JP6137100B2 - アクチュエータ - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ10の構成を示す図である。本実施形態に係る回転型アクチュエータ10は、可動電極120、軸部材130、固定電極140、検出用電極150、第1直流電源400、交流電源410、容量検出部200、及び制御部300を備えている。可動電極120は軸部材130を回転軸として回転する。固定電極140及び検出用電極150は、平面視で可動電極120に対向している。第1直流電源400は可動電極120に接続されており、交流電源410は固定電極140に接続されている。容量検出部200は可動電極120と検出用電極150の間の容量を検出する。容量検出部200は、オペアンプ210及び第2直流電源240を備えている。オペアンプ210は仮想短絡されている。またオペアンプ210の反転入力端子(−)は検出用電極150に接続している。第2直流電源240はオペアンプ210の非反転入力端子(+)に接続している。制御部300は、容量検出部200の検出結果に基づいて第1直流電源400を制御している。制御部300は、さらに、検出用電極150と可動電極120の間の電圧が基準値となるように検出用電極150の電圧を制御している。以下、詳細に説明する。
図2は、第2の実施形態に係る回転型アクチュエータ10の構成を示す図である。本実施形態に係る回転型アクチュエータ10は、以下の点を除いて第1の実施形態に係る回転型アクチュエータ10と同様の構成である。
100 アクチュエータ本体
110 枠体
120 可動電極
130 軸部材
140 固定電極
150 検出用電極
200 容量検出部
210 オペアンプ
220 容量素子
230 抵抗素子
240 第2直流電源
250 加算器
300 制御部
400 第1直流電源
410 交流電源
Claims (3)
- 可動電極と、
前記可動電極の回転軸となる軸部材と、
平面視で前記可動電極に対向している固定電極と、
平面視で前記可動電極に対向している検出用電極と、
前記可動電極に接続された第1直流電源と、
前記固定電極に接続された交流電源と、
前記検出用電極と前記可動電極の間の容量を検出する容量検出部と、
を備え、
前記容量検出部は、
仮想短絡されており、反転入力端子が前記検出用電極に接続しているオペアンプと、
前記オペアンプの非反転入力端子に接続された第2直流電源と、
を有し、
さらに、前記容量検出部の検出結果に応じて前記第1直流電源の出力電圧を制御するとともに、前記第1直流電源の出力電圧に応じて前記検出用電極の電圧を制御する制御部を備えるアクチュエータ。 - 請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記制御部は、前記第2直流電源を制御することにより前記検出用電極の電圧を制御するアクチュエータ。 - 請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記容量検出部は、前記第2直流電源と前記非反転入力端子の間に位置し、前記第2直流電源の出力電圧に前記第1直流電源の出力電圧を加算する加算器と、
を備えるアクチュエータ。
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