JP2015087126A - 振動素子、振動子、電子機器および移動体 - Google Patents
振動素子、振動子、電子機器および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015087126A JP2015087126A JP2013223560A JP2013223560A JP2015087126A JP 2015087126 A JP2015087126 A JP 2015087126A JP 2013223560 A JP2013223560 A JP 2013223560A JP 2013223560 A JP2013223560 A JP 2013223560A JP 2015087126 A JP2015087126 A JP 2015087126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- axis direction
- vibration element
- extending
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 158
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 20
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 9
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 9
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 8
- 241000251131 Sphyrna Species 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
[適用例1]
本適用例の振動素子は、振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部と前記支持部とを連結する梁と、を有し、
前記梁は、
第1軸に沿って往復し第2軸に沿った方向に向かって延在している第1屈曲部と、
前記第2軸に沿って往復し前記第1軸に沿った方向に向かって延在している第2屈曲部と、を有することを特徴とする。
これにより、第1軸に沿った方向の衝撃(振動)を第1屈曲部で緩和・吸収でき、第2軸に沿った方向の衝撃(振動)を第2屈曲部で緩和・吸収することができる。そのため、機械的強度(耐衝撃性)に優れる振動素子となる。
本適用例の振動素子では、前記振動部は、基部と、
前記基部から前記第1軸に沿った方向に延在する検出腕と、
前記基部から前記第2軸に沿った方向に延在する連結腕と、
前記連結腕から前記第1軸に沿った方向に延在する駆動腕と、を有していることが好ましい。
これにより、振動素子を、角速度を検知するための角速度検知素子として利用することができる。
本適用例の振動素子では、前記第1屈曲部は、前記第1軸に沿った方向に延在する延在部と、前記第2軸に沿った方向に延在する延在部とが交互に配置されている部分を有していることが好ましい。
これにより、第1屈曲部の構成が簡単なものとなる。
本適用例の振動素子では、前記第1屈曲部の一部が前記第2屈曲部の一部であることが好ましい。
これにより、梁の全長が過度に長くならず、振動素子の大型化を抑えることができる。
[適用例5]
本適用例の振動素子では、前記梁の前記支持部側の端部の幅は、前記振動部側の端部の幅よりも広いことが好ましい。
梁と支持部との境界部は応力が集中し易い部位であるため、梁の支持部側の端部の幅を振動部側の端部の幅よりも広くすることで、振動素子の強度を効果的に高めることができる。また、梁全体を太くする場合と比較して振動素子の大型化を抑制することができる。
本適用例の振動素子では、前記梁は、前記第1屈曲部および前記第2屈曲部の少なくとも一方を複数有していることが好ましい。
これにより、耐衝撃性がより向上する。
[適用例7]
本適用例の振動子は、本適用例の振動素子と、
前記振動素子を収納したパッケージと、を備えていることを特徴とする。
これにより、機械的強度に優れ、信頼性の高い振動素子が得られる。
本適用例の電子機器は、本適用例の振動素子を備えたことを特徴とする。
これにより、機械的強度に優れ、信頼性の高い電子機器が得られる。
[適用例9]
本適用例の移動体は、本適用例の振動素子を備えたことを特徴とする。
これにより、機械的強度に優れ、信頼性の高い移動体が得られる。
1.振動素子
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動素子を示す平面図である。図2は、図1に示す振動素子が有する梁を示す平面図である。図3は、図1に示す振動素子が有する電極を示す平面図である。図4は、図1に示す振動素子が有する電極を示す平面図(透過図)である。図5は、図1に示す振動素子の動作を説明する図である。なお、図1および図2では、説明の便宜上、電極の図示を省略している。また、図2では、さらに、検出腕、連結腕および駆動腕の図示を省略している。また、以下では、説明の便宜上、X軸に沿った方向を「X軸方向」とも言い、Y軸に沿った方向を「Y軸方向」とも言う。
図1および図2に示す振動素子1は、角速度検出素子として用いられるものである。このような振動素子1は、圧電基板2と、圧電基板2の表面に形成された電極とを有している。
圧電基板2の構成材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料が挙げられる。これらの中でも、圧電基板2の構成材料としては、水晶を用いることが好ましい。水晶を用いることで、他の材料と比較して優れた周波数温度特性を有する振動素子1が得られる。なお、以下では、圧電基板2を水晶で構成した場合について説明する。
第1梁261は、第1検出腕221と第1駆動腕241との間を通って基部21と第1支持部251とを連結している。また、第2梁262は、第2検出腕222と第2駆動腕242との間を通って基部21と第2支持部252とを連結している。また、第3梁263は、第1検出腕221と第3駆動腕243との間を通って基部21と第1支持部251とを連結している。また、第4梁264は、第2検出腕222と第4駆動腕244との間を通って基部21と第2支持部252とを連結している。これら梁261、262、263、264は、重心Gに関して点対称に配置されている。
以上、圧電基板2の構成について簡単に説明した。
図2に示すように、第1梁261は、Y軸方向に沿って往復しX軸に沿った方向に向かって延在している第1屈曲部261Aと、X軸方向に沿って往復しY軸に沿った方向に向かって延在している第2屈曲部261Bと、を有している。
これら梁261、262、263、264は、互いに同様の構成であるため、以下では、第1梁261の構成について代表して説明し、第2、第3、第4梁262、623、264の構成については、その説明を省略する。
このような形状の第1梁261では、第1屈曲部261Aは、第1延在部2611と、第2延在部2612と、第3延在部2613と、第4延在部2614と、第5延在部2615と、で構成されている。すなわち、第1屈曲部261Aは、Y軸方向に延在する延在部と、X軸方向に延在する延在部とが交互に配置された構成となっている。これにより、第1屈曲部261Aの構成が簡単となる。また、第1検出腕221と第1駆動腕241との間のスペースを有効活用することができ、第1屈曲部261Aの全長をより長くすることができる。
以上のように、振動素子1によれば、梁261、262、263、264によって、X軸方向、Y軸方向およびこれらの合成方向(すなわち、XY平面の面内方向)の衝撃を効果的に緩和・吸収することができるため、衝撃の方向によらず、優れた機械的強度を発揮することができる。
圧電基板2の表面には、電極が形成されている。
図3および図4に示すように、電極は、検出信号電極311と、検出信号端子312と、検出接地電極321と、検出接地端子322と、駆動信号電極331と、駆動信号端子332と、駆動接地電極341と、駆動接地端子342とを有している。なお、図3および図4では、説明の便宜上、検出信号電極311および検出信号端子312、検出接地電極321および検出接地端子322、駆動信号電極331および駆動信号端子332、駆動接地電極341および駆動接地端子342を、それぞれ、異なるハッチングで図示している。また、圧電基板2の側面に形成されている電極、配線、端子を太線で図示している。
検出信号端子312は、第1、第2支持部251、252の右側端部に形成されている。第1支持部251に形成された検出信号端子312は、第1梁261に形成された検出信号配線を介して、第1検出腕221に形成された検出信号電極311と電気的に接続されている。一方、第2支持部252に形成された検出信号端子312は、第2梁262に形成された検出信号配線を介して、第2検出腕222に形成された検出信号電極311と電気的に接続されている。
また、駆動信号端子332は、第2支持部252の左端部に形成されている。駆動信号端子332は、第4梁264に形成された駆動信号配線を介して、第1、第2、第3、第4駆動腕241、242、243、244に形成された駆動信号電極331と電気的に接続されている。
このように駆動信号電極331、駆動信号端子332、駆動接地電極341、駆動接地端子342を配置することで、駆動信号端子332と駆動接地端子342との間に駆動信号を印加することで、第1、第2、第3、第4駆動腕241、242、243、244に形成された駆動信号電極331と駆動接地電極341との間に電界を生じさせ、各駆動腕241、242、243、244を駆動振動させることができる。
以上、振動素子1の構成について説明した。
振動素子1に角速度が加わらない状態において、駆動信号端子332と駆動接地端子342との間に電圧(交番電圧)を印加することで駆動信号電極331と駆動接地電極341との間に電界が生じると、図5(a)に示すように、各駆動腕241、242、243、244が矢印Aに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第1、第2駆動腕241、242と第3、第4駆動腕243、244とが振動素子1の重心Gを通るYZ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部21、第1、第2検出腕221、222および第1、第2連結腕231、232は、ほとんど振動しない。
図6は、本発明の第2実施形態に係る振動素子を示す平面図である。なお、図6では、説明の便宜上、電極、検出腕、連結腕および駆動腕の図示を省略している。
以下、第2実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第2実施形態は、第1、第2、第3、第4梁の構成が異なること以外は、第1実施形態とほぼ同様である。なお、図6では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
図7は、本発明の第3実施形態に係る振動素子を示す平面図である。なお、図7では、説明の便宜上、電極、検出腕、連結腕および駆動腕の図示を省略している。
以下、第3実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第3実施形態は、第1、第2、第3、第4梁の構成が異なること以外は、第1実施形態とほぼ同様である。なお、図7では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
図7に示すように、第1梁261は、Y軸方向に往復しつつX軸方向に向かう第1屈曲部261Aと、X軸方向に往復しつつY軸方向に向かう2つの第2屈曲部261B、261Cと、を有している。同様に、第2梁262は、Y軸方向に往復しつつX軸方向に向かう第1屈曲部262Aと、X軸方向に往復しつつY軸方向に向かう2つの第2屈曲部262B、262Cと、を有し、第3梁263は、Y軸方向に往復しつつX軸方向に向かう第1屈曲部263Aと、X軸方向に往復しつつY軸方向に向かう2つの第2屈曲部263B、263Cと、を有し、第4梁264は、Y軸方向に往復しつつX軸方向に向かう第1屈曲部264Aと、X軸方向に往復しつつY軸方向に向かう2つの第2屈曲部264B、264Cと、を有している。このように、各梁が第2屈曲部を複数有することによって、例えば、前述した第1実施形態と比較して屈曲部の数が多くなり、その分、振動素子1の耐衝撃性をより向上させることができる。
これら第1、第2、第3、第4梁261、262、263、264は、互いに同様の構成であるため、以下では、第1梁261の構成について代表して説明し、第2、第3、第4梁262、623、264の構成については、その説明を省略する。
また、第6延在部2616は、S字状に湾曲した形状となっている。具体的には、第6延在部2616は、第5延在部2615の先端部から−Y軸方向に延出する延在部2616aと、延在部2616aの先端部から−Y軸方向と−X軸方向との合成方向(斜め方向)に延在する延在部2616bと、延在部2616bの先端部から−Y軸方向に延在する延在部2616cと、を有している。
このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
次に、振動素子1を用いた振動子10について説明する。
図8は、本発明の振動子の好適な実施形態を示す図であり(a)が断面図、(b)が上面である。
図8(a)、(b)に示すように、振動子10は、振動素子1と、振動素子1を収容するパッケージ8と、を有している。
導電性接着材861〜866としては、導電性および接着性を有していれば特に限定されず、例えば、シリコーン系、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ビスマレイミド系等の接着材に銀粒子等の導電性フィラーを分散させたものを用いることができる。
次に、振動素子1を用いた物理量センサー100について説明する。
図9は、本発明の振動素子を備える物理量センサーの好適な実施形態を示す断面図である。図10および図11は、それぞれ、図9に示す物理量センサーの上面図である。なお、図11では、説明の便宜上、リッドおよび振動素子の図示を省略している。
図9に示すように、パッケージ8は、凹部811を有する箱状のベース81と、凹部811の開口を塞いでベース81に接合された板状のリッド82とを有している。そして、凹部811がリッド82によって塞がれることにより形成された収容空間に振動素子1およびICチップ9が収納されている。収容空間は、減圧(真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
なお、本実施形態では、ICチップ9がパッケージ8の内部に設けられているが、ICチップ9は、パッケージ8の外部に設けられていてもよい。
次に、振動素子1を用いた物理量検出装置1000について説明する。
図12は、本発明の振動素子を備える物理量検出装置のブロック図である。
図12に示すように、物理量検出装置1000は、振動素子1と、駆動回路71と、検出回路72と、を有している。駆動回路71と検出回路72とは、例えば、前述したようなICチップ9に組み込むことができる。
駆動回路71は、駆動回路として機能し、I/V変換回路(電流電圧変換回路)711と、AC増幅回路712と、振幅調整回路713とを有している。このような駆動回路71は、振動素子1に形成された駆動信号電極331に駆動信号を供給するための回路である。
次いで、振動素子1を適用した電子機器について、図13〜図15に基づき、詳細に説明する。
図13は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、角速度検知手段(ジャイロセンサー)として機能する振動素子1が内蔵されている。
また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。
このようなディジタルスチルカメラ1300には、角速度検知手段(ジャイロセンサー)として機能する振動素子1が内蔵されている。
次いで、図1に示す振動素子を適用した移動体について、図16に基づき、詳細に説明する。
図16は、本発明の振動素子を備える移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
また、前述した実施形態では、梁が4本設けられているが、梁の数としては、これに限定されず、1〜3本であってもよいし、5本以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、振動素子が有する振動部が、基部と、第1、第2検出腕と、第1、第2連結腕と、第1〜第4駆動腕とを有しているが、振動部の構成は、これに限定されない。例えば、基部と、基部から+Y軸方向に延出し、X軸方向に並んで設けられている一対の駆動腕と、基部から−Y軸方向に延出し、X軸方向に並んで設けられている一対の検出腕とを有する構成であってもよい。この場合、梁は、検出腕と駆動腕との間を通って基部と支持部とを連結するように配置することができる。この構成では、一対の駆動腕をX逆相モードである駆動モードで駆動させた状態で、Y軸まわりの角速度が加わると、一対の検出腕に、Z逆相モードで駆動する検出モードの振動が励振される。そして、その際に検出腕から出力される信号に基づいて、Y軸まわりの角速度を検知することができる。
Claims (9)
- 振動部と、
前記振動部を支持する支持部と、
前記振動部と前記支持部とを連結する梁と、を有し、
前記梁は、
第1軸に沿って往復し第2軸に沿った方向に向かって延在している第1屈曲部と、
前記第2軸に沿って往復し前記第1軸に沿った方向に向かって延在している第2屈曲部と、を有することを特徴とする振動素子。 - 前記振動部は、基部と、
前記基部から前記第1軸に沿った方向に延在する検出腕と、
前記基部から前記第2軸に沿った方向に延在する連結腕と、
前記連結腕から前記第1軸に沿った方向に延在する駆動腕と、を有している請求項1に記載の振動素子。 - 前記第1屈曲部は、前記第1軸に沿った方向に延在する延在部と、前記第2軸に沿った方向に延在する延在部とが交互に配置されている部分を有している請求項1または2に記載の振動素子。
- 前記第1屈曲部の一部が前記第2屈曲部の一部である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記梁の前記支持部側の端部の幅は、前記振動部側の端部の幅よりも広い請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記梁は、前記第1屈曲部および前記第2屈曲部の少なくとも一方を複数有している請求項1ないし5のいずれか1項に記載の振動素子。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納したパッケージと、を備えていることを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子を備えたことを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子を備えたことを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013223560A JP6384038B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013223560A JP6384038B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015087126A true JP2015087126A (ja) | 2015-05-07 |
JP2015087126A5 JP2015087126A5 (ja) | 2016-12-15 |
JP6384038B2 JP6384038B2 (ja) | 2018-09-05 |
Family
ID=53050081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013223560A Active JP6384038B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6384038B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005283402A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Fujitsu Media Device Kk | 慣性センサ |
JP2012037404A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-23 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器 |
US20130026583A1 (en) * | 2011-07-26 | 2013-01-31 | Seiko Epson Corporation | Vibrating device and electronic apparatus |
JP2013141202A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-07-18 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 共振子 |
JP2013181856A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器 |
-
2013
- 2013-10-28 JP JP2013223560A patent/JP6384038B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005283402A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Fujitsu Media Device Kk | 慣性センサ |
JP2012037404A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-23 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器 |
US20130026583A1 (en) * | 2011-07-26 | 2013-01-31 | Seiko Epson Corporation | Vibrating device and electronic apparatus |
JP2013141202A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-07-18 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 共振子 |
JP2013181856A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6384038B2 (ja) | 2018-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6318590B2 (ja) | 振動素子、振動子、振動デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6957921B2 (ja) | 振動デバイス、角速度センサー、電子機器および移動体 | |
JP2019178994A (ja) | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP2019178905A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体 | |
JP2015087262A (ja) | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 | |
JP6318550B2 (ja) | 振動片、角速度センサー、電子機器および移動体 | |
JP2016176892A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6255903B2 (ja) | 角速度センサー、電子機器および移動体 | |
JP2016176891A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6167474B2 (ja) | センサーデバイスおよび電子機器 | |
JP2016176893A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6507565B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6384038B2 (ja) | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 | |
JP2015087287A (ja) | 角速度センサー、電子機器および移動体 | |
JP6492536B2 (ja) | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP2016186479A (ja) | 物理量検出振動素子、物理量検出振動子、電子機器および移動体 | |
JP2016085179A (ja) | 物理量検出振動素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP6464662B2 (ja) | 物理量検出振動素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP2015087188A (ja) | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 | |
JP2015102331A (ja) | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 | |
JP2015087142A (ja) | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 | |
JP6488639B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
JP2016085185A (ja) | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP6492537B2 (ja) | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP6911446B2 (ja) | センサー素子、センサー、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161027 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170809 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170822 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180710 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6384038 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |