JP2009063369A - 加速度センサ素子及び加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度センサ素子1は、基部2から平行に延出する1対の振動アーム3,4と、その先方に位置する重り部10から振動アームの両側及び間を平行に延長する3本の検出アーム5〜7と、両側の検出アームと基部とを結合する狭幅の連結部8,9とを有する。振動アーム側面の第2励振電極と隣接する検出アーム側面の検出電極とにより形成されるコンデンサC1〜C4がブリッジ回路を形成する。交流電圧を印加して振動アームを励振させた状態で、加速度により連結部が撓曲して重り部及び検出アームが一体に変位すると、各コンデンサの隙間が変動してその静電容量が変化するので、ブリッジ回路の出力を同期検波することにより、加速度の大きさ及び向きが検出される。
【選択図】図1
Description
図1(A)、(B)は、本発明による加速度センサ素子の実施例を示している。加速度センサ素子1は、基部2と、該基部から平行に延出する1対の振動アーム3,4とを備える。更に加速度センサ素子1は、前記振動アームの両側及びその間にそれらと平行に延長する3本の検出アーム5〜7を有する。
Claims (6)
- 圧電材料で形成した基部及び前記基部から平行に延出する1対の振動アームと、前記振動アームの先方に位置する重り部と、前記重り部から前記振動アームの両側及び間をそれらと平行に延長する3本の検出アームとを有し、
前記各振動アームが、その上下主面に形成された第1励振電極と両側面に形成された第2励振電極とを有し、
前記各検出アームが、それに隣接する前記振動アームの側面に対向する側面に形成された検出電極を有し、
前記各振動アームの前記第2励振電極とそれに隣接する前記検出アームの前記検出電極とにより形成される4つのコンデンサがブリッジ回路を形成するように、前記第2励振電極及び前記検出電極が配線され、
前記重り部及び検出アームが加速度により一体に変位して、前記各振動アームの前記第2励振電極とそれに隣接する前記検出アームの前記検出電極との隙間を変化させ、前記各コンデンサの静電容量を変化させるようにしたことを特徴とする加速度センサ素子。 - 前記振動アームの両側を延長する2本の前記検出アームが、前記基部から延出する連結部により前記基部と結合され、前記連結部が撓曲することにより、前記重り部及び検出アームが加速度により一体に変位することを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ素子。
- 前記基部及び前記振動アームと前記重り部と前記検出アームとが前記圧電材料で一体に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の加速度センサ素子。
- 前記圧電材料が水晶であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の加速度センサ素子。
- 前記検出アームの厚さを前記振動アームの厚さよりも薄くし、かつ前記検出アームの全厚さが前記振動アームの厚さの範囲内に位置するようにしたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の加速度センサ素子。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の加速度センサ素子と、前記加速度センサ素子の前記振動アームを励振させる駆動電圧と前記加速度センサ素子の前記ブリッジ回路の出力とを同期検波する回路とを備えることを特徴とする加速度センサ。
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