JP3307907B2 - マイクロジャイロスコープ - Google Patents

マイクロジャイロスコープ

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JP3307907B2
JP3307907B2 JP37522099A JP37522099A JP3307907B2 JP 3307907 B2 JP3307907 B2 JP 3307907B2 JP 37522099 A JP37522099 A JP 37522099A JP 37522099 A JP37522099 A JP 37522099A JP 3307907 B2 JP3307907 B2 JP 3307907B2
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    • G01C19/5762—Structural details or topology the devices having a single sensing mass the sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマイクロジャイロス
コープに係り、特に、振動する質量を3部に分割構成し
手振動させ、上記振動する質量などにおいて、互いに反
対方向に振動する質量の和を互いに同じくして外部の振
動により伝達される力を最少化させるとともに、外部振
動の影響を極小化させることが出来るように成したマイ
クロジャイロスコープに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に知られている慣性体の角速度を
検出するための角速度センサー装置は、従来から、船
舶、航空機などにおいて航法装置用部品として用いられ
ており、また、現在は自動車のナビゲーション装置や高
倍率ビデオカメラの手ぶれを検出し補正する装置として
用いられている。軍事用や航空機用に用いられる角速度
感知用ジャイロスコープは、多数の複雑な部品が精密加
工および組立工程などを通じて製作されることにより精
密な性能を得るが、高コストかつ大型であるため一般産
業や家電製品としては不向きであった。
【０００３】最近では、三角プリズム状のビームに圧電
素子を付着した小型ジャイロスコープが開発され、小型
ビデオカメラの手ぶれ感知用センサーとして使用されて
いる。更に上記のような圧電素子を取り付けたジャイロ
スコープの製造上の難点を克服出来るように、円筒形ビ
ーム構造を有する小型ジャイロスコープが開発された。
【０００４】しかし、このような二つの形態の小型ジャ
イロスコープは、全て精密加工を必要とする小型部品か
ら構成されるため、製造が難しく、かつ、高コストとな
る。特に、上記のようなジャイロスコープは多数の機械
部品から成されている為に、回路一体型に形成し難いと
いう問題点がある。
【０００５】上記のようなジャイロスコープの原理は、
以下の通りである。すなわち、第1軸方向に一定に振動し
たり回転する慣性体が、上記第1軸方向に対して直角の
第2軸方向からの回転による角速度の入力を受けると
き、上記二つの軸に対して直交する第3軸方向に発生す
るコリオリ力(Coriolis force)を検出することによって
回転角速度を検出する。このとき、慣性体に加えられる
力を平衡させれば角速度検出の正確性が高くなる。殊に
信号の線形性と帯域幅を広げるためには力の平衡方法を
利用した構造が望ましい。
【０００６】このような技術に関する従来のマイクロジ
ャイロスコープは米国特許第5.747.690号において知ら
れており、その構成は図５に示すように、コーム41を利
用して水平方向Xへ加振するようになり、同様に垂直方
向Yに誘発される浮遊質量50のコリオリの振動は、感知
電極38を通じて感知されるよう構成される。このとき、
浮遊質量50の両面に位置するコーム39、40、41、42に交
流の電圧が印加されて、浮遊質量がX軸方向に振動して
いる場合は、Z軸方向の角速度が印加されれば、質量は
コリオリの力により同様の振動数でY軸方向に振動する
ようになる。 ここで、ｙ軸方向の振動範囲は、印加され
た角速度に比例して感知電極38を用いて振動周波数に基
づき検出され、これにより角速度信号を得る。
【０００７】しかし、上記のような場合、質量が一側方
向に振動すると、支持部31には振動による伝達力が過度
に印加される。その結果として、機械的な損失を招く
き、また、外部振動の影響により加振振幅は影響を受け
るようという短所がある。
【０００８】さらに、上記のようなマイクロジャイロス
コープは、支持部31への振動の強力な伝達により、ジャ
イロスコープの感度上昇に否定的な影響を受け、また、
角速度の大きさにより線形性が不良となり、結果的にジ
ャイロスコープの分解能低下と上記ジャイロスコープの
寿命が短縮される等の多くの問題点があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を改善するため案出されたものであって、振動する質量
を3部に分割して振動させ、3部の対向した振動する質量
は互いに等しくなるようにされ、これにより、外部の振
動により伝達される力を最小化させるとともに、外部振
動の影響を極小化させるようにし、支持部において、生
ずる摩擦損失を最小化してジャイロスコープの分解能を
向上させ、上記ジャイロスコープの寿命を一層延長させ
ることの出来るマイクロジャイロスコープを提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、外部フレームの内側に上記外部フレームと
一体に加振可能なるように設置される内部質量部の内部
フレームと、上記内部フレーム内部両側に横設されY軸
方向に複数個設けられるコームと、上記各々のコーム等
の間に隔離される状態に配置され電極支持部に固定支持
される垂直方向感知電極と、上記内部質量部の両側2箇
所に設けられる外部質量部と、上記内部質量部の外部フ
レームと外部質量部間に加振可能なるように設けられる
弾性体と、上記外部質量部の幅方向に伸長される振動構
造物と、上記振動構造物の1側に複数個設けられるコー
ムと、電圧の印加により加振作動される加振用駆動機;
および上記振動構造物のコーム間に配置され加振用駆動
機を通じて、その間に発生する静電容量の差異から加振
状態を検出することが出来るように設けられるコームを
含めて構成されることを特徴とするマイクロジャイロス
コープを提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面に基づいて本発
明の実施例を詳細に説明する。
【００１２】図１は本発明によるマイクロジャイロスコ
ープの概略平面構成図であって、図２は図１のＡ部拡大
図である。
【００１３】本発明のジャイロスコープ装置100の振動
構造物は、コリオリ感知部を有する内部質量部110と、
外部フレーム120の両側に設置される加振質量部210、21
0'とから構成される。
【００１４】上記内部質量部110は、外部フレーム120の
内側の前後左右側の4箇所に、ビーム弾性体130を介し
て、上記外部フレーム120と一体に加振可能になるよう
に内部フレーム140が設けられる。上記内部フレーム140
内部には、両側にコーム150が横設される状態でY軸方向
に複数個設けられる一方、上記各々のコーム150の間に
は電極支持部160に固定され支持される垂直方向(Y軸方
向)感知電極170が所定の間隔で離隔された状態で配置さ
れる。
【００１５】上記振動構造物の外部および内部フレーム
120、140の間に設けられるビーム弾性体130は、内部フ
レーム内に設けられた電極支持部160を通じた電圧の印
加時に、電極支持部160の垂直方向に櫛形態に設けられ
る感知電極170と振動構造物のフレームのコーム150との
間において生ずる静電力により、内部フレーム140が加
振される場合に、これと一体に外部フレーム120が上下
方向(垂直方向)に加振されるように構成される。このと
き上記内部フレームのコーム150と電極支持部160の垂直
方向感知電極170との間に生ずる静電容量の差異から加
振状態を検出することを可能としながら、振動構造物の
上記内部フレーム140およびこれとビーム弾性体130を介
して延設された外部フレーム120とが、コリオリの力に
よってY軸方向(垂直方向)に運動することを抑制する役
割を果たす。
【００１６】更に、上記内部質量部110の両側の２箇所
に設けられる外部質量部210、210'は、各々が振動構造
物220を備え、各々が複数のコーム240に接続される。各
振動構造物220は、弾性体230及び外部フレーム120を通
して振動する。
【００１７】上記振動構造物220に設けられる複数のコ
ーム240は、電圧の印加により加振作動される加振用駆
動機250に形成される他のコーム260の間に、一定のギャ
ップ(gap)を形成しながら配置され、上記振動構造物220
のコーム240と加振用駆動機250に形成されたコーム260
との間に発生する静電力により、振動構造物220が加振
されたり、振動構造物のコーム240とコーム260の間に生
じる静電容量の差異から加振状態を検出する事が出来る
ようになる。このとき、上記振動構造物220を左右水平
方向(X軸方向)に振動させる加振用駆動機250は、上記振
動構造物220の長さ方向と平行に配置され、上記加振用
駆動機250に形成される多数のコーム260は振動構造物22
0のコーム240間に配置される。
【００１８】図３は内部質量部110の両側の２箇所に設
置される外部質量部210、210'を連結する弾性体230を示
す。
【００１９】図４は本発明のジャイロスコープ振動状態
を概略的に示す。板弾性体から構成される弾性体230は
弾性体支持部270により固定される。
【００２０】外部質量部210、210および内部質量部110
は、水平方向(X軸)において互いに反対方向に、弾性体2
30を通じて外部質量部210,210の加振用駆動機250から電
圧が供給されながら動かされる。この状態で外部から角
速度が入力されると、内部質量部110は入力された角速
度に比例する大きさでｘ軸方向に振動する。
【００２１】従って、外部質量部210,210’及び内部質
量部110が振動する際は、互いに反対方向に振動する。
この様な場合には、反対方向に作用する質量は互いに同
じく形成されるのである。
【００２２】以下、本発明によるマイクロジャイロスコ
ープの作動過程を説明すれば次のとおりである。
【００２３】図４に示す通り、質量Ｍを有する振動構造
物の内部質量部110と、その両側に質量M/2を有する振動
構造物の２個の外部質量部210、210と'は、X軸方向は弾
性体230によりY軸方向にビーム弾性体130により各々支
持されている。上記のような振動系においてX軸方向に
振動構造物を加振させる外力fは、次の式により表すこ
とが出来る。
【００２４】
【数１】 このとき振動構造物のX軸方向運動の変位Xおよび速度V
は、次のように表すことが出来る。
【００２５】
【数２】
【数３】 上記式において、ＸはX軸方向の変位、及びＶｘはX軸方
向の振動構造物の速度である。入力される角速度に比例
し発生するコリオリ力によってY軸方向に発生する変位
は、次式から計算される。
【００２６】
【数４】 ここで、ＱｘおよびＱｙはX軸方向およびY軸方向につい
てのＱ常数であり、Ωは入力角速度である。
【００２７】したがって、ｙの変位を検出すれば慣性体
の回転角速度を測定することが出来る。
【００２８】本発明のジャイロスコープ装置100におい
て、質量Ｍは振動構造物の質量のＭおよびM/2に各々該
当する。そのため、加振用駆動機(250)に固有振動数に
該当する交流電圧を印加すれば、コームの静電力により
X軸方向への振動が発生するようになる。
【００２９】このような、静電力による加振用駆動機25
0の静電力は次の式で表すことが出来る。
【００３０】
【数５】 上記式において、ｆは駆動力であり、εは空気の誘電
率、ｔはコームの厚み、ｎｘはコーム対の数、Ｖは駆動
電圧、ｈはコーム間の距離である。
【００３１】上記のような駆動力を受ける振動構造物
は、固有振動数に従い振動する。この固有振動数を維持
するために、不安定な振動制御状況を満たす電圧が、検
出された動作に基づいて発生し、これにより、加振用駆
動機250,250’が作動する。
【００３２】振動構造物に回転角速度が入力されると、
上記振動構造物はX軸方向に振動運動すると同時に、Y軸
方向に変位するようになる。この変位は感知電極170と
振動構造物のフレーム140のコーム150との間に形成され
る静電容量の変化を誘発するようになる。
【００３３】上記感知電極170は、図１に示される様に
陽極と陰極とから構成される。陽極の静電容量と陰極の
静電容量の変化は互いに反対であるから、陽極と陰極と
の感知電極において発生する静電容量の差異を計算すれ
ば、Y軸方向への振動構造物の変位を測定できる。
【００３４】両電極間の静電容量の差異ΔＣは次の式に
より計算される。
【００３５】
【数６】 上記式において、ｎｓは感知電極170の対数、εは空気
の誘電率、ｌｓは感振電極の長さ、tは振動構造物の内
部フレーム110のコーム150と感知電極170とが互いに向
かい合う厚み、ｈｓは感知電極と振動構造物の間隔であ
る。
【００３６】静電容量の変化を検出する一般的な回路を
用いる場合、上記静電容量の変化に比例する電圧信号を
検出することによって、結果的に角速度信号を検出す
る。
【００３７】他方では、ジャイロスコープの性能を決定
する共通の重要因子として、コリオリ力によるY軸方向
への変位を最大化するため、X軸方向とY軸方向の固有振
動数を一致させる必要がある。
【００３８】本発明において、感知電極170によって発
生する静電力によりY軸方向の鋼性が影響を受けるた
め、その静電力を利用して固有振動数を調整することが
出来るようになる。Y軸方向の固有振動数は次の式で示
される。
【００３９】
【数７】 上記式において、ｋｂはビーム弾性体の常数であり、ｋ
ｎは感知電極と振動構造物のコームとの間の静電力によ
り発生する弾性体常数である。
【００４０】ｋｎは次のような式で表すことが出来る。
【００４１】
【数８】 上記式において、Ｖｂは感知電極に印加される偏流電圧
(bias voltage)である。
【００４２】上記偏流電圧を調整して、Y軸方向の固有
振動数をX軸方向の固有振動数と一致させることが出来
る。
【００４３】この際に、上記のような方法で感知電極の
偏流電圧を変化させればジャイロスコープの出力変化を
引き起こす。このため、他の方法を用いて感知電極の偏
流電圧は固定され、別途の固有振動数調整用電極を使用
して正確な調整をなすことが出来るのである。
【００４４】本発明は特定の実施例に関して図示説明し
たが、以下の特許請求の範囲により設けられる本発明の
精神や分野を外れない範囲において、本発明が多様に改
造および変化することが出来ると言うことを、当業界に
おいて通常の知識を有する者は容易に知ることが出来る
と言うことを明かしておく次第である。
【００４５】
【発明の効果】以上のように本発明によるマイクロジャ
イロスコープによれば、振動する質量を3部に分割構成
して振動させ、振動する質量などから互いに反対方向に
振動する質量の和が互いに同じくして外部の振動により
伝達される力を最小化させると共に、外部振動の影響を
極小化させる事が出来るようにし、支持部において発生
する摩擦損失を最小化してジャイロスコープの分解能を
向上させ、ジャイロスコープの寿命を一層延長させるこ
との出来る優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるマイクロジャイロスコープの概略
平面構成図。
【図２】図2のＡ部拡大図。
【図３】本発明によるジャイロスコープの内部質量部の
両側の２箇所に設置される外部質量部を連結する弾性体
を図示した図面。
【図４】本発明のジャイロスコープ振動状態を概略的に
図示の図面。
【図５】従来のマイクロジャイロスコープの平面構造
図。
【符号の説明】
100：ジャイロスコープ装置 110：質量部 120：外部フレーム 130：ビーム弾性体 140：内部フレーム 150：コーム 160：電極支持部 170：感知電極 210、210'：外部質量部 220：振動構造物 230：弾性体 240：コーム 250：加振駆動機 260：コーム 270：弾性体支持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−14367（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−193835（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−83671（ＪＰ，Ａ) 特開2000−97708（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−170276（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−44541（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−83494（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−170275（ＪＰ，Ａ) 特開2000−9471（ＪＰ，Ａ) 特開2000−329562（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外部フレームの内側に、前記外部フレー
    ムと一体に加振可能なるように設けられる内部質量部の
    内部フレームと、 前記内部フレーム内部両側に横設されY軸方向に多数個
    設置されるコームと、 前記各々のコームの間に離隔される状態で配置され電極
    支持部に固定支持される垂直方向感知電極と、 前記内部質量部の両側の二個所に設けられる外部質量部
    と、 前記外部フレームと前記外部質量部との間に加振可能な
    るように設置される弾性体と、 前記外部質量の幅方向に伸長される振動構造物と、 前記振動構造物の一側に多数個設置されるコームと、 電圧の印加により加振作動され加振状態が検出可能とな
    るようにコームが設置される加振用駆動機とを含めて構
    成することを特徴とするマイクロジャイロスコープ。
  2. 【請求項２】 前記内部質量部の前記内部フレームは、
    前記外部フレームの内側前後および左右側の４箇所に、
    ビーム側弾性体を介して前記外部フレームと一体に加振
    可能となるように設置されることを特徴とする請求項１
    に記載のマイクロジャイロスコープ。
  3. 【請求項３】 前記内部フレームのコーム間に、電極支
    持部に固定支持される垂直方向感知電極が所定の間隔に
    おいて各々配置されることを特徴とする請求項１に記載
    のマイクロジャイロスコープ。
  4. 【請求項４】 前記振動構造物に設置される前記コーム
    は、電圧の印加により加振作動される前記加振用駆動機
    に形成された他のコームとの間に、所定のギャップを形
    成しながら配置されることを特徴とする請求項１に記載
    のマイクロジャイロスコープ。
  5. 【請求項５】 前記内部質量部の両側の２箇所に設置さ
    れる前記外部質量部と連結する前記弾性体は、板スプリ
    ングにより構成されることを特徴とする請求項１に記載
    のマイクロジャイロスコープ。
  6. 【請求項６】 前記弾性体は、弾性体支持部により固定
    されることを特徴とする請求項１に記載のマイクロジャ
    イロスコープ。
  7. 【請求項７】 前記外部質量部と前記内部質量部は、上
    記弾性体を通じて水平方向(X軸方向)を互いに反対方向
    に動くことを特徴とする請求項１に記載のマイクロジャ
    イロスコープ。
  8. 【請求項８】 前記加振質量である2個の前記外部質量
    部と前記内部質量部とは、振動時に互いに反対方向に作
    用する質量が互いに同じく形成されることを特徴とする
    請求項１に記載のマイクロジャイロスコープ。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100373484B1 (ko) * 2000-01-27 2003-02-25 국방과학연구소 진동형 마이크로자이로스코프
JP3603746B2 (ja) * 2000-05-02 2004-12-22 株式会社村田製作所 振動子
JP3870895B2 (ja) * 2002-01-10 2007-01-24 株式会社村田製作所 角速度センサ
DE10203515A1 (de) * 2002-01-30 2003-08-07 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Drehratensensor
US6837108B2 (en) * 2002-04-23 2005-01-04 Honeywell International Inc. Increasing the dynamic range of a MEMS gyroscope
JP4307171B2 (ja) * 2002-07-19 2009-08-05 キヤノン株式会社 マイクロ可動体
KR100470590B1 (ko) * 2002-10-12 2005-03-08 삼성전기주식회사 병진 가속에 의한 신호 검출을 방지하기 위한 마이크로자이로스코프
US7377167B2 (en) * 2004-02-27 2008-05-27 The Regents Of The University Of California Nonresonant micromachined gyroscopes with structural mode-decoupling
DE102004026972B4 (de) * 2004-06-02 2015-03-12 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor mit Frequenznachführung
JP2011058860A (ja) * 2009-09-08 2011-03-24 Hitachi Automotive Systems Ltd 角速度検出装置
JP6562878B2 (ja) * 2016-06-30 2019-08-21 株式会社東芝 角速度取得装置
US11614327B2 (en) 2020-07-23 2023-03-28 Sensortek Technology Corp. Gyroscope structure

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0783671A (ja) * 1993-07-22 1995-03-28 Yoshiro Tomikawa 振動型ジャイロスコープ
DE4414237A1 (de) * 1994-04-23 1995-10-26 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Schwinger eines Schwingungsgyrometers
DE19500800A1 (de) * 1994-06-16 1995-12-21 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor
JPH08193835A (ja) * 1995-01-11 1996-07-30 Yoshiro Tomikawa 振動型ジャイロスコープ
DE19530007C2 (de) * 1995-08-16 1998-11-26 Bosch Gmbh Robert Drehratensensor
KR100327481B1 (ko) 1995-12-27 2002-06-24 윤종용 마이크로 자이로스코프
US5992233A (en) * 1996-05-31 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope
JP3327150B2 (ja) * 1996-12-13 2002-09-24 株式会社豊田中央研究所 共振型角速度センサ
JPH10170275A (ja) * 1996-12-13 1998-06-26 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 振動型角速度センサ
US6044707A (en) * 1997-06-20 2000-04-04 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Angular rate sensor
JPH1144541A (ja) * 1997-07-29 1999-02-16 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
JPH1183494A (ja) * 1997-09-10 1999-03-26 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
JPH1114367A (ja) * 1997-06-20 1999-01-22 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
US6122961A (en) * 1997-09-02 2000-09-26 Analog Devices, Inc. Micromachined gyros
WO1999019734A2 (en) * 1997-10-14 1999-04-22 Irvine Sensors Corporation Multi-element micro gyro
FR2770899B1 (fr) * 1997-11-07 1999-12-10 Commissariat Energie Atomique Microgyrometre vibrant
JP3882972B2 (ja) * 1998-06-18 2007-02-21 アイシン精機株式会社 角速度センサ
JP4075022B2 (ja) * 1998-06-24 2008-04-16 アイシン精機株式会社 角速度センサ
JP4362877B2 (ja) * 1998-09-18 2009-11-11 株式会社デンソー 角速度センサ
JP4126833B2 (ja) * 1999-03-12 2008-07-30 株式会社デンソー 角速度センサ装置

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