JP2005016976A

JP2005016976A - 振動片の製造方法、振動子、ジャイロセンサおよび電子機器

Info

Publication number: JP2005016976A
Application number: JP2003178180A
Authority: JP
Inventors: Osamu Kawauchi; 修川内
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-06-23
Filing date: 2003-06-23
Publication date: 2005-01-20
Anticipated expiration: 2023-06-23
Also published as: JP4492048B2

Abstract

【目的】圧電単結晶材の振動片に形成された振動アームに、バランスのとれた形状の溝部をエッチングで形成することを目的とする。
【解決手段】圧電単結晶材から形成された棒状の振動アーム３に、振動アーム３を小型化するための溝部２をエッチングで形成する工程を有し、振動アーム３と溝部２とを含む振動片１の製造方法であって、溝部２をエッチングで形成する工程の前に、溝部２のエッチングの速さが他の部分と比べて遅い一部分に凹部を形成する工程、を有する。
【選択図】図４

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動片の振動アームに溝部を有し、圧電単結晶材からなる振動片の製造方法、振動子、ジャイロセンサおよび電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯型電話装置、自動車電話、あるいはページングシステム等の移動体通信機器において装置の小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電デバイスも小型薄型化が要求されている。圧電デバイスの小型薄型化を図るためには、内蔵する圧電振動片の小型化が要求されている。この要求に応えるため、従来、振動アームを小型化するための溝部形成は、特許文献１に記載されているように、圧電単結晶材上の溝部を形成する部分の耐食膜を除去した後、エッチングによって溝部を形成していた。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−７６８０６（第１３図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、例えば水晶のような異方性を有する圧電単結晶材は、エッチングを行う方向によりエッチング速さが異なる性質をもっているため、溝部が均一にエッチングされず、断面形状のバランスが崩れた溝部が形成され、振動アームが安定して振動しないという課題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するため、本発明の振動片の製造方法は、圧電単結晶材から形成された棒状の振動アームに、振動アームを小型化するための溝部をエッチングで形成する工程を有し、振動アームと溝部とを含む振動片の製造方法であって、溝部をエッチングで形成する工程の前に、溝部のエッチングの速さが他の部分と比べて遅い一部分に予め凹部を形成する工程、を有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、圧電単結晶材はエッチングを行う方向によりエッチングの速さが異なる性質を有しており、従って、振動アームに溝部を形成する際、溝部のエッチングの速さが遅い部分に予め凹部を形成しておくことによって、エッチング速さの速い部分との差異を排除できるため、バランスのとれた形状の溝部が得られる。これにより振動アームは安定した振動をすることができる。
【０００７】
この場合、凹部を形成する工程において、断面形状が略Ｖ字状の凹部が複数穿設されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、略Ｖ字状の凹部を溝部の形状に合せて複数配置することにより、溝部断面形状のバランスを制御できる。
【０００９】
