JP2008275459A - センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサは、振動可能に支持された検出振動子204と、第1と第2の電極と、第1と第2の電極に対向して配置される検知電極と、第1と第2の電極に夫々第1と第2の交流信号を供給する信号供給手段214、215を備える。第1と第2の電極及び検知電極の一方が検出振動子204に設けられる。信号供給手段214、215は、検出振動子204を変位のない検出中立位置に保持する第1と第2の交流信号を第1と第2の電極に夫々供給する。センサは、検出振動子204の変位時において、第1と第2の電極に夫々供給される第1と第2の交流信号により検知電極204に誘導される誘導電荷の信号に基づいて物理量を検出する。
【選択図】図1-1
Description
Mechanical Systems)を用いた振動型角速度センサが提案されている。これは、振動子を或る振幅で参照振動させておき、角速度が入力された時に発生するコリオリ力を、振動子の振動の変位として検出する方式を用いている。振動子は、参照振動の方向と検出の方向への振動を発生しやすくする必要がある。しかし、この方式では、参照振動方向の振動で検出振動方向の振動(一種の振動ノイズ)が発生することにより、検出信号の精度が低下することがある。そのため、参照振動用の振動子(参照振動子)と検出用の振動子(検出振動子)を分離して構成する方式が提案されている(ダブル・フレーム方式と呼ぶ)。
センサは、振動可能に支持された検出振動子と、交流信号用の第1の電極と第2の電極と、該第1と第2の電極に対向して配置される検知電極と、該第1と第2の電極に夫々第1と第2の交流信号を供給する信号供給手段を備える。前記第1と第2の電極及び前記検知電極の一方が前記検出振動子に設けられる。前記信号供給手段が、前記検出振動子を変位のない検出中立位置に保持する前記第1の交流信号と第2の交流信号を発生して前記第1と第2の電極に夫々供給する。センサは、前記検出振動子の変位時において、前記第1と第2の電極に夫々供給される前記第1の交流信号と第2の交流信号により前記検知電極に誘導される誘導電荷の信号に基づいて物理量を検出する。本発明において、「検出振動子が検出中立位置に保持された状態」とは、検出振動子が変位のない検出中立位置に厳密に保持された状態だけでなく、厳密には当該検出中立位置からはずれたとしても本発明の検出精度が維持できる範囲であれば許容される。
図1は、第1の実施形態に係る角速度センサを説明するための図である。図1-1は斜視図、図1-2は直線L1に沿った基板201に垂直な断面の図、図1-3は下部支持基板208上での第1の電極(下部電極)210と第2の電極(下部電極)211の配置を示した図である。
図2(a)、図2(b)は、本実施形態の電極210、211への交流信号301、302を説明する図である。図2(c)は、交流信号により発生する静電引力を示す図である。第1の交流信号301及び第2の交流信号302を示す図2(a)、(b)において、横軸は時間、縦軸は交流信号の大きさである。図2(c)では、横軸は時間、縦軸は静電引力の大きさである。ここでは、検知電極212に電荷が誘導されていない時の電位を、電極基準電位Vrとする。これは、電荷量測定手段216により、検知電極212に与えられる電位により決まる。
電荷量測定手段216は、第1の電極210と第2の電極211に夫々印加した第1と第2の交流信号301、302により検知電極212に静電誘導される電荷の変化量を検出する。この検出原理を、図1-4、図4、図5を用いて、左半分の検知電極217と右半分の検知電極218により構成されると見なした検知電極212に誘導される電荷の変化量について述べつつ、説明する。
本発明の第2の実施形態を説明する。図6に示す第2の実施形態の角速度センサは、検出振動子204と参照振動子202、209上に、すべての検知電極と電極が配置されることを特徴とする。それ以外は、第1の実施形態と同じである。図6-1は斜視図、図6-2は直線L2に沿った基板201に垂直な断面の図である。
本発明の第3の実施形態を説明する。本実施形態の角速度センサは、検出振動子204により検知電極212が構成されていることが第1の実施形態と異なる。それ以外は、第1の実施形態と同じである。
図8に示す第4の実施形態は、第1の電極210と第2の電極211間に、静電シールド220が配置されている点が第1の実施形態と異なる。それ以外は、第1の実施形態と同じである。
図9-1を用いて第5の実施形態を説明する。本実施形態は、第3の電極と第4の電極を配置していることが第1の実施形態と異なる。それ以外は、第1の実施形態と同じである。
図10を用いて第6の実施形態の角速度センサを説明する。本実施形態は、参照振動子を欠き検出振動子のみを有することが第1の実施形態と異なる。それ以外は、第1の実施形態と同じである。
図11を用いて第7の実施形態の加速度センサなどの物理量センサを説明する。本実施形態は、参照振動子を欠き往復並進振動可能な検出振動子のみを有する。
204、304、354 検出振動子
206 参照振動発生手段
210、211、222、223、310、311、360、361 電極(第1の電極、第2の電極、第3の電極、第4の電極)
212、217、218、224、312 検知電極(第2の検知電極)
213 駆動信号供給手段
214、215 信号供給手段(第1の信号供給手段、第2の交流信号供給手段)
216 電荷量測定手段
301 第1の交流信号
302 第2の交流信号
Claims (9)
- 振動可能に支持された検出振動子と、交流信号印加用の第1の電極と第2の電極と、該第1と第2の電極に対向して配置される検知電極と、該第1と第2の電極に夫々第1と第2の交流信号を供給する信号供給手段と、を備え、
前記第1と第2の電極及び前記検知電極の一方が前記検出振動子に設けられ、
前記信号供給手段が、前記検出振動子を変位のない検出中立位置に保持する前記第1の交流信号と第2の交流信号を発生して前記第1と第2の電極に夫々供給し、
前記検出振動子の変位時において、前記第1と第2の電極に夫々供給される前記第1の交流信号と第2の交流信号により前記検知電極に誘導される誘導電荷の信号に基づいて物理量を検出することを特徴とするセンサ。 - 前記検知電極に基準電位を与えると共に前記誘導電荷の信号に基づいて前記物理量を検出する電荷量測定手段を備え、
前記第1と第2の交流信号は、夫々、前記基準電位を基準とした同じ周波数で逆相の交流信号である請求項1に記載のセンサ。 - 参照振動子と、参照中立位置を中心とした該参照振動子の振動を発生させる参照振動発生手段を更に備え、
前記参照振動子は前記検出振動子を振動可能に支持する請求項1または2に記載のセンサ。 - 前記検出振動子は、第1の回転軸の回りに回転振動可能に支持され、
前記参照振動発生手段は、前記参照振動子に第2の回転軸の回りに回転振動させ、
前記物理量である角速度により発生するコリオリ力による前記検出振動子の振動を利用して、該角速度を検出する請求項3に記載のセンサ。 - 前記第1と第2の電極と前記検知電極がすべて、前記検出振動子と前記参照振動子の上に配置されている請求項3または4に記載のセンサ。
- 前記検知電極が、前記第1の電極と第2の電極に夫々対応して、分割されている請求項1乃至5の何れかに記載のセンサ。
- 絶縁部により他の領域から絶縁された前記検出振動子の部分により、前記第1と第2の電極、または前記検知電極が形成されている請求項1乃至6の何れかに記載のセンサ。
- 前記第1の電極と第2の電極との間に、静電シールドを有していることを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載のセンサ。
- 第3の電極と第4の電極と、該第3と第4の電極に対向するように配置される第2の検知電極を更に備え、
前記検出振動子に対して面対称となるように、前記第1の電極と第3の電極及び前記第2の電極と第4の電極とが、夫々、配置され、
前記信号供給手段が、前記第3の電極に前記第2の交流信号を、前記第4の電極に前記第1の交流信号を供給し、
前記検出振動子の変位時において、前記第1と第2の電極に夫々供給される前記第1の交流信号と第2の交流信号により前記検知電極に誘導される誘導電荷の信号、及び前記第4と第3の電極に夫々供給される前記第1の交流信号と第2の交流信号により前記第2の検知電極に誘導される誘導電荷の信号に基づいて物理量を検出する請求項1乃至8の何れかに記載のセンサ。
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