JP6075984B2 - アクチュエータ及びアクチュエータの制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ100の構成を示す図である。本実施形態に係る回転型アクチュエータ100は、可動電極120、枠体110、保持部材130、固定電極140、及び制御部200を有している。保持部材130は、可動電極120を枠体110に取り付けており、かつ可動電極120の回転軸となる。固定電極140は、平面視で可動電極120に対向している。制御部200は、固定電極140と可動電極120の間に、交流電圧と直流電圧とを重畳させた電圧を印加する。そして制御部200は、この直流電圧を制御することにより、可動電極120の角度を制御する。以下、詳細に説明する。
図10は、第2の実施形態に係る回転型アクチュエータ100の構成を示す図である。本実施形態に係る回転型アクチュエータ100は、検出用電極150を有している点を除いて、第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ100と同様の構成である。
110 枠体
120 可動電極
130 保持部材
140 固定電極
150 検出用電極
200 制御部
210 交流電圧発生部
220 直流電圧発生部
230 直流電圧発生部
Claims (4)
- 可動電極と、
平面視で前記可動電極に対向している固定電極と、
前記可動電極及び前記固定電極から絶縁されており、平面視において該可動電極の一辺に対向している検出用電極と、
枠体と、
前記可動電極を前記枠体に取り付け、前記可動電極の回転軸となる保持部材と、
前記可動電極又は前記固定電極に交流電圧を該固定電極に直流電圧を少なくとも印加する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記可動電極と前記検出用電極との間の静電容量を検出し、該静電容量の大きさに基づいて前記交流電圧の周波数を変更せずに前記固定電極への直流電圧を制御することにより、該可動電極の角度を制御するアクチュエータ。 - 請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記可動電極に前記交流電圧を印加するアクチュエータ。 - 請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記固定電極に前記交流電圧を印加するアクチュエータ。 - 可動電極と、
平面視で前記可動電極に対向している固定電極と、
前記可動電極及び前記固定電極から絶縁されており、平面視において該可動電極の一辺に対向している検出用電極と、
枠体と、
前記可動電極を前記枠体に取り付け、前記可動電極の回転軸となる保持部材と、
を有するアクチュエータを準備し、
前記可動電極又は前記固定電極に交流電圧を該固定電極に直流電圧を少なくとも印加し、
前記可動電極と前記検出用電極との間の静電容量を検出し、該静電容量の大きさに基づいて前記交流電圧の周波数を変更せずに前記固定電極への直流電圧を制御することにより、該可動電極の角度を制御するアクチュエータの制御方法。
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