JP6448448B2 - ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 - Google Patents
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Description
Q=Vp(C0+C1)=Vp(C0+C2)
の電荷Qが充電される。キャパシタへの充電が終了した後、スイッチ71a及び71bをオフ状態に設定する。
Q=Vp1(C0+C1’)=Vp2(C0+C2’)
という関係が成立する。電圧Vp1と電圧Vp2との差動電圧を差動電圧検出回路75で検出し、その差動電圧に基づいて角速度を求めることができる。
第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出することと、
前記検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出することと、
を備え、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記所定物理量は、固定電極部と前記可動体に含まれる可動電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記所定物理量を検出した後に前記可動体の第1の方向の振動を停止させることを、さらに備える
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が定常状態に達する前に停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記第1の方向の振動の振幅がピークに達したときに前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、ストッパーによって前記可動体を捕捉することで停止させられる
ことを特徴とする付記3に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体が第1の方向の振動を開始した後に、前記可動体には第1の方向の強制振動は与えられない
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体に一定期間の第1の方向の強制振動を与えた後に、前記可動体への強制振動を停止させる
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数とは異なる
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記角速度は、前記可動体の第2の方向の振動の振幅がピークであるときに検出された前記所定物理量に基づいて算出される
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記角速度は、前記可動体が第1の方向の振動を開始した後の特定のタイミングで検出された前記所定物理量に基づいて算出される
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を第1の方向に強制的に変位させた状態から開始される
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第2の方向の振動は、前記非定常状態において過渡的なうなりを有する
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の振動の継続期間は、前記ジャイロセンサの出力データレートの逆数に対応する周期よりも短い
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数との差は、1kHz以上である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第1の方向の共振周波数をfy とし、前記可動体の第2の方向の共振周波数をfx として、(fx +fy )/2は5kHz以上である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第2の方向の振動の減衰係数をbx とし、前記可動体の第2の方向のマスをmx とし、γx =bx /mx として、γx は100Hz以下である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
前記可動体の第2の方向の振動のQ値は345以上である
ことを特徴とする付記1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。
第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、
前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、
を備え、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記所定物理量は、固定電極部と前記可動体に含まれる可動電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記所定物理量を検出した後に前記可動体の第1の方向の振動を停止させる振動停止部を、さらに備える
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記振動停止部は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が定常状態に達する前に前記可動体の第1の方向の振動を停止させる
ことを特徴とする付記22に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記振動停止部は、前記可動体を捕捉することで前記可動体の第1の方向の振動を停止させる
ことを特徴とする付記22に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数とは異なる
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記角速度算出部は、前記可動体の第2の方向の振動の振幅がピークであるときに検出された前記所定物理量に基づいて角速度を算出する
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
前記角速度算出部は、前記可動体が第1の方向の振動を開始した後の特定のタイミングで検出された前記所定物理量に基づいて角速度を算出する
ことを特徴とする付記20に記載のジャイロセンサの角速度の取得装置。
11xm…可動電極部 11y…y方向可動部
12…アンカー部 13、14…バネ部 15…固定電極部
16…突起部 17…ストッパー 18…駆動電極
31…駆動電圧供給回路 32…検出部 33…角速度算出部
50…ジャイロセンサ 51…可動体 51m…可動電極部
52…アンカー部 53…バネ部 54…固定電極部
55…櫛歯部 56…駆動電極
71a、71b…スイッチ 72a、72b…キャパシタ
73a、73b…可変キャパシタ 74a、74b…トランジスタ
75…差動電圧検出回路
110…下地領域 111…半導体基板 112…絶縁領域
113…トランジスタ 114…配線
120…ジャイロセンサ 121…可動体
122…固定電極部 123…バネ部
130…キャップ膜
141…可動体 142…バネ部
143…上部電極 144…下部電極
Claims (11)
- 可動体を振動停止部からリリースすることで、前記可動体の第1の方向の振動を開始することと、
前記可動体の第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出することと、
前記検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出することと、
前記所定物理量を検出した後に前記振動停止部によって前記可動体を捕捉することで前記可動体の第1の方向の振動を停止させることと、
を備えたことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体に働く前記第2の方向の振動は、前記第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく前記可動体の2の方向の振動が非定常状態であるときに検出される
ことを特徴とする請求項2に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体が前記第1の方向の振動を開始した後に、前記可動体には前記第1の方向の強制振動は与えられない
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記振動停止部によって前記可動体を捕捉することは、前記可動体と前記可動体の近傍に設けられた電極との間に電位差を与えることで行われる
ことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出することと、
前記検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出することと、
を備えたジャイロセンサの角速度の取得方法であって、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出され、
前記可動体の第2の方向の振動は、前記非定常状態において過渡的なうなりを有する
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 第1の方向に振動している可動体に働くコリオリ力に基づく第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出することと、
前記検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出することと、
を備えたジャイロセンサの角速度の取得方法であって、
前記所定物理量は、前記コリオリ力に基づく第2の方向の振動が非定常状態であるときに検出され、
前記可動体の第1の方向の振動の継続期間は、前記ジャイロセンサの出力データレートの逆数に対応する周期よりも短い
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記所定物理量は、固定電極部と前記可動体に含まれる可動電極部との間のキャパシタンスに基づく物理量である
ことを特徴とする請求項1、6又は7に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第1の方向の共振周波数と前記可動体の第2の方向の共振周波数とは異なる
ことを特徴とする請求項1、6又は7に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を第1の方向に強制的に変位させた状態から開始される
ことを特徴とする請求項1、6又は7に記載のジャイロセンサの角速度の取得方法。 - 可動体の第2の方向の振動の振幅に依存する所定物理量を検出する検出部と、
前記検出部で検出された所定物理量に基づいて前記可動体の角速度を算出する角速度算出部と、
前記可動体を捕捉することで前記可動体の第1の方向の振動を停止させる振動停止部と、
を備え、
前記可動体の第1の方向の振動は、前記可動体を前記振動停止部からリリースすることで開始される
ことを特徴とするジャイロセンサの角速度の取得装置。
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Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US6928872B2 (en) | 2001-04-27 | 2005-08-16 | Stmicroelectronics S.R.L. | Integrated gyroscope of semiconductor material with at least one sensitive axis in the sensor plane |
JP2003028644A (ja) | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
US6865944B2 (en) * | 2002-12-16 | 2005-03-15 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for decelerating proof mass movements within MEMS structures |
JP2004301662A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Tdk Corp | ジャイロセンサ |
JP4345562B2 (ja) * | 2004-04-23 | 2009-10-14 | パナソニック電工株式会社 | 角速度センサ |
JP4887034B2 (ja) | 2005-12-05 | 2012-02-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
JP2007178298A (ja) | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動型慣性力検知センサ |
JP2007218717A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 慣性力センサ |
JP4510068B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2010-07-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 微小構造体の変位量測定装置および変位量測定方法 |
JP4561820B2 (ja) | 2007-12-21 | 2010-10-13 | 株式会社豊田中央研究所 | 角速度センサ |
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DE102010029590B4 (de) * | 2010-06-01 | 2014-07-10 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor, Sensoranordnung, Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors und Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung |
DE102010062581A1 (de) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor, Sensorsystem, Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors und Verfahren zum Betrieb eines Sensorsystems |
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JP2013234904A (ja) | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサーおよびその製造方法、並びに電子機器 |
US9527722B2 (en) * | 2012-06-11 | 2016-12-27 | Omnitek Partners Llc | Inertia sensors with multi-directional shock protection |
JP6197323B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-09-20 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体 |
CN103292798A (zh) * | 2013-05-22 | 2013-09-11 | 同济大学 | 一种抗高强度冲击的音叉式微机械陀螺 |
JP6125914B2 (ja) * | 2013-06-07 | 2017-05-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
DE102014202053A1 (de) * | 2014-02-05 | 2015-08-06 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung mit mindestens einer seismischen Masse |
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