JP4466283B2 - ジャイロセンサ - Google Patents
ジャイロセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4466283B2 JP4466283B2 JP2004247427A JP2004247427A JP4466283B2 JP 4466283 B2 JP4466283 B2 JP 4466283B2 JP 2004247427 A JP2004247427 A JP 2004247427A JP 2004247427 A JP2004247427 A JP 2004247427A JP 4466283 B2 JP4466283 B2 JP 4466283B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass body
- detection
- drive
- support substrate
- gyro sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 190
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 168
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 25
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
2 支持基板
3 キャップ
10 フレーム
11A 第1駆動質量体
11B 第2駆動質量体
12 検出質量体
13A 第1駆動ばね
13B 第2駆動ばね
14A,14B スリット溝
15 検出ばね
16 連結片
17 固定片
18 切抜孔
20 固定子
21 電極片
23 固定櫛歯片
24 可動櫛歯片
25A 第1固定駆動電極
25B 第2固定駆動電極
26 透孔
27 電極配線
Claims (9)
- 支持基板と、半導体基板から成る主基板とを備えて成るジャイロセンサにおいて、前記主基板は、
基端部が前記支持基板に固定され、前記支持基板に沿った面内で一方向に延び、前記一方向とは直交方向に撓み変形可能な一対の検出ばねと、
前記一対の検出ばねの遊端部に接続されることで、前記検出ばねを介して支持基板に変位可能に支持される検出質量体と、
前記検出質量体の前記一方向の両側に相互に対称に配置され、相互に同位相で前記支持基板に交差する方向に振動するように駆動される一対の第1駆動質量体および第2駆動質量体と、
前記第1駆動質量体および第2駆動質量体を前記検出質量体にそれぞれ連結する第1駆動ばねおよび第2駆動ばねと、
前記支持基板に沿った面内での前記検出質量体の変位量を検出する検出手段とを含むことを特徴とするジャイロセンサ。 - 前記一対の検出ばねの基端部間を相互に連結し、剛性を有する連結片をさらに有し、該連結片の中間部が前記支持基板に固定されることを特徴とする請求項1記載のジャイロセンサ。
- 前記検出ばねは、前記検出質量体において、前記対称となる線上に接続されることを特徴とする請求項1または2記載のジャイロセンサ。
- 前記第1駆動ばねおよび第2駆動ばねは、ねじれ変形が可能なトーションばねであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 前記検出手段は、前記検出質量体に形成された切抜孔の内周面に突設した複数本の可動櫛歯片と、前記切抜孔の内側に配置され、前記支持基板に固定された固定子の外周面に各可動櫛歯片とそれぞれ対向するように突設した複数本の固定櫛歯片とから成ることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 前記支持基板において、前記第1および第2駆動質量体との対向面にはそれぞれ対応する第1および第2固定駆動電極が配置され、前記検出ばねにおける支持基板への固定部と、前記第1および第2固定駆動電極との間に振動電圧を印加することによって、前記第1および第2駆動質量体と第1および第2固定電極との間に作用する静電力で前記第1および第2駆動質量体を振動させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 前記支持基板は厚み方向に貫通する複数個の透孔を有し、前記透孔の内周面には導電性の金属薄膜から成り、主基板を外部回路に接続する電極配線が形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 前記第1および第2駆動質量体の厚み寸法は、前記検出質量体の厚み寸法よりも大きいことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 駆動質量体を支持基板に交差する方向に振動させ、前記駆動質量体に駆動ばねを介して連結された検出質量体における前記駆動質量体の振動方向とは垂直な面内での変位量を検出することで、前記面内の予め定める軸線回りの角速度を検出するようにしたジャイロセンサにおいて、
前記検出質量体を中心として、その両側に前記駆動質量体を一対で対称に配置し、かつ相互に同位相で振動させ、
前記駆動質量体および検出質量体の配列方向と平行に延び、基端部が前記支持基板に接続され、遊端部が前記検出質量体に接続されることで、前記駆動質量体および検出質量体の前記振動方向の変位およびそれに垂直な方向の変位を可能に支持する一対の検出ばねと、
前記検出質量体の前記面方向の変位量を検出する検出手段とを含むことを特徴とするジャイロセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004247427A JP4466283B2 (ja) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | ジャイロセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004247427A JP4466283B2 (ja) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | ジャイロセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006064538A JP2006064538A (ja) | 2006-03-09 |
JP4466283B2 true JP4466283B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=36111150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004247427A Expired - Lifetime JP4466283B2 (ja) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | ジャイロセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4466283B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292117A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置 |
JP2006153514A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Works Ltd | ジャイロセンサおよび角速度検出方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5070778B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-11-14 | 株式会社デンソー | 力学量センサ |
JP4859649B2 (ja) * | 2006-12-12 | 2012-01-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
DE102009001248B4 (de) * | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
-
2004
- 2004-08-26 JP JP2004247427A patent/JP4466283B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292117A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置 |
JP4654668B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2011-03-23 | パナソニック電工株式会社 | ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置 |
JP2006153514A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Works Ltd | ジャイロセンサおよび角速度検出方法 |
JP4654667B2 (ja) * | 2004-11-25 | 2011-03-23 | パナソニック電工株式会社 | ジャイロセンサおよび角速度検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006064538A (ja) | 2006-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4654668B2 (ja) | ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置 | |
JP5822177B2 (ja) | ジャイロセンサー、電子機器 | |
JP6260706B2 (ja) | 改良された直交位相補正を有するジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープ | |
US9885576B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP5105968B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
WO2013179647A2 (ja) | 物理量センサ | |
JP2008545128A (ja) | 振動質量体の運動の示差測定のための微細機械加工されたジャイロメータセンサ | |
JP6620243B2 (ja) | 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ | |
JP4556454B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2001194153A (ja) | 角速度センサ、加速度センサおよび製造方法 | |
JP4466283B2 (ja) | ジャイロセンサ | |
JP5074693B2 (ja) | 微小電気機械デバイス | |
JP2012149961A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2010107521A (ja) | 微小電気機械デバイス | |
JP2001349732A (ja) | マイクロマシンデバイスおよび角加速度センサおよび加速度センサ | |
JP4654667B2 (ja) | ジャイロセンサおよび角速度検出方法 | |
JP4736420B2 (ja) | 微小電気機械デバイス | |
JP5816707B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
JP2012242240A (ja) | ジャイロセンサー、電子機器 | |
JP2001349731A (ja) | マイクロマシンデバイスおよび角加速度センサおよび加速度センサ | |
WO2015075899A1 (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ | |
JP2009063369A (ja) | 加速度センサ素子及び加速度センサ | |
JP2008309731A (ja) | 加速度検知ユニット及び加速度センサ | |
JP5481545B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
JP2006205353A (ja) | 微小電気機械デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |