JP6370832B2 - 電圧センサ - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 39
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 25
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 8
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 8
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/24—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices
- G01R15/241—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices using electro-optical modulators, e.g. electro-absorption
- G01R15/242—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices using electro-optical modulators, e.g. electro-absorption based on the Pockels effect, i.e. linear electro-optic effect
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Description
なる関係式(1)に基づく共振周波数frで振動することとなる。
なお、式(2)においてε0はギャップg間の誘電率であり、Vは測定対象となる電圧である。
10 :支持手段
20 :振動子
21 :リング部
22 :櫛歯部
30 :固定電極
31 :円弧内側部位
32 :溝
40 :駆動電極
41 :櫛歯部
50 :演算部
B :基板
B1 :開口
QP :節
Claims (5)
- 機械的な支持手段によって支持された円形状又は略円形状の振動子と、
前記振動子に対して所定の隙間を介して配置された固定電極と、
前記振動子を挟んで前記固定電極と異なる位置に配置され、前記振動子を振動させるために交流の駆動電圧が印加される駆動電極と、を備え、
前記固定電極に測定対象である電圧を印加することで、静電引力を前記振動子に作用させ、当該振動子の共振周波数が変化することで、測定対象である電圧を算出する
ことを特徴とする電圧センサ。 - 前記支持手段は、前記振動子のうち振動振幅が最小となる4つの節の少なくとも1つに接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載の電圧センサ。 - 前記固定電極は、前記振動子の振動方向に沿って櫛歯状の溝が形成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の電圧センサ。 - 前記振動子、前記固定電極、及び前記駆動電極は、基板上に形成されると共に、
前記基板は、平面視して前記振動子の形成領域に開口が設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の電圧センサ。 - 前記固定電極及び駆動電極は、それぞれ2つ設けられており、
2つの前記駆動電極は、前記振動子の中心に対して互いに反対位置に配置されると共に、同位相の交流の駆動電圧が印加され、
2つの前記固定電極は、2つの前記駆動電極を結ぶ方向に対して直角となる位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の電圧センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016093214A JP6370832B2 (ja) | 2016-05-06 | 2016-05-06 | 電圧センサ |
US15/583,044 US10401394B2 (en) | 2016-05-06 | 2017-05-01 | Voltage sensor |
DE102017207333.0A DE102017207333A1 (de) | 2016-05-06 | 2017-05-02 | Spannungssensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016093214A JP6370832B2 (ja) | 2016-05-06 | 2016-05-06 | 電圧センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017201273A JP2017201273A (ja) | 2017-11-09 |
JP6370832B2 true JP6370832B2 (ja) | 2018-08-08 |
Family
ID=60119614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016093214A Active JP6370832B2 (ja) | 2016-05-06 | 2016-05-06 | 電圧センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10401394B2 (ja) |
JP (1) | JP6370832B2 (ja) |
DE (1) | DE102017207333A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022126948A1 (de) | 2022-10-14 | 2024-04-25 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer Spannung |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03146875A (ja) | 1989-10-31 | 1991-06-21 | Ngk Insulators Ltd | 光電圧センサ |
FI981457A0 (fi) * | 1998-06-24 | 1998-06-24 | Valtion Teknillinen | Mikromekaaninen vaihto- ja tasajännitereferenssilaitteisto |
US6628177B2 (en) * | 2000-08-24 | 2003-09-30 | The Regents Of The University Of Michigan | Micromechanical resonator device and micromechanical device utilizing same |
JP4292746B2 (ja) * | 2002-02-15 | 2009-07-08 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
US6985051B2 (en) * | 2002-12-17 | 2006-01-10 | The Regents Of The University Of Michigan | Micromechanical resonator device and method of making a micromechanical device |
KR100476562B1 (ko) * | 2002-12-24 | 2005-03-17 | 삼성전기주식회사 | 수평형 및 튜닝 포크형 진동식 마이크로 자이로스코프 |
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JP2006029992A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動型圧電加速度センサ |
WO2010067793A1 (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-17 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
JP5711913B2 (ja) * | 2010-08-10 | 2015-05-07 | 日本電波工業株式会社 | ディスク型mems振動子 |
EP2544370B1 (en) * | 2011-07-06 | 2020-01-01 | Nxp B.V. | MEMS resonator |
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JP6199574B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2017-09-20 | 矢崎総業株式会社 | 電圧センサ |
JP6143430B2 (ja) * | 2012-05-08 | 2017-06-07 | 三菱プレシジョン株式会社 | バイアス補正機能を備えた振動型ジャイロ |
CN105637335B (zh) * | 2013-10-25 | 2018-01-19 | 国立大学法人东京大学 | 压力传感器以及压力检测装置 |
JP6448448B2 (ja) * | 2015-04-10 | 2019-01-09 | 株式会社東芝 | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 |
-
2016
- 2016-05-06 JP JP2016093214A patent/JP6370832B2/ja active Active
-
2017
- 2017-05-01 US US15/583,044 patent/US10401394B2/en active Active
- 2017-05-02 DE DE102017207333.0A patent/DE102017207333A1/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170322238A1 (en) | 2017-11-09 |
DE102017207333A1 (de) | 2017-11-09 |
JP2017201273A (ja) | 2017-11-09 |
US10401394B2 (en) | 2019-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170919 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180620 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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