JP4258466B2 - 圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープ - Google Patents
圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4258466B2 JP4258466B2 JP2004364978A JP2004364978A JP4258466B2 JP 4258466 B2 JP4258466 B2 JP 4258466B2 JP 2004364978 A JP2004364978 A JP 2004364978A JP 2004364978 A JP2004364978 A JP 2004364978A JP 4258466 B2 JP4258466 B2 JP 4258466B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- drive
- electrode
- drive electrode
- gyro element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
図1(a)は、本発明による圧電ジャイロ素子の第1実施例を概略的に示している。この圧電ジャイロ素子1は、断面正方形の角柱状をなす圧電振動体2と、その一端に一体に形成された基部3とを有する。使用時、圧電ジャイロ素子1は基部3において固定され、圧電振動体2の他端が自由端として振動可能に保持される。
Claims (3)
- 断面矩形の角柱状をなし、その一端で固定される圧電振動体と、前記圧電振動体の互いに対向する1対の第1の側面に形成した1対の第1の駆動電極と、前記圧電振動体の互いに対向する1対の第2の側面に、それぞれその幅方向に沿って互いに分離させて形成した各1対の第2乃至第4の駆動電極と、前記圧電振動体の互いに対向する前記第1の側面に形成した1対の第1の検出電極と、前記圧電振動体の互いに対向する前記第2の側面に形成した1対の第2の検出電極とを備え、
各前記第2の側面において、その幅方向の中央に前記第2の駆動電極が配置され、かつ該第2の駆動電極の両側に前記第3及び第4の駆動電極が配置されると共に、互いに対向する前記第2の側面間において、前記第2の駆動電極同士が互いに対向するように配置され、かつ前記第3の駆動電極と第4の駆動電極とが互いに対向するように配置され、
前記各駆動電極に位相差をもって駆動電流を印加することにより、前記圧電振動体をその他端で円運動するように振動させ、
その振動の回転中心軸に関して直交する向きに作用するトルクにより生じる前記圧電振動体の撓みを前記検出電極から出力するようにしたことを特徴とする圧電ジャイロ素子。 - 前記第2の駆動電極が接地されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電ジャイロ素子。
- 請求項1記載の圧電ジャイロ素子と、前記圧電ジャイロ素子の前記各駆動電極に駆動信号を印加するための駆動回路と、前記各検出電極からの出力を検出する検出回路とを備えることを特徴とする圧電ジャイロスコープ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004364978A JP4258466B2 (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | 圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープ |
US11/296,004 US7348716B2 (en) | 2004-12-16 | 2005-12-06 | Piezoelectric gyro element and piezoelectric gyroscope |
CNB2005101319053A CN100538272C (zh) | 2004-12-16 | 2005-12-15 | 压电陀螺元件和压电陀螺仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004364978A JP4258466B2 (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | 圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006170860A JP2006170860A (ja) | 2006-06-29 |
JP4258466B2 true JP4258466B2 (ja) | 2009-04-30 |
Family
ID=36671777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004364978A Expired - Fee Related JP4258466B2 (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | 圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7348716B2 (ja) |
JP (1) | JP4258466B2 (ja) |
CN (1) | CN100538272C (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4415382B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
CN101258382B (zh) * | 2005-11-21 | 2011-03-30 | 株式会社村田制作所 | 振动器及其制作方法 |
US7567752B2 (en) | 2006-11-24 | 2009-07-28 | Sony Ericsson Mobile Communications Ab | Image alignment system with overlying frame in display |
US10337862B2 (en) * | 2006-11-30 | 2019-07-02 | Rafael Advanced Defense Systems Ltd. | Digital mapping system based on continuous scanning line of sight |
JP2008157748A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
JP2008157810A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
JP4967663B2 (ja) * | 2007-01-09 | 2012-07-04 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ、制御回路及び電子機器 |
US20080166114A1 (en) * | 2007-01-09 | 2008-07-10 | Sony Ericsson Mobile Communications Ab | Image deblurring system |
JP5365173B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2013-12-11 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量測定装置および電子機器 |
CN101339027B (zh) * | 2008-08-14 | 2010-12-15 | 上海交通大学 | 具有长方体振子的全固态双轴磁致伸缩压电陀螺仪 |
CN101339028B (zh) * | 2008-08-14 | 2010-08-18 | 上海交通大学 | 具有“回”型槽结构压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
CN101339030B (zh) * | 2008-08-14 | 2010-10-20 | 上海交通大学 | 具有磁致伸缩振子的双轴压电检测陀螺仪 |
CN101339026B (zh) * | 2008-08-14 | 2010-09-22 | 上海交通大学 | 具有正方形通孔压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
CN101339029B (zh) * | 2008-08-14 | 2011-06-08 | 上海交通大学 | 具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪 |
CN101339025B (zh) * | 2008-08-14 | 2010-12-01 | 上海交通大学 | 具有正方形表面长方体压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
JP2011220997A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-11-04 | Seiko Epson Corp | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 |
US8631702B2 (en) | 2010-05-30 | 2014-01-21 | Honeywell International Inc. | Hemitoroidal resonator gyroscope |
CN102679967B (zh) * | 2012-05-07 | 2014-12-10 | 上海交通大学 | 摇动质量块压电双轴微陀螺 |
CN105973216A (zh) * | 2016-05-03 | 2016-09-28 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种压电振动陀螺仪谐振子、其制作方法及压电振动陀螺 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5386726A (en) * | 1989-10-03 | 1995-02-07 | Akai Electric Co., Ltd. | Vibratory gyroscope |
DE69316745T2 (de) * | 1992-11-17 | 1998-07-16 | Citizen Watch Co Ltd | Drehgeschwindigkeitsdetektorschaltung |
JP3368006B2 (ja) | 1993-09-24 | 2003-01-20 | キヤノン株式会社 | 角速度センサ及び角速度センサを用いた撮像装置 |
JP3492010B2 (ja) | 1995-03-29 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | 振動ジャイロおよび防振装置 |
JP4091702B2 (ja) * | 1998-12-24 | 2008-05-28 | トヨタ自動車株式会社 | 誤差吸収コネクタ |
US7134336B2 (en) * | 2004-03-19 | 2006-11-14 | Denso Corporation | Vibration type angular velocity sensor |
-
2004
- 2004-12-16 JP JP2004364978A patent/JP4258466B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-06 US US11/296,004 patent/US7348716B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-15 CN CNB2005101319053A patent/CN100538272C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1865850A (zh) | 2006-11-22 |
JP2006170860A (ja) | 2006-06-29 |
CN100538272C (zh) | 2009-09-09 |
US20060226741A1 (en) | 2006-10-12 |
US7348716B2 (en) | 2008-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4258466B2 (ja) | 圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープ | |
JP4702942B2 (ja) | 振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ | |
US9885576B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP5205725B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2006250769A (ja) | 振動ジャイロ素子 | |
JP2005249646A (ja) | 角速度センサ用音叉型振動子、この振動子を用いた角速度センサ及びこの角速度センサを用いた自動車 | |
JP2008058062A (ja) | 角速度センサ | |
JP4911690B2 (ja) | 振動ジャイロ用振動子 | |
JP5025965B2 (ja) | 慣性センサ素子 | |
JPH11351880A (ja) | 振動子およびそれを用いた振動ジャイロ | |
JP5160974B2 (ja) | 二軸型角速度センサ | |
JP4514115B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2007163248A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JPH11125528A (ja) | 屈曲振動アームおよび振動型ジャイロスコープ | |
JP5421651B2 (ja) | 3軸角速度検出振動子、3軸角速度検出装置および3軸角速度検出システム | |
JP3301403B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH08327362A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
JP2006226802A (ja) | 複合センサ | |
JP2008145325A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2009192403A (ja) | 角速度および加速度検出装置 | |
JP2005114423A (ja) | 角速度センサ | |
JP2006105756A (ja) | 角速度センサ | |
JP3371609B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH03214017A (ja) | 角速度センサ | |
JP2003185439A (ja) | 圧電振動ジャイロ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090126 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |