JP2008242245A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】角度変位が大きい場合でも精度よく角度変位を検出することができる光走査装置を提供
【解決手段】光走査装置１は、鏡面が表面に形成される本体部１１と、本体部１１と支持部３とを連結する弾性変形可能な弾性連結部１２ａ，１２ｂと、本体部１１に設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯電極部４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとを備える。そして櫛歯電極部１３ａ，１３ｂと櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加することで弾性連結部１２ａ，１２ｂを回転軸として本体部１１を振動させる。また、櫛歯電極部１４ａ〜１４ｄと電極部５ａ〜５ｄとの間の静電容量により、本体部１１の走査角度を検出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、光ビームを走査する光走査装置に関する。

近年、光走査装置の小型化を目的として、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を利用した光走査装置が種々提案されている。
これに対して本願出願人は、シリコンで形成した反射部の両側に設けた櫛歯と、これに対向する固定側に配置した櫛歯との間に静電気力を発生させることで反射部を加振したり、上記櫛歯間の静電容量の変化により反射部の角度を検出したりするものを提案している（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−２４５８９０号公報

しかし、特許文献１に記載の技術では、反射部と反射部両側の櫛歯は一体で振動する。このため、反射部の角度振幅が大きくなると、反射部側の櫛歯（以下、反射部側櫛歯という）と固定側の櫛歯（以下、固定側櫛歯という）とが対向しなくなる期間が発生する。即ち、櫛歯間の容量検出において、反射部側櫛歯と固定側櫛歯とが対向している間は静電容量が検出されるが、角度変位が大きくなり反射部側櫛歯と固定側櫛歯とが対向しなくなると静電容量はゼロになってしまう。このため、周期運動中において、反射部側櫛歯と固定側櫛歯とが対向する期間でしか静電容量を検出することができず、周期運動の全期間で精度よく反射部の角度変位を検出することが難しかった。

本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、角度変位が大きい場合でも精度よく角度変位を検出することができる光走査装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するためになされた請求項１に記載の光走査装置は、光ビームを反射させる反射面を有する反射部と、反射部に連結された弾性変形可能な弾性連結部を有し、弾性連結部を回転軸として予め設定された所定回転方向に反射部を揺動可能に支持する揺動支持部と、反射部に設けられ、回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯状に形成された第１櫛歯状電極部と、第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成され、第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第２櫛歯状電極部と、反射部に設けられて櫛歯状に形成された第３櫛歯状電極部と、第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成されて第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第４櫛歯状電極部とを有し、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、反射部の所定回転方向に沿った変位量を検出する変位量検出手段とを備え、第１櫛歯状電極部と第２櫛歯状電極部との間に電圧を印加することで両電極部間に発生する静電引力により、反射部を所定回転方向に所定周波数で振動させるように構成された光走査装置であって、第３櫛歯状電極部は、回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯を有し、当該第３櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離が、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離よりも短くなるように設置されるとともに、第１櫛歯状電極部の櫛歯長よりも短い櫛歯を有することを特徴とする。

このように構成された光走査装置では、反射部を回転駆動するための櫛歯状電極部（即ち、第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部）と、反射部の変位量を検出するための櫛歯
状電極部（即ち、第３櫛歯状電極部及び第４櫛歯状電極部）とが異なる櫛歯状電極部で構成されている。そして第３櫛歯状電極部は、回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯を有し、当該第３櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離が、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離よりも短くなるように設置されるとともに、第１櫛歯状電極部の櫛歯長よりも短い櫛歯を有している。このため、例えば第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部と第３櫛歯状電極部及び第４櫛歯状電極部の櫛歯幅が略同じである場合には、反射部が所定周波数で振動している際に、第１櫛歯状電極部と第２櫛歯状電極部とが対向している期間（以下、駆動対向期間ともいう）よりも、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部とが対向している期間（以下、変位検出対向期間ともいう）のほうが長くなる。これは、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部の所定回転方向に沿った変位量が、第３櫛歯状電極部の櫛歯の先端部の所定回転方向に沿った変位量よりも大きいからである。なお以下、所定回転方向に沿った変位量を所定回転変位量という。

したがって、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部についての変位検出対向期間が長くなる分、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量を検出することができるため、より大きい所定回転変位量を精度よく検出することができる。

更に、反射部を回転駆動するための櫛歯状電極部（即ち、第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部）と、反射部の変位量を検出するための櫛歯状電極部（即ち、第３櫛歯状電極部及び第４櫛歯状電極部）とが別々に設けられているので、第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部に印加した電圧で発生したノイズが、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部に影響を与えないようにするためのシールド等を設けることができる。

また請求項１に記載の光走査装置では、請求項２に記載のように、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対が、回転軸に対して左及び右の少なくとも何れか一方の側に、少なくとも２つ以上配置されているようにするとよい。

このように構成された光走査装置によれば、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対が１つ配置されている場合よりも大きな静電容量を検出することができ、所定回転変位量をより精度よく検出することができる。

また請求項３に記載の光走査装置は、光ビームを反射させる反射面を有する反射部と、反射部に連結された弾性変形可能な弾性連結部を有し、弾性連結部を回転軸として予め設定された所定回転方向に反射部を揺動可能に支持する揺動支持部と、反射部に設けられ、回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯状に形成された第１櫛歯状電極部と、第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成され、第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第２櫛歯状電極部と、反射部に設けられて櫛歯状に形成された第３櫛歯状電極部と、第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成されて第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第４櫛歯状電極部とを有し、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、反射部の所定回転方向に沿った変位量を検出する変位量検出手段とを備え、第１櫛歯状電極部と第２櫛歯状電極部との間に電圧を印加することで両電極部間に発生する静電引力により、反射部を所定回転方向に所定周波数で振動させるように構成された光走査装置であって、第３櫛歯状電極部が、回転軸に対して平行な方向に延出した櫛歯を有し、当該第３櫛歯状電極部を構成する櫛歯のうちで回転軸から最も遠い位置に配置された櫛歯と回転軸との距離が、第１櫛歯状電極部の櫛歯の根元の部分と回転軸との距離よりも短くなるように設置されていることを特徴とする。

このように構成された光走査装置では、当該第３櫛歯状電極部を構成する櫛歯のうちで回転軸から最も遠い位置に配置された櫛歯と回転軸との距離が、第１櫛歯状電極部の櫛歯
の根元の部分と回転軸との距離よりも短くなるように設置されるため、例えば第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部と第３櫛歯状電極部及び第４櫛歯状電極部の櫛歯幅が略同じである場合には、反射部が所定周波数で振動している際に、第１櫛歯状電極部と第２櫛歯状電極部とが対向している期間（駆動対向期間）よりも、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部とが対向している期間（変位検出対向期間）のほうが長くなる。これは、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部の所定回転変位量が、回転軸から最も遠い位置に配置された第３櫛歯状電極部の櫛歯の所定回転変位量よりも大きいからである。

したがって、請求項１に記載の光走査装置と同様に、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部についての変位検出対向期間が長くなる分、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量を検出することができるため、より大きい所定回転変位量を精度よく検出することができる。

更に、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対（以下、検出櫛歯対ともいう）が弾性連結部を挟んで両側に設けられる場合に、両側の検出櫛歯対から検出される静電容量を示す信号を差動増幅すると（以下、この差動増幅した信号を差動増幅信号という）、第３櫛歯状電極部の櫛歯を回転軸に対して平行な方向に延出させて設ける（図１２（ａ）を参照）場合のほうが、櫛歯を回転軸に対して垂直な方向に延出させて設ける場合（図１２（ｂ）を参照）よりも、差動増幅信号の所定回転変位量に対する変化が緩やかになる。このため、所定回転変位量をより精度よく検出することができる。例えば図１３に示すように、第３櫛歯状電極部の櫛歯を回転軸に対して平行な方向に延出させて設けた場合の差動増幅信号ＳＺ１の傾きＫＳ１は（図１３（ａ）を参照）、櫛歯を回転軸に対して垂直な方向に延出させて場合の差動増幅信号ＳＺ２の傾きＫＳ２（図１３（ｂ）を参照）よりも小さい。なお、図１３（ａ），（ｂ）では、傾きを対比させやすいように、傾きＫＳ１及び傾きＫＳ２を並べて表示している。

また請求項３に記載の光走査装置において、第３櫛歯状電極部の櫛歯及び第４櫛歯状電極部の櫛歯について、回転軸に直交する断面が矩形状となるように形成されている場合には、請求項４に記載のように、第４櫛歯状電極部の櫛歯における回転軸側を向いている面を第４櫛歯内側面とし、第３櫛歯状電極部の櫛歯における第４櫛歯内側面と対向している面を第３櫛歯対向面として、第３櫛歯状電極部の櫛歯及び第４櫛歯状電極部の櫛歯は、第４櫛歯内側面と回転軸との距離が、第３櫛歯状電極部の櫛歯における第３櫛歯対向面側の角部と回転軸との距離より長くなるように配置されているようにするとよい。

このように構成された光走査装置によれば、反射部を所定回転方向に回転させる際に、第４櫛歯内側面と、第３櫛歯対向面側の角部とが接触しないようにすることができる。
また、請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置において、請求項５に記載のように、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対は、弾性連結部を挟んで両側に、回転軸に対して対称になるように設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、弾性連結部を挟んで一方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量を示す信号（以下、「静電容量を示す信号」を静電容量信号という）と、他方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号とは逆位相となる。このため、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることができる。そして差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、所定回転変位量と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、一方側に設けられた検出櫛歯対と他方側に設けられた検出櫛歯対との両方の静電容量信号に、第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部に印加した電圧で発生したノイズが混入した場合に、このノイズは一方側に設けられた検出櫛歯対と他方側に設けられた検出櫛歯対とで同位相であるので、これら２つの静電容量信号の差動
増幅をとることで、このノイズを打ち消す、または低減することができる。

また、請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置において、請求項６に記載のように、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対は、反射部を挟んで両側に、反射部の重心に対して点対称となるように設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、反射部を挟んで一方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号と、他方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号とは逆位相となる。このため、請求項５に記載の光走査装置と同様に、差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、所定回転変位量と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、反射部の重心に対して点対称となるように設けられているため、反射部の偏心を防ぎ、弾性連結部の回転中心と、光走査装置全体としての回転中心とを一致させることができる。

また、請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置において、請求項７に記載のように、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対は、反射部を挟んで両側に、回転軸に直交する面に対して対称となるように設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、反射部を挟んで一方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号と、他方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号とは同位相となる。このため、これら２つの静電容量信号を加算することで、２倍の信号出力を得ることができる。

また、請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置において、請求項８に記載のように、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との対は、弾性連結部を挟んで両側に、回転軸に対して対称となるように設けられ、反射部を挟んで両側に、反射部の重心に対して点対称となるように設けられ、反射部を挟んで両側に、回転軸に直交する面に対して対称となるように設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、請求項５、請求項６及び請求項７に記載の光走査装置と同様の効果を得ることができる。
ところで、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部が重なり合っている状態（この状態での所定回転変位量を０とする）で、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量（以下、櫛歯−櫛歯間静電容量という）が最大となり、所定回転変位量が正側或いは負側へ大きくなるにつれて櫛歯−櫛歯間静電容量が小さくなる。つまり、櫛歯−櫛歯間静電容量は、所定回転変位量が０の時を中心にして正側と負側とで対称な特性を示す。

このため、櫛歯−櫛歯間静電容量が或る値をとる場合に、この櫛歯−櫛歯間静電容量の値に対応する所定回転変位量は、正負が異なり且つ大きさが同一な２値が考えられる。このため、櫛歯−櫛歯間静電容量の絶対値を検出することができるが、正負を判別することができない。

そこで、請求項１〜請求項８の何れかに記載の光走査装置において、請求項９に記載のように、第３櫛歯状電極部の櫛歯及び第４櫛歯状電極部の櫛歯は、回転軸に直交する断面が矩形状となるように形成され、第４櫛歯状電極部の櫛歯における、第３櫛歯状電極部の櫛歯と非対向となる２つの面の何れか一方の面上には、絶縁膜を介して導電性の薄膜が設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、第３櫛歯状電極部と導電性の薄膜との間の静電
容量（以下、櫛歯−薄膜間静電容量という）は、所定回転変位量が０の時を中心として正側と負側とで非対称な特性を示す。これは、導電性の薄膜が、第４櫛歯状電極部の櫛歯における、第３櫛歯状電極部の櫛歯と非対向となる２つの面の何れか一方の面上に設けられているために、所定回転変位量が０の時のときに、第３櫛歯状電極部と導電性の薄膜とが最接近していないからである。このため、櫛歯−薄膜間静電容量が或る値をとる場合に、この櫛歯−薄膜間静電容量の値に対応する所定回転変位量は、所定回転変位量が変化する範囲で１値とすることができる。このため、変位量検出手段が、第３櫛歯状電極部と導電性の薄膜との間の静電容量の変化に基づいて変位量を検出するように構成すれば、所定回転変位量の絶対値と正負を検出することが可能となる。

或いは、変位量検出手段が、第３櫛歯状電極部と導電性の薄膜との間の静電容量の変化と、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量の変化とに基づいて変位量を検出するように構成すれば、第３櫛歯状電極部と第４櫛歯状電極部との間の静電容量の変化とに基づいて所定回転変位量の絶対値を検出して、第３櫛歯状電極部と導電性の薄膜との間の静電容量の変化に基づいて所定回転変位量の正負を検出するようにすることができる。

また請求項１０に記載の光走査装置は、光ビームを反射させる反射面を有する反射部と、反射部に連結された弾性変形可能な弾性連結部を有し、弾性連結部を回転軸として予め設定された所定回転方向に反射部を揺動可能に支持する揺動支持部と、反射部に設けられ、回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯状に形成された第１櫛歯状電極部と、第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成され、第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第２櫛歯状電極部と、弾性連結部に設けられて櫛歯状に形成された第５櫛歯状電極部と、第５櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成されて第５櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第６櫛歯状電極部とを有し、第５櫛歯状電極部と第６櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、反射部の所定回転方向に沿った変位量を検出する変位量検出手段とを備え、第１櫛歯状電極部と第２櫛歯状電極部との間に電圧を印加することで両電極部間に発生する静電引力により、反射部を所定回転方向に所定周波数で振動させるように構成された光走査装置であって、第５櫛歯状電極部は、回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯を有し、当該第５櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離が、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離よりも短くなるように設置されるとともに、第１櫛歯状電極部の櫛歯長よりも短い櫛歯を有することを特徴とする。

このように構成された光走査装置では、反射部を回転駆動するための櫛歯状電極部（即ち、第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部）と、反射部の変位量を検出するための櫛歯状電極部（即ち、第５櫛歯状電極部及び第６櫛歯状電極部）とが異なる櫛歯状電極部で構成されている。そして、第５櫛歯状電極部は、第５櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離が、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と回転軸との距離よりも短くなるように設置されるとともに、第１櫛歯状電極部の櫛歯長よりも短い櫛歯を有している。このため、第１櫛歯状電極部及び第２櫛歯状電極部と第５櫛歯状電極部及び第６櫛歯状電極部の櫛歯幅が略同じである場合には、反射部が所定周波数で振動している際に、第１櫛歯状電極部と第２櫛歯状電極部とが対向している期間（駆動対向期間）よりも、第５櫛歯状電極部と第６櫛歯状電極部とが対向している期間（変位検出対向期間）のほうが長くなる。これは、第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部の所定回転変位量が、第５櫛歯状電極部の櫛歯の先端部の所定回転変位量よりも大きいからである。

したがって、第５櫛歯状電極部と第６櫛歯状電極部についての変位検出対向期間が長くなる分、第５櫛歯状電極部と第６櫛歯状電極部との間の静電容量を検出することができるため、より大きい所定回転変位量を精度よく検出することができる。

更に、第５櫛歯状電極部は、弾性連結部に設けられているので、上記の第１櫛歯状電極部よりも回転軸に近い位置に配置することができる。したがって、第１櫛歯状電極部よりも変位検出対向期間を長くすることができ、より大きい所定回転変位量を精度よく検出することができる。

また、請求項１０に記載の光走査装置において、請求項１１に記載のように、第５櫛歯状電極部と第６櫛歯状電極部との対が、弾性連結部を挟んで両側に、回転軸に対して対称になるように設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、弾性連結部を挟んで一方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号と、他方側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号とは逆位相となる。このため、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、請求項５に記載の光走査装置と同様の効果を得ることができる。

また、請求項１０に記載の光走査装置において、請求項１２に記載のように、弾性連結部は、反射部を挟んで回転軸に沿った上側に配置された上側連結部と、反射部を挟んで回転軸に沿った下側に配置された下側連結部とから構成され、第５櫛歯状電極部と第６櫛歯状電極部との対が反射部を挟んで両側に回転軸に直交する面に対して対称となるように、第５櫛歯状電極部が上側連結部と下側連結部とに設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置では、反射部を挟んで上側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号と、下側に設けられた検出櫛歯対の静電容量信号とは同位相となる。このため、これら２つの静電容量信号を加算することで、２倍の信号出力を得ることができる。

また、請求項１０〜請求項１２の何れかに記載の光走査装置において、請求項１３に記載のように、第５櫛歯状電極部の櫛歯及び第６櫛歯状電極部の櫛歯は、回転軸に直交する断面が矩形状となるように形成され、第６櫛歯状電極部の櫛歯における、第５櫛歯状電極部の櫛歯と非対向となる２つの面の何れか一方の面上には、絶縁膜を介して導電性の薄膜が設けられるようにするとよい。

このように構成された光走査装置によれば、請求項９に記載の光走査装置と同様の効果を得ることができる。
また、請求項９または請求項１３に記載の光走査装置において、請求項１４に記載のように、導電性の薄膜は、Ａｌ、Ｔｉ及びＴｉＮの何れか１つを材料として形成されているようにするとよい。

このように構成された光走査装置によれば、Ａｌ、Ｔｉ及びＴｉＮは金属材料であるので電気抵抗を低くすることができ、高周波で静電容量の変化を計測することが可能となる。

また、請求項９または請求項１３に記載の光走査装置において、請求項１５に記載のように、導電性の薄膜は、単結晶Ｓｉまたは多結晶Ｓｉを材料として形成されているようにするとよい。

このように構成された光走査装置によれば、単結晶Ｓｉまたは多結晶Ｓｉは半導体材料であるので、高温プロセスで光走査装置を製造することが可能となる。

（第１実施形態）
以下に本発明の第１実施形態について図面とともに説明する。
図１は、本発明が適用された第１実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図、図２は図１のＡ−Ａ断面部を示す図である。

光走査装置１は、例えばＳＯＩ（Silicon On Insulator）ウエハを半導体プロセスで加工して製造されたものであり、光ビームを反射する光ビーム反射部２と、光ビーム反射部２を支持する支持部３と、光ビーム反射部２に回転駆動力を印加する駆動部４と、光ビーム反射部２の回転角度を検出する角度検出部５とを備える。

光ビーム反射部２は、アルミ薄膜の鏡面が表面に形成される矩形状の本体部１１と、本体部１１の上辺１１ａと支持部３とを連結する弾性変形可能な弾性連結部１２ａと、本体部１１の下辺１１ｂと支持部３とを連結する弾性変形可能な弾性連結部１２ｂと、本体部１１の左辺１１ｃに設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１３ａと、本体部１１の右辺１１ｄに設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１３ｂと、本体部１１の上辺１１ａに設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１４ａ，１４ｂと、本体部１１の下辺１１ｂに設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１４ｃ，１４ｄとから構成される。

これらのうち、弾性連結部１２ａ及び弾性連結部１２ｂは、同一直線上に配置されており、光ビーム反射部２の回転軸ＫＪとなる。
また、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを構成する櫛歯は、回転軸ＫＪに対して直交する方向に延びている。

また、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ１が、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ２よりも短くなるように設置されるとともに、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの櫛歯長ＫＬ１は、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯長ＫＬ２よりも短くなるように形成されている。

次に支持部３は、上辺１１ａと連結されていない側の弾性連結部１２ａの端部と連結される上側支持部３ａと、下辺１１ｂと連結されていない側の弾性連結部１２ｂの端部と連結される下側支持部３ｂとから構成される。

更に駆動部４は、櫛歯電極部１３ａと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成された櫛歯電極部４ａと、櫛歯電極部１３ｂと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成された櫛歯電極部４ｂとから構成される。

また角度検出部５は、櫛歯電極部１４ａと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成された櫛歯電極部５ａと、櫛歯電極部１４ｂと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成された櫛歯電極部５ｂと、櫛歯電極部１４ｃと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成された櫛歯電極部５ｃと、櫛歯電極部１４ｄと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成された櫛歯電極部５ｄとから構成される。そして櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄはそれぞれ、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと噛み合うように設置される。

