JP2009222475A - 複合センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】角速度検出部と加速度検出部とを有し、検出素子2は、第1アーム4と第2アーム6とを直交方向に連結して形成した直交アームと、第1アーム4の一端を支持する支持部8とを有し、互いに直交するX、Y、Z軸において、第1アーム4をX軸方向に配置し、第2アーム6をY軸方向に配置し、角速度検出部は、第2アーム6をX軸方向に振動させ、角速度に起因した検出素子2の状態変化に基づき角速度を検出しており、加速度検出部は、加速度に起因した検出素子2の状態変化に基づき加速度を検出しており、第1アーム4の厚みを支持部8の厚みよりも薄くした構成である。
【選択図】図1
Description
ョン等、各種電子機器に用いる角速度や加速度を検出する複合センサに関する。
数の角速度センサと加速度センサを各種電子機器の実装基板に各々実装していた。
させて、コリオリ力の発生に伴う検出素子の状態変化を電気的に検知して角速度を検出するものであり、加速度センサは、加速度に伴う検出素子の状態変化を検知して加速度を検出するものである。
動体の姿勢制御装置やナビゲーション装置等に用いている。
加速度センサを実装基板に各々実装するので実装面積を確保する必要があり、小型化を図
れないという問題点を有していた。
て小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
4 第1アーム
6 第2アーム
8 支持部
14 錘部
16 第1駆動電極
18 第2駆動電極
20 感知電極
22 対向電極
24 第1対向基板
26 第2対向基板
28 第3アーム
30 第4アーム
32 枠体
Claims (6)
- 加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子を備え、
前記検出素子は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した直交アームと、前記第1アームの一端を支持する支持部とを有し、
互いに直交するX、Y、Z軸において、前記第1アームをX軸方向に配置し、前記第2アームをY軸方向に配置し、
前記角速度検出部は、前記第2アームをX軸方向に振動させ、角速度に起因した前記検出素子の状態変化に基づき角速度を検出しており、
前記加速度検出部は、加速度に起因した前記検出素子の状態変化に基づき加速度を検出しており、
前記第1アームの厚みを前記支持部の厚みよりも薄くした複合センサ。 - 複数の直交アームを設け、前記検出素子は対称形状とした請求項1記載の複合センサ。
- 前記第2アームの厚みを前記第1アームの厚みよりも厚くした請求項1記載の複合センサ。
- 前記第2アームの先端部は錘部とし、前記第2アームは一方の先端部の錘部から他方の先端部の錘部まで同等の厚みとした請求項3記載の複合センサ。
- 前記第2アームに対向する対向部を設け、前記第2アームと前記対向部の各々の対向面に対向電極を配置し、前記加速度検出部は、加速度に起因した前記第2アームと前記対向部の対向電極間の静電容量変化に基づき、加速度を検出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記対向部は、Z軸の方向に配置した対向基板であって、前記対向基板と前記第2アームとの対向面に前記対向電極を設けた請求項5記載の複合センサ。
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2008
- 2008-03-14 JP JP2008065383A patent/JP2009222475A/ja active Pending
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