JPH08247767A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は容量変化として検出される角速度検
出信号を高感度で出力することができるようにした角速
度センサを提供する。 【構成】 本発明によると、振動体と、前記振動体から
入力された信号を角速度信号として出力する信号処理手
段とを有する角速度センサであって、前記振動体は、容
量変化により角速度を検出する手段を備え、前記信号処
理手段は、前記振動体を所定の周波数で駆動する第１の
発振回路と、前記第１の発振回路の所定周波数とは異な
る周波数で前記振動体の前記容量変化を振幅変調信号に
変換する第２の発振回路と、前記振幅変調信号を復調す
る手段とを備えたことを特徴とする角速度センサが提供
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば車両走行制御で
の車両実挙動検出やナビゲーションの方向センサ等に適
用されるもので、角速度を容量変化として検出する振動
型センサから出力される角速度信号を２つの発振回路に
より振幅変調した後、復調及び差動増幅して高感度で出
力するようにした角速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、角速度センサの小型化が要求され
ており、マイクロマシーニングを用いＳｉ等の半導体か
ら振動子を形成したセンサが開発されている。一般的に
このセンサは、静電気力で振動子を駆動させ、その振動
方向と直角方向に働くコリオリの力を静電容量の変化で
検出する方式がとられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、コリオリの力
による静電容量の変化が非常に微少なため、高感度で検
出できる回路方式が確立されていないのが現状である。
そこで、本発明は以上のような点に鑑みてなされたもの
で、容量変化として検出される角速度信号を変調化する
点に着目し、駆動信号を得る発振回路と搬送波を得る発
振回路を用いて容量変化で変調をかけた振幅変調信号を
復調及び差動増幅することにより、角速度信号を高感度
で出力することができるようにした角速度センサを提供
することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明によると、上記課
題を解決するために、振動体と、前記振動体から入力さ
れた信号を角速度信号として出力する信号処理手段とを
有する角速度センサであって、前記振動体は、容量変化
により角速度を検出する手段を備え、前記信号処理手段
は、前記振動体を所定の周波数で駆動する第１の発振回
路と、前記第１の発振回路の所定周波数とは異なる周波
数で前記振動体の前記容量変化を振幅変調信号に変換す
る第２の発振回路と、前記振幅変調信号を復調する手段
とを備えたことを特徴とする角速度センサが提供され
る。

【０００５】また、本発明によると、前記信号処理手段
は、前記振動体の前記容量変化により角速度を検出する
手段と前記第２の発振回路との間に抵抗器を設けて、前
記振幅変調信号を導出することを特徴とする角速度セン
サが提供される。

【０００６】

【作用】上記解決手段によると、容量変化として検出さ
れる角速度信号を変調化する点に着目し、駆動信号を得
る発振回路と搬送波を得る発振回路を用いて容量変化で
変調をかけた振幅変調信号を復調及び差動増幅すること
により、角速度信号を高感度で出力することができる。

【０００７】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例につき説
明する。図１は本発明の第１実施例による角速度センサ
の全体構成を示す図である。図１に示す本実施例の角速
度センサは、マイクロマシーニングを用いてＳｉ基板等
に加工を施した振動子１０と、この振動子１０に接続さ
れる電子回路２０とにより構成されている。

【０００８】図２に示すように、振動子１０は、具体的
にはマイクロマシーニング技術等によりＳｉ基板から形
成された音叉構造の振動体３０とその周りを取り囲む枠
１５及び枠１５を載置する基台１６とを有して形成され
ている。

【０００９】そして、振動体３０は一対の腕部１４ａ，
１４ｂから構成されていると共に、それらを結合する根
元付近にアイソレーション１７が施されている。また、
枠１５は振動体３０の根元付近に２か所アイソレーショ
ン１８ａ，１８ｂが施されていると共に、枠１５と基台
１６の間に、アイソレーション１９が施されている。

【００１０】以上の構成により振動子１０には、枠１５
と振動体３０の腕部１４ａとの間に駆動容量Ｃ_D1、腕部
１４ｂとの間に駆動容量Ｃ_D2が形成されていると共に、
基台１６と振動体３０の腕部１４ａとの間に検知容量Ｃ
_S1、腕部１４ｂとの間に検知容量Ｃ_S2が形成される。

【００１１】ここで、基台１６を接地し、振動体３０の
腕部１４ａの根元より検知端子Ｓ１、腕部１４ｂの根元
より検知端子Ｓ２、枠１５から駆動端子Ｄをそれぞれ取
り出すことにより、図１に示す振動子１０の等価回路が
形成される。

【００１２】一方、電子回路２０においては、振動子１
０の振動体３０の腕部１４ａ，１４ｂを図２に示すｙ方
向に対称振動させるための発振回路２１と、ｚ軸廻りに
角速度が入力されたときにｘ軸方向に働くコリオリの力
に応じた変調信号を発生させるための発振回路２２、さ
らに角速度出力とする復調器２３，２４、差動増幅器２
５、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）２７、増幅器２８とを
備えている。

【００１３】ここで、発振回路２１は、振動子１０の振
動体３０の機械的共振周波数と略々等しい周波数ｆ_D の
駆動電圧Ｖ_D を発生し、振動子１０の駆動端子Ｄに印加
する。

【００１４】一方、発振回路２２は、振動子１０の振動
体３０の機械的共振周波数ｆ_D より高い周波数ｆ_C の電
圧Ｖ_C を発生し、抵抗Ｒ₁ ，Ｒ₂ を介し、それぞれ振動
子１０の検知端子Ｓ１，Ｓ２に接続される。

【００１５】また、この検知端子Ｓ１，Ｓ２にはそれぞ
れ復調器２３，２４が接続され、復調器２３，２４の出
力は差動増幅器２５を介して同期検波回路２６に接続さ
れると共に、さらにＬＰＦ２７を介して所定の感度まで
増幅器２８で増幅され、角速度信号Ｖ_O として出力され
る。

【００１６】図３に各部の波形を示し、この波形を参照
して各部の動作を説明する。先ず、発振回路２１から、
振動体３０の機械的共振周波数ｆ_D である駆動電圧Ｖ_D
を振動子１０の駆動端子Ｄに印加する。

【００１７】ここで、振動子１０の駆動容量Ｃ_D1，Ｃ_D2
と検知容量Ｃ_S1，Ｃ_S2はそれぞれ駆動端子Ｄと接地の間
で直列に接続されているが、 Ｃ_D1 ≒ Ｃ_D2 Ｃ_S1 ≒ Ｃ_S2 Ｃ_D1，Ｃ_D2 ＜＜ Ｃ_S1，Ｃ_S2 の関係となるように振動子１０が構成されているとする
と、駆動容量Ｃ_D1，Ｃ_D2のインピーダンスＺ_D1，Ｚ_D2と
検知容量Ｃ_S1，Ｃ_S2のインピーダンスＺ_S1，Ｚ_S2は、 Ｚ_D1，Ｚ_D2 ＞＞ Ｚ_S1，Ｚ_S2 となり、発振回路２１からの駆動電圧Ｖ_D は殆ど駆動容
量Ｃ_D1，Ｃ_D2に印加される。

【００１８】この駆動電圧Ｖ_D により、振動体３０の腕
部１４ａ，１４ｂと枠１５には静電気力が働き、振動体
３０の腕部１４ａ，１４ｂをｙ方向に対称振動させる。
この結果、振動体３０は図２に示す対称軸Ｌを中心に音
叉振動を行う。

【００１９】この状態で、ｚ軸廻りに角速度Ωが入力さ
れると、振動体３０の腕部１４ａ，１４ｂには、ｘ方向
で互いに向きが逆の大きさが等しく、振動体３０の機械
的共振周波数ｆ_D と等しい周波数のコリオリの力Ｆ_C が
下式に基づき働く。

【００２０】Ｆ_C ＝２ｍΩ×ｖ ここで、ｍは腕部１４ａ，１４ｂの質量であり、ｖは腕
部１４ａ，１４ｂのｙ方向の振動速度である。このコリ
オリの力により、振動体３０の腕部１４ａ，１４ｂはｘ
方向に変位し、それにより検知容量Ｃ_S1′，Ｃ_S2′は、 Ｃ_S1′＝Ｃ_S1＋ΔＣ_S1ｓｉｎ（２πｆ_D ｔ） Ｃ_S2′＝Ｃ_S2−ΔＣ_S2ｓｉｎ（２πｆ_D ｔ） のように変化する。

【００２１】しかし、一般的に、この検知容量変化ΔＣ
_S1，ΔＣ_S2は１０^-15 〜１０^-18 Ｆ程度と非常に小さ
く、振動体の機械的共振周波数ｆ_D （数ｋＨｚ程度）で
は、インピーダンスの変化としての検出は不可能であ
る。

【００２２】そこで、この発明では新たに、振動体３０
の機械的共振周波数に対し非常に高い周波数ｆ_C の電圧
Ｖ_C を発生する発振回路２２を加え、検知容量変化ΔＣ
_S1，ΔＣ_S2のインピーダンスの変化を発振回路２２の出
力Ｖ_C で捕らえ、搬送波の周波数をｆ_C 、信号波の周波
数をｆ_D とした振幅変調信号を発生させることにより、
角速度を検出する。

【００２３】次に、この回路作用について説明する。発
振回路２２の出力Ｖ_C は、抵抗器Ｒ₁ ，Ｒ₂ を介して検
知端子Ｓ１，Ｓ２である検知容量Ｃ_S1，Ｃ_S2にそれぞれ
接続されているため、発振回路２２の出力周波数をｆ_C
とすれば、検知端子Ｓ１，Ｓ２の電圧Ｖ_S1，Ｖ_S2は、 Ｖ_S1＝１／［１＋ｊ（２πｆ_C Ｃ_S1Ｒ₁ ）］ Ｖ_S2＝１／［１＋ｊ（２πｆ_C Ｃ_S2Ｒ₂ ）］ のように表される。

【００２４】今、ｚ軸廻りの入力角速度Ωが零の状態に
おいてはコリオリの力が発生しないため、検知容量
Ｃ_S1，Ｃ_S2の変化がなく、Ｖ_S1，Ｖ_S2とも変調信号とは
ならず、周波数ｆ_C で振幅一定の信号となる。Ｃ_S1＝Ｃ
_S2＝Ｃ、Ｒ₁ ＝Ｒ₂ ＝Ｒとすれば、Ｖ_S1＝Ｖ_S2となり、
差動増幅器２５の出力Ｖ_SBには信号が発生しない。

【００２５】しかし、ｚ軸廻りに角速度Ωが入力される
と、前述のように、検知容量Ｃ_S1，Ｃ_S2は、位相が１８
０°異なるように変化する。従って、電圧Ｖ_S1′，
Ｖ_S2′は、 Ｖ_S1′＝１／｛１＋ｊ［２πｆ_C Ｒ［Ｃ＋ΔＣ_S1ｓｉｎ
（２πｆ_D ｔ）］］｝ Ｖ_S2′＝１／｛１＋ｊ［２πｆ_C Ｒ［Ｃ＋ΔＣ_S2ｓｉｎ
（２πｆ_D ｔ）］］｝ のように表される。

【００２６】この電圧Ｖ_S1′，Ｖ_S2′は、周波数ｆ_c が
周波数ｆ_D で振幅変調がかかった搬送波となり、復調器
２３，２４を通した電圧Ｖ_T1，Ｖ_T2は、 Ｖ_T1＝ｋΔＣ_S1ｓｉｎ（２πｆ_D ｔ） Ｖ_T2＝−ｋΔＣ_S2ｓｉｎ（２πｆ_D ｔ） （ｋは定数）となる。

【００２７】ここで、ΔＣ_S1＝ΔＣ_S2＝ΔＣとすれば、
差動増幅器２５の出力Ｖ_SBは、 Ｖ_SB＝２ｋΔＣｓｉｎ（２πｆ_D ｔ） となり、同期検波回路２６、ＬＰＦ２７、増幅器２８を
通すことにより、入力角速度Ωに比例した直流電圧Ｖ_O
が高感度で出力される。

【００２８】なお、図３においてＶ_PDは同期検波回路２
６の出力波形を示している。図４は振動子１０の他の例
として角速度による変位を静電容量の変化として検出す
る角速度センサの平面的な構成を示す。

【００２９】すなわち、図４に示す第２の実施例におい
て、Ｐ型のシリコン基板により半導体基板１１１が構成
される。この半導体基板１１１上には、アンカー部１２
１〜１２４が４箇所形成され、このアンカー部１２１〜
１２４にそれぞれ一端が支持される梁１３１〜１３４に
よって重り１１４が支持される。

【００３０】従って、重り１１４は梁構造体によって図
４における紙面に垂直方向及び水平方向（図４の矢印Ｖ
方向）に変位自在に支持されている。この重り１１４
は、角速度による変位量を大きくするために設定され
る。

【００３１】さらに、重り１１４には、その変位方向で
重り１１４の両側に位置して、一対の細片を櫛の歯状に
平行に設定した励振用可動電極１６１〜１６４が突設形
成されている。

【００３２】この励振用可動電極１６１〜１６４は重り
１１４に振動を与える作用をする。これらアンカー部１
２１〜１２４、梁１３１〜１３４、重り１１４、励振用
可動電極１６１〜１６４は、例えばポリシリコンやタン
グステン等の耐熱性金属によって一体的に形成されるも
ので、この実施例においては、代表的な材料としてポリ
シリコンが使用されている。

【００３３】重り１１４及びこれと一体的に形成される
励振用可動電極１６１〜１６４は、半導体基板１１１の
主表面上に所定の間隔を隔てて配置され、梁１３１〜１
３４を介してアンカー部１２１〜１２４により保持され
る。

【００３４】重り１１４及びこれと一体的に形成される
励振用可動電極１６１〜１６４、梁１３１〜１３４によ
り構成される可動電極（振動子）と、この可動電極（振
動子）のそれぞれに対応する半導体基板１１１の主表面
部に、イオン注入等の手段によりＮ型不純物を導入して
形成された拡散層からなる下部固定電極１１５とで、静
電容量を構成している。

【００３５】この下部固定電極１５１は、アルミニウム
配線を介して外部電子回路に接続されている。また、励
振用可動電極１６１〜１６４のそれぞれに対応して励振
用固定電極１９１〜１９４が配置される。

【００３６】この励振用固定電極１９１〜１９４は、そ
れぞれ半導体基板１１１の主面上の励振用可動電極１６
１〜１６４と同じ高さ位置に固定的に設定されるもの
で、それぞれ櫛の歯状にした細片を有し、その細片が互
いに他の細片の中央にくるように配置され、各櫛の歯の
相互間に所定の間隔が形成される。

【００３７】これらの励振用固定電極１９１〜１９４の
それぞれは、アルミニウム配線を介して図示しない励振
用電源に接続され、所定の周波数の電圧信号が供給され
るもので、励振電極１６１〜１６４の電位を励振させて
静電気力によって、重り１１４及び可動ゲート電極１５
１〜１５４を振動させる。

【００３８】また、励振電極１６１〜１６４が一体的に
設けられる重り１１４が、アルミニウム配線を介して外
部電子回路に接続されている。また、励振用固定電極と
は９０度ずれた方向で重り１１４の両側に位置して、垂
直変位制御用固定電極１７１，１７２が形成されてい
る。

【００３９】この垂直変位制御用固定電極１７１，１７
２と重り１１４とで静電容量Ｃ_D1，Ｃ_D2を構成してい
る。これらの変位制御用固定電極１７１，１７２のそれ
ぞれは、アルミニウム配線を介して外部電子回路に接続
されている。

【００４０】図５（ａ）に、図４のａ−ａ断面を示す。
すなわち、図５（ａ）において、Ｐ型シリコン半導体基
板１１１上に形成された絶縁膜２２２で支持されて、例
えばポリシリコンで構成した重り１１４が設定され、こ
の重り１１４はアンカー部１２３と１２４との間に梁１
３３と梁１３４を介して保持される。

【００４１】ここで、絶縁膜２２２はエアギャップ２２
４を設定するためのもので、ＳｉＯ₂ 或いはＳｉ₃ Ｎ₄
等によって構成されている。また、可動部としての重り
１１４、梁１３３及び梁１３４の下側の半導体基板１１
１にはイオン注入等により下部固定電極１１５が形成さ
れており、実質的に可動電極（振動子）となる重り１１
４と下部電極１１５で角速度検出用静電容量Ｃ_S1，Ｃ_S2
を構成している。

【００４２】絶縁膜２２２は、重り１１４や梁１３１〜
１３４と半導体基板１１１との間隔を設定する犠牲層で
構成されるもので、アンカー部１２１〜１２４に対応す
る部分を除いてエッチング除去されてエアギャップ２２
４が形成される。

【００４３】このエッチングに際しては、重り１１４、
梁１３１〜１３４等を構成するポリシリコンと半導体基
板１１１がエッチングされず、犠牲層である絶縁膜２２
２のみがエッチングされるエッチング液が使用される。

【００４４】図５（ｂ）に、図４のｂ−ｂ断面を示す。
すなわち、図５（ｂ）において、重り１１４と半導体基
板１１１の間にエアギャップ２２４が設定されており、
可動電極（振動子）となる重り１１４が半導体基板１１
１に対して垂直方向及び紙面に対して垂直方向に変位可
能とされている。

【００４５】また、可動電極となる重り１１４と下部固
定電極１１５とで静電容量Ｃ_S1，Ｃ_S2を構成している。
さらに、励振用固定電極１９３，１９４と図示されない
励振用可動電極１６３，１６４との間に間隔が設定さ
れ、励振用固定電極１９３，１９４と励振用可動電極１
６３，１６４とは、半導体基板１１１に対して同じ高さ
となるように設定されている。

【００４６】図５（ｃ）に、図４のｃ−ｃ断面を示す。
すなわち、図５（ｃ）において、重り１１４と半導体基
板１１１の間にエアギャップ２２４が設定されている。

【００４７】また、垂直変位制御用固定電極１７１，１
７２と重り１１４との間に間隔が設定され、垂直変位制
御用固定電極１７１，１７２と重り１１４とは、半導体
基板１１１に対して同じ高さとなるように設定されてい
る。

【００４８】次に、以上のように構成される角速度セン
サの作動について説明する。この角速度センサは、重り
（可動電極：振動子）１１４に対し、垂直方向に相対す
る半導体基板１１１に固定下部電極１１５を設け、可動
電極１１４の垂直方向の変位によって可動電極１１４と
固定下部電極１１５との間の静電容量Ｃ_S1，Ｃ_S2が変化
する。

【００４９】従って、可動電極１１４と固定下部電極１
１５間の静電容量変化から可動電極１１４の変位を検出
して角速度を検出することができる。また、励振用固定
電極１９１〜１９４と励振用可動電極１６１〜１６４と
の間に、ある周波数の励振用電圧を印加すると、静電気
力によって励振用可動電極１６１〜１６４に水平方向の
振動が発生し、重り（可動電極）１１４も振動する。

【００５０】角速度によって発生するコリオリ力は、こ
の振動の速度に比例するものであり、振動速度を大きく
とるために周波数は振幅の大きくなる共振点付近に選ぶ
ことが好ましい。

【００５１】このようにして励振用可動電極１６１〜１
６４、励振用固定電極１９１〜１９４間に励振用の周期
電圧を印加することにより、重り（可動電極）１１４が
図６（ａ）に示すように振動する。

【００５２】そして、半導体基板１１１と水平で且つ振
動に垂直な軸を持った角速度Ωが発生すると、振動速度
並びに振動体質量に比例したコリオリの力が半導体基板
１１１方向に垂直な方向に発生し、重り（可動電極）１
１４が半導体基板１１１と垂直方向にＺ_O を中心に変位
する。

【００５３】図６（ｂ）に角速度Ωが加わった場合のそ
の変位を示す。可動電極の垂直変位Ｚは、振動速度に比
例するため、水平変位より位相がπ／２だけシフトす
る。

【００５４】そして、重り（可動電極）１１４が半導体
基板１１１と垂直方向に変位することにより、可動電極
１１４と固定下部電極１１５間の静電容量Ｃ_S1，Ｃ_S2が
変化する。

【００５５】なお、本実施例においては、可動電極が変
位しないようにフィードバック制御を行っている。すな
わち、可動電極１１４と固定下部電極１１５間の静電容
量を一定に保つように、垂直変位制御用電極１７１と可
動電極１１４間に電圧を印加して、ある一定の値Ｚ_O に
制御し、その制御電圧により角速度を検出するようにし
ている。

【００５６】これは、垂直変位制御用電極１７１と可動
電極１１４間に図６（ｃ）のような電圧を印加して、図
６（ｄ）に示すように可動電極の垂直変位を抑え、垂直
変位制御用電極１７１に印加する図６（ｃ）の電圧によ
り角速度を検出することができる。

【００５７】すなわち、このような角速度センサにおい
て、垂直変位制御用固定電極１７１，１７２と可動電極
（振動子）１１４間の静電容量Ｃ_D1，Ｃ_D2及び可動電極
（振動子）１１４と固定下部電極１１５間の静電容量Ｃ
_S1，Ｃ_S2とを第１実施例の図１及び図２に示した静電容
量Ｃ_D1，Ｃ_D2，Ｃ_S1，Ｃ_S2と同様に取扱うことにより、
角速度検出信号を高感度で出力することができる。

【００５８】なお、上記実施例では、振動子の形状が音
叉タイプ及び重り梁構造タイプである場合について説明
したが、四角柱、三角柱や円柱等の音片タイプ等、静電
容量の変化で角速度を検出するタイプのものであれば、
どのような形状でも良い。

【００５９】また、回路構成も、復調器を通してから差
動増幅していたが、最初に差動増幅をした後に復調器を
通しても良く、振動子からの振幅変調がかかった検知出
力を復調する構成のものであれば良い。

【００６０】さらに、変調をかける構成も、上記実施例
のような第２の発振回路と２つの抵抗器を用いる以外
に、２つのコンデンサを用いても良く、変調がかけられ
る構成のものであれば良い。

【００６１】

【発明の効果】従って、以上詳述したように本発明によ
れば、容量変化として検出される角速度信号を変調化す
る点に着目し、駆動信号を得る発振回路と搬送波を得る
発振回路を用いて容量変化で変調をかけた振幅変調信号
を復調及び差動増幅することにより、角速度信号を高感
度で出力することができるようにした角速度センサを提
供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の第１実施例による角速度センサ
の全体構成を示す図である。

【図２】図２（ａ）は第１実施例における振動子の具体
例を示す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）の断面
図。

【図３】図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は図１の各部の波
形を静止時、右旋回及び左旋回とに分けて示す図であ
る。

【図４】本発明の第２実施例における振動子の他の例と
して示す角速度センサの平面図である。

【図５】図５（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図４のａ−ａ，
ｂ−ｂ，ｃ−ｃ断面を示す図である。

【図６】図６（ａ）は可動電極の水平方向の変位を示す
図、図６（ｂ）は角速度が加わったときの可動電極の変
位を示す図、図６（ｃ）は垂直変位制御用電極−可動電
極間の電圧の変化を示す図、図６（ｄ）は閉ループ制御
により可動電極の変位を示す図である。

【符号の説明】

１０…振動子、２０…電子回路、３０…振動体、１５…
枠、１６…基台、１４ａ，１４ｂ…腕部、１７，１８
ａ，１８ｂ，１９…アイソレーション、Ｓ１，Ｓ２…検
知端子、Ｄ…駆動端子、２１，２２…発振回路、２３，
２４…復調器、２５…差動増幅器、２７…ローパスフィ
ルタ（ＬＰＦ）、２８…増幅器、Ｒ₁ ，Ｒ₂ …抵抗、Ｃ
_D1，Ｃ_D2，Ｃ_S1，Ｃ_S2…静電容量、１１１…半導体基
板、１２１〜１２４…アンカー部、１３１〜１３４…
梁、１１４…重り（可動電極：振動子）、１１５…下部
固定電極、１６１〜１６４…励振用可動電極、１７１，
１７２…垂直変位制御用固定電極、１９１〜１９４…励
振用固定電極、２２２…絶縁膜。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動体と、前記振動体から入力された信
   号を角速度信号として出力する信号処理手段とを有する
   角速度センサであって、 前記振動体は、 容量変化により角速度を検出する手段を備え、 前記信号処理手段は、 前記振動体を所定の周波数で駆動する第１の発振回路
   と、 前記第１の発振回路の所定周波数とは異なる周波数で前
   記振動体の前記容量変化を振幅変調信号に変換する第２
   の発振回路と、 前記振幅変調信号を復調する手段とを備えたことを特徴
   とする角速度センサ。
2. 【請求項２】 前記信号処理手段は、 前記振動体の前記容量変化により角速度を検出する手段
   と前記第２の発振回路との間に抵抗器を設けて、前記振
   幅変調信号を導出することを特徴とする請求項１に記載
   の角速度センサ。