また、凹部を形成する工程において、凹部がスリット形状であることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、溝部形状のバランスを、設定の容易なスリット形状によっても制御でき、略Ｖ字状の場合と同様の効果が得られる。
【００１１】
さらに、振動アームの長手方向に垂直な断面は、略Ｈ型形状であることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、一対の溝部をバランスよく配置した略Ｈ型断面形状の振動アームにより、小型化のため外形寸法を小さくしても、溝部形成によって表面積は減少せず、広く電界が分布して安定した振動の振動片を得ることができる。
【００１３】
本発明の振動片は、圧電単結晶材から切り出された棒状の振動アームに、前記振動アームを小型化するための溝部をエッチングで形成し、前記振動アームと前記溝部とを含む振動片であって、前記溝部をエッチングで形成する前に、前記溝部のエッチングの速さが他の部分と比べて遅い一部分に凹部を形成したことを特徴とする。また、本発明の振動子は、振動片をパッケージに収容したことを特徴とする。
【００１４】
これらの構成によれば、振動アームに溝部を形成し、性能を維持して小型化が図れた振動片をパッケージに収容することにより、小型パッケージ化が可能な振動子ができる。
【００１５】
本発明のジャイロセンサは、本発明の振動子が物理量を検出するジャイロ機能を有することを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、本発明の小型の振動子により、角速度などの物理量を検出する小型のジャイロセンサができる。
【００１７】
本発明の電子機器は、本発明の振動子あるいはジャイロセンサを搭載したことを特徴とする。
【００１８】
これらの構成によれば、設置スペースを省ける小型の振動子およびジャイロセンサを搭載した電子機器を提供できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の振動片の製造方法について説明する。図１に示すように、従来知られた音叉型形状をした振動片１は、水晶などの圧電単結晶材からエッチングによって形成されている。水晶は、圧電単結晶材の中でも特にその振動が正確で、周波数の変化もほとんどないという性質を有するが、エッチングを行う方向によってエッチング速さが異なり、均一なエッチングが難しいというエッチング異方性を有する。本発明は、従来の水晶の均一なエッチングが難しいという性質を克服するエッチング方法を用いた振動片の製造方法を提供する。
【００２０】
音叉型形状の振動片１は、図１（ａ）に示すように、基部４と、基部４から突起している２本の振動アーム３、３と、振動アーム３の断面Ａ−Ａ’が図１（ｂ）のような略Ｈ型になるように形成した溝部２と、図示していない振動片１の表面に形成した電極層とから成っている。
【００２１】
この振動片１は、図２（ａ）に示す水晶柱５から切り出される。水晶柱５は、六角柱であって、柱の長手方向に光軸であるＺ軸と、Ｚ軸に垂直な六角形面のＸ−Ｙ平面において、六角形の辺に平行な電気軸であるＸ軸と、Ｘ軸に垂直な機械軸であるＹ軸とを有している。六角形の辺に平行なＸ軸は、図２（ｂ）に示すように３本あり、それぞれ１２０度の等角度で存している。これら１２０度間隔のＸ軸によってＸ−Ｙ平面に形成される３つの面Ｈ_１、Ｈ_２、Ｈ_３は、エッチング方向によるエッチング速さの違い等がそれぞれの面で同一である、という性質（三方晶）をもっている。
【００２２】
また、水晶は、Ｘ軸（電気軸）方向に電圧を加えると、加えた電圧の方向に対応してＹ軸（機械軸）方向に伸びあるいは縮みの現象が生じ、逆に、Ｙ軸（機械軸）方向に引っ張りあるいは圧縮を与えると、Ｘ軸（電気軸）方向に電圧が生じる性質を有している。それぞれが電気軸、機械軸と呼ばれる所以である。
【００２３】
これらの性質を有効に利用した振動片１を得るため、振動片１を切り出す面は、図２（ａ）のように、Ｘ−Ｙ平面を、Ｘ軸とＹ軸との交点（座標原点）からみてＸ軸回りに時計方向へ角度θ傾けた平面であり、さらに振動アーム３の長手方向は、Ｙ軸方向となるように設定する。平面の設定角度θは、常温で使用される振動片の場合、１度ないし５度が最適であり、この平面は水晶Ｚ板と呼ばれる。
【００２４】
水晶Ｚ板から切り出され図１（ａ）を基に説明した構成の振動片１に、振動片１の表面に配置された電極層を通してＸ軸方向の電圧が加えられると、電圧の向きに応じた電界が発生し、振動アーム３の電極面が、Ｙ軸方向に伸びたりあるいは縮むことによって、振動アーム３がＸ軸の一方の方向へ屈曲する。屈曲した振動アーム３が元に戻ろうとする時に、電圧の方向を逆にすると電極面の伸縮が逆になり、振動アーム３も逆方向へ屈曲する。振動片１が一秒間に屈曲できる回数、いわゆる振動片１の固有の周波数と電圧の向きの切り替えタイミングが一致すれば、振動アーム３は屈曲しつづけることになる。すなわち規則正しい振動を持続する。
【００２５】
振動片１の周波数は、主に振動アーム３のＸ軸方向の幅とＹ軸方向の長さによって決まり、幅に比例し長さに反比例する。所定寸法で切り出された振動片１の周波数をさらに微調節するには、振動アーム３の基部４と対極側の先端部質量を変える方法がある。振動片１の周波数を低くするには、先端部の質量を多くすれば良く、先端部に銀などの蒸着を行う。また、周波数を高くするには、先端部の質量を少なくすれば良く、レーザーで先端部の電極層の一部を除去している。こうして所定の正確な周波数を有する振動片１を得ることができる。
【００２６】
振動片に水晶を用いると、溝部２の無い振動片であっても正確な周波数を得ることができる。しかし近年、振動片が搭載される携帯電話やハンディタイプビデオカメラなどの小型軽量化が顕著になってきており、搭載する振動片の小型化も必須となってきている。溝部２の無い振動片の寸法を単純に小さくして小型にすると、電極面も小さくなって、電圧をかけても振動アーム３の電極面を伸縮させる電界が十分に発生せず、振動アーム３は安定した振動を行わなくなる。すなわち振動片の効率を表すいわゆるＣＩ値（ＣｒｙｓｔａｌＩｍｐｅｄａｎｃｅ）が高くなり、性能の劣った振動片となる。
【００２７】
ＣＩ値の上昇を抑えて効率の良い振動片を得るためには、溝部２を有する振動片１が有効である。溝部２を有して断面が略Ｈ型の振動片１は、溝部２内に電極を配置することにより電極面を広く設定できる。従って、電圧をかけると発生する電界効率が向上するため、振動アーム３が安定して振動する。すなわちＣＩ値が低く効率の良い小型の振動片１となる。
【００２８】
このように効果的な図１（ｂ）に示す略Ｈ型の溝部２を形成するにあたって、エッチングにより溝を形成すると、図４（ａ）の溝部拡大断面図のような対称性の悪い形状の溝部２となる。これは、水晶がエッチングの方向によってエッチングの早さが異なる性質を持っていることによる。溝部２の断面は水晶のＸ−Ｚ面にあたり、水晶のＸ−Ｚ面のエッチング方向によるエッチング速さは、図３の水晶のＸ−Ｚ面でのエッチング方向によるエッチング速さを表す極座標表示図で示されているように、エッチングを行う方向によって大きく異なる。図３に表してある曲線が、Ｘ軸とＹ軸との座標原点から離れているほど、その方向のエッチングの速さが速いことを示している。すなわち、Ｚ軸方向のエッチング速さは早く、Ｘ軸方向のエッチングは遅い傾向にある。このため、図４（ａ）のように底面２１は、Ｘ軸方向のエッチング速さの差により両側面の一方側にずれて形成され、両側面も大きく異なった形状のものとなる。
【００２９】
この傾向を補正して対称性の良い溝部２を形成するため、図４（ｂ）に示す凹部２０を予め形成して、エッチングの早さを調節する方法がある。この方法によれば、底面２１が両側面の中央に形成され、両側面の形状の差異も極小に抑えられ、バランスのとれた溝部２が形成できる。すなわち振動アーム３が安定した振動を維持出来る振動片１を提供することができる。なお、凹部２０の平面形状は、円形、スリット状、多角形等が考えられる。
【００３０】
そこで、凹部２０を予め形成した振動片１の製造方法について、図５および図６を参照して説明する。この場合、略Ｖ字状の凹部２０の形状は略円錐であり、断面は図１（ａ）のＢ−Ｂ’のように２本の振動アーム３、３をＸ軸に沿って切断した面である。まず、図５（ａ）に示すように、水晶Ｚ板に沿って所定厚みで水晶柱５から切り出された板状の水晶１０の表面に、スパッタ装置にて例えばクロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）の二層の金属膜３１を形成する。そして金属膜３１の上にレジスト膜３２を形成する。レジスト膜３２は形成後、光を照射（露光）後現像すると照射しない部分が残り、照射されている部分は簡単に除去することができる。
【００３１】
次に、図５（ｂ）に示すように、レジスト膜３２を振動片１のレジスト円形部３３以外の平面形状が残るように露光し、露光しない面を残してレジスト膜３２を現像により除去する。この状態で、レジスト膜３２による振動片１の平面形状が浮かび上がる。
【００３２】
この後、図５（ｃ）に示すようにレジスト膜３２が形成されていない部分の金属膜３１をエッチング液によって除去する。この時、レジスト円形部３３には水晶１０の面が現れている。さらに図５（ｄ）のようにレジスト膜３２を除去し、続いて、残っている金属膜３１と水晶１０の表面全体にレジスト膜３２を図５（ｅ）のように形成する。
【００３３】
次に、図６（ｆ）に示すように、振動片１の溝部２以外の平面形状が残るようにレジスト膜３２を露光し、露光後、現像により露光された部分のレジスト膜３２を除去する。この状態で水晶１０のエッチングを行い、図６（ｇ）に示すように振動片１の外形形状と凹部２０に該当する直径寸法Ｗの水晶略円錐部３４とが形成される。
【００３４】
ここで、同じ時間エッチングを行って、外形部は水晶の厚みＴすべてを切り取るようにエッチングが進行し、水晶略円錐部３４は厚みＴより少ない深さＤしかエッチングされない理由を、図８に基づいて簡単に述べる。
【００３５】
図８は、表面に金属膜３１を形成した厚さＴの水晶１０に、ＷおよびＷ’の寸法幅で金属膜３１を除去したスリットを設けてエッチングを行った時の断面状態を表している。図８（ａ）は水晶１０の厚さＴが０．１ｍｍ、スリット幅の寸法Ｗ’が０．０５ｍｍの場合であって、エッチングを開始しておよそ２時間で、スリット部は貫通する。また、図８（ｂ）は、同寸法の水晶１０にスリット幅の寸法Ｗが０．０１ｍｍの場合であって、エッチングを開始して同じ２時間で０．０２５ｍｍ程度の深さＤにエッチングされている。このようにスリット幅が狭くなるとエッチングの進行が極端に遅くなり、この傾向を利用することにより、図６（ｇ）のように振動子片１の外形の形成と、水晶略円錐部３４の形成とが同時に行える。さらに、外形形成のエッチング時間が長くなっても、水晶略円錐部３４の形状には影響が極めて少ないという特徴を有する。
【００３６】
次の工程は、図６（ｈ）に示すように、振動片１の溝部２に該当する部分の金属膜３１をエッチング液で除去する工程で、金属膜３１が除去されると溝部２が形成される水晶１０の面が現れる。この状態で水晶１０のエッチングを行うと、図４（ｂ）を基に説明したエッチング後の断面形状のように、凹部２０である水晶略円錐部３４の効果により、図６（ｉ）（ｊ）に示すように対称性の良い溝部２が形成される。また、水晶部略円錐部３４の直径の寸法Ｗを、設置する場所によって変えることにより、水晶略円錐部３４の効果をより高めることが可能で、より緻密なエッチングの制御ができる。
【００３７】
以上、凹部２０が水晶略円錐部３４である場合について述べてきたが、図７に示すように凹部２０が寸法Ｗのスリット形状であっても良い。図７に示すスリット３５の形成工程は、図５（ｂ）の略円錐形状の形成工程に相当するもので、スリット３５を形成した場合も、略円錐形状を形成した場合と同一の製造工程で振動片１を作ることができる。スリット３５は、振動片１のように溝部２がＹ軸に平行な直線状であるものに対して、設定が簡単で有効な方法である。
【００３８】
また、凹部２０が略円錐形状である場合の溝部２の形状は、拡大すると図９のようになっている。略円錐形状を設けた側の側面は、略円錐形状の位置に対応した波形の形状をしている。この波型の形状により溝部２の電極面積が増加するので、振動片１に電圧をかけた時の電界の発生が高められ、いわゆる電界効率の向上が図られる。すなわち振動アーム３の振動が安定したものになる。
【００３９】
また、溝部２の側面と振動片１の外形面との壁厚Ｓは、底面２１の部分でも薄くなり電界効率の向上につながる。さらに、溝部２の断面形状の対称性が向上したことにより、振動アーム３が安定した振動をするようになるため、外乱の振動の影響を受けにくくなる。凹部２０がスリット形状である場合も、溝部２の底面２１が溝に対して中央部に形成でき、対称性の良い断面形状となるため、略円錐形状の場合と同じ効果を得ることができる。
【００４０】
このように振動片１の溝部２を形成する時に、凹部２０を予め形成することにより対称性の良い溝部２が得られ、振動片１としてのＣＩ特性を維持して小型化が可能である。具体的に、小型化された溝部２を有する振動片１の外形寸法は、同一性能の溝部２の無い振動片と比べて、Ｙ軸方向が３．６ｍｍから２．２ｍｍに、Ｘ軸方向の寸法が０．６９ｍｍから０．５６ｍｍになり、振動アーム３の寸法はＹ軸方向が２．４ｍｍから１．６ｍｍに、Ｘ軸方向が０．２３ｍｍから０．１ｍｍになって著しく小さくなっている。なお、Ｚ軸方向の厚みは、０．１ｍｍでほぼ同じある。また、溝部２の寸法は、Ｘ軸方向が０．０７ｍｍ、Ｙ軸方向が１．３ｍｍ、Ｚ軸方向の深さが０．０４ｍｍである。この寸法の場合、レジスト円形部３３の径およびスリット３５の幅Ｗは０．０１ｍｍでの設定となる。
【００４１】
なお、これまで振動アーム３が２本の音叉型の振動片１を例に説明してきたが、振動アーム３が１本の棒型の振動片や、２本以上複数本の振動アーム３を有するＨ型やＴ型組み合わせ型の振動片など、種々のタイプに適用ができる。これらの振動片を利用したものに、セラミックパッケージに振動片を実装した圧電振動子やジャイロセンサなどがあり、以下にこれらについて簡単に説明する。
【００４２】
図１０は、本発明の振動片の製造方法による振動片１を搭載したセラミックパッケージを用いた圧電振動子５０の断面図である。圧電振動子５０は、その底部にベース部５１を備え、このベース部５１は、例えばアルミナ等のセラミックス等で形成されている。ベース部５１の上には、封止部５３が設けられており、封止部５３の上には蓋体５２が載置され、これらベース部５１、封止部５３および蓋体５２で、中空の箱体を形成している。
【００４３】
このように形成されている圧電振動子５０のベース部５１内にはパッケージ側電極５４が設けられている。このパッケージ側電極５４には導電性接着剤等を介して振動片１の端部が固定されている。この振動片１は、パッケージ側電極５４から一定の電圧が与えられると振動するようになっている。振動片は音叉型の振動片１の他、棒型やＨ型などでも良い。この圧電振動子５０は、デジタル携帯電話、パーソナルコンピュータ、時計、ビデオレコーダ、テレビなどに広く用いられ、これら電子機器の小型化に貢献している。
【００４４】
また、本発明の振動片の製造方法によって高性能の小型ジャイロセンサが可能となる。このジャイロ機能を有するジャイロセンサ６０は、図１１に示すように、振動片４０をパッケージに収容したものである。振動片４０は、中央の固定部４１と、固定部４１から両側に延びる一対の支持アーム４２、４２と、支持アーム４２、４２の端に形成された振動アーム４３、４３と、固定部４１から支持アーム４２と直交方向に延びる一対の検出アーム４４，４４と、振動アーム４３と検出アーム４４に形成された溝部４９と、図示していない接点部とから成っている。
【００４５】
振動片４０を収容する筐体４６は、一面が開放されている略直方体形状のセラミック材で構成されており、検出する物理量の方向等の基準となる検出軸４８と垂直な基準面６１と、基準面６１に設けられた外部との導通用の複数の端子４７と、基準面６１に対向する開放部を封する蓋６２と、略直方体を構成するその他の面とから成っている。蓋６２は、筐体４６の開放されている面から筐体４６内に、振動片４０やＩＣなどを組込んだ後、開放面を封止する。そして筐体４６に形成されている図示していない貫通孔より内部の空気を抜いて真空状態にしたのち、貫通孔を封止する。
【００４６】
これら固定部４１、支持アーム４２、振動アーム４３および検出アーム４４は、同一平面に一体で形成された単結晶水晶であって、筐体４６から張り出された複数のボンディングワイヤ４５によって、筐体４６に接しないように支持されている。また、ボンディングワイヤ４５を介してＩＣと電気的導通をとり、水晶の発振制御、検出信号送出などが行なわれる。
【００４７】
振動片４０にボンディングワイヤ４５を介して電圧を印加すると、振動アーム４３、４３が屈曲振動Ｑを始める。この振動中に検出軸４８回りに回転角速度Ｐが働くと、駆動アーム４３、４３の振動方向と直交方向にコリオリの力Ｒが生じる。コリオリの力Ｒが生じるとこの力により支持アーム４２、４２が変位を起こして振動（励振）するため、検出アーム４４、４４も振動（共振）する。この時の検出アーム４４、４４のそれぞれの振れを差動電圧として検出し、信号処理をすることにより検出軸４８回りの角速度（物理量）が求められる。求められた角速度により、振動片４０の検出軸４８回りに加えられた回転角速度Ｐを特定でき、例えばビデオカメラやデジタルカメラの手振れの程度などを把握することができる。
【００４８】
このジャイロセンサ６０は、カメラの手振れ検出装置の外に、ロボットの姿勢検出装置、カーナビゲーションの方向検出装置、ＧＰＳ機器などの電子機器に広く適用できる。
【００４９】
以上のように、本発明の振動片の製造方法によれば、振動アームの溝部となる部分に予め凹部を形成しておくことにより、圧電単結晶材内のエッチング速さの相違を補正でき、形状のバランスが良い溝部を備えた振動片が得られる。この振動片は、小型化しても溝部の設置によって振動アームの電界効率が減少せず、安定した振動を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る溝部を有する振動片の外観斜視図である。
【図２】振動片を切り出す水晶結晶体の斜視図である。
【図３】水晶のＸ−Ｚ面でのエッチング方向によるエッチング速さを表す極座標表示図である。
【図４】凹部の有無による溝部形状の差異を示す拡大断面図である。
（ａ）は、予め凹部を形成しなかった場合の溝部の拡大断面図で、（ｂ）は、予め凹部を形成した場合の溝部の拡大断面図である。
【図５】溝部形成のための凹部が略円錐である振動片のエッチングの前半工程図である。
【図６】溝部形成のための凹部が略円錐である振動片のエッチングの後半工程図である。
【図７】溝部形成のための凹部がスリットである振動片のレジスト膜形成を示す斜視図である。
【図８】凹部の幅によるエッチングの差異を示す断面図である。
【図９】凹部が略円錐である溝部のエッチング後の拡大図である。
【図１０】振動片を搭載したセラミックパッケージ振動子の断面図である。
【図１１】ジャイロセンサの斜視図である。
【符号の説明】
１振動片
２溝部
３振動アーム
１０水晶
２０凹部
２１底面
３１金属膜
３２レジスト膜
３３レジスト円形部
３４水晶略円錐部
３５スリット
５０圧電振動子
６０ジャイロセンサ

Claims

圧電単結晶材から形成された棒状の振動アームに、前記振動アームを小型化するための溝部をエッチングで形成する工程を有し、前記振動アームと前記溝部とを含む振動片の製造方法であって、
前記溝部をエッチングで形成する工程の前に、前記溝部のエッチングの速さが他の部分と比べて遅い一部分に凹部を形成する工程、を有することを特徴とする振動片の製造方法。
前記凹部を形成する工程において、断面形状が略Ｖ字状の凹部が複数穿設されていることを特徴とする請求項１に記載の振動片の製造方法。
前記凹部を形成する工程において、前記凹部がスリット形状であることを特徴とする請求項１に記載の振動片の製造方法。
前記振動アームの長手方向に垂直な断面は、略Ｈ型形状であることを特徴とする請求項１ないし３に記載の振動片の製造方法。
圧電単結晶材から切り出された棒状の振動アームに、前記振動アームを小型化するための溝部をエッチングで形成し、前記振動アームと前記溝部とを含む振動片であって、
前記溝部をエッチングで形成する前に、前記溝部のエッチングの速さが他の部分と比べて遅い一部分に凹部を形成したことを特徴とする振動片。
請求項５に記載の振動片をパッケージに収容したことを特徴とする振動子。
請求項６に記載の振動子が物理量を検出するジャイロ機能を有することを特徴とするジャイロセンサ。
請求項６に記載の振動子を搭載したことを特徴とする電子機器。
請求項７に記載のジャイロセンサを搭載したことを特徴とする電子機器。