KR100363785B1 - 마이크로 자이로스코프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 외부 프레임에 설치되는 가진용 코움 구동기(코움 드라이브)에 인가되는 전압을 용이하게 상쇄시켜, 가진전압에 영향을 받지 않고 안정적으로 공진할수 있는 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로 그 기술적인 구성은, 외부 프레임(120)의 내측으로 비임 탄성체(130)를 개재하여 내부 프레임(110)이 설치되며, 상기 외부 프레임(120)의 각 모서리부에는 가진방향 가진 가능토록 탄성체(230)가 탄설되고, 상기 외부 프레임의 프레임부 가진 코움(220) 사이에 코움이 배치되는 가진용 코움 구동기(250)(250')가 설치되고, 상기 외부 프레임(120)의 양측으로 코움 감지기(270)(270')의 코움(280)이 수평방향으로 비 대칭으로 연설하여 코움 감지기에 전달되는 간섭신호를 상쇄시킬 수 있는 것을 요지로 한다.

Description

마이크로 자이로스코프{Microgyrocrope}
본 발명은 마이크로 구조물로 구성되는 자이로스코프(Microgyrocrope)에서 외부 프레임에 설치되는 가진용 코움 구동기(코움 드라이브)에 인가되는 전압을 용이하게 상쇄시킴과 아울러, 상기 가진용 코움 구동기가 가진전압에 영향을 받지 않고 안정적으로 공진할수 있도록한 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로 이는 특히, 마이크로 자이로스코프의 외부 프레임 내측으로 감지방향 비임 탄성체를 개재하여 내부 프레임이 설치되고, 상기 내부 프레임의 외측에 감지방향 비임 탄성체를 개재하여 설치되는 외부 프레임의 양측에는 코움이 수평방향으로 연설되는 코움 감지기를 비 대칭으로 설치하며, 상기 외부 프레임의 모서리부에 가진방향 탄성체를 탄설하여 가진 및 감지모드의 진동을 분리토록 구성하여, 마이크로 자이로의 외부프레임에 설치된 가진용 코움 구동기에 인가되는 전압을 양측 코움 감지부를 통하여 손쉽고, 용이하게 감쇄시킬 수 있도록 하며, 이에따라 상기 가진전압에 영향을 받지 않으면서 마이크로자이로가 안정적으로 공진할수 있도록한 마이크로 자이로스코프에 관한 것이다.
일반적으로 알려져 있는 관성체의 각속도를 검출하기 위한 각속도 센서 장치는 이미 오래전부터 선박, 항공기등에서 항법장치용 핵심부품으로 사용되어 왔으며, 현재는 자동차의 항법장치나, 또는 고배율 비데오 카메라의 손떨림을 검출하여 이를 보상하는 장치에 사용되고 있다.
그러나, 종래 군사용이나 항공기용으로 사용되는 각속도 감지용 자이로스코프는 다수의 복잡한 부품이 정밀가공 및 조립공정등을 통하여 제작되므로 정밀한 성능을 얻을수 있으나, 제작비용이 많이들게 되고, 부피가 대형화되어 일반 산업용이나, 민생용 가전제품에는 적용이 불가능한 실정인 것이다.
최근에는 삼각 프리즘 형태의 비임(Beam)에 압전소자를 부착한 소형 자이로스코프를 개발하여 소형 비데오 카메라의 손떨림 감지용 센서로서 사용하고 있는 것이다. 또한, 상기와같은 압전소자를 부착한 자이로스코프의 제작에 따른 난점을 극복할 수 있도록 개선된 원통형 비임 구조를 갖는 소형 자이로스코프를 개발한바 있다.
그러나, 이와같은 두가지 형태의 소형 자이로스코프는 모두 정밀가공을 필요로하는 소형부품으로 이루어진 관계로, 제작이 어렵게 됨은 물론, 고가의 비용이 소요되는 단점이 있으며, 특히 상기와같은 자이로스코프는 다수의 기계부품으로 이루어져 있기 때문에, 회로 일체형으로 적용하기가 곤란하게 되는 문제점이 있는 것이다.
한편, 상기와같은 자이로스코프의 원리는 제1 축방향으로 관성체가 일정하게 진동하고 있을때, 상기 제1 축방향에 대하여 직각인 제2 축방향에서의 회전에 의한 각속도의 입력을 받을때, 상기 두개의 축에 대하여 직교하는 제3 축방향으로 발생하는 코리올리힘(Coriolis force)을 검출함으로써 회전 각속도를 검출하는 것이다.
이때, 관성체에 가해지는 힘을 평형시키면 각속도 검출의 정확성이 높아진다. 특히, 신호의 선형성과 대역폭을 넓하려면 힘의 평형방법을 이용한 구조가 바람직하다.
이와같은 기술과 관련된 종래의 마이크로 자이로스코프의 구성에 있어서는 도 1에 나타낸 바와같이, 프레임(10)의 내부에 코움(20)들이 횡설되는 상태로 감지방향(Y축 방향)으로 다수개 설치되는 한편, 상기 각각의 코움(20) 사이에 + 및 -전극 지지부(30)(30')에 고정되어 지지되는 감지방향(Y축 방향) 감지전극(40)이 이격 설치되며, 상기 프레임(10)의 상하 양측 4군데에 연설되는 감지방향 탄성체(50)를 개재하여, 가진방향(X축 방향)으로 진동하는 진동 구조물(60)과 탄설토록 되고, 상기 진동구조물(60)은 가진용 코움 구동기(70)(코움 드라이브)의 + 및 -전압의 인가에 의해 가진 작동토록 되며, 이때 상기 진동 구조물의 각 모서리부에는 가진방향탄성체(80)가 탄설되는 구조로 이루어진다.
상기와같은 종래의 자이로스코프는, 가진용 코움 구동기(70)의 교류전압 인가에 의해 진동 구조물(60)이 가진모드(X축 방향)으로 진동하고 있을 때, 상기 자이로스코프의 평면에 수직인 방향(Z축방향)으로 각속도 입력이 들어오면 감지방향으로 코리올리의 힘(coriolis force)이 발생하여 프레임(10) 내부 구조물을 감지방향으로 움직이고, 이 움직임은 감지전극(40)과 코움(20)사이의 정전용량 (capacitance)을 변화시키게 됨으로써, 상기 변화된 정전용량을 측정하여 각속도양을 측정하게 되는 것이다.
그러나, 상기와같은 경우 자이로스코프의 프레임(10)에 설치되는 감지방향 탄성체(50)와 가진방향 탄성체(80)를 각각 분리하여 대칭형으로 형성함으로써, 프레임(10) 내부 구조물과 진동구조물(60)이 각각 상대방에 끼치는 영향으로 인한 진동은 줄일수 있는 반면에, 상기 진동구조물(60)의 상,하부가 감지 방향 탄성체(50)로 연설되어, 진동구조물(60)의 상부와 하부가 각각 상하방향의 불안정한 운동을 하는 단점이 있는 것이다.
특히, 마이크로 자이로스코프의 진동 구조물(60)과 내부 프레임(10)이 가진 방향(X축 방향)으로 안정적인 진동을 유지하기 위해서는 진동구조물(60)의 진동을 감지하는 요소가 필요하며, 진동을 감지하는 요소에서 감지된 진동신호는 외부의 감지회로와 증폭회로를 포함하여 구성되는 제어회로를 통해 일정조건의 가진신호를 가진용 코움 구동기(70)에 인가함으로써 진동 구조물(60)과 내부 프레임(10)은 진동구조물(60)의 질량과 내부 프레임(10)의 질량 그리고 가진 방향 탄성체의 값으로결정되는 공진주파수로 안정적인 진동을 하게 되는 것이다.
도 2(A) 및 도 2(B)는 가진용 코움 구동기(70)의 좌우 양측에 인가되는 가진전압에 의한 교류신호 간섭 그래프도로서, 진동을 감지하는 요소에서 감지되는 진동신호에 부정적인 간섭영향을 초래하게 되고, 이에따라 마이크로 자이로스코프의 안정적인 공진이 어렵게 되는등 많은 문제점이 있었던 것이다.
본 발명은 상기한 바와같은 종래의 여러 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로서 그 목적은, 마이크로 자이로의 외부 프레임에 설치된 가진용 코움 구동기에 인가되는 전압에 의한 간섭영향을 양측 비대칭 코움 감지기를 통하여 손쉽고, 용이하게 감쇄시킬 수 있도록 하며, 이에따라 상기 가진전압의 크기에 영향을 받지 않으면서 마이크로자이로가 안정적으로 공진할수 있도록 함은 물론, 자이로스코프의 진동시 주요저항이 되는 공기저항이 비교적 큰 진공도에서고 마이크로 자이로스코프를 자려발진 시킬 수 있게 하며, 마이크로 자이로스코프의 분해능 및 감도 성능을 극대화 시키면서, 상기 자이로스코프의 수명을 가일층 연장시킬 수 있는 마이크로 자이로스코프를 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 마이크로 자이로스코프의 평면 구조도.
도 2(A) 및 도 2(B)는 진동 구조물(코움 드라이브)의 가진 전압의 인가에 의한 자이로스코프의 프레임 양측에 각각 전달되는 가진전압에 의한 신호간섭 그래프도.
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프의 개략 사시도.
도 4는 본 발명의 마이크로 자이로스코프의 평면 구조도.
도 5는 본 발명의 외부 프레임 양측으로 설치되어 코움 감지기에 신호갑섭되는 가진전압을 상쇄토록 설치되는 비대칭 코움 감지기의 요부 구조도.
도 6은 본 발명의 가진용 코움 구동기를 통한 코움 감지기 양측에 전달되는 신호간섭을 상쇄시키는 그래프도로서,
(A) 및 (B)는 코움 감지기 양측에 각각 전달되는 가진전압에 의한 신호간섭 그래프도.
(C)는 본 발명의 가진용 코움 구동기를 통한 간섭신호를 상쇄시키는 그래프도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100...자이로스코프 장치 110...내부 프레임
120...외부 프레임 130...비임 탄성체
140,160...전극 지지부 150...코움
170...감지전극 220...프레임부 가진 코움
230...가진탄성체 250,250'...가진용 코움 구동기
260...코움 270,270'...코움 감지기
280...코움
상기 목적을 달성하기 위한 기술적인 구성으로서 본 발명은, 외부 프레임(120)의 내측으로 가진 가능토록 설치되는 내부 프레임(110);상기 내부 프레임(110) 내부 양측에 횡설되어 감지방향으로 다수개 설치되는 코움(150);상기 각각의 코움(150)들 사이에 소정간격 이격되는 상태로 배치되어 상,하측 전극 지지부(140)(160)에 고정 지지되는 감지방향 감지전극(170);상기 내부 프레임(110)과 외부 프레임(120) 사이에서 외부 프레임(120)의 내측 전후 및 좌우측 4군데에 상기 외부 프레임(120)과 일체로 감지방향 가진 가능토록 평행하게 탄설되는 비임 탄성체(130);상기 외부 프레임(120)의 양측으로 코움(280)이 실질적인 수평방향으로 연설되어 코움사이에 발생되는 정전용량의 차이로 부터 가진 상태를 알 수 있도록 상호 비 대칭으로 설치되는 코움 감지기(270)(270');상기 외부 프레임(120)의 실질적인 모서리부에 탄설되어 가진방향 가진 가능토록 설치되는 가진 탄성체(230); 및상기 외부 프레임(120)의 상하측에 설치되어 전압의 인가에 의해 상기 외부 프레임(120)과 상기 내부 프레임(110)을 가진작동하는 가진용 코움 구동기(250)(250')를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프를 마련함에 의한다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프의 개략 사시도이고, 도 4는 본 발명의 마이크로 자이로스코프의 평면 구조도 및 도 5는 본 발명의 외부 프레임 양측으로 설치되어 가진 전압에 의한 간섭영향을 감쇄토록 설치되는 비대칭 코움 감지기의 요부 구조도로서, 발명의 자이로스코프 장치(100)에서 진동 구조물은 코리올리 감지부를 갖는 내부프레임(110)와, 외부 프레임(120)의 양측에 설치되는 코움 감지기(270)(270') 및 전후부에 설치되는 가진용 코움 구동기(250) (250')로 구성된다.
상기 자이로스코프 장치(100)의 내부 질량부인 내부 프레임(110)은, 외부 프레임(120)의 내측 전후 및 좌우측 4군데에 감지방향 비임 탄성체(130)를 상기 외부 프레임(120)과 일체로 감지방향(Y축방향) 진동 가능토록 평행하게 탄설하며, 이때 상기 내부 프레임(110)은, 그 내부에 양측으로 코움(150)들이 횡설되는 상태로 Y축 방향으로 다수개 설치되는 한편, 상기 각각의 코움(150)들 사이에는 + 및 - 전극으로 구성되는 상,하측 전극 지지부(140)(160)에 고정되어 지지토록 감지방향(Y축 방향) 감지전극(170)이 소정의 간격으로 이격되는 상태로 각각 배치된다.
상기 진동 구조물인 외부 및 내부 프레임(120) (110) 사이의 4군데에 설치되는 비임 탄성체(130)는, 상기 내부 프레임(110)의 양측에 설치된 + 및 - 전극 지지부(140)(160)에 빗살 형태로 설치되는 수직방향 감지전극(170)과 진동 구조물인 프레임의 코움(150)들 사이에서 발생되는 정전 용량의 차이로부터 코리올리 힘에 의해서 진동하는 내부 프레임(110)의 감지 방향(Y축 방향)으로의 진동을 감지시, 내부 프레임(110)이 감지 방향으로 진동할수 있도록 상기 외부 및 내부 프레임(120)(110)사이에 탄설되어 있다.
한편, 상기 감지방향 비임 탄성체(130)를 개재하여 내부 프레임(110)의 외측에 설치되는 외부 프레임(120)은, 각각의 모서리부에 가진 탄성체(230)를 통해 가진방향(X축방향)으로 가진 가능토록 탄설되는 상태에서, 상기 외부 프레임(120)의상하부에는 다수의 프레임부 가진 코움(220)을 개재하여 이와 소정거리 이격된 코움(260)이 설치된다.
상기 외부 프레임(120)에 설치되는 프레임부 가진 코움(220)은, + 및 -전압의 인가에 의해 가진작동되는 가진용 코움 구동기(250)(250')에 형성되는 코움(260)들 사이에 소정의 갭(gap)을 형성하면서 배치되며, 상기 외부 프레임(120)의 프레임부 가진 코움(220)과 가진용 코움 구동기(250)(250')에 형성된 코움(260) 사이에 발생되는 정전력에 의해 외부 프레임(120)이 가진 될 수 있도록 된다.
이때, 상기 외부 프레임(120)을 좌우, 수평방향(X축 방향)으로 가진 시키는 가진용 코움 구동기(250)(250')는, 상기 외부 프레임(120)의 폭방향과 평행하게 배치되며, 상기 가진용 코움 구동기(250)(250')에 형성되는 다수의 코움(260)들은 외부 프레임(120)의 프레임부 가진 코움(220) 사이에 배치된다.
한편, 도 5는 자이로스코프의 양측으로 설치되는 코움 감지기의 요부 구조도로서, 상기 외부 프레임(120)의 양측으로 상기 진동 구조물인 외부 및 내부 프레임(120)(110)의 가진 방향의 진동을 감지하는 코움 감지기(270)(270')의 코움(280)이 실질적인 수평방향으로 비 대칭으로 연설된다.
상기 코움 감지기(270)(270')는, 가진용 코움 구동기(250)(250')를 통한 수평방향 프레임부 가진 코움(220)들의 가진 구동시, 가진 전압이 상기 외부 프레임(120)과 바닥면등의 경로를 타고 내부로 전달되어 코움 감지기(270)에게 간섭에 의해 영향을 끼치게 되는 것을 예방하기 위하여, 상기 외부 프레임(120)의 양측에 코움(280)이 수평으로 연설되는 코움 감지기(270)(270')를 설치한다.
특히, 상기 + 및 - 가진 전압이 인가되는 가진용 코움 구동기(250)(250')는 상호 대칭으로 설치하며, 도 6의 그래프도에서와 같이 양측의 가진 전압인 Vdc+ VacSinωt(도6 A) 와 Vdc- VacSinωt(도6 B)에 의한 코움 감지기로의 교류간섭전압이 상기 코움 감지기(270)(270') 양측의 감지신호를 회로적으로 더했을 때 상호 상쇄시킬수 있게 된다.(도6 C참조)
따라서, 마이크로 자이로스코프는 상기와 같은 가진전압의 크기에 영향을 받지 않으면서 안정적으로 공진할 수 있게 된다.
