JP4290986B2

JP4290986B2 - 回転レートセンサー

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Publication number: JP4290986B2
Application number: JP2002566606A
Authority: JP
Inventors: ヴィリッヒライナー; トーメアンドレーアス; クールマンブルクハルト; ハウアーイェルク; ゴメスウード−マーティン; ゲツジークベルト; デーリングクリスティアン; フェーレンバッハミヒャエル; バウアーヴォルフラム; ビショッフウードー; ノイルラインハルト; フンクカーステン; ルッツマルクス; ヴーハーゲアハルト; フランツヨヘン
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2001-02-21
Filing date: 2002-02-13
Publication date: 2009-07-08
Anticipated expiration: 2022-02-13
Also published as: JP2004518970A; EP1373831A1; EP1373831B1; DE10108196A1; KR20030007538A; WO2002066928A1; US20030164040A1; KR100908940B1; US6752017B2

Description

【０００１】
本発明は、独立請求項に記載の形式の回転レートセンサーに関する。
【０００２】
米国特許第５７２８９３６号明細書により公知の回転レートセンサーにおいては、サブストレートの表面に第１及び第２のコリオリ・エレメントを配置してある。コリオリ・エレメントが、第１の軸の方向の振動を生ぜしめるように励起される。同じくサブストレートに対して平行な第２の軸の方向へのコリオリ力に基づくコリオリ・エレメントの変位が検出される。
【０００３】
発明の利点
独立請求項に記載の特徴を有する本発明に基づく回転レートセンサーにおいては利点として、種々の振動モードの明確な振動数分離が達成される。適当な励起振動数の選択によって、意図的に逆位相の振動が励起される。
【０００４】
さらなる改善及び利点が、従属請求項に記載の構成によって達成される。コリオリ・エレメントの重心が重心間の１つの結合直線に対して垂直に運動させられる場合には、コリオリ・エレメントのコリオリ力に基づく変位が、時間的な手段で、角加速度によって力成分を生ぜしめることのない同一の軸上に位置している。別の形の励起が、１つの軸上での両方のコリオリ・エレメントの振動によって行われる。コリオリ・エレメントの振動の励起が、特に簡単な形式では１つの駆動エレメントによって行われ、該駆動エレメントが駆動力をばねによって伝達する。この場合、該駆動エレメントにコリオリ・エレメントが完全に懸架されていてよい。励起手段として、静電的な櫛形駆動部が駆動エレメントに設けられていてよい。コリオリ力の検出が、コリオリ・エレメントに運動可能な電極を設けて、該電極に相対して不動の電極を配置することによって行われてよい。検出エレメントを設けることも可能であり、該検出エレメントにコリオリ力がばねを介して伝達される。この場合に検出エレメントは、コリオリ力の方向での運動のみを行うようにサブストレートに懸架されていてよい。これによって、運動可能な電極の、検出方向と異なる方向の運動に起因する妨害が抑制される。
【０００５】
実施例の説明
次に本発明の実施例を図面に示して、詳細に説明する。図１は本発明に基づく回転レートセンサーの平面を示しており、図２は図１の回転レートセンサーの一部分の詳細図であり、図３が図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図であり、図４乃至図７が回転レートセンサーの別の実施例の平面図である。
【０００６】
