JP2006250769A - 振動ジャイロ素子 - Google Patents

Abstract

【課題】 角速度検出に関わるコリオリ力の伝達において、エネルギーの損失が少なく、角速度の検出感度に優れた振動ジャイロ素子を提供する。
【解決手段】 三方晶の結晶構造でＹ軸に対して３回対称軸を持つ圧電材料を用いた振動ジャイロ素子１において、基部２と、基部２の片側からＹ軸方向に延出された検出腕３と、検出腕３からＹ軸方向と略＋１２０°方向および略−１２０°方向に延出された１対の駆動腕４と、を少なくともほぼ同一平面に備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、三方晶の結晶構造をもつ圧電材料を用いた振動ジャイロ素子に関する。

近年、撮像機器の手ぶれ補正や、ＧＰＳ衛星信号を用いた車両等の移動体ナビゲーションシステムなどの姿勢制御として、角速度を検出するジャイロセンサが多く用いられている。
ジャイロセンサを構成する振動ジャイロ素子として、例えば、略Ｔ字型の駆動振動系を中央の検出振動系に関して左右対称に配置した所謂、ダブルＴ型振動ジャイロ素子が知られている（特許文献１、図１参照）。このダブルＴ型振動ジャイロ素子では、基部に駆動腕と支持腕からなる略Ｔ字型の駆動振動系と、検出腕からなる検出振動系を備え、駆動腕に発生したコリオリ力は、支持腕および基部を介して検出腕にて取り出す構成となっている。

特開２００４−２４５６０５号公報

しかしながら、上記のような構成の振動ジャイロ素子において、駆動腕に発生したコリオリ力は支持腕と基部を介して検出腕に伝えられるため、エネルギーの損失が大きく、角速度の検出感度を低下させている。また、振動ジャイロ素子の支持を行う基部を強固に固定すると、基部も振動ジャイロ素子の釣り合い振動に関与しているため、角速度の検出感度が著しく低下する課題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、角速度検出に関わるコリオリ力の伝達において、エネルギーの損失が少なく、角速度の検出感度に優れた振動ジャイロ素子を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の振動ジャイロ素子は、三方晶の結晶構造でＹ軸に対して３回対称軸を持つ圧電材料を用いた振動ジャイロ素子であって、基部と、前記基部の片側からＹ軸方向に延出された検出腕と、前記検出腕から前記Ｙ軸方向と略＋１２０°方向および略−１２０°方向に延出された１対の駆動腕と、を少なくともほぼ同一平面に備えていることを特徴とする。

この構成によれば、各駆動腕および検出腕は電荷の取り出しやすいＹ軸の３回対称軸で構成され、また、駆動腕は直接検出腕に接続されていることから、駆動腕に発生したコリオリ力を検出腕に効率よく伝達できる。このため、コリオリ力の伝達においてエネルギーの損失が少なく、角速度の検出感度に優れた振動ジャイロ素子を提供できる。
また、本発明の振動ジャイロ素子は、基部と、駆動腕、検出腕からなり、構成を簡素化でき小型化が可能となる。
さらに、基部は駆動振動および検出振動に関与しないため、基部を強固に固定することができ、耐衝撃性に優れる振動ジャイロ素子を得ることができる。

また、本発明の振動ジャイロ素子は、三方晶の結晶構造でＹ軸に対して３回対称軸を持つ圧電材料を用いた振動ジャイロ素子であって、基部と、前記基部の両側からＹ軸方向に延出された１対の検出腕と、前記各検出腕から前記Ｙ軸方向と略＋１２０°方向および略−１２０°方向に延出された各１対の駆動腕と、を少なくともほぼ同一平面に備えていることを特徴とする。

この構成によれば、各駆動腕および検出腕は電荷の取り出しやすいＹ軸の３回対称軸で構成され、また、駆動腕は直接検出腕に接続されていることから、駆動腕に発生したコリオリ力を検出腕に効率よく伝達できる。このため、コリオリ力の伝達においてエネルギーの損失が少なく、角速度の検出感度に優れた振動ジャイロ素子を提供できる。
また、本発明の振動ジャイロ素子は１対の検出腕を有することから、角速度の検出において外乱として働く加速度などをキャンセルすることができ、信頼度の高い角速度の検出を可能とする。
さらに、基部は駆動振動および検出振動に関与しないため、基部を強固に固定することができ、耐衝撃性に優れる振動ジャイロ素子を得ることができる。

上記、本発明の振動ジャイロ素子において、前記各駆動腕および前記各検出腕の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部を備えたことが好ましい。

このようにすれば、駆動振動および検出振動における、電界効率を向上させ歪の発生を大きくすることができ、振動ジャイロ素子の小型化を可能にする。

本発明の振動ジャイロ素子は、前記各駆動腕の先端に重り部を備えたことが望ましい。

このようにすれば、駆動腕の質量を確保し発生するコリオリ力を大きくすることができ、振動ジャイロ素子の小型化を可能にする。

上記、本発明の振動ジャイロ素子において、前記各駆動腕および前記各検出腕の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部を備えたことが好ましい。

このように、各駆動腕の先端に重り部を備えることにより、駆動腕の質量を確保し発生するコリオリ力を大きくでき、さらに、駆動腕および検出腕に溝部を設けることにより、駆動振動および検出振動における、電界効率を向上させ歪の発生を大きくすることができる。このことから、振動ジャイロ素子の角速度検出感度を向上させ、小型化を可能にする。

本発明の振動ジャイロ素子は、前記各駆動腕の先端および前記検出腕の先端に重り部を備えたことが望ましい。

このようにすれば、駆動腕の質量を確保し発生するコリオリ力を大きくすることができ、さらに検出腕に生ずる歪も大きくすることができる。このことから、振動ジャイロ素子の角速度検出感度を向上させ、小型化を可能にする。

上記、本発明の振動ジャイロ素子において、前記各駆動腕および前記各検出腕の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部を備えたことが好ましい。

このように、各振動腕の先端および検出腕の先端に重り部を備えることで、駆動腕の質量を確保し発生するコリオリ力を大きくでき、検出腕に生ずる歪も大きくすることができる。さらに、駆動腕および検出腕に溝部を設けることにより、駆動振動および検出振動における、電界効率を向上させ歪の発生を大きくすることができる。このことから、振動ジャイロ素子の角速度検出感度を向上させ、小型化を可能にする。

本発明の実施形態を説明するに先立ち、三方晶の結晶構造における結晶軸の構成について説明する。
図１４は、水晶をＺ軸方向から見た各結晶軸を示す説明図である。
水晶１００は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸、光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。水晶１００は三方晶系の結晶であり、Ｚ軸の周りに１回転すると、３回同一の図形をみることができる。Ｚ軸に垂直な面内で、Ｘ軸に垂直な軸がＹ軸であり、Ｘ軸、Ｙ軸共に１２０°回転毎に各軸（Ｘ₁，Ｘ₂，Ｘ₃およびＹ₁，Ｙ₂，Ｙ₃）が存在している。このような１２０°毎に存在する結晶軸は、３回対称軸と呼ばれている。
以降の実施形態の説明において、結晶軸は便宜上、Ｘ₁軸をＸ軸、Ｙ₁軸をＹ軸と表現し、Ｘ₂，Ｘ₃軸およびＹ₂，Ｙ₃軸については表記を省略する。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
（第１の実施形態）

図１は本実施形態の振動ジャイロ素子を示す平面図である。
振動ジャイロ素子１は、水晶のＺ板からフォトリソグラフィ技術を利用し、エッチング加工にて形成されている。Ｚ板はＺ軸方向に厚みを持ち、ＸＹ平面を平面とする水晶基板である。

振動ジャイロ素子１は、基部２と、基部２の片側からＹ軸方向に延出された検出腕３と、検出腕３からＹ軸方向と略＋１２０°の角度およびＹ軸方向と略−１２０°の角度で延出された１対の駆動腕４を有している。なお、駆動腕４が延出する角度は製造上のばらつきを考慮し、１２０°±３°の範囲内に設定されている。
このように、この検出腕３および駆動腕４は、前述の結晶軸であるＹ軸における３回対称軸（Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃）を含む構成となっている。

基部２は検出腕３を支持し、基板などに接着固定できるように所定の面積を確保している。
また、図示はしないが、駆動腕４には駆動腕４を駆動させるための駆動電極が設けられ、検出腕３には検出振動における検出腕３の歪を検出する検出電極が設けられている。

次に、振動ジャイロ素子１の動作について説明する。
図２は駆動振動の形態を説明する模式図であり、図３は検出振動の形態を説明する模式図である。図２および図３において、振動形態を簡易に表現するために各腕は線で表す。

図２における駆動振動では、振動ジャイロ素子１の１対の駆動腕４が矢印Ｂ方向に屈曲振動を行っている。この屈曲振動は、実線と二点鎖線で示す振動姿態で、１対の駆動腕４の先端が検出腕３に近づいたり遠ざかったりするようにＸＹ平面内で振動し、所定の周波数で繰り返している。このとき、検出腕３は振動しない。

この駆動振動を行っている状態で、振動ジャイロ素子１にＺ軸回りの角速度ωが加わると、図３（ａ）に示すような振動を行う。つまり、角速度ωが加わると、駆動振動している駆動腕４の駆動振動方向と直角の方向（矢印Ｃ方向）にコリオリ力が働く。そして、このコリオリ力に呼応して、検出腕３が矢印Ｄ方向に変位する。その後、図３（ｂ）に示すように、検出腕３が矢印Ｅ方向に戻り、矢印Ｄ方向と矢印Ｅ方向の変位をＸＹ平面内で繰り返す検出振動が励起される。そして、この検出振動により発生した圧電材料（水晶）の歪を、検出腕３に形成された検出電極が検出して角速度ωが求められる。

また、角速度ωが逆方向に加わった場合には、駆動腕４に発生するコリオリ力が逆方向に働き、検出腕３も逆方向から振動が励起される。このため、検出腕３の歪から検出される検出信号の極性が異なることから、角速度ωの方向が認識できる。

以上のように、本実施形態の振動ジャイロ素子１は、駆動腕４および検出腕３は電荷の取り出しやすいＹ軸の３回対称軸で構成され、また、駆動腕４は直接検出腕３に接続されていることから、駆動腕４に発生したコリオリ力を検出腕３に効率よく伝達できる。このため、コリオリ力の伝達においてエネルギーの損失が少なく、角速度ωの検出感度に優れた振動ジャイロ素子１を提供できる。
また、振動ジャイロ素子１は、基部２と、検出腕３、駆動腕４からなり、構成が簡素化されており、小型化が可能となる。
さらに、基部２は駆動振動および検出振動に関与しないため、基部２を強固に固定することができ、所定の面積を持って基板などに接着固定すれば、耐衝撃性に優れる振動ジャイロ素子１を得ることができる。
（第２の実施形態）

次に、振動ジャイロ素子の第２の実施形態について説明する。
図４は、振動ジャイロ素子の構成を示す平面図である。

振動ジャイロ素子１０は水晶からなり、フォトリソグラフィ技術を利用し、エッチング加工にて形成されている。
振動ジャイロ素子１０は、基部１２と、基部１２の両側からＹ軸方向に延出された検出腕１３，１５と、各検出腕１３，１５からＹ軸方向と略＋１２０°の角度およびＹ軸方向と略−１２０°の角度で延出された各１対の駆動腕１４，１６を有している。なお、駆動腕１４，１６が延出する角度は製造上のばらつきを考慮し、１２０°±３°の範囲内に設定されている。
このように、この検出腕１３，１５および駆動腕１４，１６は、前述の結晶軸であるＹ軸における３回対称軸（Ｙ₁，Ｙ₂，Ｙ₃）を含む構成となっている。

基部１２は検出腕１３，１５を支持し、基板などに接着固定できるように所定の面積を確保している。
また、図示はしないが、駆動腕１４，１６には駆動腕１４，１６を駆動させるための駆動電極が設けられ、検出腕１３，１５には検出振動における検出腕１３，１５の歪を検出する検出電極が設けられている。

次に、振動ジャイロ素子１０の動作について説明する。
図５は駆動振動の形態を説明する模式図であり、図６は検出振動の形態を説明する模式図である。図７は加速度が加わった場合の振動形態を説明する模式図である。図５、図６および図７において、振動形態を簡易に表現するために各腕は線で表す。

図５における駆動振動では、振動ジャイロ素子１０の各１対の駆動腕１４，１６が矢印Ｇ方向に屈曲振動を行う。この屈曲振動は、実線と二点鎖線で示す振動姿態で、各１対の駆動腕１４，１６の先端が検出腕１３，１５に近づいたり遠ざかったりするようにＸＹ平面内で振動し、所定の周波数で繰り返している。このとき、検出腕１３，１５は振動しない。

この駆動振動を行っている状態で、圧電振動ジャイロ素子１０にＺ軸回りの角速度ωが加わると、図６（ａ）に示すような振動を行う。つまり、角速度ωが加わると、駆動振動している駆動腕１４の駆動振動方向と直角の方向（矢印Ｈ方向）にコリオリ力が働く。そして、このコリオリ力に呼応して、検出腕１３が矢印Ｋ方向に変位する。
一方、駆動腕１６では、駆動腕１６の駆動振動方向と直角の方向（矢印Ｊ方向）にコリオリ力が働く。そして、このコリオリ力に呼応して、検出腕１５が矢印Ｌ方向に変位する。

その後、図６（ｂ）に示すように、検出腕１３，１５がそれぞれ矢印Ｐ方向、矢印Ｑ方向に戻り、検出腕１３では矢印Ｋ方向と矢印Ｐ方向の変位を繰り返す検出振動が励起され、検出腕１５では矢印Ｌ方向と矢印Ｑ方向の変位を繰り返す検出振動が励起される。
このように、振動ジャイロ素子１０に角速度ωが加わった場合には、検出腕１３，１５はそれぞれ反対の方向に変位する。
そして、この検出振動により発生した圧電材料（水晶）の歪を、検出腕１３，１５に形成された検出電極が検出して角速度ωが求められる。

また、角速度ωが逆方向に加わった場合には、駆動腕１４，１６に発生するコリオリ力が逆方向に働き、検出腕１３，１５も逆方向から振動が励起される。このため、検出腕１３，１５の歪から検出される検出信号の極性が異なることから、角速度ωの方向が認識できる。

以上のように、各駆動腕１４，１６および検出腕１３，１５は電荷の取り出しやすいＹ軸の３回対称軸で構成され、また、駆動腕１４，１６は直接検出腕１３，１５に接続されていることから、駆動腕１４，１６に発生したコリオリ力を検出腕１３，１５に効率よく伝達できる。このため、コリオリ力の伝達においてエネルギーの損失が少なく、角速度ωの検出感度に優れた振動ジャイロ素子１０を提供できる。

さらに、振動ジャイロ素子１０にＸ方向の加速度が加わった場合には、図７に示すように、検出腕１３，１５が実線で示すＲ方向に変位し、その後、二点鎖線で示す方向に戻り、振動が励起される。このように、振動ジャイロ素子１０に加速度が加わった場合には、検出腕１３，１５が同じ方向に変位する。

つまり、角速度ωが加わったときの検出腕１３，１５が検出する信号の極性の組み合わせと、Ｘ方向の加速度が加わったときの検出腕１３，１５が検出する信号の極性の組み合わせが異なる。このことから、角速度ωの検出において外乱として働くＸ方向の加速度をキャンセルすることができ、信頼度の高い角速度ωの検出を可能とする。
さらに、基部１２は駆動振動および検出振動に関与しないため、基部１２を強固に固定することができ、また、所定の面積をもって基部１２を接着固定すれば、耐衝撃性に優れる振動ジャイロ素子１０を得ることができる。

次に、振動ジャイロ素子の変形例について説明する。
以下の振動ジャイロ素子の構成については、上記と同じ構成については同符号を付し、説明を省略する。また、動作については前述の動作と同様のため、説明を省略する。
（変形例１）

図８は振動ジャイロ素子の変形例を示す平面図である。図９は駆動腕および検出腕の断面図であり、図９（ａ）は図８のＳ−Ｓ断線に沿う模式断面図、図９（ｂ）は図８のＴ−Ｔ断線に沿う模式断面図である。

図８において、振動ジャイロ素子３０の駆動腕１４，１６にそれぞれ溝部３３，３４が形成され、検出腕１３，１５にそれぞれ溝部３１，３２が形成されている。
例えば、駆動腕１４に形成された溝部３３は、図９（ａ）に示すように、駆動腕１４の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部３３が形成されている。
また、駆動腕１４の側面と溝部３３には駆動電極３５，３６が形成され、それぞれが異極となるように構成されている。

同様に、検出腕１３に形成された溝部３１は、図９（ｂ）に示すように、検出腕１３の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部３１が形成されている。
また、検出腕１３の側面と溝部３１には検出電極３７，３８が形成され、それぞれが異極となるように構成されている。

このように、振動ジャイロ素子３０の駆動腕１４，１６および検出腕１３，１５に溝部３３，３４を設けることにより、駆動電極３５，３６および検出電極３７，３８を対向して配置することができる。この場合、図９に示すように、電極間に働く電界は矢印のように直線的に働き、大きな電界を得ることができることから、歪の発生を大きくすることができる。すなわち、駆動腕１４，１６では駆動振動を効率的に生み出すことができ、また検出腕１３，１５では、小さな検出振動から大きな検出信号を取り出すことができる。
以上のように、溝部３１，３２，３３，３４を設けることにより、駆動振動および検出振動における電界効率を向上させることができ、振動ジャイロ素子３０を小型化しても十分な駆動振動と検出感度を得ることができる。
（変形例２）

図１０は振動ジャイロ素子の他の変形例を示す平面図である。
振動ジャイロ素子４０は各駆動腕１４，１６の先端に、それぞれ重り部４１，４２が形成されている。

このように、駆動腕１４，１６の先端に重り部４１，４２を形成することにより、駆動腕１４，１６の質量を確保でき、固有振動数が低くなり振幅を大きくとることができる。
このことから、駆動腕１４，１６に発生するコリオリ力を大きくすることができ、振動ジャイロ素子４０の小型化を可能にする。
（変形例３）

図１１は振動ジャイロ素子の他の変形例を示す平面図である。
この振動ジャイロ素子５０は、変形例２（図１０参照）で説明した振動ジャイロ素子４０の駆動腕１４，１６と検出腕１３，１５に溝部を設けた構成である。
振動ジャイロ素子５０の駆動腕１４，１６にそれぞれ溝部３３，３４が形成され、検出腕１３，１５にそれぞれ溝部３１，３２が形成されている。溝部３１，３２は、厚み方向に対向する面（両面）にそれぞれ形成されている。

このように、各駆動腕１４，１６の先端に重り部４１，４２を備えることにより、駆動腕１４，１６に発生するコリオリ力を大きくし、さらに、駆動腕１４，１６および検出腕１３，１５に溝部３３，３４，３１，３２を設けることにより、駆動振動および検出振動における、電界効率を向上させることができる。このことから、振動ジャイロ素子５０の角速度検出感度を向上させ、小型化を可能にする。
（変形例４）

図１２は振動ジャイロ素子の他の変形例を示す平面図である。
この振動ジャイロ素子６０は、変形例２（図１０参照）で説明した振動ジャイロ素子４０の検出腕１３，１５の先端に重り部４３，４４を備えた構成である。

このように、検出腕１３，１５の先端に重り部４３，４４を形成することにより、検出腕１３，１５の質量を確保でき、固有振動数が低くなり振幅を大きくとることができる。このようにして、駆動腕１４，１６に発生するコリオリ力を大きくすることができ、さらに検出腕１３，１５に生ずる歪も大きくすることができる。このことから、振動ジャイロ素子６０の角速度検出感度を向上させ、小型化を可能にする。
（変形例５）

図１３は振動ジャイロ素子の他の変形例を示す平面図である。
この振動ジャイロ素子７０は、変形例４（図１２参照）で説明した振動ジャイロ素子６０の駆動腕１４，１６と検出腕１３，１５に溝部を設けた構成である。
振動ジャイロ素子７０の駆動腕１４，１６にそれぞれ溝部３３，３４が形成され、検出腕１３，１５にそれぞれ溝部３１，３２が形成されている。溝部３１，３２は、厚み方向に対向する面（両面）にそれぞれ形成されている。

このように、各駆動腕１４，１６の先端および検出腕１３，１５の先端に重り部４１，４２，４３，４４を備えることにより、駆動腕１４，１６に発生するコリオリ力を大きくし、検出腕１３，１５に生ずる歪を大きくすることができる。さらに、駆動腕１４，１６および検出腕１３，１５に溝部３３，３４，３１，３２を設けることにより、駆動振動および検出振動における、電界効率を向上させることができる。このことから、振動ジャイロ素子７０の角速度検出感度を向上させ、小型化を可能にする。
以上、Ｘ軸をＸ₁軸、Ｙ軸をＹ₁軸とした例を説明した。本発明は、Ｘ軸をＸ₂軸、Ｙ軸をＹ₂軸としても良い。また、Ｘ軸をＸ₃軸、Ｙ軸をＹ₃軸としても良い。

なお、本発明の振動ジャイロ素子の材料として、水晶の他に、リン酸ガリウム（ＧａＰＯ₄）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、ランガサイト（Ｌａ₃Ｇａ₅ＳｉＯ₁₄）などの三方晶の結晶構造をもつ圧電材料を用いて、実施することが可能である。

本発明の第１の実施形態に係る振動ジャイロ素子の構成を示す平面図。 駆動振動の形態を示す模式図。 （ａ）および（ｂ）は検出振動の形態を示す模式図。 本発明の第２の実施形態に係る振動ジャイロ素子の構成を示す平面図。 駆動振動の形態を示す模式図。 （ａ）および（ｂ）は検出振動の形態を示す模式図。 加速度が加わった状態を示す模式図。 本実施形態の変形例の構成を示す平面図。 （ａ）は駆動腕の断面図であり、（ｂ）は検出腕の断面図。 本実施形態の他の変形例を示す平面図。 本実施形態の他の変形例を示す平面図。 本実施形態の他の変形例を示す平面図。 本実施形態の他の変形例を示す平面図。 水晶をＺ軸方向から見た各結晶軸を示す説明図。

符号の説明

１，１０，３０，４０，５０，６０，７０…振動ジャイロ素子、２…基部、３…検出腕、４…駆動腕、１２…基部、１３，１５…検出腕、１４，１６…駆動腕、３１，３２…検出腕の溝部、３３，３４…駆動腕の溝部、４１，４２…駆動腕の重り部、４３，４４…検出腕の重り部。

Claims (7)

1. 三方晶の結晶構造でＹ軸に対して３回対称軸を持つ圧電材料を用いた振動ジャイロ素子であって、
   基部と、
   前記基部の片側からＹ軸方向に延出された検出腕と、
   前記検出腕から前記Ｙ軸方向と略＋１２０°方向および略−１２０°方向に延出された１対の駆動腕と、を少なくともほぼ同一平面に備えていることを特徴とする振動ジャイロ素子。
2. 三方晶の結晶構造でＹ軸に対して３回対称軸を持つ圧電材料を用いた振動ジャイロ素子であって、
   基部と、
   前記基部の両側からＹ軸方向に延出された１対の検出腕と、
   前記各検出腕から前記Ｙ軸方向と略＋１２０°方向および略−１２０°方向に延出された各１対の駆動腕と、を少なくともほぼ同一平面に備えていることを特徴とする振動ジャイロ素子。
3. 請求項２に記載の振動ジャイロ素子において、
   前記各駆動腕および前記各検出腕の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部を備えたことを特徴とする振動ジャイロ素子。
4. 請求項２に記載の振動ジャイロ素子において、
   前記各駆動腕の先端に重り部を備えたことを特徴とする振動ジャイロ素子。
5. 請求項４に記載の振動ジャイロ素子において、
   前記各駆動腕および前記各検出腕の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部を備えたことを特徴とする振動ジャイロ素子。
6. 請求項２に記載の振動ジャイロ素子において、
   前記各駆動腕の先端および前記検出腕の先端に重り部を備えたことを特徴とする振動ジャイロ素子。
7. 請求項６に記載の振動ジャイロ素子において、
   前記各駆動腕および前記各検出腕の厚み方向に対向する面にそれぞれ溝部を備えたことを特徴とする振動ジャイロ素子。
   

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