JP2006053152A - 振動数検出を用いたマイクロジャイロメーター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、ジャイロメーター(10)の平面(X,Y)に沿って自由に動くことができる質量体(12,12')の振動方向(X)に対して垂直な角運動(Ω)によって生じるコリオリの力の検出に基づく(有利なことには既存のマイクロ電子技術を用いて機械加工された)マイクロジャイロメーター(10)を提案する。コリオリの力は、可動デバイス(20)に接続された共振子(22)の固有モードに適合する運動を通して検出される。
【選択図】 図2
Description
12,12' 振動質量体
14,14' 連結アーム
16,16' 撓みアーム
18,18' 励振櫛状部
20 第1の励振共振子
22 第2の検出共振子
24 アンカーポイント
26 検出電極
28 励振電極
30,30' ねじれ軸
32,32' アンカー
34 同調フォーク型共振子
36 固定静電電極
38 検出システム
40 共振子
42 剛体末端部
44,46 剛体アーム
48 固定電極
Claims (16)
- 平面(X,Y)内で自由に動くことができる第1の励振共振子(20)であって、連結手段(14,14',16,16')によって互いに連結された二つの質量体(12,12')を具備してなる第1の励振共振子(20)と、
前記質量体(12,12')を前記平面(X,Y)の第1の方向(X)に運動させるための励振手段(18,18')と、
前記第1の共振子(20)に連結された少なくとも一つの第2の検出共振子(22,34,40)と、
前記第2の共振子(22,34,40)を励振させると共にその固有モード(ω)の振動数を測定する手段(26,28,36,48)と、を具備してなることを特徴とするジャイロメーター(10)。 - 少なくとも一つのアンカーポイント(24,32)を介して各共振子(20,22,34,40)が連結される基板をさらに具備してなることを特徴とする請求項1に記載のジャイロメーター。
- 前記基板はマイクロ工学サポートであり、ジャイロメーターはモノリシックであることを特徴とする請求項2に記載のジャイロメーター。
- 前記質量体(12,12')を運動させる手段(18,18')は固定された静電櫛状部であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のジャイロメーター。
- 前記第1の方向(X)への前記質量体の運動および前記平面(X,Y)に垂直な軸線(Z)からの前記第1の励振共振子(20)の回転(Ω)によって生じるコリオリの力(F1)に対して連結アーム(14,14')が直交するように、前記連結手段は、前記質量体(12,12')の前記第1の運動方向(X)に対して平行であってかつ撓みアーム(16,16')を介して前記質量体(12,12')に連結された二つの連結アーム(14,14')を具備してなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のジャイロメーター。
- 各連結アーム(14,14')は、ねじれ軸(30,30')に連結されていることを特徴とする請求項5に記載のジャイロメーター。
- 前記ねじれ軸(30)から第1の距離だけ離れて第1の連結アーム(14)に対して連結された第1、第2の検出共振子(22,34,40)を具備してなることを特徴とする請求項6に記載のジャイロメーター。
- 前記ねじれ軸(30')から第2の距離だけ離れて前記第2の連結アーム(14')に対して連結されたもう一つの第2の検出共振子(22')をさらに具備してなることを特徴とする請求項7に記載のジャイロメーター。
- 前記第1の距離および前記第2の距離は等しく、かつ前記検出共振子(22,22')は前記第1および第2のアーム(14,14')に対して、対応するねじれ軸(30,30')と同一の質量体(12)との間で連結されていることを特徴とする請求項8に記載のジャイロメーター。
- 前記ねじれ軸(30)を中心として対称的に第1の連結アーム(14)に対して連結された二つの第2の検出共振子(22a,22b)を具備してなることを特徴とする請求項7に記載のジャイロメーター。
- 前記ねじれ軸(30')を中心として対称的にかつ前記ねじれ軸(30')から前記第1の距離だけ離れて、前記第2の連結アーム(14')に対して連結された二つの第2の検出共振子をさらに具備してなることを特徴とする請求項10に記載のジャイロメーター。
- 前記第2の検出共振子は、振動ビーム(22)または同調フォーク形共振子(34)の中から選ばれることを特徴とする請求項1ないし請求項11のいずれか1項に記載のジャイロメーター。
- 前記第2の検出共振子(40)は、前記第1の励振共振子(20)によって前記第2の検出共振子(40)に加えられる力を増幅させるための手段に連結されていることを特徴とする請求項1ないし請求項12のいずれか1項に記載のジャイロメーター。
- 前記増幅手段は、共振要素(40)を中心としてヒンジ結合された剛体アーム(44,46)を具備してなることを特徴とする請求項13に記載のジャイロメーター。
- 各第2の共振子(22,34,40)を励振させるための手段(26,28,36,48)を具備してなることを特徴とする請求項1ないし請求項14のいずれか1項に記載のジャイロメーター。
- 前記第2の共振子を励振させるための前記手段は静電式手段であることを特徴とする請求項15に記載のジャイロメーター。
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