JP2001343240A - 静電容量型外力検出装置 - Google Patents
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Abstract
り、センサの小型化と検出感度の向上とを両立できるよ
うにする。 【解決手段】 角速度センサ1の基板2には櫛歯状の固
定側検出電極13を設け、内側振動体7には櫛歯状の可
動側検出電極14を設け、これらの電極13,14を互
いに噛合するように配置する。そして、センサの作動時
には、内側振動体7をX軸方向に振動させつつ、Z軸周
りに加わる角速度に応じてY軸方向に変位させることに
より、角速度を電極13,14間の静電容量の変化とし
て検出する。この場合、電極13,14間に形成される
第1,第2の電極間隔の寸法比率を所定の範囲内に形成
することにより、センサの寸法を小型化しつつ、その検
出感度を向上させることができる。
Description
速度等の物理量を静電容量の変化によって検出するのに
好適に用いられる静電容量型外力検出装置に関する。
例えば角速度センサ、加速度センサ等として用いられて
いる。そして、これらのセンサは、基板上に設けられた
可動部が角速度、加速度等の外力によって変位すること
により、基板と可動部との間で静電容量を変化させ、そ
の変化量を外力の大きさとして検出するものである。
基板と、該基板に支持梁を介して支持され検出方向に変
位可能となった可動部と、前記基板に設けられ検出方向
に間隔をもって配置された複数の固定側電極部を有する
櫛歯状固定電極と、前記可動部に設けられ該各固定側電
極部と噛合するように各固定側電極部間にそれぞれ配置
された複数の可動側電極部を有する櫛歯状可動電極と、
前記可動部が外力によって検出方向に変位するときの変
位量を前記固定側電極部と可動側電極部との間の静電容
量の変化として検出する静電容量検出回路とを備えてい
る(例えば特開平11−337342号、特開平9−3
18656号公報等)。
側電極部とは、例えばシリコン材料にエッチング処理等
の微細加工を施すことによって形成されている。そし
て、固定側電極部は、外力の検出方向に沿って一定の間
隔で列設され、可動側電極部は、これらの固定側電極部
間に隙間をもって噛合するように配置されている。
動側電極部に着目すると、この可動側電極部を挟んで検
出方向の両側には、1組の固定側電極部が配置された状
態となっている。そして、可動側電極部は、これら1組
の固定側電極部のうち一方の固定側電極部との間に第1
のコンデンサを形成し、他方の固定側電極部との間に第
2のコンデンサを形成すると共に、これら2個のコンデ
ンサは、固定側電極部と可動側電極部とを介して静電容
量検出回路に並列に接続されている。
部の中間位置ではなく、例えば一方の固定側電極部寄り
の位置に偏った状態で配設されており、これによって第
1のコンデンサの電極間隔は第2のコンデンサよりも小
さく形成されている。
基板に加わったときには、可動部が慣性力等によって検
出方向に変位すると、可動側電極部が固定側電極部に対
して変位することにより、これらの間に形成されたコン
デンサの静電容量(電極間隔)が変化するから、静電容
量検出回路は、固定側電極部と可動側電極部との間の静
電容量の変化を角速度、加速度等の大きさとして検出す
ることができる。
一側に向けて変位した場合には、第1のコンデンサは電
極間隔が小さくなって静電容量が増大し、第2のコンデ
ンサは電極間隔が大きくなって静電容量が減少するた
め、これらのコンデンサ全体としては静電容量の変化分
が相殺されて減少し、その検出が難しくなる。
ンデンサの電極間隔を第2のコンデンサよりも予め小さ
く形成しておくことにより、電極間隔が微小変化したと
きの静電容量の変化量(静電容量の変化率)は、第1の
コンデンサの方が第2のコンデンサよりも大きくなるよ
うに構成している。
変位するときには、第1,第2のコンデンサの静電容量
が互いに異なる変化率をもって変化するため、これらの
コンデンサ全体としての静電容量が十分に変動するよう
になり、静電容量検出回路による外力の検出感度を向上
させることができる。
来技術では、第1,第2のコンデンサからなるコンデン
サ全体での静電容量を可動側電極部の変位に応じて大き
く変化させることにより、外力の検出感度を可能な限り
向上させたいという要求がある。そして、この場合に
は、例えば第1のコンデンサの電極間隔をより小さく形
成するか、または第2のコンデンサの電極間隔をより大
きく形成することにより、これらのコンデンサ間におい
て静電容量の変化率の差を増大させる方法が考えられ
る。
微細化しようとする場合には、例えばエッチング処理の
加工精度等によって電極間の最小寸法が制約されるた
め、微細化による検出感度の向上には限界がある。ま
た、第2のコンデンサ側で電極間隔を大きく形成する
と、固定側電極部と可動側電極部とを含めて基板全体の
寸法が大型化してしまう。
可動側電極部との間の電極間隔を適切に設定するのが難
しく、基板等の寸法を小型化しつつ検出感度を容易に向
上させることができないという問題がある。
されたもので、本発明の目的は、固定側電極部と可動側
電極部との間の電極間隔を適切に設定でき、基板等の寸
法を小型化しつつ大きな検出感度を得ることができるよ
うにした静電容量型外力検出装置を提供することにあ
る。
ために請求項1の発明は、基板と、該基板に支持梁を介
して支持され検出方向に変位可能となった可動部と、前
記基板に設けられ検出方向に間隔をもって配置された複
数の固定側電極部を有する櫛歯状固定電極と、前記可動
部に設けられ該各固定側電極部と噛合するように各固定
側電極部間にそれぞれ配置された複数の可動側電極部を
有する櫛歯状可動電極と、前記可動部が外力によって検
出方向に変位するときの変位量を前記固定側電極部と可
動側電極部との間の静電容量の変化として検出し静電容
量の変化率にほぼ比例した電圧信号を出力する静電容量
検出手段とを備えた静電容量型外力検出装置において、
前記可動側電極部は、該可動側電極部を挟んで検出方向
の両側に位置する1組の固定側電極部のうち一方の固定
側電極部との間に第1の電極間隔を形成し、他方の固定
側電極部との間に第2の電極間隔を形成する構成とし、
前記静電容量の変化率に応じた電圧信号を出力すると
き、前記第1の電極間隔と第2の電極間隔との寸法比率
を1:2〜1:5の範囲内に形成する構成としたことを
特徴している。
極部と可動側電極部との間には、第1,第2の電極間隔
によって第1,第2のコンデンサをそれぞれ形成するこ
とができる。そして、可動部が外力によって検出方向に
変位するときには、静電容量検出手段により第1,第2
のコンデンサ全体としての静電容量の変化を外力の大き
さとして検出することができる。
界効果型トランジスタ、オペアンプ等を用いて静電容量
検出手段を構成し、静電容量の変化率(初期状態での静
電容量に対する容量変化の割合)にほぼ比例した電圧信
号を出力する構成とした場合には、第1,第2の電極間
隔の寸法比率を1:2〜1:5の範囲内に形成すること
により、例えば可動部が検出方向に単位寸法分だけ変化
するときの静電容量の変化量を大きく設定しつつ、電極
間隔等を小さく形成でき、装置の小型化と検出感度の向
上とを両立させることができる。
検出手段は、前記固定側電極部と可動側電極部との間の
静電容量の変化を電圧信号に変換して出力する電界効果
型トランジスタによって構成している。
との間の静電容量が外力によって変化するときには、電
界効果型トランジスタにより静電容量の変化率にほぼ比
例した電圧信号を出力することができる。
検出手段は、前記固定側電極部と可動側電極部との間の
静電容量の変化を電圧信号に変換して出力するオペアン
プによって構成している。
との間の静電容量が外力によって変化するときには、オ
ペアンプにより静電容量の変化率にほぼ比例した電圧信
号を出力することができる。
に支持梁を介して支持され検出方向に変位可能となった
可動部と、前記基板に設けられ検出方向に間隔をもって
配置された複数の固定側電極部を有する櫛歯状固定電極
と、前記可動部に設けられ該各固定側電極部と噛合する
ように各固定側電極部間にそれぞれ配置された複数の可
動側電極部を有する櫛歯状可動電極と、前記可動部が外
力によって検出方向に変位するときの変位量を前記固定
側電極部と可動側電極部との間の静電容量の変化として
検出し静電容量の変化量にほぼ比例した電圧信号を出力
する静電容量検出手段とを備えた静電容量型外力検出装
置において、前記可動側電極部は、該可動側電極部を挟
んで検出方向の両側に位置する1組の固定側電極部のう
ち一方の固定側電極部との間に第1の電極間隔を形成
し、他方の固定側電極部との間に第2の電極間隔を形成
する構成とし、前記静電容量の変化量に応じた電圧信号
を出力するとき、前記第1の電極間隔と第2の電極間隔
との寸法比率を1:1.7〜1:3.5の範囲内に形成
する構成としたことを特徴としている。
って静電容量の変化量(絶対量)にほぼ比例した電圧信
号を出力する構成とした場合には、第1,第2の電極間
隔の寸法比率を1:1.7〜1:3.5の範囲内に形成
することにより、例えば可動部が検出方向に単位寸法分
だけ変化するときの静電容量の変化量を大きく設定しつ
つ、電極間隔等を小さく形成することができる。
定側電極と櫛歯状可動側電極とは単結晶または多結晶の
シリコン材料を用いて形成する構成としている。
ング処理等の微細加工を施すことにより、可動部、櫛歯
状固定側電極、櫛歯状可動側電極等を同時に効率よく形
成することができる。
静電容量型外力検出装置を、添付図面を参照しつつ詳細
に説明する。ここで、図1ないし図6は本発明による第
1の実施の形態を示し、本実施の形態では、外力検出装
置を角速度センサに適用した場合を例に挙げて述べる。
の本体部分を構成する基板で、該基板2は、図1ないし
図3に示す如く、例えば高抵抗なシリコン材料、ガラス
材料等によって四角形状に形成されている。
多結晶をなす低抵抗なシリコン材料を基板2上に設けて
エッチング処理等の微細加工を施すことにより、後述の
支持部3、支持梁4,6、外側振動体5、内側振動体
7、振動電極9,10、検出電極13,14等が形成さ
れている。
で、該支持部3は、外側振動体5等を取囲んで延びた四
角形の枠状に形成されている。
動体5との間に設けられた4本の外側支持梁で、該各外
側支持梁4は、図1中のX軸方向に対して外側振動体5
を挟んで両側に2本ずつ配設され、Y軸方向に延びてい
る。
側に支持された外側振動体で、該外側振動体5は四角形
の枠状に形成され、互いに対向してX軸方向に延びた横
枠部5A,5Aと、該各横枠部5Aの両端側を連結して
Y軸方向に延びた縦枠部5B,5Bとによって構成され
ている。そして、外側振動体5は、各外側支持梁4によ
って基板2から離間した状態でX軸方向に変位(振動)
可能に支持され、Y軸方向への変位が規制されている。
けられた4本の内側支持梁で、該各内側支持梁6は、Y
軸方向に対して内側振動体7を挟んで両側に2本ずつ配
設され、X軸方向に延びると共に、先端側が内側振動体
7に連結されている。
の内側に支持された可動部としての内側振動体で、該内
側振動体7は、略「日」の字をなす枠状体として形成さ
れている。そして、内側振動体7は、互いに対向してX
軸方向に延びた横枠部7A,7Aと、該各横枠部7Aの
両端側を連結してY軸方向に延びた縦枠部7B,7B
と、各横枠部7A間に位置してX軸方向に延設され、各
縦枠部7Bのほぼ中間部位を連結した中間枠部7Cとに
よって構成されている。また、内側振動体7は、各内側
支持梁6によってY軸方向に対し変位可能に支持され、
X軸方向への変位が規制されている。
11によって外側振動体5と共に図1中の矢示a方向
(X軸方向)に振動した状態に保持され、この振動状態
でZ軸周りに角速度が加わると、角速度に応じたコリオ
リ力Fが作用することによってY軸方向(検出方向)に
変位する。そして、内側振動体7がY軸方向に変位する
ときの変位量は、後述の図5に示す検出回路16により
固定側検出電極13と可動側検出電極14との間の静電
容量の変化として検出される。
た振動用固定部で、該各振動用固定部8は、Y軸方向に
対し外側振動体5を挟んで両側に2個ずつ配置されてい
る。
設けられた固定側振動電極で、該各固定側振動電極9
は、振動用固定部8からY軸方向に延設された支柱9A
と、該支柱9AからX軸方向に突出し、Y軸方向に間隔
をもって櫛歯状に配置された複数の電極板9B,9B,
…とによって構成されている。
応して外側振動体5にそれぞれ設けられた可動側振動電
極で、該各可動側振動電極10は、外側振動体5の横枠
部5AからY軸方向に延びた支柱10Aと、該支柱10
AからX軸方向に櫛歯状をなして突出した複数の電極板
10B,10B,…とによって構成されている。
の間に設けられた振動発生部で、該各振動発生部11
は、固定側振動電極9と可動側振動電極10とによって
構成され、これらの電極板9B,10B間には略等しい
寸法の隙間がそれぞれ形成されている。そして、振動発
生部11は、固定側振動電極9と可動側振動電極10と
の間に交流の駆動信号を印加することによって、その電
極板9B,10B間に静電引力を交互に発生し、外側振
動体5等を図1中の矢示a方向に振動させる。
て基板2上に固定的に設けられた2個の検出用固定部
で、該各検出用固定部12は、Y軸方向に対して内側振
動体7の中間枠部7Cを挟んで両側に配置され、X軸方
向に延びている。
れぞれ複数個設けられた櫛歯状固定側電極としての固定
側検出電極で、該各固定側検出電極13は、図4に示す
如く、検出用固定部12からY軸方向に延設された支柱
13Aと、該支柱13AからX軸方向に突出した複数の
固定側電極部としての固定側電極板13B,13B,…
とによって構成されている。また、検出用固定部12に
は、一部の固定側電極板13Bが直接的に設けられてい
る。
向に対してほぼ一定の長さ寸法と、Y軸方向に対して例
えば1〜3μm程度の予め定められた幅寸法wとをもっ
て形成されている。また、各固定側電極板13Bは、Y
軸方向に対して所定の寸法D毎に配置され、櫛歯状に並
んだ状態となっている。
対応して内側振動体7に複数個設けられた櫛歯状可動側
電極としての可動側検出電極で、該各可動側検出電極1
4は、内側振動体7の中間枠部7CからY軸方向に延設
された支柱14Aと、該支柱14AからX軸方向に突出
し、櫛歯状に形成された複数の可動側電極部としての可
動側電極板14B,14B,…とによって構成されてい
る。また、内側振動体7の縦枠部7Bには、一部の可動
側電極板14Bが直接的に設けられている。
電極板13Bとほぼ同様に、一定の長さ寸法と幅寸法w
とをもって形成され、Y軸方向に対して寸法D毎に配置
されている。また、各可動側電極板14Bは、各固定側
電極板13Bと噛合するように該各電極板13B間にそ
れぞれ隙間をもって配置され、可動側電極板14Bを挟
んで検出方向(Y軸方向)の両側には、1組の固定側電
極板13Bが配置された状態となっている。
組の固定側電極板13Bのうち一方の固定側電極板13
Bとの間に例えば1〜3μm程度の一定寸法である第1
の電極間隔d1 を形成し、他方の固定側電極板13Bと
の間に第2の電極間隔d2 を形成している。この場合、
電極間隔d1 は電極間隔d2 よりも小さく形成され(d
1 <d2 )、両者の寸法比率(d1 :d2 )は、後述す
る数13の式に示す如く、例えばd1 :d2 =1:2〜
1:5程度の比率範囲に予め設定されている。
板13Bの全長のうち図4中の寸法L1 に対応する先端
側部位のみと対向するように配置されている。そして、
可動側電極板14Bの先端面と固定側検出電極13の支
柱13Aとは、X軸方向に対して寸法L2 分だけ離間し
ており、この寸法L2 は、後述する数15の式により設
定されるものである。
に設けられた静電容量可変部で、該各静電容量可変部1
5は、図1、図4に示す如く、固定側検出電極13と可
動側検出電極14とによって構成され、その固定側電極
板13Bと可動側電極板14Bとは、電極間隔d1 を挟
んで平行平板コンデンサ15Aを形成すると共に、電極
間隔d2 を挟んで他のコンデンサ15Bを形成してい
る。また、これらのコンデンサ15A,15Bは、後述
の電極パッド21,22等を介して検出回路16に対し
並列に接続されている。
によってY軸方向に変位するときには、可動側電極板1
4Bが固定側電極板13Bに対してY軸方向に変位し、
コンデンサ15A,15B全体としての静電容量が変化
することにより、その変化量が角速度として検出される
構成となっている。
量検出手段としての検出回路で、該検出回路16は、図
5に示す如く、例えば電界効果型トランジスタ(FE
T)等、高い入力インピーダンスもって形成されたトラ
ンジスタ17と、抵抗18とを含んで構成されている。
デンサ15A,15B全体としての静電容量の変化を検
出し、静電容量の変化率(ΔC/C)にほぼ比例する電
圧信号を角速度の検出信号として出力端子19から外部
に出力するものである。
固定側振動電極9を外部に接続する電極パッド、21,
21は各固定側検出電極13を外部に接続する電極パッ
ド、22,22は各可動側振動電極10と可動側検出電
極14とを外部に接続する電極パッドを示し、該電極パ
ッド20,21,22は、それぞれ振動用固定部8、検
出用固定部12、支持部3に設けられている。
如き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。
流の駆動信号を印加すると、左,右の固定側振動電極9
と可動側振動電極10との間に静電引力が交互に発生
し、外側振動体5は、内側振動体7と共に図1中の矢示
a方向に振動した状態となる。
Z軸周りの角速度Ωが加わると、振動体5,7には、Y
軸方向に対して下記数1の式に示すコリオリ力(慣性
力)Fが作用するため、内側振動体7はコリオリ力Fに
よってY軸方向に変位する。
ときには、可動側検出電極14の電極板14Bが固定側
検出電極13の電極板13Bに対してY軸方向に変位
し、その変位量に応じてコンデンサ15A,15Bの電
極間隔d1 ,d2 (静電容量)が変化する。そして、検
出回路16は、コンデンサ15A,15B全体での静電
容量の変化を角速度Ωとして検出し、この角速度Ωに応
じた電圧値をもつ電圧信号を出力端子20から出力す
る。
板14Bが一定寸法分だけ変位するときの電圧信号の電
圧変化を大きく設定することによって増大するから、以
下、可動側電極板14Bの変位量と電圧信号との関係に
ついて説明する。
オリ力)によってY軸方向に変位していない状態では、
図4に示す如く、静電容量可変部15のコンデンサ15
A,15Bが電極間隔d1 ,d2 をそれぞれ保持してい
る。このとき、コンデンサ15Aの静電容量C1 とコン
デンサ15Bの静電容量C2 とは、下記数2の式のよう
に表すことができる。
デンサ15A,15B全体としての静電容量Cは、前記
数2の式を用いて下記数3の式の如く算出される。
4Bが角速度(コリオリ力)によって図4中のY軸方向
に微小量Δd分だけ変位したとすれば、コンデンサ15
Aの電極間隔は(d1 −Δd)となり、コンデンサ15
Aの電極間隔は(d2 +Δd)となるから、このときコ
ンデンサ15A,15B全体としての静電容量Cd は下
記数4の式のようになる。
d分だけ変位したときには、コンデンサ15A,15B
全体としての静電容量の変化量ΔC(=Cd −C)は、
前記数3、数4の式を用いて、下記数5の式のように表
すことができる。
回路16のトランジスタ17等によって電圧変化ΔVに
変換され、電圧信号として出力される。この場合、FE
T等のトランジスタ17においては、下記数6の式に示
すように、電圧信号の電圧変化ΔVが静電容量の変化率
(ΔC/C)にほぼ比例した大きさとなる。
式を代入すると、下記数7の式のようになり、電圧信号
の電圧変化ΔVは、電極間隔d1 ,d2 等によって表す
ことができる。
間隔d1 ,d2 の差を大きく形成することによって増大
し、検出感度を向上させることができる。しかし、単に
電極間隔d1 ,d2 の差を大きく形成しようとすると、
角速度センサ1の寸法が検出方向(Y軸方向)に対して
大きくなる。
板14Bを挟んで寸法D毎に配置された1組の固定側電
極板13Bに対して、検出方向に対する単位長さ当たり
の検出感度(ΔV/D)を求めることにより、この単位
長さ当たりの検出感度(ΔV/D)が大きくなるように
電極間隔d1 ,d2 の寸法比率を設定している。
は、図4から判るように、電極板13B,14Bの幅寸
法wと、これらの間の電極間隔d1 ,d2 とを用いて下
記数8の式のように表される。
長さ当たりの検出感度(ΔV/D)を算出すると、下記
数9の式のようになる。
するため、電極板13B,14Bの幅寸法wと第1の電
極間隔d1 とを、例えばエッチング処理により形成可能
な最小の寸法と等しい大きさに形成するとすれば(即
ち、w=d1 )、前記数9の式を用いて下記数10の式
を得ることができる。
を、下記数11の式のように比率Xとして置換えると、
ができる。
検出感度(ΔV/D)との関係を示す特性線は図6のよ
うになる。そして、この図6から判るように、単位長さ
当たりの検出感度(ΔV/D)が大きくなるのは、例え
ば比率Xが0.2〜0.5程度となる比率範囲Rであ
り、この比率範囲Rは下記数13の式と等しいものであ
る。
前記数13の式に基づいて形成することにより、検出方
向に対する単位長さ当たりの検出感度(ΔV/D)を大
きな値として設定でき、角速度センサ1の寸法を検出方
向に対して小型化しつつ、その検出感度を向上させるこ
とができる。
側検出電極13の支柱13Aとの間には、図4に示す如
く、X軸方向の寸法L2 を電極間隔とする寄生的なコン
デンサ15Cが形成されている。そして、角速度センサ
1の作動時には、可動側検出電極14がX軸方向に振動
することにより、このコンデンサ15Cの静電容量の変
化分がノイズとなってコンデンサ15A,15B側での
静電容量の変化量ΔCに悪影響を与える虞れがある。
可動側電極板14B等の振動によって変化するときの変
化量ΔCX は、可動側検出電極14の先端面と固定側検
出電極13の支柱13Aとの間の対向面積ST と、これ
らの間の寸法L2 と、X軸方向に対する可動側電極板1
4Bの振幅Aとを用いて、下記数14の如く演算するこ
とができる。
1項(A/L2 )は、図4に示すように、寄生的なコン
デンサ15C,15Cが可動側検出電極14の支柱14
Aを挟んで振動方向の両側に形成される構成とすること
によって、両側のコンデンサ15C間で相殺される。ま
た、第2項(A/L2 )2 は、振動周波数に対し2倍
の周波数信号となって検出回路16に伝わるため、電圧
信号に誤差が生じる。
式に示すように、実験データ等に基づいてコンデンサ1
5Cの寸法L2 を例えば振幅Aの約5倍以上の大きさに
形成している。
量の変化量ΔCX をコンデンサ15A,15B側の変化
量ΔCに対して十分に小さく抑制でき、検出精度を向上
させることができる。
FET等の入力インピーダンスが高いトランジスタ17
を含んだ検出回路16を用いる角速度センサ1におい
て、固定側検出電極13と可動側検出電極14との間に
形成される電極間隔d1 ,d2の寸法比率(d1 :d2
)を、例えば1:2〜1:5の範囲内に形成する構成
としている。
検出電極14との間では、検出方向に対する単位長さ当
たりの検出感度(ΔV/D)を大きな値として設定で
き、可動側検出電極14が微小量Δd分だけ僅かに変位
する場合でも、電圧信号を電圧変化ΔV分だけ大きく変
化させることができる。
向上できると共に、この検出感度を保持しつつ電極板1
3B間の寸法D等を小さく形成することが可能となり、
電極間隔d1 ,d2 の寸法比率を適切に設計して角速度
センサ1の小型化とセンサ感度の向上とを両立させるこ
とができる。
抵抗なシリコン材料を用いて電極9,10,13,14
等を形成したので、例えば陽極接合等の手段によって基
板2上に固着したシリコン材料に対しエッチング処理等
の微細加工を施すだけで、櫛歯状の電極9,10,1
3,14等を同時に効率よく形成することができる。
態を示し、本実施の形態の特徴は、静電容量検出手段と
してオペアンプを用いる構成としたことにある。なお、
本実施の形態では、前記第1の実施の形態と同一の構成
要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとす
る。
路で、該検出回路31は、例えば入力インピーダンスが
高い静電容量検出手段としてのオペアンプ32と、抵抗
33とを含んで構成されている。また、オペアンプ32
の入力側には、角速度センサ1のコンデンサ15A,1
5Bが並列に接続されている。
態とほぼ同様に、角速度センサ1の内側振動体7が外力
によって変位すると、コンデンサ15A,15B全体と
しての静電容量の変化を検出し、静電容量の変化率(Δ
C/C)にほぼ比例する電圧信号を角速度の検出信号と
して出力端子34から外部に出力するものである。
形態でも、第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得
ることができる。即ち、オペアンプ32を含んだ検出回
路31を用いる場合でも、角速度センサ1の電極間隔d
1 ,d2 の寸法比率(d1 :d2 )を、例えば1:2〜
1:5の範囲内に形成することにより、センサを小型化
しつつ検出感度を向上させることができる。
3の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、静電容
量型外力検出装置を加速度センサに適用する構成とした
ことにある。なお、本実施の形態では、前記第1の実施
の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明
を省略するものとする。
サ41の本体部分を構成する基板で、該基板42は、第
1の実施の形態とほぼ同様に、例えば高抵抗なシリコン
材料、ガラス材料等によって四角形状に形成されてい
る。そして、基板42上には、例えば単結晶または多結
晶をなす低抵抗なシリコン材料にエッチング処理等の微
細加工を施すことにより、後述の支持部43、支持梁4
4、質量体45、検出電極47,48等が形成されてい
る。
持部で、該支持部43は、質量体45等を取囲んで延び
た四角形の枠状に形成されている。
質量体45との間に設けられた4本の支持梁で、該各支
持梁44は、図8中のY軸方向に対して質量体45を挟
んで両側に2本ずつ配設され、X軸方向に延びている。
に支持された可動部としての質量体で、該質量体45
は、第1の実施の形態の内側振動体7とほぼ同様に、略
「日」の字をなす枠状体として形成され、横枠部45
A,45A、縦枠部45B,45Bおよび中間枠部45
Cによって構成されている。また、質量体45は、各支
持梁44によってY軸方向に対し変位可能に支持され、
X軸方向への変位が規制されている。
向)に加速度が加わると、慣性力F′によってY軸方向
に変位し、このときの変位量は、後述の図10に示す検
出回路50により固定側検出電極47と可動側検出電極
48との間の静電容量の変化として検出される。
基板2上に固定的に設けられた2個の検出用固定部で、
該各検出用固定部46は、Y軸方向に対して質量体45
の中間枠部45Cを挟んで両側に配置され、X軸方向に
延びている。
れぞれ複数個設けられた櫛歯状固定側電極としての固定
側検出電極で、該各固定側検出電極47は、図9に示す
如く、第1の実施の形態とほぼ同様に、検出用固定部4
6からY軸方向に延設された支柱47Aと、該支柱47
AからX軸方向に突出した複数の固定側電極部としての
固定側電極板47B,47B,…とによって構成されて
いる。また、検出用固定部46には、一部の固定側電極
板47Bが直接的に設けられている。そして、各固定側
電極板47Bは、例えば1〜3μm程度の予め定められ
た幅寸法w′をもって形成され、Y軸方向に対して所定
の寸法D′毎に配置されている。
対応して質量体45に複数個設けられた櫛歯状可動電極
としての可動側検出電極で、該各可動側検出電極48
は、質量体45の中間枠部45CからY軸方向に延設さ
れた支柱48Aと、該支柱48AからX軸方向に突出し
た複数の可動側電極部としての可動側電極板48B,4
8B,…とによって構成されている。また、質量体45
の縦枠部45Bには、一部の可動側電極板48Bが直接
的に設けられている。
実施の形態とほぼ同様に、幅寸法w′をもって形成さ
れ、Y軸方向に対して寸法D′毎に配置されている。ま
た、各可動側電極板48Bは、各固定側電極板47Bと
隙間をもって噛合するように配置され、可動側電極板4
8Bを挟んで検出方向(Y軸方向)の両側には、1組の
固定側電極板47Bが配置されている。
組の固定側電極板47Bのうち一方の固定側電極板47
Bとの間に例えば1〜3μm程度の一定寸法をもつ第1
の電極間隔d3 を形成し、他方の固定側電極板47Bと
の間に第2の電極間隔d4 を形成している。また、電極
間隔d3 は電極間隔d4 よりも小さく形成され(d3<
d4 )、これらの寸法比率(d3 :d4 )は、後述する
検出回路50の仕様に対応した数23の式に示すよう
に、例えばd3 :d4 =1:1.7〜1:3.5程度の
比率範囲に予め設定されている。
に設けられた静電容量可変部で、該各静電容量可変部4
9は、図8、図9に示す如く、固定側検出電極47と可
動側検出電極48とによって構成され、その固定側電極
板47Bと可動側電極板48Bとは、電極間隔d3 を挟
んで平行平板コンデンサ49Aを形成すると共に、電極
間隔d4 を挟んで他のコンデンサ49Bを形成してい
る。また、これらのコンデンサ49A,49Bは、後述
の検出回路50に対し並列に接続されている。
(慣性力F′)によって変位するときには、可動側電極
板48Bが固定側電極板47Bに対してY軸方向に変位
し、コンデンサ49A,49B全体としての静電容量が
変化することにより、その変化量が加速度として検出さ
れる構成となっている。
容量検出手段としての検出回路で、該検出回路50は、
図10に示す如く、発振器51、オペアンプ52、抵抗
53、全波整流器54、ローパスフィルタ55とを含ん
で構成され、オペアンプ52は、コンデンサ49A,4
9Bと共に微分回路を構成している。
発振器51により正弦波が発振されると、この正弦波
は、例えば振幅値がコンデンサ49A,49Bの静電容
量分だけ増幅された状態でオペアンプ52から出力さ
れ、全波整流器54とローパスフィルタ55とを介して
コンデンサ49A,49Bの静電容量に対応する直流電
圧に変換される。
49A,49B全体としての静電容量の変化を検出し、
後述する静電容量の変化量ΔC′にほぼ比例する電圧信
号を加速度の検出信号として出力端子56から外部に出
力するものである。
如き構成を有するもので、次に検出回路50を用いた場
合において、可動側電極板48Bの変位量と電圧信号と
の関係について説明する。
て図4中のY軸方向に微小量Δd分だけ変位したとすれ
ば、コンデンサ49A,49Bの静電容量の変化量Δ
C′は、第1の実施の形態で用いた前記数5の式におい
て電極間隔d1 ,d2 を電極間隔d3 ,d4 に置換える
ことにより、下記数16の式のようになる。
出回路50によって電圧変化ΔV′に変換され、電圧信
号として出力される。この場合、検出回路50において
は、下記数17の式に示すように、電圧信号の電圧変化
ΔV′が静電容量の変化量ΔC′にほぼ比例した大きさ
となる。
は、第1の実施の形態とほぼ同様に、電極板47B,4
8Bの幅寸法w′と、電極間隔d3 ,d4 とを用いて下
記数18の式のように表される。
たりの検出感度(ΔV′/D′)は、前記数16〜数1
8の式を用いて下記数19の式のように演算される。
施の形態と同様に、第1の電極間隔d3 と電極板13
B,14Bの幅寸法w′とを等しい寸法に形成するとし
てw′=d3 を代入することにより、下記数20の式を
得ることができる。
)を下記数21の式のように比率Xとして置換える
と、
とができる。
検出感度(ΔV′/D′)との関係を示す特性線は図1
1のようになる。そして、この図11から判るように、
単位長さ当たりの検出感度(ΔV′/D′)が大きくな
るのは、例えば比率Xが0.28〜0.59程度となる
比率範囲R′であり、この比率範囲R′は下記数23の
式と等しいものである。
形態でも、前記第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果
を得ることができる。即ち、電極間隔d3 ,d4 の寸法
比率を前記数23の式に基づいて形成することにより、
検出方向に対する単位長さ当たりの検出感度(ΔV′/
D′)を大きな値として設定でき、加速度センサ41の
寸法を検出方向に対して小型化しつつ、その検出感度を
向上させることができる。
第1の実施の形態における角速度センサ1の振動体5,
7よりも低い周波数で変位(振動)することが多く、検
出回路50は、第1の実施の形態の検出回路16,31
と比較して静電容量の低周波での変化を精度よく検出で
きる構成となっているので、これらの加速度センサ41
と検出回路50とを組合わせることにより、加速度の検
出精度をより向上させることができる。
角速度センサ1に接続した検出回路16,31によって
静電容量の変化率にほぼ比例した電圧信号を出力する構
成とし、第3の実施の形態では、加速度センサ41に接
続した検出回路50によって静電容量の変化量にほぼ比
例した電圧信号を出力する構成としたが、本発明はこれ
に限らず、角速度センサ1に検出回路50を接続する構
成としてもよく、また加速度センサ41に検出回路1
6,31を接続する構成としてもよい。
れば、静電容量検出手段により固定側電極部と可動側電
極部との間の静電容量の変化率に応じた電圧信号を出力
するとき、第1,第2の電極間隔の寸法比率を1:2〜
1:5の範囲内に形成する構成としたので、例えば入力
インピーダンスが高い電界効果型トランジスタ、オペア
ンプ等を用いて静電容量検出手段を構成する場合におい
て、固定側電極部と可動側電極部との間で第1,第2の
電極間隔の寸法比率を適切に設定でき、検出方向に対す
る単位長さ当たりの検出感度を増大させることができ
る。この結果、可動側電極部が検出方向へと僅かに変位
する場合でも、電圧信号を大きく変化させることがで
き、外力の検出感度を高めることができる。そして、こ
の検出感度を保持しつつ電極間隔等を小さく形成するこ
とが可能となり、装置の小型化と検出感度の向上とを両
立させることができる。
検出手段を電界効果型トランジスタによって構成したの
で、このトランジスタから静電容量の変化率にほぼ比例
した電圧信号が出力されるときには、第1,第2の電極
間隔の寸法比率を予め1:2〜1:5の範囲内に形成し
ておくことにより、検出方向に対する単位長さ当たりの
検出感度を増大させることができる。
検出手段をオペアンプによって構成したので、このオペ
アンプから静電容量の変化率にほぼ比例した電圧信号が
出力されるときには、第1,第2の電極間隔の寸法比率
を予め1:2〜1:5の範囲内に形成しておくことによ
り、検出方向に対する単位長さ当たりの検出感度を増大
させることができる。
検出手段により固定側電極部と可動側電極部との間の静
電容量の変化量に応じた電圧信号を出力するとき、第
1,第2の電極間隔の寸法比率を1:1.7〜1:3.
5の範囲内に形成する構成としたので、例えば静電容量
検出手段が静電容量の変化量にほぼ比例した電圧信号を
出力する構成とした場合において、固定側電極部と可動
側電極部との間で第1,第2の電極間隔の寸法比率を適
切に設定でき、検出方向に対する単位長さ当たりの検出
感度を増大させることができる。この結果、外力の検出
感度を良好に保持しつつ、電極間隔等を小さく形成する
ことが可能となり、装置の小型化と検出感度の向上とを
両立させることができる。
定側電極と櫛歯状可動側電極とは単結晶または多結晶の
シリコン材料を用いて形成する構成としたので、例えば
シリコン材料に対しエッチング処理等の微細加工を施す
だけで、これらの櫛歯状電極を同時に効率よく形成する
ことができる。
を示す平面図である。
た断面図である。
らみた断面図である。
して示す要部拡大図である。
状態で示す回路図である。
出感度との関係を示す特性線図である。
回路を示す回路図である。
を示す平面図である。
して示す要部拡大図である。
た状態で示す回路図である。
検出感度との関係を示す特性線図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板と、該基板に支持梁を介して支持さ
れ検出方向に変位可能となった可動部と、前記基板に設
けられ検出方向に間隔をもって配置された複数の固定側
電極部を有する櫛歯状固定電極と、前記可動部に設けら
れ該各固定側電極部と噛合するように各固定側電極部間
にそれぞれ配置された複数の可動側電極部を有する櫛歯
状可動電極と、前記可動部が外力によって検出方向に変
位するときの変位量を前記固定側電極部と可動側電極部
との間の静電容量の変化として検出し静電容量の変化率
にほぼ比例した電圧信号を出力する静電容量検出手段と
を備えた静電容量型外力検出装置において、 前記可動側電極部は、該可動側電極部を挟んで検出方向
の両側に位置する1組の固定側電極部のうち一方の固定
側電極部との間に第1の電極間隔を形成し、他方の固定
側電極部との間に第2の電極間隔を形成する構成とし、
前記静電容量の変化率に応じた電圧信号を出力すると
き、前記第1の電極間隔と第2の電極間隔との寸法比率
を1:2〜1:5の範囲内に形成する構成としたことを
特徴とする静電容量型外力検出装置。 - 【請求項2】 前記静電容量検出手段は、前記固定側電
極部と可動側電極部との間の静電容量の変化を電圧信号
に変換して出力する電界効果型トランジスタによって構
成してなる請求項1に記載の静電容量型外力検出装置。 - 【請求項3】 前記静電容量検出手段は、前記固定側電
極部と可動側電極部との間の静電容量の変化を電圧信号
に変換して出力するオペアンプによって構成してなる請
求項1に記載の静電容量型外力検出装置。 - 【請求項4】 基板と、該基板に支持梁を介して支持さ
れ検出方向に変位可能となった可動部と、前記基板に設
けられ検出方向に間隔をもって配置された複数の固定側
電極部を有する櫛歯状固定電極と、前記可動部に設けら
れ該各固定側電極部と噛合するように各固定側電極部間
にそれぞれ配置された複数の可動側電極部を有する櫛歯
状可動電極と、前記可動部が外力によって検出方向に変
位するときの変位量を前記固定側電極部と可動側電極部
との間の静電容量の変化として検出し静電容量の変化量
にほぼ比例した電圧信号を出力する静電容量検出手段と
を備えた静電容量型外力検出装置において、 前記可動側電極部は、該可動側電極部を挟んで検出方向
の両側に位置する1組の固定側電極部のうち一方の固定
側電極部との間に第1の電極間隔を形成し、他方の固定
側電極部との間に第2の電極間隔を形成する構成とし、
前記静電容量の変化量に応じた電圧信号を出力すると
き、前記第1の電極間隔と第2の電極間隔との寸法比率
を1:1.7〜1:3.5の範囲内に形成する構成とし
たことを特徴とする静電容量型外力検出装置。 - 【請求項5】 前記櫛歯状固定側電極と櫛歯状可動側電
極とは単結晶または多結晶のシリコン材料を用いて形成
してなる請求項1,2,3または4に記載の静電容量型
外力検出装置。
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