なお、１３ａ，１３ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部４ａ，４ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの櫛歯幅ＫＷ２（図２を参照）と、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの櫛歯幅ＫＷ１（図２を参照）とが略同じとなるように形成されている。

また櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対とは、弾性連結部１２ａを挟んで両側に、回転軸ＫＪに対して対称になるように設けられる。また櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｄと櫛歯電極部５ｄの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳに対して点対称となるように設けられる。また櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｃと櫛歯電極部５ｃの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳを通り回転軸ＫＪに直交する面ＪＭに対して対称となるように設けられる。

また櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄはそれぞれ、図２に示すように（図２では、櫛歯電極部５ｄで代表して示す）、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと非対向となる２つの面ＫＭ１，ＫＭ２の何れか一方の面（図２では、面ＫＭ１）に、絶縁膜２１を介して導電性の薄膜２２が設けられている。この薄膜２２は、Ａｌ、Ｔｉ及びＴｉＮの何れか１つを材料として形成されている。

次に、光走査装置１の電気的構成について説明する。図３は、光走査装置１の電気的構成を示すブロック図である。
光走査装置１は、図３に示すように、光ビーム反射部２を回転駆動するための駆動信号としてのパルス電圧を出力する駆動信号発生回路１３と、駆動信号発生回路３１により出力された駆動信号を増幅して櫛歯電極部４ａ，４ｂに印加する増幅回路３２と、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとの間の静電容量を電圧値に変換するＣ−Ｖ変換回路３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ（以下、Ｃ−Ｖ変換回路３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄをまとめてＣ−Ｖ変換回路３３ともいう）と、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの薄膜２２との間の静電容量を電圧値に変換するＣ−Ｖ変換回路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ（以下、Ｃ−Ｖ変換回路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄをまとめてＣ−Ｖ変換回路３４ともいう）と、光ビームの発光源となる半導体レーザ３５と、Ｃ−Ｖ変換回路３３，３４から出力される電圧をモニタし、この電圧値に基づいて半導体レーザ３５を制御するとともに、駆動信号発生回路３１を制御する制御回路３６とを備える。

次に、光走査装置１の動作について説明する。
制御回路３６による制御に基づいて駆動信号発生回路３１が駆動信号を出力すると、増幅回路３２によりこの駆動信号の電圧値が増幅されて櫛歯電極部４ａ，４ｂに印加される。これにより、櫛歯電極部４ａ，４ｂと、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂとの間にパルス電圧が印加されて周期的に変化する静電引力が生じ、弾性連結部１２ａ，１２ｂが弾性変形してねじれることにより、本体部１１が弾性連結部１２ａ，１２ｂを回転軸ＫＪとして回転方向ＫＨ（図２を参照）に沿って往復振動する。

ここで、駆動信号発生回路３１は、本体部１１の慣性モーメントと弾性連結部１２ａ，１２ｂのバネ定数とにより決まるねじり振動子の共振周波数の２倍の周波数の駆動信号を出力するようになっており、これにより、本体部１１と弾性連結部１２ａ，１２ｂとからなる振動系が共振し、本体部１１が共振周波数で往復振動する。

そして、この状態で本体部１１に半導体レーザ３５から光ビームが照射されると、その光ビームが本体部１１の鏡面で反射されることにより出射されるとともに、本体部１１の往復振動に伴い、本体部１１の回転角度（回転方向ＫＨに沿った変位量）に応じた方向に走査される。

一方、本体部１１の往復振動に伴い、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとの距離も周期的に変化する。これにより、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとの間の静電容量ＳＹ１と、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの薄膜２２との間の静電容量ＳＹ２も、本体部１１の回転角度に応じて変化する。

図４は、静電容量ＳＹ１，ＳＹ２の走査角度に対する変化を示す図である。
具体的には、図４に示すように、静電容量ＳＹ１は、走査角度０度を中心として正側と負側とで対称な特性を示す。これは、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとは、走査角度が０度のときに最接近するからである。このため、静電容量ＳＹ１が或る値をとる場合に、この静電容量ＳＹ１の値に対応する走査角度は、正負が異なり且つ大きさが同一な２値が考えられる（図中の点Ｐ１，Ｐ２を参照）。このため、走査角度の絶対値を検出することができるが、正負を検出することができない。

一方、静電容量ＳＹ２は、走査角度０度を中心として正側と負側とで非対称な特性を示す。これは、図２に示すように、導電性の薄膜２２が、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの非対向面ＫＭ１，ＫＭ２の何れか一方の面に設けられているために、走査角度が０度のときに、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの薄膜２２と櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとが最接近していないからである。このため、静電容量ＳＹ２が或る値をとる場合に、この静電容量ＳＹ２の値に対応する走査角度は、走査角度が変化する範囲で１値となる（図中の点Ｐ３を参照）。このため、走査角度の正負を検出することが可能となる。

そして制御回路３６は、これらの静電容量に基づき、本体部１１の回転角度を検出する。具体的には、Ｃ−Ｖ変換回路３３から出力される電圧値に基づいて走査角度の絶対値を検出するとともに、Ｃ−Ｖ変換回路３４から出力される電圧値に基づいて走査角度の正負を検出する。これにより制御回路３６は、本体部１１の振動のタイミングに合わせて、半導体レーザ３５から光ビームを照射することができる。

このように構成された光走査装置１では、本体部１１を回転駆動するための櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂと、本体部１１の走査角度を検出する櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが異なる櫛歯電極部として構成されている。そして、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、回転軸ＫＪに対して直交する方向に延出した櫛歯を有し、当該櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ１が、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ２よりも短くなるように設置されるとともに、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯長よりも短い櫛歯を有している。そして、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部４ａ，４ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの櫛歯幅ＫＷ２（図２を参照）と、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの櫛歯幅ＫＷ１（図２を参照）とが略同じであるので、本体部１１が共振周波数で振動している際に、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂと櫛歯電極部４ａ，４ｂとが対向している期間（以下、駆動対向期間ともいう）よりも、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが対向している期間（以下、変位検出対向期間ともいう）のほうが長くなる。これは、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部の回転方向ＫＨ（図２を参照）に沿った変位量のほうが、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの櫛歯の先端部の回転方向ＫＨに沿った変位量よりも大きいからである。なお以下、回転方向ＫＨに沿った変位量を回転変位量という。

したがって、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５
ｃ，５ｄについての変位検出対向期間が長くなる分、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとの間の静電容量を検出することができるため、より大きい回転変位量（走査角度）を精度よく検出することができる。

更に、本体部１１を回転駆動するための櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂと、本体部１１の走査角度を検出する櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとが別々に設けられているので、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂに印加した電圧で発生したノイズが、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄに影響を与えないようにするためのシールド等を設けることができる。

また、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対とは、弾性連結部１２ａを挟んで両側に、回転軸ＫＪに対して対称になるように設けられる。このため、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対の静電容量を示す信号（以下、「静電容量を示す信号」を静電容量信号という）と、櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対の静電容量信号とは逆位相となる。従って、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、回転変位量（走査角度）と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対との両方の静電容量信号に、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂに印加した電圧で発生したノイズが混入した場合に、このノイズは櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対とで同位相であるので、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、このノイズを打ち消す、または低減することができる。

また、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｄと櫛歯電極部５ｄの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳに対して点対称となるように設けられる。このため、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対の静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｄと櫛歯電極部５ｄの対の静電容量信号とは逆位相となる。従って、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、回転変位量（走査角度）と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、本体部１１の重心ＪＳに対して点対称となるように設けられているため、本体部１１の偏心を防ぎ、弾性連結部１２ａ，１２ｂの回転中心と、光走査装置全体１としての回転中心とを一致させることができる。

また、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｃと櫛歯電極部５ｃの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳを通り回転軸ＫＪに直交する面ＪＭに対して対称となるように設けられる。これにより、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対の静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｃと櫛歯電極部５ｃの対の静電容量信号とは同位相となる。このため、これら２つの静電容量信号を加算することで、２倍の信号出力を得ることができる。

また制御回路３６は、Ｃ−Ｖ変換回路３３から出力される電圧値に基づいて走査角度の絶対値を検出するとともに、Ｃ−Ｖ変換回路３４から出力される電圧値に基づいて走査角度の正負を検出する。即ち、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄとの間の静電容量（以下、櫛歯−櫛歯間静電容量という）は、図４に示すように、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの薄膜２２との間の静電容量（以下、櫛歯−薄膜間静電容量という）よりも大きいため、大きい静電容量を有する櫛歯−櫛歯間静電容量を用いて、走査角度の絶対値を検出し、小さい静電容量を有する櫛歯−薄膜間静電容量を用いて、走査角度の正負を検出する。

これにより、Ｃ−Ｖ変換回路３３から出力される電圧に混入したノイズを除去するためにフィルタを使い、Ｃ−Ｖ変換回路３３から出力される電圧値が小さくなっても、この電圧値を、走査角度の絶対値の検出ができないレベルまで小さくなるのを抑えることができる。なお、櫛歯−薄膜間静電容量を表すＣ−Ｖ変換回路３４から出力される電圧値は、走査角度が正であるか負であるかを検出するためのものであるので、ノイズが混入しても検出に大きな影響を及ぼさない。

また薄膜２２は、Ａｌ、Ｔｉ及びＴｉＮの何れか１つを材料として形成されている。即ち、金属材料で形成されているので、電気抵抗を低くすることができ、高周波で静電容量の変化を計測することが可能となる。

以上説明した実施形態において、本体部１１は本発明における反射部、弾性連結部１２ａ，１２ｂ及び支持部３は本発明における揺動支持部、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂは本発明における第１櫛歯状電極部、櫛歯電極部４ａ，４ｂは本発明における第２櫛歯状電極部、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは本発明における第３櫛歯状電極部、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは本発明における第４櫛歯状電極部、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄとＣ−Ｖ変換回路３３，３４は本発明における変位量検出手段、回転方向ＫＨは本発明における所定回転方向である。

（第２実施形態）
以下に本発明の第２実施形態について図面とともに説明する。尚、第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分のみを説明する。

図５は、本発明が適用された第２実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。
第２実施形態の光走査装置１は、図５に示すように、櫛歯電極部５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ｃ，１４ｄを省略した点以外は第１実施形態と同じである。

このように構成された光走査装置１では、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対とは、弾性連結部１２ａを挟んで両側に、回転軸ＫＪに対して対称になるように設けられる。このため、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対の静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対の静電容量信号とは逆位相となる。従って、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、回転変位量（走査角度）と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａと櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対との両方の静電容量信号に、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂに印加した電圧で発生したノイズが混入した場合に、このノイズは櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と櫛歯電極部１４ｂと櫛歯電極部５ｂの対とで同位相であるので、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、このノイズを打ち消す、または低減することができる。

（第３実施形態）
以下に本発明の第３実施形態について図面とともに説明する。尚、第３実施形態では、第１実施形態と異なる部分のみを説明する。

図６は、本発明が適用された第３実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。
第３実施形態の光走査装置１は、図６に示すように、櫛歯電極部５ｂ，５ｄと櫛歯電極
部１４ｂ，１４ｄを省略した点以外は第１実施形態と同じである。

このように構成された光走査装置１では、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｃと櫛歯電極部５ｃの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳを通り回転軸ＫＪに直交する面ＪＭに対して対称となるように設けられる。櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対の静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｃと櫛歯電極部５ｃの対の静電容量信号とは同位相となる。このため、これら２つの静電容量信号を加算することで、２倍の信号出力を得ることができる。

（第４実施形態）
以下に本発明の第４実施形態について図面とともに説明する。尚、第４実施形態では、第１実施形態と異なる部分のみを説明する。

図７は、本発明が適用された第４実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。
第４実施形態の光走査装置１は、図７に示すように、櫛歯電極部５ｂ，５ｃと櫛歯電極部１４ｂ，１４ｃを省略した点以外は第１実施形態と同じである。

このように構成された光走査装置１では、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対と、櫛歯電極部１４ｄと櫛歯電極部５ｄの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳに対して点対称となるように設けられる。このため、櫛歯電極部１４ａと櫛歯電極部５ａの対のる静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｄと櫛歯電極部５ｄの対の静電容量信号とは逆位相となる。従って、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、回転変位量（走査角度）と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、本体部１１の重心ＪＳに対して点対称となるように設けられているため、本体部１１の偏心を防ぎ、弾性連結部１２ａ，１２ｂの回転中心と、光走査装置全体１としての回転中心とを一致させることができる。

（第５実施形態）
以下に本発明の第５実施形態について図面とともに説明する。尚、第５実施形態では、第１実施形態と異なる部分のみを説明する。

図８は、本発明が適用された第５実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。
第５実施形態の光走査装置１は、図８に示すように、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを省略した点と、櫛歯電極部５ｅ，５ｆと櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆを追加した点以外は第１実施形態と同じである。

櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆは、本体部１１の上辺１１ａ上に設けられて櫛歯状に形成されている。そして、櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆを構成する櫛歯は、回転軸ＫＪに対して直交する方向に延びている。

更に、櫛歯電極部１４ｆは、弾性連結部１２ａを挟んで、櫛歯電極部１４ｅが配置されているのと同じ側に配置される。また櫛歯電極部１４ｆは、櫛歯電極部１４ｅよりも、回転軸ＫＪから遠い位置に配置される。

また、櫛歯電極部１４ｆの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ３が、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ２よりも短くなるように設置されるとともに、櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆの櫛歯長ＫＬ３は、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯長ＫＬ２よりも短くなるように形成されている。

また櫛歯電極部５ｅ，５ｆはそれぞれ、櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成される。そして櫛歯電極部５ｅ，５ｆはそれぞれ、櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆと噛み合うように設置される。

このように構成された光走査装置１では、櫛歯電極部５ｅと櫛歯電極部１４ｅとの対のみが設けられている場合よりも大きな静電容量を検出することができ、回転変位量（走査角度）をより精度よく検出することができる。

以上説明した実施形態において、櫛歯電極部１４ｅ，１４ｆは本発明における第３櫛歯状電極部、櫛歯電極部５ｅ，５ｆは本発明における第４櫛歯状電極部である。
（第６実施形態）
以下に本発明の第６実施形態について図面とともに説明する。尚、第６実施形態では、第１実施形態と異なる部分のみを説明する。

図９は、本発明が適用された第６実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。
第６実施形態の光走査装置１は、図９に示すように、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを省略した点と、櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊと櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊを追加した点以外は第１実施形態と同じである。

櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈは、弾性連結部１２ａに設けられて櫛歯状に形成されている。また、櫛歯電極部１４ｉ，１４ｊは、弾性連結部１２ａ，１２ｂに設けられて櫛歯状に形成されている。そして、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊを構成する櫛歯は、回転軸ＫＪに対して直交する方向に延びている。

更に、櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部１４ｈとは弾性連結部１２ａを挟んで対向するように配置され、櫛歯電極部１４ｉと櫛歯電極部１４ｊとは弾性連結部１２ｂを挟んで対向するように配置される。

また櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇの対と、櫛歯電極部１４ｉと櫛歯電極部５ｉの対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳを通り回転軸ＫＪに直交する面ＪＭに対して対称となるように設けられる。更に、櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈの対と、櫛歯電極部１４ｊと櫛歯電極部５ｊの対とは、本体部１１を挟んで両側に、面ＪＭに対して対称となるように設けられる。

また、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ４が、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ２よりも短くなるように設置されるとともに、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊの櫛歯長ＫＬ４は、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯長ＫＬ２よりも短くなるように形成されている。

また櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊはそれぞれ、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成される。そして櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊはそれぞれ、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊと噛み合うように設置される。

なお、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部４ａ，４ｂの櫛歯幅と、櫛歯
電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊの櫛歯幅と、櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊの櫛歯幅とが略同じとなるように形成されている。

このように構成された光走査装置１では、本体部１１を回転駆動するための櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂと、本体部１１の走査角度を検出する櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊ及び櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊとが異なる櫛歯電極部として構成されている。そして、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊは、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ４が、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ２よりも短くなるように設置されるとともに、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯長よりも短い櫛歯を有している。そして、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部４ａ，４ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊの櫛歯幅と、櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊの櫛歯幅とが略同じであるので、本体部１１が共振周波数で振動している際に、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂと櫛歯電極部４ａ，４ｂとが対向している期間（駆動対向期間）よりも、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊと櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊとが対向している期間（変位検出対向期間）のほうが長くなる。これは、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部の回転方向ＫＨに沿った変位量（回転変位量）が、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊの櫛歯の先端部の回転方向ＫＨに沿った変位量（回転変位量）よりも大きいからである。

したがって、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊと櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊについての変位検出対向期間が長くなる分、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊと櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊとの間の静電容量を検出することができるため、より大きい回転変位量（走査角度）を精度よく検出することができる。

更に、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊは、弾性連結部１２ａまたは弾性連結部１２ｂに設けられているので、第１実施形態の櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄよりも回転軸ＫＪに近い位置に配置することができる。したがって、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄよりも変位検出対向期間を長くすることができ、より大きい回転変位量（走査角度）を精度よく検出することができる。

また、櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇの対と、櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈの対とは、弾性連結部１２ａを挟んで両側に、回転軸ＫＪに対して対称になるように設けられる。このため、櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇの対の静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈの対の静電容量信号とは逆位相となる。従って、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、静電容量信号の出力が増すとともに、回転変位量（走査角度）と静電容量信号の電圧値との関係の線形性を向上させることができる。更に、櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇの対と櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈの対との両方の静電容量信号に、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂに印加した電圧で発生したノイズが混入した場合に、このノイズは櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇの対と櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈの対とで同位相であるので、これら２つの静電容量信号の差動増幅をとることで、このノイズを打ち消す、または低減することができる。

また、櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇ（櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈ）の対と、櫛歯電極部１４ｉと櫛歯電極部５ｉ（櫛歯電極部１４ｊと櫛歯電極部５ｊ）の対とは、本体部１１を挟んで両側に、本体部１１の重心ＪＳを通り回転軸ＫＪに直交する面ＪＭに対して対称となるように設けられる。これにより、櫛歯電極部１４ｇと櫛歯電極部５ｇ（櫛歯電極部１４ｈと櫛歯電極部５ｈ）の対の静電容量信号と、櫛歯電極部１４ｉと櫛歯電極部５ｉ（櫛歯電極部１４ｊと櫛歯電極部５ｊ）の対の静電容量信号とは同位相となる
。このため、これら２つの静電容量信号を加算することで、２倍の信号出力を得ることができる。

以上説明した実施形態において、櫛歯電極部１４ｇ，１４ｈ，１４ｉ，１４ｊは本発明における第５櫛歯状電極部、櫛歯電極部５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊは本発明における第６櫛歯状電極部である。

（第７実施形態）
以下に本発明の第７実施形態について図面とともに説明する。尚、第７実施形態では、第１実施形態と異なる部分のみを説明する。

図１０は本発明が適用された第７実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図、図１１は図１０のＡ−Ａ断面部を示す図である。
第７実施形態の光走査装置１は、図１０に示すように、櫛歯電極部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを省略した点と、櫛歯電極部５ｋ，５ｌと櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌを追加した点以外は第１実施形態と同じである。

櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌは、本体部１１の上辺１１ａ上に設けられて櫛歯状に形成されている。そして、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌを構成する櫛歯は、回転軸ＫＪに対して平行な方向に延びている。

更に、櫛歯電極部１４ｋと櫛歯電極部１４ｌとは弾性連結部１２ａを挟んで対向するように配置される。
また櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌは、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌを構成する櫛歯のうちで回転軸ＫＪから最も遠い位置に配置された櫛歯と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ５が、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の根元の部分と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ６よりも短くなるように設置されている。

また櫛歯電極部５ｋ，５ｌはそれぞれ、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌと一定間隔を空けて噛み合う櫛歯状に形成される。そして櫛歯電極部５ｋ，５ｌはそれぞれ、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌと噛み合うように設置される。

なお、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部４ａ，４ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌの櫛歯幅と、櫛歯電極部５ｋ，５ｌの櫛歯幅とが略同じとなるように形成されている。

そして、櫛歯電極部５ｋ，５ｌの櫛歯及び櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌの櫛歯は、図１１に示すように、回転軸ＫＪに直交する断面が矩形状となるように形成されており、櫛歯電極部５ｋ，５ｌの櫛歯における回転軸ＫＪ側を向いている面ＫＴ１と弾性連結部１２ａの中心部ＣＨとの距離ＤＴ１が、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌの櫛歯における、面ＫＴ１と対向している面ＫＴ２側の角部ＫＫと弾性連結部１２ａの中心部ＣＨとの距離ＤＴ２より長くなるように配置されている。

このように構成された光走査装置１では、本体部１１を回転駆動するための櫛歯電極部１３ａ，１３ｂ及び櫛歯電極部４ａ，４ｂと、本体部１１の走査角度を検出する櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌ及び櫛歯電極部５ｋ，５ｌとが異なる櫛歯電極部として構成されている。そして櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌは、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌを構成する櫛歯のうちで回転軸ＫＪから最も遠い位置に配置された櫛歯と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ５が、櫛歯電
極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の根元の部分と回転軸ＫＪとの距離ＤＳ６よりも短くなるように設置されている。そして、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部４ａ，４ｂの櫛歯幅と、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌの櫛歯幅と、櫛歯電極部５ｋ，５ｌの櫛歯幅とが略同じであるので、本体部１１が共振周波数で振動している際に、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂと櫛歯電極部４ａ，４ｂとが対向している期間（駆動対向期間）よりも、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌと櫛歯電極部５ｋ，５ｌとが対向している期間（変位検出対向期間）のほうが長くなる。これは、櫛歯電極部１３ａ，１３ｂの櫛歯の先端部の回転方向ＫＨに沿った変位量（回転変位量）が、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌの櫛歯の先端部の回転方向ＫＨに沿った変位量（回転変位量）よりも大きいからである。

したがって、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌと櫛歯電極部５ｋ，５ｌについての変位検出対向期間が長くなる分、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌと櫛歯電極部５ｋ，５ｌとの間の静電容量を検出することができるため、より大きい回転変位量（走査角度）を精度よく検出することができる。

更に、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌを構成する櫛歯は、回転軸ＫＪに対して平行な方向に延びているため、櫛歯が回転軸ＫＪに対して垂直な方向に延びている場合よりも、検出櫛歯対から検出される静電容量信号を差動増幅した際における静電容量の電圧に対する変化を緩やかにすることができる。例えば、図１２（ａ）に示すように櫛歯ＫＢ１を回転軸ＫＪに対して平行な方向に延出させて設けた場合における回転軸ＫＪに対して対称に配置された２つの櫛歯ＫＢ１からの静電容量信号ＳＳ１，ＳＳ２（図１３（ａ）を参照）についての差動増幅信号ＳＺ１の傾きＫＳ１（図１３（ａ）を参照）は、図１２（ｂ）に示すように櫛歯ＫＢ２を回転軸ＫＪに対して垂直な方向に延出させた場合における回転軸ＫＪに対して対称に配置された２つの櫛歯ＫＢ２からの静電容量信号ＳＳ３，ＳＳ４（図１３（ｂ）を参照）についての差動増幅信号ＳＺ２の傾きＫＳ２（図１３（ｂ）を参照）よりも小さくなる。なお、図１３（ａ），（ｂ）では、傾きを対比させやすいように、傾きＫＳ１及び傾きＫＳ２を並べて表示している。

また、櫛歯電極部５ｋ，５ｌの櫛歯における回転軸ＫＪ側を向いている面ＫＴ１と弾性連結部１２ａの中心部ＣＨの距離ＤＴ１が、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌの櫛歯における、面ＫＴ１と対向している面ＫＴ２側の角部ＫＫと弾性連結部１２ａの中心部ＣＨとの距離ＤＴ２より長くなるように配置されているので、本体部１１を回転方向ＫＨに回転させる際に、面ＫＴ１と角部ＫＫとが接触しないようにすることができる。

以上説明した実施形態において、櫛歯電極部１４ｋ，１４ｌは本発明における第３櫛歯状電極部、櫛歯電極部５ｋ，５ｌは本発明における第４櫛歯状電極部、面ＫＴ１は本発明における第４櫛歯内側面、面ＫＴ２は本発明における第３櫛歯対向面である。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採ることができる。
例えば、上記実施形態においては、薄膜２２がＡｌ、Ｔｉ及びＴｉＮの何れか１つを材料として形成されているものを示したが、単結晶Ｓｉまたは多結晶Ｓｉを材料として形成されているようにしてもよい。これにより、高温プロセスで光走査装置１を製造することが可能となる。

また上記実施形態においては、櫛歯電極部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを構成する櫛歯が回転軸ＫＪに対して直交する方向に延びているものを示したが、櫛歯が延びる方向はこれに限られるものではなく、回転軸ＫＪに対して非平行な方向であれば直交する方向でなくてもよい。

また上記実施形態においては、櫛歯−櫛歯間静電容量を用いて走査角度の絶対値を検出し、櫛歯−薄膜間静電容量を用いて走査角度の正負を検出するものを示したが、櫛歯−薄膜間静電容量を用いて走査角度の絶対値と正負とを検出するようにしてもよい。

また上記実施形態においては、本体部１１が矩形状であるものを示したが、本体部１１の形状はこれに限られるものではなく、例えば、図１４に示すように本体部１１が円形状であってもよい。

第１実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 図１のＡ−Ａ断面部を示す図である。 光走査装置１の電気的構成を示すブロック図である。 静電容量ＳＹ１，ＳＹ２の走査角度に対する変化を示す図である。 第２実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 第３実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 第４実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 第５実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 第６実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 第７実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。 図１０のＡ−Ａ断面部を示す図である。 櫛歯ＫＢ１及び櫛歯ＫＢ２についての回転軸ＫＪに対する延出方向を説明するための図である。 櫛歯ＫＢ１及び櫛歯ＫＢ２についての差動増幅信号を示す図である。 別の実施形態の光走査装置１の構成を示す平面図である。

符号の説明

１…光走査装置、２…光ビーム反射部、３…支持部、３ａ…上側支持部、３ｂ…下側支持部、４…駆動部、４ａ，４ｂ…櫛歯電極部、５…角度検出部、５ａ〜５ｌ…櫛歯電極部、１１…本体部、１２ａ，１２ｂ…弾性連結部、１３…駆動信号発生回路、１３ａ，１３ｂ…櫛歯電極部、１４ａ〜１４ｌ…櫛歯電極部、２１…絶縁膜、２２…薄膜、３１…駆動信号発生回路、３２…増幅回路、３３（３３ａ〜３３ｄ），３４（３４ａ〜３４ｄ）…Ｃ−Ｖ変換回路、３５…半導体レーザ、３６…制御回路、ＪＭ…面、ＪＳ…重心、ＫＪ…回転軸

Claims (15)

1. 光ビームを反射させる反射面を有する反射部と、
   前記反射部に連結された弾性変形可能な弾性連結部を有し、該弾性連結部を回転軸として予め設定された所定回転方向に前記反射部を揺動可能に支持する揺動支持部と、
   前記反射部に設けられ、前記回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯状に形成された第１櫛歯状電極部と、
   前記第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成され、該第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第２櫛歯状電極部と、
   前記反射部に設けられて櫛歯状に形成された第３櫛歯状電極部と、該第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成されて該第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第４櫛歯状電極部とを有し、該第３櫛歯状電極部と該第４櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、前記反射部の前記所定回転方向に沿った変位量を検出する変位量検出手段とを備え、
   前記第１櫛歯状電極部と前記第２櫛歯状電極部との間に電圧を印加することで両電極部間に発生する静電引力により、前記反射部を前記所定回転方向に所定周波数で振動させるように構成された光走査装置であって、
   前記第３櫛歯状電極部は、
   前記回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯を有し、
   当該第３櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と前記回転軸との距離が、前記第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と前記回転軸との距離よりも短くなるように設置されるとともに、前記第１櫛歯状電極部の櫛歯長よりも短い櫛歯を有する
   ことを特徴とする光走査装置。
2. 前記第３櫛歯状電極部と前記第４櫛歯状電極部との対が、前記回転軸に対して左及び右の少なくとも何れか一方の側に、少なくとも２つ以上配置されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
3. 光ビームを反射させる反射面を有する反射部と、
   前記反射部に連結された弾性変形可能な弾性連結部を有し、該弾性連結部を回転軸として予め設定された所定回転方向に前記反射部を揺動可能に支持する揺動支持部と、
   前記反射部に設けられ、前記回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯状に形成された第１櫛歯状電極部と、
   前記第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成され、該第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第２櫛歯状電極部と、
   前記反射部に設けられて櫛歯状に形成された第３櫛歯状電極部と、該第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成されて該第３櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第４櫛歯状電極部とを有し、該第３櫛歯状電極部と該第４櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、前記反射部の前記所定回転方向に沿った変位量を検出する変位量検出手段とを備え、
   前記第１櫛歯状電極部と前記第２櫛歯状電極部との間に電圧を印加することで両電極部間に発生する静電引力により、前記反射部を前記所定回転方向に所定周波数で振動させるように構成された光走査装置であって、
   前記第３櫛歯状電極部は、
   前記回転軸に対して平行な方向に延出した櫛歯を有し、
   当該第３櫛歯状電極部を構成する櫛歯のうちで前記回転軸から最も遠い位置に配置された櫛歯と前記回転軸との距離が、前記第１櫛歯状電極部の櫛歯の根元の部分と前記回転軸との距離よりも短くなるように設置されている
   ことを特徴とする光走査装置。
4. 前記第３櫛歯状電極部の櫛歯及び前記第４櫛歯状電極部の櫛歯は、前記回転軸に直交する断面が矩形状となるように形成され、
   前記第４櫛歯状電極部の櫛歯における前記回転軸側を向いている面を第４櫛歯内側面とし、
   前記第３櫛歯状電極部の櫛歯における前記第４櫛歯内側面と対向している面を第３櫛歯対向面として、
   前記第３櫛歯状電極部の櫛歯及び前記第４櫛歯状電極部の櫛歯は、
   前記第４櫛歯内側面と前記回転軸との距離が、前記第３櫛歯状電極部の櫛歯における前記第３櫛歯対向面側の角部と前記回転軸との距離より長くなるように配置されている
   ことを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
5. 前記第３櫛歯状電極部と前記第４櫛歯状電極部との対は、前記弾性連結部を挟んで両側に、前記回転軸に対して対称になるように設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置。
6. 前記第３櫛歯状電極部と前記第４櫛歯状電極部との対は、前記反射部を挟んで両側に、前記反射部の重心に対して点対称となるように設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置。
7. 前記第３櫛歯状電極部と前記第４櫛歯状電極部との対は、前記反射部を挟んで両側に、前記回転軸に直交する面に対して対称となるように設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置。
8. 前記第３櫛歯状電極部と前記第４櫛歯状電極部との対は、
   前記弾性連結部を挟んで両側に、前記回転軸に対して対称となるように設けられ、
   前記反射部を挟んで両側に、前記反射部の重心に対して点対称となるように設けられ、
   前記反射部を挟んで両側に、前記回転軸に直交する面に対して対称となるように設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の光走査装置。
9. 前記第３櫛歯状電極部の櫛歯及び前記第４櫛歯状電極部の櫛歯は、前記回転軸に直交する断面が矩形状となるように形成され、
   前記第４櫛歯状電極部の櫛歯における、前記第３櫛歯状電極部の櫛歯と非対向となる２つの面の何れか一方の面上には、絶縁膜を介して導電性の薄膜が設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜請求項８の何れかに記載の光走査装置。
10. 光ビームを反射させる反射面を有する反射部と、
    前記反射部に連結された弾性変形可能な弾性連結部を有し、該弾性連結部を回転軸として予め設定された所定回転方向に前記反射部を揺動可能に支持する揺動支持部と、
    前記反射部に設けられ、前記回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯状に形成された第１櫛歯状電極部と、
    前記第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成され、該第１櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第２櫛歯状電極部と、
    前記弾性連結部に設けられて櫛歯状に形成された第５櫛歯状電極部と、該第５櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成されて該第５櫛歯状電極部と噛み合い可能な位置に固定して設置された第６櫛歯状電極部とを有し、該第５櫛歯状電極部と該第６櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、前記反射部の前記所定回転方向に沿った変位量を検出する変位量検出手段とを備え、
    前記第１櫛歯状電極部と前記第２櫛歯状電極部との間に電圧を印加することで両電極部間に発生する静電引力により、前記反射部を前記所定回転方向に所定周波数で振動させる
    ように構成された光走査装置であって、
    前記第５櫛歯状電極部は、
    前記回転軸に対して非平行な方向に延出した櫛歯を有し、
    当該第５櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と前記回転軸との距離が、前記第１櫛歯状電極部の櫛歯の先端部と前記回転軸との距離よりも短くなるように設置されるとともに、前記第１櫛歯状電極部の櫛歯長よりも短い櫛歯を有する
    ことを特徴とする光走査装置。
11. 前記第５櫛歯状電極部と前記第６櫛歯状電極部との対が、前記弾性連結部を挟んで両側に、前記回転軸に対して対称になるように設けられる
    ことを特徴とする請求項１０に記載の光走査装置。
12. 前記弾性連結部は、前記反射部を挟んで前記回転軸に沿った上側に配置された上側連結部と、前記反射部を挟んで前記回転軸に沿った下側に配置された下側連結部とから構成され、
    前記第５櫛歯状電極部と前記第６櫛歯状電極部との対が前記反射部を挟んで両側に前記回転軸に直交する面に対して対称となるように、前記第５櫛歯状電極部が前記上側連結部と前記下側連結部とに設けられる
    ことを特徴とする請求項１０に記載の光走査装置。
13. 前記第５櫛歯状電極部の櫛歯及び第６櫛歯状電極部の櫛歯は、前記回転軸に直交する断面が矩形状となるように形成され、
    前記第６櫛歯状電極部の櫛歯における、前記第５櫛歯状電極部の櫛歯と非対向となる２つの面の何れか一方の面上には、絶縁膜を介して導電性の薄膜が設けられる
    ことを特徴とする請求項１０〜請求項１２の何れかに記載の光走査装置。
14. 前記導電性の薄膜は、Ａｌ、Ｔｉ及びＴｉＮの何れか１つを材料として形成されている
    ことを特徴とする請求項９または請求項１３に記載の光走査装置。
15. 前記導電性の薄膜は、単結晶Ｓｉまたは多結晶Ｓｉを材料として形成されている
    ことを特徴とする請求項９または請求項１３に記載の光走査装置。

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