JP2015141182A - 角速度センサ及びセンサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】角速度センサ101では、圧電体3は、基部9、基部9からy軸方向において延びる1対のみの駆動腕11、及び、基部9からy軸方向において延びる1対のみの検出腕13を有している。1対の駆動腕11及び1対の検出腕13は、1対の駆動腕11の両側に1対の検出腕13が位置するようにx軸方向に並べられ、y軸方向の同一側に延びている。励振回路103は、1対の駆動腕11がx軸方向において互いに逆側へ変形するように互いに逆の位相で1対の駆動腕11を励振し、検出回路105は、1対の検出腕13がz軸方向において互いに逆側へ変形したときに1対の検出腕13間において正負が同一の電気信号同士が加算されて生成された電気信号を検出する。
【選択図】図1
Description
図3(b)は、駆動腕11及び検出腕13における電位等を説明する図であり、図3(a)に対応する模式図である。
上記の動作説明においては、複数の励振電極5及び複数の検出電極7の接続関係について言及した。この接続関係を実現する配線の一例を図5に示す。
Claims (7)
- 基部、前記基部から所定の延在方向において延びる1対のみの駆動腕、及び、前記基部から前記延在方向において延びる1対のみの検出腕を有する圧電体と、
前記1対の駆動腕に電圧を印加して前記1対の駆動腕をその並び方向に励振する励振回路と、
前記延在方向及び前記並び方向に交差する検出方向における前記1対の検出腕の振動によって生じる電気信号を検出する検出回路と、
を有し、
前記1対の駆動腕及び前記1対の検出腕は、前記1対の駆動腕の間又は両側に前記1対の検出腕が位置するように前記並び方向に並べられ、前記延在方向の同一側に延びており、
前記励振回路は、前記1対の駆動腕が前記並び方向において互いに逆側へ変形するように互いに逆の位相で前記1対の駆動腕を励振し、
前記検出回路は、前記1対の検出腕が前記検出方向において互いに逆側へ変形したときに前記1対の検出腕間において正負が同一の電気信号同士が加算されて生成された電気信号を検出する
角速度センサ。 - 前記1対の駆動腕の両側に前記1対の検出腕が位置している
請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記検出方向において、前記1対の駆動腕の厚み及び前記1対の検出腕の厚みは、互いに同一であり、
前記並び方向において、前記1対の検出腕の幅は、前記1対の駆動腕の幅よりも大きい
請求項1又は2に記載の角速度センサ。 - 前記基部は、前記並び方向の両側の側面のうちの、前記1対の駆動腕及び前記1対の検出腕側の領域に、その反対側の領域、並びに、前記1対の駆動腕及び前記1対の検出腕よりも、前記並び方向の外側に突出する1対の突部を有する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 前記基部のうち、前記1対の駆動腕及び前記1対の検出腕の互いに隣接する腕同士の間にて、これらの腕が延びる側へ面する面は、互いに隣接する腕同士の間の中央側ほど前記延びる側とは反対側へ位置するように2つの傾斜面で構成されており、
前記突部のうち、前記延びる側へ面する面は、前記並び方向の外側ほど前記延びる側とは反対側へ位置する傾斜面で構成されている
請求項4に記載の角速度センサ。 - 前記1対の検出腕それぞれには、前記検出方向に面する面に、前記延在方向に延びる溝が形成されており、
前記1対の検出腕それぞれにおいて、前記溝の内壁面及び当該内壁面と反対側に面する外側面には、前記検出回路に接続される検出電極が設けられている
請求項1〜5のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 基部、前記基部から所定の延在方向において延びる1対のみの駆動腕、及び、前記基部から前記延在方向において延びる1対のみの検出腕を有する圧電体と、
前記1対の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられた複数の第1励振電極と、
前記1対の駆動腕間で互いに同一の位置に設けられ、各駆動腕において前記第1励振電極との間に電圧が印加されることにより各駆動腕をその並び方向に励振可能に配置された複数の第2励振電極と、
前記1対の検出腕間で互いに同一の位置に設けられた複数の第1検出電極と、
前記1対の検出腕間で互いに同一の位置に設けられ、前記延在方向及び前記並び方向に交差する検出方向に各検出腕が振動されることにより、各検出腕において前記第1検出電極との間に電位差が生じる位置に配置された複数の第2検出電極と、
を有し、
前記1対の駆動腕及び前記1対の検出腕は、前記1対の駆動腕の間又は両側に前記1対の検出腕が位置するように前記並び方向に並べられ、前記延在方向の同一側に延びており、
一方の前記駆動腕の前記第1励振電極と他方の駆動腕の前記第2励振電極とが接続され、前記一方の駆動腕の前記第2励振電極と前記他方の駆動腕の前記第1励振電極とが接続され、
一方の検出腕の前記第1検出電極と他方の検出腕の前記第2検出電極とが接続され、前記一方の検出腕の前記第2検出電極と前記他方の検出腕の前記第1検出電極とが接続されている
センサ素子。
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