WO2008114818A1 - 圧電振動子、および振動ジャイロ - Google Patents

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Izumi Yamamoto
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    • G01C19/5607Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks

Abstract

圧電振動子の駆動脚や検出脚がそれぞれ共振振動する固有振動において、各固有振動の振動方向、共振周波数間の周波数差を設定することで、駆動脚の振動が検出脚に漏れにくくし、圧電振動子の漏れ振動を抑制する。圧電振動子において、駆動脚の振動方向と検出脚の振動方向とを直交させ、また、駆動脚の面内方向の共振周波数と駆動脚の面外方向の共振周波数との周波数差を十分に開けることによって漏れ振動の成長を抑制する。これによって圧電振動子において小型化が可能であり、かつ、漏れ振動を小さくする。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010171966A (ja) * 2008-12-27 2010-08-05 Epson Toyocom Corp 屈曲振動片及び電子部品
JP2012098091A (ja) * 2010-10-29 2012-05-24 Tdk Corp 圧電振動型ヨーレートセンサ
JP2013036869A (ja) * 2011-08-09 2013-02-21 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器
JP2013190305A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Seiko Epson Corp ジャイロセンサーおよび電子機器
JP2013205328A (ja) * 2012-03-29 2013-10-07 Seiko Epson Corp 振動片、センサーユニット、電子機器
JP2015141182A (ja) * 2014-01-30 2015-08-03 京セラクリスタルデバイス株式会社 角速度センサ及びセンサ素子
JP2016176892A (ja) * 2015-03-23 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP2016176891A (ja) * 2015-03-23 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009250859A (ja) * 2008-04-09 2009-10-29 Epson Toyocom Corp 加速度検知装置
JP6007541B2 (ja) * 2012-03-28 2016-10-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体
JP6171475B2 (ja) * 2013-03-28 2017-08-02 セイコーエプソン株式会社 振動片の製造方法
JP6264839B2 (ja) * 2013-10-29 2018-01-24 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6435631B2 (ja) * 2014-04-23 2018-12-12 株式会社デンソー 角速度センサ

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07128068A (ja) * 1993-10-28 1995-05-19 Toyota Motor Corp 振動子
JP2000074673A (ja) * 1998-08-27 2000-03-14 Miyota Kk 複合運動センサ
JP2003156337A (ja) * 2001-09-07 2003-05-30 Citizen Watch Co Ltd 振動ジャイロ
JP2004317387A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Ngk Insulators Ltd 物理量測定装置
JP2005016976A (ja) * 2003-06-23 2005-01-20 Seiko Epson Corp 振動片の製造方法、振動子、ジャイロセンサおよび電子機器
JP2005274360A (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Citizen Watch Co Ltd 振動ジャイロ

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5386726A (en) * 1989-10-03 1995-02-07 Akai Electric Co., Ltd. Vibratory gyroscope
JP4668739B2 (ja) * 2005-08-29 2011-04-13 シチズンホールディングス株式会社 振動ジャイロ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07128068A (ja) * 1993-10-28 1995-05-19 Toyota Motor Corp 振動子
JP2000074673A (ja) * 1998-08-27 2000-03-14 Miyota Kk 複合運動センサ
JP2003156337A (ja) * 2001-09-07 2003-05-30 Citizen Watch Co Ltd 振動ジャイロ
JP2004317387A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Ngk Insulators Ltd 物理量測定装置
JP2005016976A (ja) * 2003-06-23 2005-01-20 Seiko Epson Corp 振動片の製造方法、振動子、ジャイロセンサおよび電子機器
JP2005274360A (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Citizen Watch Co Ltd 振動ジャイロ

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010171966A (ja) * 2008-12-27 2010-08-05 Epson Toyocom Corp 屈曲振動片及び電子部品
US8816574B2 (en) 2008-12-27 2014-08-26 Seiko Epson Corporation Flexural vibration element and electronic component
US8823248B2 (en) 2008-12-27 2014-09-02 Seiko Epson Corporation Flexural vibration element and electronic component
JP2012098091A (ja) * 2010-10-29 2012-05-24 Tdk Corp 圧電振動型ヨーレートセンサ
JP2013036869A (ja) * 2011-08-09 2013-02-21 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器
JP2013190305A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Seiko Epson Corp ジャイロセンサーおよび電子機器
JP2013205328A (ja) * 2012-03-29 2013-10-07 Seiko Epson Corp 振動片、センサーユニット、電子機器
JP2015141182A (ja) * 2014-01-30 2015-08-03 京セラクリスタルデバイス株式会社 角速度センサ及びセンサ素子
JP2016176892A (ja) * 2015-03-23 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP2016176891A (ja) * 2015-03-23 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体

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