JP2000292174A - ジャイロスコープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】周囲温度の変化による検出感度のレベルの変動
分を補償して素子感度を一定レベルに保持した安価なジ
ャイロスコープを提供する。 【解決手段】支持基板１と、該支持基板１と熱膨張係数
の異なる素子基板を加工して形成したジャイロ素子とか
らなり、該ジャイロ素子は、支持基板１に形成されたア
ンカー８ｂ〜１１ｂに結合している駆動用梁７ａ〜７ｄ
により振動可能に支持されている振動体２と、該振動体
２の駆動手段と、コリオリ力の検出手段と、を備えてい
るジャイロスコープにおいて、前記アンカー８ｂ〜１１
ｂと駆動用梁７ａ〜７ｄとの間に、該駆動用梁７ａ〜７
ｄと平行する折り返し部８ａ〜１１ａを設け、駆動用梁
７ａ〜７ｄの応力の温度変化に基づいて駆動共振周波数
を変化させて、温度変化による検出感度のレベルの変動
分を補償して素子感度のレベルを一定に保持したジャイ
ロスコ−プ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カーナビゲーショ
ン装置、手振れ防止カメラなどに使用される振動型のジ
ャイロスコープに関する。

【０００２】

【従来の技術】以下に、図８および図９を参照して、従
来の振動型のジャイロスコープ２００について説明す
る。２１は支持基板で、Ｓ０Ｉ（Silicon On Insulato
r）基板のシリコン基板よりなる。２２はＳ０Ｉ基板の
酸化シリコン膜の中央部をエッチング除去し、周辺部を
残して形成した凸部である。この酸化シリコン膜の上ま
たはその除去された部分の上には、ジャイロスコープの
後述するジャイロ素子がＳＯＩ基板の活性層を加工して
形成される。

【０００３】２３は長方形状の振動体で、説明の便宜の
ために、その全長を１０割と仮定する。振動体２３の両
端から２割方の両側面に、一部コ字形に屈曲した駆動用
梁２４ａ〜２４ｄの一端が結合し、それらの他端はアン
カー２５ａ〜２５ｄに結合している。このアンカー２５
ａ〜２５ｄは、酸化シリコン膜を介して支持基板２１に
固定されている。

【０００４】また、振動体２３の両端から０割と１割方
の両側面に、駆動用可動櫛歯電極２６ａ〜２６ｈが結合
している。また、振動体２３の両端から３割方中央寄り
の両側面に、それぞれ片側に５本ずつの検出用可動櫛歯
電極２８ａ、２８ｂが結合している。

【０００５】駆動用可動櫛歯電極２６ａ、２６ｂに間隙
を介して噛み合う駆動用固定櫛歯電極２７ａ、駆動用可
動櫛歯電極２６ｃ、２６ｄに間隙を介して噛み合う駆動
用固定櫛歯電極２７ｂ、駆動用可動櫛歯電極２６ｅ、２
６ｆに間隙を介して噛み合う駆動用固定櫛歯電極２７ｃ
および駆動用可動櫛歯電極２６ｇ、２６ｈに間隙を介し
て噛み合う駆動用固定櫛歯電極２７ｄが酸化シリコン膜
を介して支持基板２１の上に形成される。また、検出用
可動櫛歯電極２８ａ、２８ｂに間隙を介して噛み合う検
出用固定櫛歯電極２９ａ、２９ｂが、酸化シリコン膜を
介して支持基板２１の上に形成される。

【０００６】そして、振動体２３などの斜線塗りつぶし
部分は、可動部分を構成し、駆動用固定櫛歯電極２７ａ
などの点集合塗りつぶし部分は、固定部分を構成する。
また、この可動部分（振動体２３など）の下部の酸化シ
リコン膜はエッチングにより除去されて凹部２２ａとな
り可動部分の自由振動空間を与える。

【０００７】つぎに、従来のジャイロスコープ２００の
動作について説明する。ジャイロスコープ２００の左側
にある駆動用固定櫛歯電極２７ａ；２７ｄと駆動用可動
櫛歯電極２６ａ、２６ｂ；２６ｇ、２６ｈとの間、およ
びジャイロスコープ２００の右側にある駆動用固定櫛歯
電極２７ｂ；２７ｃと駆動用可動櫛歯電極２６ｃ、２６
ｄ；２６ｅ、２６ｆとの間に、それぞれ直流電圧を重畳
した互いに１８０゜位相の異なる交流電圧を印加して、
振動体２３をＸ軸方向に振動させる。そして、ジャイロ
スコープ２００がその中心を通るＺ軸回わりに回転する
と、コリオリ力により振動体２３はＹ軸方向にも角速度
に比例して振動するようになる。すると、検出用固定櫛
歯電極２９ａと検出用可動櫛歯電極２８ａとの間に形成
される合成静電容量と、検出用固定櫛歯電極２９ｂと検
出用可動櫛歯電極２８ｂとの間に形成される合成静電容
量とが、一方は増加し他方は減少するようになる。この
増減する合成静電容量を電圧変換して、それらの差動増
幅を行うことにより角速度を求める。

【０００８】この場合、振動体２３の振動の振幅を大き
くするために、振動体２３（可動部分）の駆動の共振周
波数ｆｄからなる交流電圧が用いられる。これにより、
振動体２３のＸ軸方向の駆動振幅は、静電力だけの場合
のＱｄ（可動部分の駆動共振時の機械的Ｑ）倍となり、
検出感度もこれに比例してＱｄ倍となる。

【０００９】また、振動体２３の検出の共振周波数ｆｓ
を駆動の共振周波数ｆｄの近くで動作するように設計す
ることにより振動体２３のＹ軸方向の検出振幅を大きく
して検出感度をＱｓ（可動部分の検出共振時の機械的
Ｑ）倍とすることができる。このように、駆動と検出の
それぞれの共振周波数を近接させて動作させることによ
り、ジャイロスコープの素子感度をＱｄ×Ｑｓ倍とする
ことができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ジャイロスコープ２００においては、周囲温度が変化し
て気体の粘性が増すと、振動体２３などの可動部分の駆
動と検出の振幅が減衰して、駆動のＱ値および検出のＱ
値とも低下し、素子感度が悪くなっていた。そのため、
従来、可動部分を真空封入したり、駆動振幅一定回路を
用いたり、また、温度センサ又は温度補償回路を用いた
りしてジャイロスコープの素子感度を補償する手段が取
られていたが、コストが高くなるという問題があった．
そこで、本発明は、周囲温度の変化による検出感度のレ
ベルの変動分を補償して素子感度のレベルを一定に保持
した安価なジャイロスコープを提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、支持基板と、
該支持基板と熱膨張係数の異なる素子基板を加工して形
成したジャイロ素子とからなり、該ジャイロ素子は、前
記支持基板に形成されたアンカーに結合している駆動用
梁により振動可能に支持されている振動体と、該振動体
を駆動する駆動手段と、前記振動体のコリオリ力に基づ
く変位により角速度を検出する検出手段と、を備えてい
るジャイロスコープにおいて、前記アンカーと駆動用梁
との間に、該駆動用梁と平行する折り返し部を設け、前
記駆動用梁の応力の温度変化に基づいて駆動共振周波数
を変化させて、該温度変化による検出感度のレベルの変
動分を補償して素子感度のレベルを一定に保持したもの
である。

【００１２】本発明は、支持基板に対し熱膨張係数の異
なる素子基板を加工して駆動用梁、検出用梁などのジャ
イロ素子を形成した場合に、周囲温度が変化すると、気
体の粘性抵抗の変化のため、検出の機械的Ｑが変動（低
下または上昇）して、検出（素子）感度も変動する。ア
ンカ−に設けた折り返し部の長さを検出感度の変動分の
長さを適宜の長さに設定することにより、駆動用梁にか
かる引っ張り応力あるいは圧縮応力を適宜緩和して、検
出感度の変動分を補償する。この折り返し部の長さを長
く設定すると、対をなすアンカ−間の距離が短く設定さ
れて、熱膨張係数の異なる支持基板から受ける応力が小
さくなる。したがって、駆動用梁は周囲温度の変化によ
り、応力が変化し、この変化する応力により駆動時の共
振周波数が変化する。この応力および駆動共振周波数の
温度変化率は、折り返し部の長さによって異なる。即
ち、折り返し部の長さが長いと、対をなすアンカ−間の
距離が短くなり、応力および駆動共振周波数の温度変化
率は小さくなる。これに反して、折り返し部の長さが短
い又は折り返し部がない場合には、対をなすアンカ−間
の距離が長くなり、応力および駆動共振周波数の温度変
化率は大きくなる。このことは、駆動用梁に加わる引っ
張り応力および圧縮応力のいずれの場合も、温度変化に
よる駆動の共振周波数が一方は高くなり、一方は低くな
るという違いはあるにしても、同様である。

【００１３】したがって、周囲温度の変化により、素子
感度が変動した場合に、検出共振曲線の温度変化前の感
度レベルと同じレベルの周波数まで駆動の共振周波数を
変位（変化）させることにより、検出感度の変動を温度
変化前の一定レベルに補償することができる。この駆動
の共振周波数を補償レベルの周波数まで変位させる手段
が、アンカ−に折り返し部を設け、この折り返し部の長
さを適宜の長さに設定することである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、図１、図２および図３を
参照して、本発明の一実施例のジャイロスコープ１００
について説明する。１はパイレックスガラス基板よりな
る支持基板で、上面の周辺部１ｃと、後述のアンカー、
駆動用固定櫛歯電極の根元固定部、および検出用固定櫛
歯電極の根元固定部の下側の凸部１ｂを残して、中央部
に、サンドブラスト、エッチングなどにより形成された
凹部１ａを有する。このように加工された支持基板１の
上面側にシリコン基板よりなる素子基板を陽極接合す
る。そして、この素子基板をフォトエッチングすること
により以下のようなジャイロ素子が形成される。

【００１５】２はジャイロスコープ１００の中心部に位
置する矩形状の振動体で、Ｙ軸方向に長く、そのＹ軸方
向の両端部がそれぞれＸ軸方向の左右に伸長して柄とな
り、該柄からそれぞれ５本の両櫛歯電極が一定間隔をお
いてＹ軸方向で、一方側は上方に他方側は下方に伸びて
それぞれ検出用可動櫛歯電極３、４を形成している。

【００１６】また、振動体２のＹ軸方向の両端部の近傍
側面からそれぞれＸ軸方向の左右へ検出用梁５ａ〜５ｄ
が伸びて、それらの先端部はそれぞれＴ字形の結合桿６
ａ、６ｂの第一画部６１ａ、６１ｂの両端部に結合して
いる。また、この第一画部６１ａ、６１ｂの両端部か
ら、駆動用梁７ａ〜７ｄがＹ軸方向の上下へ伸び、それ
らの先端部は折り返し部８ａ〜１１ａの一端部に結合し
ている。この折り返し部８ａ〜１１ａは、駆動用梁７ａ
〜７ｄよりも幅広の長方形状をしており、前記一端部か
ら駆動用梁７ａ〜７ｄに沿って間隔を置いて駆動用梁７
ａ〜７ｄのほぼ中央部まで折り返えし、その他端部は、
支持基板１の凸部１ｂに固定されたアンカー８ｂ〜１１
ｂ（黒色塗り潰し部）に結合している。なお、折り返し
部８ａ〜１１ａは、支持基板１とは非接触となってい
る。

【００１７】結合桿６ａ、６ｂのＴ字形の第２画部６１
ａ、６１ｂの両側面からそれぞれ片側２本ずつ駆動用可
動櫛歯電極１２ａ〜１２ｈがＹ軸方向の上下へ伸びてい
る。以上説明した振動体２などの斜線塗り潰し部分は、
アンカー８〜１１を除いて、ジャイロスコープ１００の
可動部分を構成する。

【００１８】つぎに、ジャイロスコープ１００のその他
の固定部分について説明する。互いに隣接する駆動用可
動櫛歯電極１２ａ、１２ｂには、それらと間隙を介して
噛み合うコ字形の駆動用固定櫛歯電極１３ａが設けられ
る。また、互いに隣接する駆動用可動櫛歯電極１２ｃ、
１２ｄには、それらと間隙を介して噛み合うコ字形の駆
動用固定櫛歯電極１３ｂが設けられる。また、互いに隣
接する駆動用可動櫛歯電極１２ｅ、１２ｆには、それら
と間隙を介して噛み合うコ字形の駆動用固定櫛歯電極１
３ｃが設けられる。更に、互いに隣接する駆動用可動櫛
歯電極１２ｇ、１２ｈには、それらと間隙を介して噛み
合うコ字形の駆動用固定櫛歯電極１３ｄが設けられる。
これらの駆動用固定櫛歯電極１３ａ〜１３ｄの根元固定
部は支持基板１の凸部１ｂにそれぞれ固定される。

【００１９】また、検出用可動櫛歯電極３、４にそれぞ
れ間隙を介して噛み合う、片歯櫛電極と両歯櫛電極とか
らなる検出用固定櫛歯電極１４、１５がそれぞれ形成さ
れる。これらの検出用固定櫛歯電極１４、１５の根元固
定部は支持基板１の凸部１ｂにそれぞれ固定される。

【００２０】つぎに、折り返し部８ａ〜１１ａの作用に
ついて説明する。例えば、陽極接合により接合された支
持基板（パイレックスガラス）１の熱膨張係数が素子基
板（シリコン）の熱膨張係数より大きいとする。そし
て、これらの熱膨張係数を示す直線は、温度２０℃を基
点にして交差している。すると、温度が上昇して２０℃
以上になると、素子基板（シリコン）は引っ張り応力を
受ける。図６において、ジャイロスコープ１００が、振
幅一定の駆動の共振曲線ｄに対する検出の共振曲線ｓの
関係において、駆動の共振周波数ｆｏで動作していたと
する。このときの素子感度は、駆動の感度レベルｐ１と
検出の感度レベルｐ２との積（ｐ１×ｐ２）で与えられ
る。そして、温度の上昇に伴い、気体の粘性抵抗が増し
て検出のＱが低下し、検出の共振曲線がｓからｓ１に変
化したとする。すると、素子感度が（ｐ２−ｐ３）倍だ
け低下することになる。本実施例は、この素子感度の変
動分（降下分）を補償するために、駆動の共振曲線ｄ
（共振周波数ｆｏ）を、温度変化後の検出の共振曲線ｓ
１上の検出感度レベルｐ２を与える駆動の共振曲線ｃ１
（共振周波数ｆ１）まで変位（変化）させものである。
この駆動の共振周波数の変位（ｆｏ→ｆ１）により、検
出感度のレベルは温度の変化前も変化後もｐ２の同一レ
ベルに保持されて変わらない。これにより、検出感度が
温度変化の前後において一定のレベルに維持される。な
お、駆動の感度レベルは、振幅一定回路を用いることに
より温度変化の前後において一定のレベルｐ１としてい
る。

【００２１】つぎに、この駆動の共振周波数ｆｏ（共振
曲線ｄ）を共振周波数ｆ１（共振曲線ｃ１）に変化させ
る手段について以下に説明する。

【００２２】例えば、上述のように、温度が上昇してジ
ャイロ素子が引っ張り応力を受けた場合に、図４に示す
ように、対をなして結合桿６ｂを介して直線的に結合し
ている駆動用梁７ｃ、７ｄも同様に引っ張り応力を受け
る。

【００２３】図４Ａは、駆動用梁７ｃ、７ｄがアンカー
９ｂ、１０ｂに直接結合している場合で、後述の図４
Ｂ、４Ｃに図解する折り返し部９ａ、１０ａが全然設け
られておらず、折り返し部９ａ、１０ａの長さがゼロ
（Ｌｏ）である。そして、アンカー９ｂ、１０ｂ間の距
離Ｌは、同図Ｂ、Ｃの場合に比べて最も長い。

【００２４】図４Ｂの場合は、駆動用梁７ｃ、７ｄが結
合している折り返し部９ａ、１０ａの長さがそれぞれＬ
１である。そして、アンカー９ｂ、１０ｂ間の距離Ｌ
は、同図ＡとＣの中間にある。

【００２５】図４Ｃの場合は折り返し部９ａ、１０ａの
長さがそれぞれＬ２（Ｌ２＞Ｌ１）である。そして、ア
ンカー９ｂ、１０ｂ間の距離Ｌは、同図Ａ、Ｂの場合に
比べて最も短い。

【００２６】図４Ａの場合のように、折り返し部９ａ、
１０ａがなくて、アンカー９ｂ、１０ｂ間の距離Ｌが長
いと、駆動用梁７ｃ、７ｄは温度変化による支持基板１
の熱膨張の差を大きく受け、その引張り応力も大きくな
る。図４Ｃの場合は、この反対に、折り返し部９ａ、１
０ａの長さＬ２が最も長く、アンカー９ｂ、１０ｂ間の
距離Ｌは最も短いので、駆動用梁７ｃ、７ｄは温度変化
による支持基板１の熱膨張の差を最も受けず、その引張
り応力も小さい。図４Ｂの場合は、折り返し部９ａ、１
０ａの長さＬ１およびアンカー９ｂ、１０ｂ間の距離Ｌ
は、同図Ａ、Ｃの場合の中間の値となる。

【００２７】図５はＸ軸に折り返し部９ａ、１０ａの長
さをとり、Ｙ軸に駆動共振周波数の温度変化率をとった
もので、図４Ａの場合が図５の曲線のａ点により与えら
れ、図４Ｂの場合が図５の曲線のｂ点により与えられ、
図４Ｃの場合が図５の曲線のｃ点により与えられる。折
り返し部のない図４Ａの場合（ａ点）が引っ張り応力が
最も大きくなって、駆動共振周波数の温度変化率も大き
くなる。折り返し部９ａ、１０ａの最も長い図４Ｃの場
合（ｃ点）が、引っ張り応力が最も小さくなって、駆動
共振周波数の温度変化率も最も小さくなる。図４Ｂの場
合（ｂ点）は、図４Ａと図４Ｃの中間の値となる。

【００２８】図６に、この駆動の共振周波数の温度変化
による変化前（実線）と変化後（破線）の駆動の共振曲
線が示される。共振曲線ｄは変化前の状態を示し、共振
曲線ｃ１は変化後で図４Ｃに示す折り返し部Ｌ２を有す
る状態を示し、共振曲線ｂ１は同じく変化後で図４Ｂに
示す折り返し部Ｌ１を有する状態を示し、共振曲線ａ１
は同じく変化後で図４Ａに示す折り返し部Ｌｏの折り返
し部がない状態を示す。

【００２９】図６において、温度変化後における駆動の
共振曲線ｃ１の共振周波数ｆ１における検出感度のレベ
ルはｐ２で、前述のように、温度変化前における駆動の
共振曲線ｄの検出感度のレベルｐ２と同じレベルであ
る。したがって、温度変化の前後において検出感度を一
定レベルに維持することができる。

【００３０】また、温度変化後における駆動の共振曲線
ｂ１の検出感度のレベルはｐ４で、温度変化前の検出感
度のレベルｐ２より高くなり温度変化前と同等の検出感
度を維持することができない。しかしながら、図４Ｂの
折り返し部の配置構造は、温度変化後の検出感度の共振
曲線が共振曲線ｓ１より低下した場合には採用される。

【００３１】更に、温度変化後における駆動の共振曲線
ａ１の検出感度のレベルはｐ５で、温度変化前の検出感
度のレベルｐ２より低くなり悪くなっている。

【００３２】このように、折り返し部８ａ〜１１ａの長
さを適宜設定することにより、温度の変化する前後にお
ける駆動用梁７ａ〜７ｄの応力の変化に伴う駆動共振周
波数の変化を利用して、該駆動共振周波数を温度変化前
の検出感度のレベルと同一レベルに合わせることによ
り、該温度変化の前後における検出感度を一定のレベル
に保持することができる。

【００３３】本実施例のジャイロスコープ１００は、以
上のような構成よりなり、つぎに動作について説明す
る。ジャイロスコープ１００の左側にある駆動用固定櫛
歯電極１３ａ、１３ｂと駆動用可動櫛歯電極１２ａ〜１
２ｄとの間、およびジャイロスコープ１００の右側にあ
る駆動用固定櫛歯電極１３ｃ、１３ｄと駆動用可動櫛歯
電極１２ｅ〜１２ｈとの間に、それぞれ直流電圧を重畳
した互いに１８０゜位相の異なる交流電圧を印加して、
振動体２をＸ軸方向に振動させる。この振動は、駆動用
梁７ａ〜７ｄの撓みにより可能となる。そして、ジャイ
ロスコープ１００がその中心を通るＺ軸回わりに回転す
ると、コリオリ力により振動体２、検出用可動櫛歯電極
３、４はＹ軸方向にも角速度に比例して振動するように
なる。この振動は、検出用梁５ａ〜５ｄの撓みにより可
能となる。そして、検出用固定櫛歯電極１４と検出用可
動櫛歯電極３との間に形成される静電容量と、検出用固
定櫛歯電極１５と検出用可動櫛歯電極４との間に形成さ
れる静電容量とが、一方は増加し他方は減少するように
なる。この増減する静電容量を電圧変換して、それらの
差動増幅を行うことにより角速度を求める。

