CN1677055A - 惯性传感器 - Google Patents

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Abstract

一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有配重的传感部分，所述配重由从框架处延伸的梁悬挂并且是可运动部分。所述梁包括部分地布置于其中的变形部分，并且所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。所述梁的根部没有形成为以直角与配重或框架相连接。所述梁的根部具有更宽的角度。因此，可分散应力集中在其上的区域，并且在不牺牲传感器的灵敏性情况下增强耐冲击性。根据本发明既可获得高传感器灵敏性又可获得耐冲击性。

Description

惯性传感器
技术领域
本发明通常涉及诸如加速度传感器和陀螺仪传感器的惯性传感器，更具体地涉及一种具有优异灵敏性和耐冲击性的惯性传感器。
背景技术
这些年来，由于在应用MEMS(微型机电系统)技术的精密加工技术方面的进步，使得诸如加速度传感器和陀螺仪传感器的惯性传感器可同时实现小型化、高性能以及低价格。在这种背景下，出于汽车导航、自动气囊控制、避免照相机或可携式摄像机晃动、机器人姿势控制、游戏的姿态输入识别以及检测HDD的转动及施加于HDD上的振动的目的，期望将作为MEMS装置的惯性传感器安装在用于感测运动的每种装置上。要求安装在上述装置上的惯性传感器具有较高的灵敏性。
图1A和1B示出了具有基本结构的普通惯性传感器的主要元件，其中配重为可运动部分并且用梁悬挂。图1A是传感部分的立体图。图1B是传感部分的顶视图。在图1A和图1B中，惯性传感器包括衬底10、压电电阻器11、配重12、多个梁13以及框架14。衬底10用于形成惯性传感器的传感部分。压电电阻器11结合在衬底10中。配重12为传感部分的可运动部分。多个梁设置为支撑配重12的运动。框架14保持配重12和梁13。W是梁13的宽度，T是梁13的厚度，而L是梁13的长度。当作为可运动部分的配重12运动时，所述运动变为扭转或扭曲并且改变设置在梁13上的压电电阻器11的电阻值。获得如此改变的电阻值作为惠斯登电桥电路中的输出电信号。
意外的大冲击有时会施加在用于检测运动的装置上。因此，存在大冲击施加于安装在上述装置上的惯性传感器上的可能性。通用惯性传感器具有包括配重的基本结构，所述配重为通过梁悬挂的可运动部分。在大冲击意外施加于装置上的情况下存在这样一个公知问题，即，所述梁明显变形或损坏并且所述装置不能再用作传感器，如日本专利申请公开No.2000-187041(在下文中称之为文献1)中所述。例如，如果汽车变形或倾翻，则在正常驾驶期间从来不会发生的大冲击将可能会施加于用于汽车(例如，车辆气囊)的惯性传感器上。如果运动装置被错误地停止，则可容易地想像出所述大冲击。如果使用者动作粗暴地操纵游戏用的游戏操作台，则极大的冲击将施加于游戏操作台上。我们认为上述意外的没有预料到的冲击为3000G或5000G，从而要求安装在上述装置上的惯性传感器具有高耐冲击性。
为了提高具有图1中所示的普通结构的惯性传感器的灵敏性，可以考虑使得梁13的宽度W更窄、厚度T更薄、长度L更长，或者使得配重12更重。然而，通常，传感器灵敏性与耐冲击性之间具有成反比的关系。因此，在通过上述方法提高传感器灵敏性的情况下，会不可避免地降低耐冲击性。与之相反，在梁13的形状和配重12的重量设计成提高传感器耐冲击性的情况下，就降低了传感器的灵敏性。如此说来，存在不能同时获得惯性传感器的高灵敏性和耐冲击性的问题。
发明内容
考虑到上述情况作出了本发明，且本发明的基本目的是提供一种具有梁的惯性传感器，通过该惯性传感器可同时获得高灵敏性和耐冲击性。
根据本发明的一个方面，优选地，提供了这样一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有配重的传感部分，所述配重由从框架处延伸的梁悬挂并且是可运动部分。所述梁包括部分地布置于其中的变形部分，并且所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。
根据本发明的另一方面，优选地，提供了这样一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有由梁悬挂的配重的传感部分，所述配重为可运动部分。所述梁在其边缘中具有给定区域，所述给定区域具有比直角宽的角度。
根据本发明，诸如凸状部分、孔或窄宽度部分的变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。所述变形部分被适当地设置。因此，可在不降低传感器的耐冲击性的情况下增强传感器的灵敏性。
另外，根据本发明，所述梁的根部没有被形成为以直角与配重或框架相连接。所述梁的根部具有更宽的角度。因此，可分散应力集中在其上的区域，并且在不牺牲传感器的灵敏性情况下增强耐冲击性。根据本发明既可获得高传感器灵敏性，又可获得耐冲击性。
附图说明
下面将参照附图详细地描述本发明的优选实施例，其中：
图1A和1B示出了具有基本结构的普通惯性传感器的主要元件，其中配重为可运动部分并且用梁悬挂；
图1A是传感部分的立体图；
图1B是传感部分的顶视图；
图2A和2B示出了当冲击施加于惯性传感器上时所述梁是如何变形的；
图2A是在沿x方向施加冲击的情况下的传感部分的立体图；
图2B是在沿z方向施加冲击的情况下的传感部分的立体图；
图3A到3C示出了设在根据本发明的惯性传感器的传感部分中的梁上的孔；
图3A是传感部分的立体图；
图3B是所述梁周围的顶视图，示出了所述梁上的孔；
图3C是具有窄宽度部分的梁周围的顶视图；
图4A到4D示出了所述梁中的根部的形状；
图4A是第一示例；
图4B是第二示例；
图4C示出了常规根部形状；
图4D示出了具有窄宽度部分的根部形状；
图5示出了设在所述梁中的具有锥形C的根部形状和具有圆形R的孔；
图6A到6G示出了梁形状的示例；
图7A到7C示出了包含在根据本发明的惯性传感器中的配重止动件的示例；以及
图8是具有设在包装的盖罩上和包装的底表面上的配重止动件的惯性传感器的横截面图。
具体实施方式
下面将参照附图给出本发明实施例的描述。
根据本发明的惯性传感器中的传感部分具有与图1中所示的相同的结构。通过MEMS技术将所述传感部分结合在硅衬底中。该传感部分安装在固定元件(例如，玻璃衬底)上，并且气密地密封于包装中以用作一装置。
(第一实施例)
为了提高惯性传感器的灵敏性，将梁宽度制造得较小、厚度较薄、长度较长、并且配重的重量较重。另外，所述梁构成为具有孔以使得所述梁可容易地变形。然而，所述梁由于冲击而变形，并且应力没有均匀地分布。如果所述孔设在应力集中于其上的部分上，则会降低所述梁的机械强度。因此，变形部分设在根据本发明的惯性传感器的传感部分的梁中。变形部分(例如，被构成为较薄的凹入部分)被有效并适当地布置，因此，可同时获得高灵敏性和耐冲击性。
首先给出在施加冲击时梁中所产生应力的描述。当所述冲击施加于传感部分时，由于冲击使得所述梁大大变形并且在所述梁内部产生应力。
图2A和2B示出了当冲击施加于惯性传感器上时所述梁是如何变形的。图2A是在沿x方向施加冲击的情况下的传感部分的立体图。图2B是在沿z方向施加冲击的情况下的传感部分的立体图。在沿x方向施加冲击的情况下，配重12绕着作为轴线的梁13y摆动，并且沿x方向延伸的梁13x明显弯曲。这里，在梁13x中，布置在框架14侧上的根部R1和R4以及布置在配重12侧上的根部R2和R3更明显地弯曲，并且应力集中在那些根部上。在沿z方向施加冲击的情况下，所有四个梁13都弯曲。布置在框架14侧上的根部R1和R4以及布置在配重12侧上的根部R2和R3最明显地弯曲，并且应力集中在那些根部上。
如上所述，在从外部施加冲击的情况下，应力集中在梁13的根部上。梁13的根部易于被所述冲击折断。因此，根据本发明的惯性传感器包括变形部分，所述变形部分布置成避开应力集中于其上的区域。变形部分(例如，凹入部分)构成为在梁厚度方面局部较薄。在凹入部分设为变形部分的情况下，凹入部分的厚度如此确定，即，考虑包括梁的长度和宽度、待获得的耐冲击性以及凹入部分的宽度在内的条件。可在梁上设置孔。下面将给出孔设在梁中的情况的描述。
图3A到3C示出了设在根据本发明的惯性传感器的传感部分中的梁中的孔。图3A是传感部分的立体图。图3B是所述梁周围的顶视图，示出了所述梁上的孔。梁13设在配重12和框架14之间。孔15布置成避开梁13的根部。因此，在不降低应力集中于其上的所述梁的机械强度的情况下可使得梁13变形。这可在不降低耐冲击性的情况下增强传感器性能。
上述孔设置为避开在梁13的总长度L上具有深度d的根部。优选地，相对于梁13的中心线A-A和B-B对称地布置孔15。还优选地，考虑到增强传感器的灵敏性，可将宽度d构成为尽可能地小。考虑到所需的耐冲击性而可将宽度d确定为尽可能地小。布置在图3A中的六个孔示出了布置的一个示例。可在考虑与设在梁13中的连接线路(interconnection)等之间的关系的情况下，进行孔的数量和形状的设计并进行优化。
本发明人进行确定试验并且确定出，与具有带有和不带有上述孔的传感部分的惯性传感器相比较，上述孔能够提高传感器灵敏性大约两倍，并且具有或者不具有所述孔在耐冲击性上没有差异。尤其比较了用于检测应力变化的压电加速度传感器。因此，在不降低耐冲击性的情况下可获得高灵敏性。如图3C中所示，例如，在另外设置窄宽度部分15’或者窄宽度部分15’与所述梁中的孔一起设置的情况下，窄宽度部分15’可相对于沿梁13的中心延伸的方向对称地设置并且相对于沿梁13的中心延伸的纵向以及垂直于纵向方向的另一个方向对称，以避开应力集中于其上的边缘。当加速度沿x轴方向施加时，由于具有窄宽度部分15’，使得所述梁易于沿y轴方向变形。因此，可增强灵敏性。
(第二实施例)
已给出了与常规传感部分的根部相同的传感部分的根部的描述。由于耐冲击性的提高，需要以确实的方式增强所述梁的机械强度。根据本发明的第二实施例，传感部分中应力集中于其上的根部(边缘)的形状构成为用于提高传感器的耐冲击性。
图4A到4D示出了所述梁中的根部的形状。图4A是所述根部的第一示例。图4B是第二示例。图4C示出了常规形状。常规梁具有在配重12和框架14之间直角的根部形状，如本发明第一实施例的图3B中所示。然而，根据本发明的第二实施例，通过布置图4A中所示的锥形或者通过形成图4B中所示的成圆形的根部，而不是直角，梁13构成为具有比直角宽的角度。通过设置如上所述的根部形状，可分散应力集中于其上的区域从而可增强耐冲击性。
在如图4A中所示的根部具有比直角宽的角度的情况下，可增强耐冲击性。在如图4B中所示的根部被成圆形地形成为具有圆形形状的情况下，可更有效地提高耐冲击性。
参照图5，在根部具有锥形C(这里，C为50μm)并且梁具有孔R(这里，R为20μm)的情况下是更有效的。
可独立于通过在所述梁中布置孔所获得的传感器灵敏性的提高效果，而获得耐冲击性中的提高效果。因此显然，在没有在梁中设置孔并且根部在其轮廓中的形状具有小于直角的角度的情况下，可提高耐冲击性。在如图4D中所示的另外设置窄宽度部分15’或者与所述梁孔一起设置窄宽度部分15’的情况下，也可获得上述效果。
(第三实施例)
图6A到6G示出了包含在根据本发明的惯性传感器中的梁形状的示例。孔15设置为相对于沿梁13的中心延伸的纵向方向和垂直于沿梁13的中心延伸的纵向方向的另一个方向对称。压电电阻器11以避开孔15的方式布置在梁13上。框架14包括电极21和连接线路22。压电电阻器11与电极21以及连接线路22相连接，并且向惠斯登电桥电路(未示出)输出由于配重12的运动所导致的电阻值变化。
(第四实施例)
根据本发明的第四实施例，提供了配重止动件，用以限制配重在传感部分中的可运动范围，从而增强具有根据本发明第一到第三实施例的梁的惯性传感器的耐冲击性。
图7A到7C示出了包含在根据本发明第四实施例的惯性传感器中的配重止动件16。配重止动件16是通过MEMS技术加工的，并且以一定间隙布置在传感部分附近。在设置了配重止动件16的情况下，如果配重12过度运动得大于相当于预定传感范围的变化量，则配重止动件16就能够阻止配重12的运动。这可避免作为传感器的梁13出故障的问题。所述问题是由于意外的大冲击所导致的。
图8是具有设在包装的盖罩19上和包装的底表面上的配重止动件的惯性传感器的横截面图。使用粘合剂将传感部分17连接于包装18的底表面上。盖罩19安装在包装18上。配重止动件16设在包装的盖罩19上和包装的底表面上。
配重12的传感部分的顶表面和底表面可具有平表面，然而，其上可具有突起。在设置有突起的情况下，有效间隙是在突起的顶端表面与面对突起的配重止动件表面之间的间隙。因此，甚至在配重和配重止动件之间的距离设置为相对较大的情况下，也存在可提高耐冲击性的这样的优点。与之相反，也可将突起设置在面对配重的配重止动件上。
另外，狭窄地布置在配重止动件和传感部分(配重)之间的间隙，可增强耐冲击性。然而，配重的可运动范围变窄并且传感器的动态范围变窄。与之相反，在较宽地布置间隙的情况下，配重的可运动范围变宽并且传感器的动态范围变宽。然而，如果动态范围变得太宽，则配重止动件就不能有效地发挥作用，并且也不能获得期望的耐冲击性。因此，包含在根据本发明的惯性传感器中的传感部分与配重止动件之间的间隙被确定为满足传感器的动态范围和期望的耐冲击性。优选地，将所述间隙布置得尽可能地窄。这是因为如果间隙布置得超过需要，则在配重止动件限制运动之前意外的冲击会导致配重明显加速。当撞击配重止动件时，配重可能被损坏。
根据本发明，可在不降低传感器的耐冲击性的情况下增强传感器的灵敏性。也可在不牺牲传感器灵敏性的情况下，增强耐冲击性。因此，可同时获得高灵敏性和传感器的耐冲击性。
本发明并不限于上述实施例，并且在不脱离本发明的范围的情况下可作出其它实施例、改变和修正。
本发明基于2004年3月30日申请的日本专利申请No.2004-099250，通过引用将所述专利申请的全部内容结合于此。

Claims (10)

1.一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有配重的传感部分，所述配重由从框架处延伸的梁悬挂并且是可运动部分，
其中：所述梁包括部分地布置于其中的变形部分；并且
所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。
2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述变形部分具有部分凹入的形状。
3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述变形部分包括形成在所述梁中的孔。
4.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述变形部分为布置在所述梁的给定区域中的窄宽度部分。
5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，每个梁中的所述变形部分相对于沿所述梁的中心延伸的纵向方向和垂直于所述纵向方向的另一方向对称地布置。
6.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，还包括配重止动件，该配重止动件设置在所述传感部分的附近，用以将配重的可运动范围限制在给定范围内。
7.一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有由梁悬挂的配重的传感部分，所述配重为可运动部分，
其中，所述梁在其边缘中具有给定区域，所述给定区域具有比直角宽的角度。
8.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁的边缘形成了弯曲轮廓。
9.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于：
所述梁包括部分地布置于其中的变形部分；并且
所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。
10.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，还包括配重止动件，该配重止动件设置在传感部分的附近，用以将配重的可运动范围限制在给定范围内。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101239698B (zh) * 2007-01-19 2012-08-08 意法半导体股份有限公司 具有改进的止动结构的z轴微机电装置
CN104838275A (zh) * 2012-12-13 2015-08-12 株式会社村田制作所 角加速度传感器以及加速度传感器
CN104838274A (zh) * 2012-12-13 2015-08-12 株式会社村田制作所 角加速度传感器以及加速度传感器
CN108692745A (zh) * 2017-04-05 2018-10-23 精工爱普生株式会社 物理量传感器、电子设备以及移动体
CN110959111A (zh) * 2017-07-28 2020-04-03 京瓷株式会社 传感器元件

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4702942B2 (ja) * 2005-10-14 2011-06-15 Ｎｅｃトーキン株式会社 振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ
JP2007248147A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Oki Electric Ind Co Ltd 加速度センサの構造及びその製造方法
JP4999356B2 (ja) * 2006-05-10 2012-08-15 ラピスセミコンダクタ株式会社 加速度センサ及びその製造方法
JP2007322188A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Oki Electric Ind Co Ltd Ｍｅｍｓデバイス
JP5205725B2 (ja) * 2006-08-21 2013-06-05 パナソニック株式会社 角速度センサ
WO2008023566A1 (fr) * 2006-08-21 2008-02-28 Panasonic Corporation Capteur de vitesse angulaire
JP5081692B2 (ja) * 2008-03-31 2012-11-28 アルプス電気株式会社 物理量センサ
JP5146097B2 (ja) * 2008-05-15 2013-02-20 ヤマハ株式会社 Ｍｅｍｓ
JP2010210424A (ja) * 2009-03-10 2010-09-24 Panasonic Electric Works Co Ltd 加速度センサ
WO2011093077A1 (ja) * 2010-01-29 2011-08-04 パナソニック株式会社 角速度センサ
US9021880B2 (en) * 2010-04-30 2015-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Micromachined piezoelectric three-axis gyroscope and stacked lateral overlap transducer (slot) based three-axis accelerometer
JP2011237390A (ja) * 2010-05-13 2011-11-24 Gunma Univ 加速度センサ
JP5884603B2 (ja) 2012-03-30 2016-03-15 株式会社デンソー ロールオーバージャイロセンサ
WO2014077298A1 (ja) * 2012-11-19 2014-05-22 株式会社村田製作所 角加速度センサ
TWI497079B (zh) * 2013-09-10 2015-08-21 Globalmems Co Ltd 具有耐摔保護功能的可動裝置
JP6384038B2 (ja) * 2013-10-28 2018-09-05 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子機器および移動体
US20160273917A1 (en) * 2013-11-22 2016-09-22 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Angular velocity sensor element and angular velocity sensor
EP3121561B1 (en) * 2014-03-20 2019-06-26 KYOCERA Corporation Sensor
WO2017204057A1 (ja) * 2016-05-26 2017-11-30 ソニー株式会社 ジャイロセンサ及び電子機器
DE102017213802A1 (de) * 2017-08-08 2019-02-14 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor, Verfahren zur Herstellung eines Drehratensensors
JP6420442B1 (ja) * 2017-10-16 2018-11-07 株式会社ワコー 発電素子

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4600934A (en) * 1984-01-06 1986-07-15 Harry E. Aine Method of undercut anisotropic etching of semiconductor material
US5121180A (en) * 1991-06-21 1992-06-09 Texas Instruments Incorporated Accelerometer with central mass in support
US5507182A (en) * 1993-02-18 1996-04-16 Nippondenso Co., Ltd. Semiconductor accelerometer with damperless structure
JP2940643B2 (ja) * 1995-09-01 1999-08-25 インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン 振れセンサを組み込んだカンチレバー
US6293149B1 (en) * 1997-02-21 2001-09-25 Matsushita Electric Works, Ltd. Acceleration sensor element and method of its manufacture
US6175437B1 (en) * 1998-12-18 2001-01-16 Electric Power Research Institute, Inc. Apparatus and method for high bandwidth laser-based data communication
US6327068B1 (en) * 1998-05-27 2001-12-04 Yeda Research And Development Co. Ltd. Adaptive pulse compressor
JP4216525B2 (ja) * 2002-05-13 2009-01-28 株式会社ワコー 加速度センサおよびその製造方法
EP1491901A1 (en) * 2003-06-25 2004-12-29 Matsushita Electric Works, Ltd. Semiconductor acceleration sensor and method of manufacturing the same
JP4416460B2 (ja) * 2003-09-16 2010-02-17 トレックス・セミコンダクター株式会社 加速度センサー
JP2005283393A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Fujitsu Media Device Kk 慣性センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101239698B (zh) * 2007-01-19 2012-08-08 意法半导体股份有限公司 具有改进的止动结构的z轴微机电装置
CN104838275A (zh) * 2012-12-13 2015-08-12 株式会社村田制作所 角加速度传感器以及加速度传感器
CN104838274A (zh) * 2012-12-13 2015-08-12 株式会社村田制作所 角加速度传感器以及加速度传感器
CN108692745A (zh) * 2017-04-05 2018-10-23 精工爱普生株式会社 物理量传感器、电子设备以及移动体
CN110959111A (zh) * 2017-07-28 2020-04-03 京瓷株式会社 传感器元件

Also Published As

Publication number Publication date
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