記可動電極よりも薄く形成され、ばね性を有していることを特徴とする加速度センサ。 - 前記可動電極は矩形平板状であり、
前記配置部及び突起部は、少なくとも、前記可動電極の4つの角部近傍に形成されることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。 - 前記配置部は、薄く形成されることにより、前記突起部の周囲にばね性を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度センサ。
- 前記配置部は、複数の支持部により前記可動電極に支持されることにより、ばね性を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度センサ。
- 前記配置部は、一対の支持部により前記可動電極に支持されることにより、ばね性を有し、
前記一対の支持部を互いに結ぶ直線は、前記一対のビーム部を互いに結ぶ直線と平行であることを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度センサ。 - 前記固定電極の、前記突起部と接触する箇所が、ばね性を有する接触部となっていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の加速度センサ。
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CN103823081A (zh) * | 2014-03-11 | 2014-05-28 | 大连理工大学 | 一种具有双感应阈值的机械式碰撞加速度传感器 |
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