図１乃至図３を用いて本発明の第１の実施例を説明する。図１に概略的に平面を示すサブストレート１に、第１のコリオリ・エレメント１００及び第２のコリオリ・エレメント２００が配置されている。第１及び第２のコリオリ・エレメント１００，２００は方形のフレーム状の構造体として形成されている。フレーム状のコリオリ・エレメント１００，２００が検出手段１０１，２０１を取り囲んでおり、該検出手段が図１には概略的に格子線として示してある。検出手段は図２の平面図に詳細に示してある。フレーム状のコリオリ・エレメント１００，２００が、ほぼ方形のフレーム状の駆動エレメント１０２，２０２によって取り囲まれており、駆動エレメントが互いに向き合わされた側に貫通孔を備えている。該貫通孔を介してコリオリ・エレメント１００，２００が連結ばね５２によって互いに結合されている。連結ばね５２が、Ｘ・方向でもＹ・方向でも柔らかく構成されている。駆動エレメント１０２，２０２とコリオリ・エレメントとの間の結合が、たわみばね１０３，２０３によって行われている。たわみばねが、Ｘ・方向では柔らかく、かつＹ・方向では硬く構成されている。駆動エレメント１０２，２０２に運動可能な電極１０４，２０４を固定してあり、該電極が不動の電極１０５，２０５と櫛状に係合している。不動の電極１０５，２０５が支承ブロック１０６，２０６によってサブストレート１に堅く結合されている。さらに、駆動エレメント１０２，２０２がばね１０７，２０７によって別の支承ブロック１０６，２０６に結合されており、該支承ブロックが同じくサブストレート１に堅く結合されている。
【０００７】
これによって回転レートセンサーが、支承ブロック１０６，２０６を介してサブストレート１に結合されている。コリオリ・エレメント１００，２００も駆動エレメント１０２，２０２も、サブストレート１に対して相対的に運動できるようになっていてよい。該エレメントのこのような運動が、ばねエレメント１０３，２０３及び１０７，２０７によってのみ規定されている。
【０００８】
ばね１０７，２０７が、Ｙ・方向では柔らかく、かつＸ・方向では硬く構成されている。これによって駆動エレメント１０２，２０２が実質的に、Ｙ・方向に対して平行な軌道に沿ってのみ運動するようになっている。コリオリ・エレメント１００，２００がばね１０３，２０３を介して駆動エレメント１０２，２０２に結合されている。これによってコリオリ・エレメント１００，２００は駆動エレメント１０２，２０２に対して相対的に実質的にＸ・方向でのみ運動するようになっている。Ｙ・方向に対して平行な方向での駆動エレメント１０２，２０２の運動に際して、もちろんコリオリ・エレメント１００，２００も前記同じ方向に運動させられる。これによってコリオリ・エレメント１００，２００がサブストレート１に対して相対的に、Ｙ・方向に対して平行な方向でも、Ｘ・方向でも運動可能である。
【０００９】
センサーの機能の説明のために、各コリオリ・エレメント１００，２００にそれぞれ重心１１０，２１０を示してある。各重心１１０，２１０がそれぞれフレーム状のコリオリ・エレメント１００，２００の中心点に位置している。
【００１０】
運動可能な電極１０４，２０４と不動の電極１０５，２０５との間の電圧の印加によって、駆動エレメント１０２，２０２に振動が励起される。これによってコリオリ・エレメント１００，２００にも振動が励起される。即ちコリオリ・エレメント１００，２００の重心１１０，２１０がそれぞれ、Ｙ・軸に対して平行な１つの軸に沿って運動する。要するに両方のコリオリ・エレメント１００，２００の運動が、互いに平行に向けられた軸内で行われる。この場合、各重心は、コリオリ力の影響（即ち、サブストレート１に垂直な１つの軸を中心としたサブストレートの回転運動）がない場合には、互いに平行な直線に沿って運動する。Ｚ・軸を中心とした、即ちサブストレート１に垂直な軸を中心としたサブストレート１の回転が生じると、各コリオリ・エレメント１００，２００がコリオリ力を受け、コリオリ力は回転軸線に対して垂直でかつ運動軸線に対して垂直である。従って該力はＸ・方向に作用する。
【００１１】
運動可能な電極１０４，２０４が不動の電極１０５，２０５及び駆動エレメント１０２，２０２と一緒に励起手段を形成しており、該励起手段によってコリオリ・エレメント１００，２００に振動が励起され、該振動に際して重心１１０，２１０の振動軸線が互いに平行に向けられている。この場合に該軸線は少なくとも、１つのコリオリ・エレメント１００，２００のＸ・方向の長さの値の相互間隔を置いて位置している。
【００１２】
両方のコリオリエレメント１００，２００が連結ばね５２によって互いに結合されており、連結ばねがＸ・方向でも、Ｙ・方向でも柔らかく構成されている。該連結ばねによって、コリオリエレメント１００，２００の振動モードのＸ・方向及びＹ・方向の振動数に関連した分離が達成される。即ち、Ｙ・方向の同位相の振動のためにばね１０７，２０７のばね剛性が考慮される。Ｙ・方向の逆位相の振動のために、ばね１０７，２０７のばね剛性のほかに連結ばね５２のＹ・方向のばね剛性も考慮される。Ｘ・方向の同位相の振動のためにばね１０３，２０３のばね剛性が考慮され、かつ、Ｘ・方向の逆位相の振動のために、ばね１０３，２０３のばね剛性のほかに連結ばね５２のＸ・方向のばね剛性も考慮される。これによって、Ｘ・方向及びＹ・方向の同位相の振動の固有振動数が、逆位相の振動の振動数と異なっており、その結果、異なる振動モードの意図的な励起が容易になる。ここでは特に逆位相・振動モードが所望されている。このことはＹ・方向にとって、回転レートセンサーの左側のコリオリエレメント１００が下方へ運動する場合に、右側のコリオリエレメント２００が上方へ運動させられ、かつ逆に、左側のコリオリエレメントが上方へ運動する場合に、右側のコリオリエレメントが下方へ運動させられたいことを意味し、さらに、Ｘ・方向にとって、回転レートセンサーの左側のコリオリエレメント１００が左方へ運動する場合に、右側のコリオリエレメント２００が右方へ運動させられ、かつ逆に左側のコリオリエレメントが右方へ運動する場合に、右側のコリオリエレメントが左方へ運動させられたいことを意味している。交流電圧として電極１０５，２０５，１０４，２０４に印加される適当な励起振動数の選択によって、意図的に逆位相の振動モードが励起される。
【００１３】
連結ばね５２がここでは簡単なクローバー形ばねとして形成されている。このことは１つの実施例に過ぎない。一般的に、Ｘ・方向でもＹ・方向でも柔らかく形成してあるすべての構成部材が適している。ここで「柔らかい」という表現は、通常生じる力に際してコリオリエレメントの、サブストレートに対する変位を許すようなばね剛性（ばねこわさ）を意味している。柔らかさの程度は個々の使用例において、コリオリエレメント１００，２００の質量及び発生する力に関連して規定されるものである。連結ばねは、Ｘ・方向でもＹ・方向でもパラレルな振動モードとアンチパラレルな振動モードとの振動数に十分に強く関連した分離が行われて、機械的なできるだけ小さい歪みしか生ぜしめられないように形成されている。さらに連結ばねは、機械的な非直線性が最小にされて、コリオリエレメント間の応力の生じない結合が行われるように構成されている。
【００１４】
さらに有利には、コリオリ・エレメント１００，２００の静止位置に関してＸ・方向の運動が共通の１つの軸に沿って行われる。このような原理の利点として、Ｚ・軸を中心とした角加速度が直接にコリオリ・エレメント１００，２００の運動に直接に影響を及ぼすことがなく、それというのはコリオリ・エレメントがＺ・軸を中心とした角加速度によって変位させられないからである。これによって、回転レートセンサーがＺ・軸を中心とした角加速度の影響を受けにくくなっている。
【００１５】
図２は、図１のコリオリ・エレメント１００の評価手段１０１の拡大詳細平面図である。フレーム状のコリオリ・エレメント１００が評価手段１０１を取り囲んでいる。評価手段が格子状の電極１２１として形成されており、この場合、多数の電極１２１がコリオリ・エレメント１００のフレーム状の構造内に設けられている。安定化のために、格子状の電極１２１がさらに中央ビーム１３０を用いて互いに結合されている。各電極１２１がコリオリ・エレメント１００と一緒に運動する。電極１２１は不動の電極１２２，１２３間に配置されており、該電極は支承部１０６によってサブストレート１に取り付けられている。これによって、電極１２２，１２３が、サブストレートに対して運動しない不動の電極として形成されている。
【００１６】
図３は、図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図である。図３には、サブストレート１及び、該サブストレートの上面に配置された導体路１３０が断面で示してある。導体路１３０上に支承部（固定部）１０６が取り付けてあり、これによってサブストレート１に堅く結合されている。支承部１０６及び、該支承部に取り付けられた電極が導電可能であり、導体路１３０によって並列的に接続される。運動可能な各電極１２１が、不動の１つの電極１２２と不動の１つの電極１２３との間に配置されている。従って、運動可能な電極１２１と不動の電極１２２との間、及び運動可能な電極１２１と不動の電極１２３との間にコンデンサーが形成される。両方のキャパシタンスが差動キャパシタンスとして構成されており、即ち一方のキャパシタンスの増大に際して、他方のキャパシタンスが相応に減少する。両方の電極組１２２，１２３の支承ブロック１０６の側方へのずらしによって、対応する導体路１３０を用いて、対応するキャパシタンスが互いに並列的に接続される。
【００１７】
図３から明らかなように、コリオリ・エレメント１００がサブストレート１の上に配置されており、かつコリオリ・エレメント１００に結合された電極１２１もサブストレート１の上に配置されている。該断面図に示されているように、断面で示す支承ブロック１０６を有する電極１２２が、支承ブロック１０６を介して導体路１３０に配置されていて、これによってサブストレート１に堅く結合されている。電極１２３は図３の断面図では同じくサブストレートの上に図示してある。該電極はしかしながら、別の箇所で該電極のための対応する導体路１３０を介してサブストレート１に堅く結合されている。
【００１８】
サブストレート１及び、該サブストレートの上に配置されたエレメント、例えばコリオリ・エレメント１００，２００、駆動エレメント１０２，２０２、ばね及び電極にとって、材料として有利には珪素を用いてあり、珪素が適当なドーピングによって導電性に形成されている。サブストレートは、必要な箇所を絶縁層によって電気的に絶縁されてよい。センサーのために、別の材料、例えばセラミック、ガラス若しくは金属が用いられてもよい。
【００１９】
図１の回転レートセンサーにおいては、Ｘ・方向でもＹ・方向でも柔らかく形成された連結ばね５２によって、両方の振動方向（Ｘ，Ｙ）での逆位相の振動と同位相の振動との振動数に関連した分離が行われる。適当な振動数を意図的に生ぜしめることによって、所望の逆位相の振動が形成される。
【００２０】
図４は、本発明に基づく回転レートセンサーの別の実施例の平面図である。図４に平面を示してあるサブストレート１に、図１に示してあるように、コリオリ・エレメント１００，２００を配置してあり、コリオリ・エレメントが駆動エレメント１０２，２０２によって取り囲まれており、駆動エレメントが互いに向き合わされた側を貫通されている。コリオリ・エレメント１００，２００と駆動エレメント１０２，２０２がばね１０３，２０３に結合されている。駆動エレメント１０２，２０２がばね１０７を用いて支承ブロック１０６，２０６に結合されている。さらに、運動可能な電極１０４，２０４、不動の電極１０５，２０５及び、不動の電極１０５，２０５のための支承ブロック１０６が設けられている。両方のコリオリ・エレメント１００，２００が、連結ばね５３を用いて結合されている。これらのすべてのエレメントは、すでに図１で述べたエレメントに相当するものであって、同じ機能を生ぜしめる。
【００２１】
図１に対する相違として、コリオリ・エレメント１００，２００の検出のために、フレーム状の検出エレメント１４０，２４０をそれぞれフレーム状のコリオリ・エレメント１００，２００の内部に設けてある。検出エレメント１４０，２４０が同じく方形のフレーム構造として形成されいて、ばねエレメント１４１，２４１を用いて支承ブロック１０６，２０６を介してサブストレート１に結合されている。ばねエレメント１４１，２４１がＸ・方向で柔らかくかつＹ・方向で硬く、従って実質的に検出フレーム１４０，２４０のＸ・方向の変位のみを許すようになっている。検出フレーム１４０，２４０がばねエレメント１４２，２４２によって対応するコリオリ・エレメント１００，２００に結合されている。ばねエレメント１４２，２４２がＹ・方向で柔らかくかつＸ・方向で硬く形成されていて、従ってコリオリ力をＸ・方向で特に良好に伝達する。検出フレーム１４０，２４０の内部に格子状の検出電極１４３，２４３を配置してあり、該検出電極は図４には概略的に示してある。該エレメントの構造は図２及び図３に示す構造に相当するものである。
【００２２】
前記配置の利点として、格子状の電極１４３，２４３が実質的にＸ・方向でのみ運動可能であり、従って不動の電極に対して横方向の運動を行わない。図１及び図２では、運動可能な電極１２１は直接にコリオリ・エレメント１００に結合されており、従って該運動可能な電極はＸ・方向でもＹ・方向でも運動を行う。Ｘ・方向の運動は、コリオリ・エレメント１００のＸ・方向の変位の測定にとって必要である。該測定にとって、Ｙ・方向の運動は望ましいものではなく、エラーの原因になるものである。図４では、検出フレーム１４０，２４０がばね１４１，２４１を用いて固定部を介してサブストレート１に取り付けられており、運動可能な電極１４３，２４３がＸ・方向でのみ運動を行う。従って、測定・信号を妨害する原因が排除される。
【００２３】
図５に、別の実施例が示してある。エレメント１００，２００，１０３，２０３，１０４，２０４，１０５，２０５，１０６，２０６，１０７，２０７が、図１に開示のエレメントに相当するものであり、同じ機能のために役立っている。図１に対する相違として、コリオリ・エレメント１００，２００を駆動エレメント１０２，２０２に結合するばね１０３，２０３が、Ｙ・方向で柔らかくかつＸ・方向で硬く形成されている。駆動エレメント１０２，２０２をサブストレート１に結合するばね１０７，２０７が、Ｘ・方向で柔らかくかつＹ・方向で硬く形成されている。さらに、電極１０４，１０５，２０４，２０５が長手方向でＸ・方向に対して平行である。電圧を印加された電極１０４，１０５，２０４，２０５が、Ｘ・方向の力を形成し、該力が駆動エレメントの振動をＸ・方向で生ぜしめる。該振動がばね１０３，２０３によってコリオリ・エレメント１００，２００に伝達され、従ってコリオリ・エレメントがサブストレートに対して相対的に運動する。Ｚ・軸を中心としたサブストレートの回転に際してコリオリ力を発生し、コリオリ力がコリオリ・エレメント１００，２００をＹ・方向に振動させる。この場合、Ｘ・方向でもＹ・方向でも柔らかい連結ばね５４によって、コリオリ・エレメントの振動がＸ・方向でもＹ・方向でも互いに連結されている。該連結が振動モジュールの前に述べた振動数分離を生ぜしめる。図５に概略的に示す検出エレメント１０１，２０１は、図２及び図３に示す構造に相応するものであるものの、検出方向がＹ・方向に平行である。
【００２４】
図６に、コリオリ・エレメント１００，２００間に配置された本発明に基づく連結ばねの別の実施例が示してある。該連結ばね５５は、Ｘ・方向でもＹ・方向でも二重に折り曲げられたばねとして形成されており、即ち、該連結ばねは両方向でそれぞれ２つのループを有している。このようなばねは小さい所要スペースで特に柔らかく形成され得る。この場合、ループの数は必要に応じてさらに増大されてよい。
【００２５】
図７に、コリオリ・エレメント１００，２００間に配置された本発明に基づく連結ばねのさらに別の実施例が示してある。該連結ばね５５は、Ｘ・方向で多数回折り曲げられたばねとして形成されている。該ばねは折り曲げ数の大きいことに基づきＹ・方向でも柔らかいばね定数を有している。
【００２６】
図８に別の実施例が示してある。エレメント１００，２００，１０３，２０３，１０４，２０４，１０５，２０５，１０６，２０６，１０７，２０７が、図１に開示のエレメントに相当するものであり、同じ機能のために役立っている。図１に対する相違点として、駆動エレメント１０２，２０２が内側のフレームとして形成されており、コリオリ・エレメントが外側のフレーム１００，２００として形成されている。フレーム状の構造体としての駆動エレメント１０２，２０２の内側に運動可能な電極１０４，２０４を配置してあり、該電極が不動の電極１０５，２０５に係合しており、該不動の電極が支承ブロック１０６，２０６に取り付けられている。電極１０４，１０５，２０４，２０５が、Ｘ・方向に対して平行な力を形成するように配置されている。Ｘ・方向で硬くかつＹ・方向で柔らかく形成されたばね１０３，２０３を用いて、駆動エレメント１０２，２０２がコリオリ・エレメント１００，２００に結合されている。駆動エレメント１０２，２０２が、Ｘ・方向で柔らかくかつＹ・方向で硬いばね１０７，２０７を用いて、支承ブロック１０６，２０６に、ひいてはサブストレート１に結合されている。検出手段１０１，２０１がコリオリ・エレメント１００，２００の外側に配置されており、Ｙ・方向の変位が検出されるようになっている。これらのエレメントは、図５のエレメントに相当するものである。ここでもコリオリ・エレメント１００，２００が連結ばね５７に結合されており、該連結ばねがＹ・方向及びＸ・方向で柔らかく形成されている。コリオリ・エレメントの外側の配置の利点として、連結ばね５７が両方のコリオリ・エレメント１００，２００間に特に簡単に配置され得る。フレーム状構造の駆動エレメント１０２，２０２に貫通孔を必要とせず、回転レートセンサーの機械的な安定性が改善される。図８に示す構造の機能は、図５に示す構造の機能に相当するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の概略的な平面図。
【図２】図１の実施例の部分的な詳細図。
【図３】図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図。
【図４】本発明の別の実施例の概略的な平面図。
【図５】本発明のさらに別の実施例の概略的な平面図。
【図６】連結ばねの実施例の概略的な平面図。
【図７】連結ばねのさらに別の実施例の概略的な平面図。
【図８】本発明のさらに別の実施例の概略的な平面図。
【符号の説明】
１サブストレート、５２連結ばね、１００コリオリ・エレメント、１０１検出手段、１０３たわみばね、１０４，１０５電極、１０６支承部、１１０重心、１２１，１２２，１２３電極、１４０検出エレメント、１４１，１４２ばねエレメント、１４３検出電極

Claims

回転レートセンサーであって、
サブストレート（１）並びに、第１のコリオリ・エレメント（１００）及び第２のコリオリ・エレメント（２００）を備えており、
前記第１及び第２のコリオリ・エレメント（１００，２００）に対してそれぞれ駆動エレメント（１０２，２０２）を設けてあり、該駆動エレメントが、第１のばね（１０３，２０３）を用いて前記それぞれのコリオリ・エレメント（１００，２００）に結合されていると共に、第２のばね（１０７，２０７）を用いて前記サブストレート（１）に結合されており、前記第１のばね（１０３，２０３）が第１の軸（Ｙ）の方向で硬くかつ該第１の軸に対して垂直な第２の軸（Ｘ）の方向で柔らかく形成されており、前記第２のばねが前記第１の軸（Ｙ）の方向で柔らかくかつ前記第２の軸（Ｘ）の方向で硬く形成されており、
励起手段（１０４，１０５，２０４，２０５）が設けられており、該励起手段（１０４，２０４）が前記駆動エレメント（１０２，２０２）に結合されており、前記励起手段によって前記駆動エレメント（１０２，２０２）を介して前記第１及び第２のコリオリ・エレメント（１００，２００）が前記第１の軸（Ｙ）に対して平行な振動を生ぜしめるように励起可能であり、
検出手段（１０１，２０１）が設けられており、該検出手段によって、前記第１及び第２のコリオリ・エレメント（１００，２００）のコリオリ力に基づく変位が、前記第２の軸（Ｘ）の方向で検出可能であり、前記第１及び第２の軸（Ｘ，Ｙ）が前記サブストレート（１）の表面に対して平行に延びており、
前記第１及び第２のコリオリ・エレメント（１００，２００）が、前記サブストレート（１）の表面の上に並べて配置されていて、かつ連結ばね（５２，５３，５４）を用いて互いに結合されており、該連結ばねが前記第１の軸の方向及び前記第２の軸の方向で柔らかく形成されていることを特徴とする回転レートセンサー。
前記第１及び第２のコリオリ・エレメント（１００，２００）がそれぞれ重心（１１０，２１０）を有しており、振動に際して該重心（１１０，２１０）は、コリオリ力の作用がない場合には、前記両方の重心（１１０，２１０）によって規定された１つの直線に対して垂直な直線に沿ってサブストレート表面に平行に運動するようになっている請求項１記載の回転レートセンサー。
前記第１及び第２のコリオリ・エレメント（１００，２００）がそれぞれ重心（１１０，２１０）を有しており、振動に際して該重心（１１０，２１０）は、コリオリ力の作用がない場合には、前記両方の重心（１１０，２１０）によって規定された１つの直線に沿って運動するようになっている請求項１記載の回転レートセンサー。
前記駆動エレメントが静電式の櫛形駆動部（１０４，２０４，１０５，２０５）として形成されている請求項１記載の回転レートセンサー。
検出手段が運動可能な電極（１２１）を有しており、該電極が前記それぞれのコリオリ・エレメント（１００，２００）に結合されていてかつ、前記サブストレート（１）に結合された不動の電極（１２２，１２３）に相対して配置されている請求項１から４のいずれか１項記載の回転レートセンサー。
検出手段が第１及び第２の検出エレメント（１４０，２４０）を有しており、該検出エレメントがばね（１４２，２４２）を用いて前記それぞれのコリオリ・エレメント（１００，２００）に結合されており、前記ばねが前記第１の軸の方向で柔らかくかつ前記第２の軸の方向で硬く形成されている請求項１記載の回転レートセンサー。
前記検出エレメント（１４０，２４０）が運動可能な電極（１２１）を有しており、該電極が、前記サブストレート（１）に結合された不動の電極（１２２，１２３）に相対して配置されている請求項６記載の回転レートセンサー。
前記検出エレメント（１４０，２４０）がばね（１４０，１４１，２４１）を用いて前記サブストレート（１）に結合されており、該ばねが前記第１の方向で硬くかつ前記第２の方向で柔らかく形成されている請求項６又は７記載の回転レートセンサー。