【００３４】以上の説明においては、駆動用梁７ａ〜７
ｄが温度上昇により引っ張り応力を受ける場合について
説明したが、本発明は、温度降下により駆動用梁７ａ〜
７ｄが圧縮応力を受ける場合にも適用できる。即ち、図
４Ａの折り返し部のない構造では、図５に示す駆動共振
周波数の温度変化率がａ点の値となって大きくなり、図
７に示すように、駆動の共振曲線ａ２は温度変化前の駆
動の共振曲線ｄから大きく下方にずれて、その共振点で
の検出感度も低下している。

【００３５】また、図４Ｂに示す短い折り返し部９ａ、
１０ａが設けられている構造は、図５に示す駆動共振周
波数の温度変化率がｂ点の値となって、図７に示すよう
に、駆動の共振曲線もｂ２と変化し、温度変化後におけ
る検出感度のレベルの程度により採用される。

【００３６】更に、図４Ｃに示す長い折り返し部９ａ、
１０ａが設けられている構造は、図５に示す駆動共振周
波数の温度変化率がｃ点の値となって、図７に示すよう
に、駆動の共振曲線もｃ２と小さく変化し、温度変化後
における検出感度のレベルの程度により採用される。

【００３７】なお、素子感度は、ジャイロ素子以外に
も、ジャイロ素子のパッケージ、Ｃ−Ｖ変換回路、増幅
回路などの温度特性によっても変化するが、これらの変
化による素子感度の変動に対しても、前記折り返し部の
長さを適宜の長さに設定することにより、それらの温度
変化による素子感度の変動分を補償することができる。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、アンカ−に設けた折り返し部
の作用により、温度変化による検出感度の変動分を補償
して、温度の変化する前後において、一定レベルの検出
感度を得ることができるので、簡単な構造により検出感
度の温度変化を小さく抑えることができる。

【００３９】これにより、また本発明は、パッケージ、
Ｃ−Ｖ変換回路、増幅回路などの温度特性から受ける検
出感度のレベルの変動の改善にも併せて対処できるの
で、従来、温度特性の改善のために用いていた高価な温
度センサ、温度補償回路などを必要としなくなり、安価
なジャイロスコ−プを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例のジャイロスコープの平面
図

【図２】 図１のＸ−Ｘ線断面形態図

【図３】 図１のＹ−Ｙ線断面形態図

【図４】 駆動用梁の結合しているアンカーの折り返し
部の有無および長さを示すもので、Ａは折り返し部がな
い場合、Ｂは折り返し部が短い場合、Ｃは折り返し部が
長い場合を示す図

【図５】 折り返し部の長さに対する駆動共振周波数の
温度変化率を示す図

【図６】 周波数に対する検出感度を示す図

【図７】 同じく、周波数に対する検出感度を示す図

【図８】 従来のジャイロスコープの平面図

【図９】 図８のＺ−Ｚ線断面形態図

【符号の説明】

１ 支持基板 １ａ 凹部 １ｂ 凸部 ２ 振動体 ３、４ 検出用可動櫛歯電極 ５ａ〜５ｄ 検出用梁 ６ａ、６ｂ Ｔ字形の結合桿 ７ａ〜７ｄ 駆動用梁 ８ａ〜１１ａ 折り返し部 ８ｂ〜１１ｂ アンカー １２ａ〜１２ｈ 駆動用可動櫛歯電極 １３ａ〜１３ｄ コ字形の駆動用固定櫛歯電
極 １４、１５ 検出用固定櫛歯電極 ｐ１ 駆動の感度レベル ｐ２〜ｐ５ 検出の感度レベル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】支持基板と、該支持基板と熱膨張係数の異
   なる素子基板を加工して形成したジャイロ素子とからな
   り、該ジャイロ素子は、前記支持基板に形成されたアン
   カーに結合している駆動用梁により振動可能に支持され
   ている振動体と、該振動体を駆動する駆動手段と、前記
   振動体のコリオリ力に基づく変位により角速度を検出す
   る検出手段と、を備えているジャイロスコープにおい
   て、 前記アンカーと駆動用梁との間に、該駆動用梁と平行す
   る折り返し部を設け、前記駆動用梁の応力の温度変化に
   基づいて駆動共振周波数を変化させて、該温度変化によ
   る検出感度のレベルの変動分を補償して素子感度のレベ
   ルを一定に保持したジャイロスコ−プ。