JP2004301662A - ジャイロセンサ - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000003938 response to stress Effects 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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Abstract
【課題】小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるジャイロセンサを提供する。
【解決手段】ジャイロセンサ10は、超磁歪素子からなる超磁歪部材12と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって超磁歪部材12を振動させる駆動コイル18と、超磁歪部材12の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するGMR素子(検出手段)20とを有している。そして、超磁歪部材12の振動方向に対し垂直な方向を回転軸とする角速度変化を、コリオリ力にもとづく超磁歪部材12の変形による前記透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】ジャイロセンサ10は、超磁歪素子からなる超磁歪部材12と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって超磁歪部材12を振動させる駆動コイル18と、超磁歪部材12の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するGMR素子(検出手段)20とを有している。そして、超磁歪部材12の振動方向に対し垂直な方向を回転軸とする角速度変化を、コリオリ力にもとづく超磁歪部材12の変形による前記透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにした。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビデオカメラの手振れ補正や自動車のナビゲーションシステム等に適用されるジャイロセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、振動する物体に角速度が加わると、その振動方向に対し垂直な方向にコリオリの力が生ずるという力学現象を利用したジャイロセンサが広く知られている(例えば、特許文献1参照。)。なお、コリオリの力Fは、F=2・m・v・ω(m:振動体の質量、v:振動速度、ω:角速度)の式で与えられ、従来のジャイロセンサは、このコリオリの力Fに基づいて角速度ωの変化を検出するようにしたものである。
【0003】
近年、このようなジャイロセンサの分野においては、小型で高感度なものが要求されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−136933号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に、角速度変化の検出感度を向上させるためには(コリオリの力Fを大きくするには)、振動体の振幅を増大したり、質量を大きくしたりする必要があるため、従来公知のジャイロセンサでは装置の小型化に限界があった。
【0006】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるジャイロセンサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の発明者は、研究の結果、角速度変化をコリオリ力にもとづく磁歪部材の変形による透磁率又は残留磁化量の変化として検出することで、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるジャイロセンサを見出した。
【0008】
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
【0009】
(1)磁歪素子からなる磁歪部材と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって前記磁歪部材を振動させる駆動コイルと、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出する検出手段とを有してなり、前記磁歪部材の振動方向に対し垂直な方向を回転軸とする角速度変化を、コリオリ力にもとづく前記磁歪部材の変形による前記透磁率又は残留磁化量の変化として検出することを特徴とするジャイロセンサ。
【0010】
(2)前記駆動コイルは、前記磁歪部材を共振周波数で振動させるようにされたことを特徴とする前記(1)記載のジャイロセンサ。
【0011】
(3)前記検出手段は、磁気抵抗効果素子を含み、前記透磁率又は残留磁化量の変化を前記磁気抵抗効果素子の起電力変化として検出するようにされたことを特徴とする前記(1)又は(2)記載のジャイロセンサ。
【0012】
(4)前記検出手段は、前記磁歪部材を囲む検出コイルを含み、前記透磁率又は残留磁化量の変化を前記検出コイルのインダクタンス変化として検出するようにされたことを特徴とする前記(1)又は(2)記載のジャイロセンサ。
【0013】
(5)前記磁歪部材の一端側に、磁性を有するバイアス磁石を密着固定すると共に、前記一端側と反対の他端側に、前記駆動コイルを周囲に配置した軟磁性部材を密着固定したことを特徴とする前記(1)乃至(4)のいずれかに記載のジャイロセンサ。
【0014】
(6)前記磁歪部材を、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材によって構成したことを特徴とする前記(1)乃至(5)のいずれかに記載のジャイロセンサ。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態の例を図面を参照して説明する。
【0016】
図1に示されるように、本発明の実施形態の例に係るジャイロセンサ10は、図において中央に配置された、略直方体形状の部材からなる超磁歪部材12と、この超磁歪部材12の左側に配置されたバイアス磁石14と、超磁歪部材12の右側に配置された軟磁性部材16と、この軟磁性部材16の周囲を囲むように配置された駆動コイル18と、超磁歪部材12の上面12A及び軟磁性部材16の側面16Aにそれぞれ設けられたGMR素子(検出手段)20A、20Bによって主に構成されている。
【0017】
図において中央に配置された超磁歪部材12の両側には、磁性を有するバイアス磁石14と、軟磁性部材16がそれぞれ密着固定されている。又、この軟磁性部材16の周囲を囲むように配置された駆動コイル18には、コンデンサ22を介して、超磁歪部材12の駆動電力供給源となるパルス発振器24が接続されている。このように、超磁歪部材12には、バイアス磁石14による図中Z方向の磁石磁界に加え、駆動コイル18による交流磁界を印加することができる構造となっている。
【0018】
超磁歪部材12は、材料として超磁歪素子を用いている。なお、「超磁歪素子」とは、希土類元素および/または特定の遷移金属などを主成分(例えば、テルビウム、ジスプロシウム、鉄など)とする粉末焼結合金あるいは単結晶合金から作られた磁歪素子をいい、この超磁歪素子は、外部応力を受けて変形すると大きな磁化率の変化を生じる特性を有している。超磁歪部材12の上面12A及び軟磁性部材16の側面16Aにそれぞれ設けられたGMR素子20A、20Bは、このような超磁歪部材12の変形(伸縮)によって生じる透磁率又は残留磁化量の変化を、起電力の変化として検出することができる。
【0019】
次に、図2を併せて参照しながら、ジャイロセンサ10の作用について説明する。
【0020】
駆動コイル18にパルス発振器24からのパルス信号Pが供給されると、このパルス信号Pの周波数に応じて超磁歪部材12に印加される交流磁界の大きさが変化する。その結果、超磁歪部材12は磁歪効果によってパルス信号Pと同じ周波数で振動(伸縮)することになる。より具体的には、超磁歪部材12がZ方向に伸長した場合には、X、Y方向に収縮し、超磁歪部材12がZ方向に収縮した場合には、X、Y方向に伸長する。このように、超磁歪部材12はX、Y、Z方向についてそれぞれ伸縮動作を繰り返す。なお、この例では、パルス信号Pとして超磁歪部材12の共振周波数の信号を供給しており、超磁歪部材12は共振周波数で振動する。
【0021】
次に、振動している超磁歪部材12にZ方向を回転軸とする角速度ωが加えられた場合について考える。超磁歪部材12に角速度ωが加わると、超磁歪部材12の振動方向X及び角速度ωの回転軸Zの双方と直交する関係にあるY方向にコリオリの力Fが発生する。そして、このコリオリの力Fによって、超磁歪部材12のY方向の振動態様が変化する結果、超磁歪部材12の透磁率または残留磁化率が変化する。従って、この透磁率または残留磁化率の変化を、GMR素子20A、20Bの起電力変化として検出することで、Z方向を回転軸とする角速度ωの変化を検出することができる。なお、X、Y方向を回転軸とする角速度の変化についても同様の原理によって検出することができる。
【0022】
本発明の実施形態の例に係るジャイロセンサ10によれば、振動体として、振動量(変位量)が大きく、応力に対する磁化率の変化が大きい超磁歪素子からなる超磁歪部材12を適用し、角速度変化をコリオリ力にもとづく超磁歪部材12の変形による透磁率又は残留磁化量の変化として検出しているため、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができる。又、超磁歪素子は応力に対する応答が速いため、短時間で角速度変化を検出でき、応答性の向上を図ることもできる。
【0023】
更に、超磁歪部材12を共振周波数で振動させているため、超磁歪部材12の振幅の増大により検出感度の向上を図ることができる。しかも、従来のジャイロセンサに広く適用されている圧電材料やシリコン等の音速が6000m/s程度であるのに対して、本発明に適用される超磁歪素子の音速は約1/3に相当する2000m/s程度であるため、従来のジャイロセンサに比べ共振周波数を低くすることができ、検出感度の更なる向上を図ることができる上に、装置の小型化も実現できる。
【0024】
なお、本発明に係るジャイロセンサは、上記実施形態の例に係るジャイロセンサ10における構造や形状等に限定されるものではなく、超磁歪素子からなる超磁歪部材と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって前記超磁歪部材を振動させる駆動コイルと、前記超磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出する検出手段とを有したものであればよい。
【0025】
上記実施形態の例においては、超磁歪部材12の透磁率又は残留磁化量の変化を、GMR素子20A、20Bの起電力変化として検出したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、MR、TMR素子等の他の磁気抵抗効果素子を適用してもよい。又、図3に示されるジャイロセンサ30のように、超磁歪部材12の周囲を囲むように検出コイル32を配置し、超磁歪部材12の透磁率又は残留磁化量の変化を検出コイル32のインダクタンス変化として検出してもよい。もちろん、その他の検出手段によって超磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出してもよい。
【0026】
上記実施形態の例においては、ジャイロセンサ10を超磁歪部材12によって構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、磁歪素子からなる磁歪部材を用いてもよい。
【0027】
【発明の効果】
本発明のジャイロセンサは、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の例に係るジャイロセンサを模式的に示した斜視図
【図2】図1におけるジャイロセンサの動作原理を示した図
【図3】本発明の実施形態の他の例に係るジャイロセンサを模式的に示した斜視図
【符号の説明】
10、30…ジャイロセンサ
12…超磁歪素子
14…バイアス磁石
16…軟磁性部材
18…駆動コイル
20…GMR素子
22…コンデンサ
24…パルス発信器
32…検出コイル
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビデオカメラの手振れ補正や自動車のナビゲーションシステム等に適用されるジャイロセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、振動する物体に角速度が加わると、その振動方向に対し垂直な方向にコリオリの力が生ずるという力学現象を利用したジャイロセンサが広く知られている(例えば、特許文献1参照。)。なお、コリオリの力Fは、F=2・m・v・ω(m:振動体の質量、v:振動速度、ω:角速度)の式で与えられ、従来のジャイロセンサは、このコリオリの力Fに基づいて角速度ωの変化を検出するようにしたものである。
【0003】
近年、このようなジャイロセンサの分野においては、小型で高感度なものが要求されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−136933号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に、角速度変化の検出感度を向上させるためには(コリオリの力Fを大きくするには)、振動体の振幅を増大したり、質量を大きくしたりする必要があるため、従来公知のジャイロセンサでは装置の小型化に限界があった。
【0006】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるジャイロセンサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の発明者は、研究の結果、角速度変化をコリオリ力にもとづく磁歪部材の変形による透磁率又は残留磁化量の変化として検出することで、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるジャイロセンサを見出した。
【0008】
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
【0009】
(1)磁歪素子からなる磁歪部材と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって前記磁歪部材を振動させる駆動コイルと、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出する検出手段とを有してなり、前記磁歪部材の振動方向に対し垂直な方向を回転軸とする角速度変化を、コリオリ力にもとづく前記磁歪部材の変形による前記透磁率又は残留磁化量の変化として検出することを特徴とするジャイロセンサ。
【0010】
(2)前記駆動コイルは、前記磁歪部材を共振周波数で振動させるようにされたことを特徴とする前記(1)記載のジャイロセンサ。
【0011】
(3)前記検出手段は、磁気抵抗効果素子を含み、前記透磁率又は残留磁化量の変化を前記磁気抵抗効果素子の起電力変化として検出するようにされたことを特徴とする前記(1)又は(2)記載のジャイロセンサ。
【0012】
(4)前記検出手段は、前記磁歪部材を囲む検出コイルを含み、前記透磁率又は残留磁化量の変化を前記検出コイルのインダクタンス変化として検出するようにされたことを特徴とする前記(1)又は(2)記載のジャイロセンサ。
【0013】
(5)前記磁歪部材の一端側に、磁性を有するバイアス磁石を密着固定すると共に、前記一端側と反対の他端側に、前記駆動コイルを周囲に配置した軟磁性部材を密着固定したことを特徴とする前記(1)乃至(4)のいずれかに記載のジャイロセンサ。
【0014】
(6)前記磁歪部材を、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材によって構成したことを特徴とする前記(1)乃至(5)のいずれかに記載のジャイロセンサ。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態の例を図面を参照して説明する。
【0016】
図1に示されるように、本発明の実施形態の例に係るジャイロセンサ10は、図において中央に配置された、略直方体形状の部材からなる超磁歪部材12と、この超磁歪部材12の左側に配置されたバイアス磁石14と、超磁歪部材12の右側に配置された軟磁性部材16と、この軟磁性部材16の周囲を囲むように配置された駆動コイル18と、超磁歪部材12の上面12A及び軟磁性部材16の側面16Aにそれぞれ設けられたGMR素子(検出手段)20A、20Bによって主に構成されている。
【0017】
図において中央に配置された超磁歪部材12の両側には、磁性を有するバイアス磁石14と、軟磁性部材16がそれぞれ密着固定されている。又、この軟磁性部材16の周囲を囲むように配置された駆動コイル18には、コンデンサ22を介して、超磁歪部材12の駆動電力供給源となるパルス発振器24が接続されている。このように、超磁歪部材12には、バイアス磁石14による図中Z方向の磁石磁界に加え、駆動コイル18による交流磁界を印加することができる構造となっている。
【0018】
超磁歪部材12は、材料として超磁歪素子を用いている。なお、「超磁歪素子」とは、希土類元素および/または特定の遷移金属などを主成分(例えば、テルビウム、ジスプロシウム、鉄など)とする粉末焼結合金あるいは単結晶合金から作られた磁歪素子をいい、この超磁歪素子は、外部応力を受けて変形すると大きな磁化率の変化を生じる特性を有している。超磁歪部材12の上面12A及び軟磁性部材16の側面16Aにそれぞれ設けられたGMR素子20A、20Bは、このような超磁歪部材12の変形(伸縮)によって生じる透磁率又は残留磁化量の変化を、起電力の変化として検出することができる。
【0019】
次に、図2を併せて参照しながら、ジャイロセンサ10の作用について説明する。
【0020】
駆動コイル18にパルス発振器24からのパルス信号Pが供給されると、このパルス信号Pの周波数に応じて超磁歪部材12に印加される交流磁界の大きさが変化する。その結果、超磁歪部材12は磁歪効果によってパルス信号Pと同じ周波数で振動(伸縮)することになる。より具体的には、超磁歪部材12がZ方向に伸長した場合には、X、Y方向に収縮し、超磁歪部材12がZ方向に収縮した場合には、X、Y方向に伸長する。このように、超磁歪部材12はX、Y、Z方向についてそれぞれ伸縮動作を繰り返す。なお、この例では、パルス信号Pとして超磁歪部材12の共振周波数の信号を供給しており、超磁歪部材12は共振周波数で振動する。
【0021】
次に、振動している超磁歪部材12にZ方向を回転軸とする角速度ωが加えられた場合について考える。超磁歪部材12に角速度ωが加わると、超磁歪部材12の振動方向X及び角速度ωの回転軸Zの双方と直交する関係にあるY方向にコリオリの力Fが発生する。そして、このコリオリの力Fによって、超磁歪部材12のY方向の振動態様が変化する結果、超磁歪部材12の透磁率または残留磁化率が変化する。従って、この透磁率または残留磁化率の変化を、GMR素子20A、20Bの起電力変化として検出することで、Z方向を回転軸とする角速度ωの変化を検出することができる。なお、X、Y方向を回転軸とする角速度の変化についても同様の原理によって検出することができる。
【0022】
本発明の実施形態の例に係るジャイロセンサ10によれば、振動体として、振動量(変位量)が大きく、応力に対する磁化率の変化が大きい超磁歪素子からなる超磁歪部材12を適用し、角速度変化をコリオリ力にもとづく超磁歪部材12の変形による透磁率又は残留磁化量の変化として検出しているため、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができる。又、超磁歪素子は応力に対する応答が速いため、短時間で角速度変化を検出でき、応答性の向上を図ることもできる。
【0023】
更に、超磁歪部材12を共振周波数で振動させているため、超磁歪部材12の振幅の増大により検出感度の向上を図ることができる。しかも、従来のジャイロセンサに広く適用されている圧電材料やシリコン等の音速が6000m/s程度であるのに対して、本発明に適用される超磁歪素子の音速は約1/3に相当する2000m/s程度であるため、従来のジャイロセンサに比べ共振周波数を低くすることができ、検出感度の更なる向上を図ることができる上に、装置の小型化も実現できる。
【0024】
なお、本発明に係るジャイロセンサは、上記実施形態の例に係るジャイロセンサ10における構造や形状等に限定されるものではなく、超磁歪素子からなる超磁歪部材と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって前記超磁歪部材を振動させる駆動コイルと、前記超磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出する検出手段とを有したものであればよい。
【0025】
上記実施形態の例においては、超磁歪部材12の透磁率又は残留磁化量の変化を、GMR素子20A、20Bの起電力変化として検出したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、MR、TMR素子等の他の磁気抵抗効果素子を適用してもよい。又、図3に示されるジャイロセンサ30のように、超磁歪部材12の周囲を囲むように検出コイル32を配置し、超磁歪部材12の透磁率又は残留磁化量の変化を検出コイル32のインダクタンス変化として検出してもよい。もちろん、その他の検出手段によって超磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出してもよい。
【0026】
上記実施形態の例においては、ジャイロセンサ10を超磁歪部材12によって構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、磁歪素子からなる磁歪部材を用いてもよい。
【0027】
【発明の効果】
本発明のジャイロセンサは、小型、且つ、簡易な構造でありながら、同時に、角速度変化の検出感度の向上を図ることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の例に係るジャイロセンサを模式的に示した斜視図
【図2】図1におけるジャイロセンサの動作原理を示した図
【図3】本発明の実施形態の他の例に係るジャイロセンサを模式的に示した斜視図
【符号の説明】
10、30…ジャイロセンサ
12…超磁歪素子
14…バイアス磁石
16…軟磁性部材
18…駆動コイル
20…GMR素子
22…コンデンサ
24…パルス発信器
32…検出コイル
Claims (6)
- 磁歪素子からなる磁歪部材と、これに印加する磁界の大きさを制御することによって前記磁歪部材を振動させる駆動コイルと、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出する検出手段とを有してなり、前記磁歪部材の振動方向に対し垂直な方向を回転軸とする角速度変化を、コリオリ力にもとづく前記磁歪部材の変形による前記透磁率又は残留磁化量の変化として検出することを特徴とするジャイロセンサ。
- 請求項1において、
前記駆動コイルは、前記磁歪部材を共振周波数で振動させるようにされたことを特徴とするジャイロセンサ。 - 請求項1又は2において、
前記検出手段は、磁気抵抗効果素子を含み、前記透磁率又は残留磁化量の変化を前記磁気抵抗効果素子の起電力変化として検出するようにされたことを特徴とするジャイロセンサ。 - 請求項1又は2において、
前記検出手段は、前記磁歪部材を囲む検出コイルを含み、前記透磁率又は残留磁化量の変化を前記検出コイルのインダクタンス変化として検出するようにされたことを特徴とするジャイロセンサ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記磁歪部材の一端側に、磁性を有するバイアス磁石を密着固定すると共に、前記一端側と反対の他端側に、前記駆動コイルを周囲に配置した軟磁性部材を密着固定したことを特徴とするジャイロセンサ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記磁歪部材を、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材によって構成したことを特徴とするジャイロセンサ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003094845A JP2004301662A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | ジャイロセンサ |
PCT/JP2004/003371 WO2004088246A1 (ja) | 2003-03-31 | 2004-03-12 | ジャイロセンサ |
US10/547,333 US20060150732A1 (en) | 2003-03-31 | 2004-03-12 | Gyro sensor |
CNA2004800083865A CN1768247A (zh) | 2003-03-31 | 2004-03-12 | 陀螺仪传感器 |
KR1020057018291A KR20050113668A (ko) | 2003-03-31 | 2004-03-12 | 자이로 센서 |
TW093106971A TW200503298A (en) | 2003-03-31 | 2004-03-16 | Gyro sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003094845A JP2004301662A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | ジャイロセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004301662A true JP2004301662A (ja) | 2004-10-28 |
Family
ID=33127409
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003094845A Withdrawn JP2004301662A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | ジャイロセンサ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060150732A1 (ja) |
JP (1) | JP2004301662A (ja) |
KR (1) | KR20050113668A (ja) |
CN (1) | CN1768247A (ja) |
TW (1) | TW200503298A (ja) |
WO (1) | WO2004088246A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008170416A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-24 | Tdk Corp | 磁気デバイス及び周波数アナライザ |
JP2009042105A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Tdk Corp | 磁気デバイス及び周波数検出器 |
CN111381202A (zh) * | 2018-12-27 | 2020-07-07 | Tdk株式会社 | 磁场检测装置和磁场检测方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9200973B2 (en) | 2012-06-28 | 2015-12-01 | Intel Corporation | Semiconductor package with air pressure sensor |
US9429427B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-08-30 | Intel Corporation | Inductive inertial sensor architecture and fabrication in packaging build-up layers |
CN103278148B (zh) * | 2013-05-07 | 2015-05-27 | 上海交通大学 | 磁致伸缩固体振子双轴微陀螺 |
CN104677383B (zh) * | 2015-03-11 | 2017-09-29 | 北京航空航天大学 | 一种直接输出频率谐振式陀螺研究系统 |
JP6448448B2 (ja) * | 2015-04-10 | 2019-01-09 | 株式会社東芝 | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 |
CN113008220B (zh) * | 2021-02-26 | 2022-12-02 | 上海大学 | 一种压电式磁性调谐盘型陀螺仪及其制备方法与应用 |
CN113028965A (zh) * | 2021-03-10 | 2021-06-25 | 国家石油天然气管网集团有限公司华南分公司 | 一种磁致伸缩位移传感器的巨磁阻检波装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4666315A (en) * | 1981-06-12 | 1987-05-19 | International Business Machines Corporation | Planar and cylindrical oscillating pneumatodynamic bearings |
US4918824A (en) * | 1988-10-05 | 1990-04-24 | International Navigation, Inc. | Electronic digital compass |
JPH0720140A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Toshiba Corp | 角速度センサ |
JPH07260492A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Fujitsu Ltd | 角速度検出装置 |
JPH09196686A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Sony Corp | 角速度センサ |
JP2001174263A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Toyota Motor Corp | 角速度検出装置 |
-
2003
- 2003-03-31 JP JP2003094845A patent/JP2004301662A/ja not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-03-12 US US10/547,333 patent/US20060150732A1/en not_active Abandoned
- 2004-03-12 CN CNA2004800083865A patent/CN1768247A/zh active Pending
- 2004-03-12 WO PCT/JP2004/003371 patent/WO2004088246A1/ja active Application Filing
- 2004-03-12 KR KR1020057018291A patent/KR20050113668A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-03-16 TW TW093106971A patent/TW200503298A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050113668A (ko) | 2005-12-02 |
CN1768247A (zh) | 2006-05-03 |
TW200503298A (en) | 2005-01-16 |
US20060150732A1 (en) | 2006-07-13 |
WO2004088246A1 (ja) | 2004-10-14 |
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