계속해서, 상기 외부 프레임(120)의 각각의 모서리부에 설치되는 판 탄성체로 구성되는 가진 탄성체(230)는 ㄷ자 형상으로 형성되어, 상기 외부 프레임(120)의 가진용 코움 구동기(250)(250')의 + 및 - 전압의 인가에 의한 가진 모드에서 가진될때, 상기 가진 탄성체(230)에 의해 가진 모드에서의 연성이 흡수되며, 이에따라 감지방향의 변위를 거의 없앨수 있도록 하는 것이다.
이하, 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프의 작동과정을 설명하면 다음과 같다.
도 5에 도시한 바와같이, 질량 m을 갖는 진동 구조물인 내부 프레임(110)과, 그 외측에 질량 Mo을 갖는 진동 구조물인 외부 프레임(120)은, 가진방향(X축 방향)으로 가진 탄성체(230) 및 감지방향(Y축 방향)으로 비임 탄성체(130)가 각각 분리되어 있다. 상기와같은 진동계에서 X축 방향으로 진동 구조물을 가진시키는외력(f)은 다음식으로 표시할 수 있다.
이때 진동 구조물의 X축 방향 운동의 변위(X) 및 속도(V)는 다음과 같이 나타낼 수 있다.
상기 식에서는 X축 방향의 변위,는 X축 방향의 진동 구조물의 속도이다.
입력되는 각속도에 비례하여 발생되는 코리올리의 힘에 의해 Y축 방향으로 발생되는 변위는,
로 계산된다.
상기 식에서,
및는 X축 방향 및 Y축 방향에 대한상수이며,는 입력 각속도이다.
따라서,의 변위를 검출하면 관성체의 회전 각속도를 측정할 수 있다.
본 발명의 자이로스코프 장치(100)에서 질량 M은 진동 구조물의 질량인 m 및 Mo의 합에 해당되며, + 및 - 전압이 인가되는 가진용 코움 구동기(250)(250')에 고유 진동수에 해당하는 교류 전압을 인가하면, 코움(220)(260)간의 정전력에 의해 X축 방향으로의 진동이 발생하게 된다.
이러한 정전력에 의한 가진용 코움 구동기(250)(250')의 정전력은 다음의 식으로 나타낼 수 있다.
상기 식에서는 구동력이며, ε은 공기의 유전상수,는 코움의 두께,는 코움의 쌍의 갯수,는 구동전압,는 코움사이의 거리이다.
상기와 같은 구동력을 받는 진동 구조물은 고유 진동수에 따른 진동을 하게 되며, 이러한 고유 진동수의 진동을 유지하기 위하여 코움 감지기(270)(270')에 의하여 감지된 운동을 기준으로 불안정 발진 제어 조건을 만족하는 전압을 발생시켜 가진용 코움 구동기(250)(250')를 작동시키는 것이다.
발진하는 진동 구조물에 회전 각속도가 입력되면 상기 진동 구조물은 X축 방향으로 진동 운동을 하면서, 동시에 Y축 방향으로 변위하게 된다. 이러한 변위는 + 및 - 전극 지지부(140)(160)의 감지전극(170)과 진동 구조물인 내부 프레임(110)의 코움(150) 사이에 형성되는 정전용량의 변화를 유발하게 된다.
상기 감지전극(170)은 도 3에서와 같이, 전극 지지부(140)(160)를 통해 양극과 음극으로 구성되며, 양극의 정전용량과 음극의 정전용량의 변화는 서로 반대로발생하므로, 상기 양극 및 음극 감지전극에서 발생하는 정전용량의 차이를 계산하면 Y축 방향으로의 진동 구조물의 변위를 감지할 수 있다.
양 전극 사이의 정전용량의 차이는 다음의 식으로 계산된다.
상기 식에서,는 감지전극(170)의 쌍의 수,은 공기의 유전 상수,는 감진전극의 길이, t는 진동 구조물인 내부 프레임(110)의 코움(150)과 전극 지지부(140)(160)의 감지전극(170)이 서로 마주보는 두께,는 감지전극과 진동 구조물의 간극이다.
정전용량의 변화를 검출하는 일반적인 회로를 사용할 경우, 상기 정전용량의 변화에 비례하는 전압 신호를 검출할 수 있게 됨으로써, 결과적으로 각속도 신호를 검출할수 있게 된다.
다른한편, 자이로스코프의 성능을 결정하는 공통적인 중요 인자로서, 코리올리의 힘에 의한 Y축 방향으로의 변위를 최대화 하기 위하여, X축 방향과 Y축 방향의 고유 진동수를 일치시킬 필요가 있다.
본 발명에서는 상기 감지전극(170)에 의해서 발생되는 정전력에 의하여 Y축 방향의 강성이 영향을 받으므로, 그 정전력을 이용하여 고유 진동수를 조정할 수 있게 되며, Y축 방향의 고유 진동수는 다음의 식으로 표시한다.
상기 식에서,는 보 탄성체의 상수이고,은 감지전극과 진동 구조물인 코움 사이의 정전력에 의해 발생되는 탄성체 상수이다.
은 다음과 같은 식으로 나타낼 수 있다.
상기 식에서는 감지전극에 인가되는 편류 전압(bias voltage)이다.
상기 편류 전압을 조정하여 Y축 방향의 고유 진동수를 X축 방향의 고유 진동수와 일치시킬 수 있다.
또한, + 및 - 가진 전압이 인가되는 가진용 코움 구동기(250)(250')는 상호 대칭으로 설치하고 코움 감지기(270)(270')를 상호 비대칭으로 설치하여, 도 6의 그래프도에서와 같이 양측의 가진 전압인 Vdc+ VacSinωt(도6 A) 와 Vdc- VacSinωt(도6 B)에 의한 코움 감지기로의 교류간섭전압이 상기 코움 감지기(270) 양측의 감지신호를 회로적으로 더했을 때 상호 상쇄시킬수 있게 되며, 이에따라 가진전압의 크기에 영향을 받지 않으면서 마이크로 자이로스코프가 안정적으로 공진할 수 있게 되는 것이다.
이상과 같이 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프에 의하면, 마이크로 자이로의 외부 프레임에 설치된 가진용 코움 구동기에 인가되는 전압을 양측 비대칭 코움 감지기를 통하여 손쉽고, 용이하게 감쇄시킬 수 있게되며, 이에따라 상기 가진전압의 크기에 영향을 받지 않으면서 마이크로자이로가 안정적으로 공진할수 있도록 함은 물론, 자이로스코프의 진동시 주요저항이 되는 공기저항이 비교적 큰 진공도에서고 마이크로 자이로스코프를 자려발진 시킬 수 있게 하며, 마이크로 자이로스코프의 분해능 및 감도 성능을 극대화 시키면서, 상기 자이로스코프의 수명을 가일층 연장시킬 수 있는 우수한 효과가 있다.
본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구의 범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자는 용이하게 알수 있음을 밝혀두고자 한다.

Claims (4)

  1. 삭제
  2. 외부 프레임(120)의 내측으로 가진 가능토록 설치되는 내부 프레임(110);
    상기 내부 프레임(110) 내부 양측에 횡설되어 감지방향으로 다수개 설치되는 코움(150);
    상기 각각의 코움(150)들 사이에 소정간격 이격되는 상태로 배치되어 상,하측 전극 지지부(140)(160)에 고정 지지되는 감지방향 감지전극(170);
    상기 내부 프레임(110)과 외부 프레임(120) 사이에서 외부 프레임(120)의 내측 전후 및 좌우측 4군데에 상기 외부 프레임(120)과 일체로 감지방향 가진 가능토록 평행하게 탄설되는 비임 탄성체(130);
    상기 외부 프레임(120)의 양측으로 코움(280)이 실질적인 수평방향으로 연설되어 코움사이에 발생되는 정전용량의 차이로 부터 가진 상태를 알 수 있도록 상호 비 대칭으로 설치되는 코움 감지기(270)(270');
    상기 외부 프레임(120)의 실질적인 모서리부에 탄설되어 가진방향 가진 가능토록 설치되는 가진 탄성체(230); 및
    상기 외부 프레임(120)의 상하측에 설치되어 전압의 인가에 의해 상기 외부 프레임(120)과 상기 내부 프레임(110)을 가진작동하는 가진용 코움 구동기(250)(250')를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프
  3. 제 2항에 있어서, 상기 외부 프레임(120)에 설치되는 프레임부 가진 코움 (220)은, 전압의 인가에 의해 가진작동되는 가진용 코움 구동기(250)(250')에 형성되는 코움(260)들 사이에 소정의 갭을 형성하면서 배치 되는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  4. 삭제
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