JP2013036869A - 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 - Google Patents
物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013036869A JP2013036869A JP2011173613A JP2011173613A JP2013036869A JP 2013036869 A JP2013036869 A JP 2013036869A JP 2011173613 A JP2011173613 A JP 2011173613A JP 2011173613 A JP2011173613 A JP 2011173613A JP 2013036869 A JP2013036869 A JP 2013036869A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- detection
- arm
- axis
- vibrating arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
Abstract
【解決手段】物理量検出素子1は、基部2と、基部2からX軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第1連結部3aおよび第2連結部3bと、第1連結部3aまたは第2連結部3bからY軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した一対の第1駆動振動腕4aおよび第2駆動振動腕4b、並びに一対の第3駆動振動腕4cおよび第4駆動振動腕4dと、第1連結部3aから斜めに延出した第1駆動検出振動腕5aおよび第2駆動検出振動腕5bと、第2連結部3bから斜めに延出した第3駆動検出振動腕5cおよび第4駆動検出振動腕5dと、基部2からY軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第1検出振動腕6aおよび第2検出振動腕6bと、を備えている、ことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
(実施形態1)
なお、基部2のY軸に沿う幅と、第1連結部3aのY軸に沿う幅とが等しくても良い。
なお、基部2のY軸に沿う幅と、第2連結部3bのY軸に沿う幅とが等しくても良い。
(実施形態2)
(実施形態3)
(実施形態4)
Claims (12)
- 基部と、
前記基部の重心位置である原点を通るX軸と、前記原点を通り、前記X軸と直交するY軸と、を有する座標軸を定義し、
X座標とY座標とがともに正の値をとる領域を第1象限、X座標が負でY座標が正の値をとる領域を第2象限、X座標とY座標とがともに負の値をとる領域を第3象限、X座標が正でY座標が負の値をとる領域を第4象限と、定義したとき、
前記基部と連結し、前記X軸に沿って、前記基部の両側に設けられている第1連結部および第2連結部と、
前記第1連結部から、前記Y軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出している第1駆動振動腕および第2駆動振動腕と、
前記第2連結部から、前記Y軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出している第3駆動振動腕および第4駆動振動腕と、
前記第1駆動振動腕の前記第1連結部側から、前記第1象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第1駆動検出振動腕と、
前記第2駆動振動腕の前記第1連結部側から、前記第4象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第2駆動検出振動腕と、
前記第3駆動振動腕の前記第2連結部側から、前記第2象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第3駆動検出振動腕と、
前記第4駆動振動腕の前記第2連結部側から、前記第3象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第4駆動検出振動腕と、を備えている、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 基部と、
前記基部の重心位置である原点を通るX軸と、前記原点を通り、前記X軸と直交するY軸と、を有する座標軸を定義し、
X座標とY座標とがともに正の値をとる領域を第1象限、X座標が負でY座標が正の値をとる領域を第2象限、X座標とY座標とがともに負の値をとる領域を第3象限、X座標が正でY座標が負の値をとる領域を第4象限と、定義したとき、
前記基部と連結し、前記X軸に沿って、前記基部の両側に設けられている第1連結部および第2連結部と、
前記第1連結部から、前記Y軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出している第1駆動振動腕および第2駆動振動腕と、
前記第2連結部から、前記Y軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出している第3駆動振動腕および第4駆動振動腕と、
前記第1駆動振動腕の前記第1連結部側から、前記第2象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第1駆動検出振動腕と、
前記第2駆動振動腕の前記第1連結部側から、前記第3象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第2駆動検出振動腕と、
前記第3駆動振動腕の前記第2連結部側から、前記第1象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第3駆動検出振動腕と、
前記第4駆動振動腕の前記第2連結部側から、前記第4象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第4駆動検出振動腕と、を備えている、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1または2に記載の物理量検出素子において、
前記基部から前記Y軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出している第1検出振動腕および第2検出振動腕と、を備えている、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、
前記第1駆動振動腕乃至前記第4駆動振動腕は、振動を励起するための駆動信号電極を有し、
前記第1駆動検出振動腕乃至前記第4駆動検出振動腕は、振動を励起するための駆動信号電極と、物理量を検出するための検出信号電極と、を有している、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、
前記第1駆動検出振動腕および前記第2駆動検出振動腕は、前記第1連結部の延長線上を避けた位置から延出し、
前記第3駆動検出振動腕および前記第4駆動検出振動腕は、前記第2連結部の延長線上を避けた位置から延出している、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、
前記第1駆動検出振動腕は、前記第1駆動振動腕と同位相で振動し、前記第2駆動検出振動腕は、前記第1駆動振動腕とは逆位相で振動する前記第2駆動振動腕と同位相で振動し、前記第3駆動検出振動腕は、前記第3駆動振動腕と同位相で振動し、前記第4駆動検出振動腕は、前記第3駆動振動腕とは逆位相で振動する前記第4駆動振動腕と同位相で振動する、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、
前記第1駆動検出振動腕乃至前記第4駆動検出振動腕は、溝部を有している、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、
六方晶の結晶構造を有する圧電性材で形成されている、ことを特徴とする物理量検出素子。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の物理量検出素子と、
少なくとも前記第1駆動振動腕乃至前記第4駆動振動腕へ駆動信号を供給する駆動回路と、
少なくとも前記第1駆動検出振動腕乃至第4駆動検出振動腕の検出信号から物理量を検出する検出回路と、を備える、ことを特徴とする物理量検出装置。 - 請求項9に記載の物理量検出装置において、
前記検出回路は、前記第1駆動検出振動腕に生じる前記検出信号と前記第3駆動検出振動腕に生じる前記検出信号との和と、前記第2駆動検出振動腕に生じる前記検出信号と前記第4駆動検出振動腕に生じる前記検出信号との和と、を差動させて前記物理量を検出する、ことを特徴とする物理量検出装置。 - 請求項9に記載の物理量検出装置において、
前記検出回路は、前記第1駆動検出振動腕に生じる前記検出信号と前記第2駆動検出振動腕に生じる前記検出信号との和と、前記第3駆動検出振動腕に生じる前記検出信号と前記第4駆動検出振動腕に生じる前記検出信号との和と、を差動させて前記物理量を検出する、ことを特徴とする物理量検出装置。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の物理量検出素子を備えている、ことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011173613A JP5870532B2 (ja) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 |
CN2012102796026A CN102954792A (zh) | 2011-08-09 | 2012-08-07 | 物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备 |
US13/568,454 US9140549B2 (en) | 2011-08-09 | 2012-08-07 | Physical quantity detection element, physical quantity detection device, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011173613A JP5870532B2 (ja) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013036869A true JP2013036869A (ja) | 2013-02-21 |
JP5870532B2 JP5870532B2 (ja) | 2016-03-01 |
Family
ID=47676658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011173613A Active JP5870532B2 (ja) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9140549B2 (ja) |
JP (1) | JP5870532B2 (ja) |
CN (1) | CN102954792A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014165238A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、電子機器及び移動体 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5970698B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、センサーユニット、電子機器 |
JP6399283B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
GB201411615D0 (en) * | 2014-06-30 | 2014-08-13 | Ge Healthcare Uk Ltd | Device and method for cell nuclei preparation |
JP7191118B2 (ja) * | 2018-11-30 | 2022-12-16 | 京セラ株式会社 | 多軸角速度センサ |
JP2020144062A (ja) * | 2019-03-08 | 2020-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
JP7251385B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2023-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11248465A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-09-17 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法 |
JP2001012953A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2003315046A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および振動型ジャイロスコープ |
JP2004301552A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および物理量測定装置 |
US20060201248A1 (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Yukihiro Unno | Vibrating gyro element |
JP2006267094A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
JP2007108053A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および振動型ジャイロスコープ用測定素子 |
WO2008114818A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Citizen Holdings Co., Ltd. | 圧電振動子、および振動ジャイロ |
JP2009236674A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Tdk Corp | 振動ジャイロセンサ |
JP2010103459A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-05-06 | Alps Electric Co Ltd | 圧電素子及び、前記圧電素子を備えた物理量センサ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6018212A (en) * | 1996-11-26 | 2000-01-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrator, vibratory gyroscope, and vibration adjusting method |
JPH1114366A (ja) | 1997-06-19 | 1999-01-22 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JPH1114373A (ja) | 1997-06-27 | 1999-01-22 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
US6186003B1 (en) | 1997-10-06 | 2001-02-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibratory gyroscope, vibrator used in this gyroscope, method for analyzing vibration of the vibrator, method for supporting the vibrator, and method for manufacturing the vibratory gyroscope |
JP3999377B2 (ja) | 1997-11-04 | 2007-10-31 | 日本碍子株式会社 | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 |
JP4075833B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2008-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動ジャイロ素子、その製造方法、及び圧電振動ジャイロセンサ |
JP4163067B2 (ja) * | 2003-07-14 | 2008-10-08 | 日本碍子株式会社 | 物理量測定方法および装置 |
JPWO2006075764A1 (ja) | 2005-01-13 | 2008-06-12 | 日本電気株式会社 | 振動型ジャイロスコープ |
JP4415382B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
JP2006201053A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Seiko Epson Corp | 圧電振動ジャイロ素子、圧電振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
JP4415383B2 (ja) * | 2005-01-24 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
US7401517B2 (en) | 2006-08-18 | 2008-07-22 | Robert Bosch Gmbh | Dual-axis yaw rate sensing unit having a tuning fork gyroscope arrangement |
US9032796B2 (en) * | 2010-04-30 | 2015-05-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Stacked lateral overlap transducer (SLOT) based three-axis accelerometer |
-
2011
- 2011-08-09 JP JP2011173613A patent/JP5870532B2/ja active Active
-
2012
- 2012-08-07 CN CN2012102796026A patent/CN102954792A/zh active Pending
- 2012-08-07 US US13/568,454 patent/US9140549B2/en active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11248465A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-09-17 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法 |
JP2001012953A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2003315046A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および振動型ジャイロスコープ |
JP2004301552A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および物理量測定装置 |
JP2006267094A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
US20060201248A1 (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Yukihiro Unno | Vibrating gyro element |
JP2006250769A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子 |
JP2007108053A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および振動型ジャイロスコープ用測定素子 |
WO2008114818A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Citizen Holdings Co., Ltd. | 圧電振動子、および振動ジャイロ |
JP2009236674A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Tdk Corp | 振動ジャイロセンサ |
JP2010103459A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-05-06 | Alps Electric Co Ltd | 圧電素子及び、前記圧電素子を備えた物理量センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014165238A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、電子機器及び移動体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9140549B2 (en) | 2015-09-22 |
JP5870532B2 (ja) | 2016-03-01 |
CN102954792A (zh) | 2013-03-06 |
US20130036819A1 (en) | 2013-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9362483B2 (en) | Vibrator element having a suppressed vibration signal of leakage vibration | |
JP5870532B2 (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 | |
US9222775B2 (en) | Vibrator element, sensor unit, and electronic device | |
JP5970698B2 (ja) | 振動片、センサーユニット、電子機器 | |
US20110232383A1 (en) | Vibration piece, angular velocity sensor, and electronic apparatus | |
JP5970690B2 (ja) | センサー素子、センサーユニット、電子機器及びセンサーユニットの製造方法 | |
JP6582501B2 (ja) | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 | |
JP2013186029A (ja) | 振動片、センサーユニットおよび電子機器 | |
JP5987426B2 (ja) | 振動片、振動片の製造方法、センサーユニット、電子機器 | |
JP2016176891A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6210345B2 (ja) | ジャイロセンサー素子、ジャイロセンサーユニット、電子機器及びジャイロセンサーユニットの製造方法 | |
JP5050590B2 (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
JP2013096882A (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 | |
JP5682495B2 (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 | |
JP5970699B2 (ja) | センサーユニット、電子機器 | |
JP6433662B2 (ja) | 多軸角速度センサ | |
JP2013088275A (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 | |
JP2013092492A (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 | |
JP6361707B2 (ja) | 振動片、センサーユニット、電子機器、および、振動片の製造方法 | |
JP2015034829A (ja) | 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法 | |
JP2016176896A (ja) | 振動片およびジャイロセンサー | |
JP2010223764A (ja) | 物理量検出デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140804 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5870532 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |