JP2006153514A - ジャイロセンサおよび角速度検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主基板1には、駆動ばね13を介して支持基板2に対して支持基板2の板面に交差する方向に振動可能に支持される一対の駆動質量体4,5と、検出ばね16を介して各駆動質量体4,5にそれぞれ連結され各駆動質量体4,5に対して支持基板2の板面に沿った面内で一方向に変位可能にそれぞれ支持された一対の検出質量体8,9と、各検出質量体8,9の前記一方向の変位量をそれぞれ検出する一対の検出手段とが設けられる。両駆動質量体4,5は、支持基板2の板面に交差する方向において互いに逆向きにかつ同じ振幅で振動するように駆動手段によって駆動される。
【選択図】 図1
Description
本実施形態は、図1および図2に示すように、シリコン基板からなる主基板1の一面にガラス基板からなる支持基板2が積層され、主基板1の他面にガラス基板からなる封止基板3が積層された3層構造であって、支持基板2および封止基板3は主基板1に対して、たとえば陽極接合により接合される。なお、主基板1にはシリコン以外の半導体を用いることも可能である。
Fy=2mωxvz
ここで、振動している質量体の質量と駆動質量体4の振動の速度とは既知であるから、コリオリ力を求めることによって、X方向の軸回りの角速度を求めることができるのである。
本実施形態のジャイロセンサは、実施形態1のジャイロセンサにおいて、図9に示すように、駆動質量体11を厚み方向(Z方向)に貫通する貫通孔28が形成されている。貫通孔28は、各駆動質量体4,5における固定駆動電極22との対向部位(つまり可動駆動電極15)にそれぞれ形成されており、図9においては、各駆動質量体4,5について、開口面がそれぞれ矩形状に形成された57個の貫通孔28が、Y方向に19個ずつX方向に3列になるように配列されている。
2 支持基板
4,5 駆動質量体
7 質量体配置孔
8,9 検出質量体
13 駆動ばね
16 検出ばね
17 切抜孔
18 固定子
19 固定櫛歯片
20 可動櫛歯片
22 固定駆動電極
Claims (8)
- 一端部が支持基板に固定された駆動ばねを介して支持基板に対して支持基板の板面に交差する方向に振動可能に支持される駆動質量体と、駆動質量体に検出ばねを介して連結され駆動質量体に対して支持基板の板面に沿った面内で一方向に変位可能に支持された検出質量体と、前記一方向における検出質量体の変位量を検出する検出手段とを半導体基板からなる主基板に一対ずつ備え、両駆動質量体を前記支持基板の板面に交差する方向において互いに逆向きに同じ振幅で振動させるように駆動する駆動手段が設けられていることを特徴とするジャイロセンサ。
- 前記主基板は前記支持基板の板面に沿った一方向に直交する対称面を有し、前記駆動ばねは主基板の対称面上において支持基板に固定されており、一対の前記駆動質量体および検出質量体は、主基板の対称面に対して面対称に配置されていることを特徴とする請求項1記載のジャイロセンサ。
- 前記検出質量体は、前記検出ばねを介して連結された前記駆動質量体に貫設された質量体配置孔の内側に配置されており、質量体配置孔は、駆動質量体において前記駆動ばね寄りに形成されていることを特徴とする請求項2記載のジャイロセンサ。
- 前記駆動手段は、前記支持基板において各駆動質量体との対向部位にそれぞれ配置された一対の固定駆動電極を備え、互いに対向する駆動質量体と固定駆動電極との間に振動電圧を印加することにより、互いに対向する駆動質量体と固定駆動電極との間に作用する静電力で各駆動質量体をそれぞれ振動させることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 前記駆動手段は、前記固定駆動電極の少なくとも一方と前記駆動質量体との間の静電容量の変化に基づいて駆動質量体の振動数および振幅を一定に保つように前記振動電圧をフィードバック制御する振動電圧制御回路を備えることを特徴とする請求項4記載のジャイロセンサ。
- 前記検出手段は、前記検出質量体に設けた切抜孔の内周面に突設した複数本の可動櫛歯片と、切抜孔の内側に配置され支持基板に固定された固定子の外周面に各可動櫛歯片とそれぞれ対向するように突設した複数本の固定櫛歯片とからなることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 一対の前記駆動質量体は前記支持基板の板面に沿って並設されており、前記駆動ばねは、両駆動質量体の間に配置されねじれ変形が可能なトーションばねであることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のジャイロセンサ。
- 一端部が支持基板に固定された駆動ばねを介して支持基板に連結された駆動質量体を支持基板の板面に交差する方向に振動させ、駆動質量体に検出ばねを介して連結された検出質量体における前記支持基板の板面に沿った面内での一方向の変位量を検出することにより、支持基板の板面に沿った面内において前記一方向に交わる軸回りに作用する角速度を求める方法であって、前記支持基板の板面に沿った面内において前記駆動ばねを中心として対称となるように一対の駆動質量体および検出質量体を配置するとともに、両駆動質量体を互いに逆向きに同じ振幅で振動させ、支持基板の板面に沿った面内において前記一方向に交わる軸回りに作用する角速度を両検出質量体の変位量の差によって求めることを特徴とする角速度検出方法。
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