JP2007316056A - 表面加工により形成される可変厚さの共振型マイクロ慣性センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面内で励振する共振器4を備えた表面型MEMS共振センサであって−第1の厚さ(E1)を有し、振動マスを構成する、いわゆる厚い第1領域2と、−第1の厚さより小さい第2の厚さ(E2)を有し、検出を行なう薄い第2領域4とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、自動車産業、携帯電話産業、及び航空機産業等の種々の分野に適用することができる。
−ボリューム技術により、ウェットエッチングを使用してシリコン基板又は石英基板の厚さ全体に渡ってセンサの受感要素を形成する。このような技術は特許文献1に記載されている。
−表面技術。この技術は非特許文献1に記載されている。
ボリューム技術により作製される慣性センサは、共振器の平面外部の静電励振に基づいている。従って、これらのセンサでは2つの基板を搭載する必要がある。それら基板の一方は励振/検出電極(群)を形成するために使用され、他方の基板はキャビティを真空状態で閉鎖するために使用される。従って、使用される技術が複雑である。
この種類の技術に関する別の問題は共振器の位置決めであり、つまりこの位置決めを最適化してテコの原理を利用することができないことである。実際、共振器とその励振電極との間のギャップを最小にするために、共振器は基板の表面に配置される。最適には、共振器はヒンジ(マスの回転軸)の出来るだけ近くに配置する必要がある。
これらの図では、軸XX’201はセンサの受感軸である。参照番号202、204、及び206は、振動マス、共振器、及びヒンジをそれぞれ指す。断面図は、マス202及び共振器204が同じ厚さを有することを示している。
受感要素202はmm2オーダーの表面積(上面図において)を有する。
従って、加速度計の場合、好適には0.1mm2未満、場合によっては0.01mm2未満のバルクを備えた現時点で公知のマスよりも小さいマスを備える、更に小型化された部品の新規の設計法を提供する必要がある。
第1の、いわゆる「Above IC」(又はAIC)アプローチでは、MEMSを既に製造されているMOS回路に移す。この場合、MEMSは堆積層によって形成される。堆積させる材料の機械的品質が単結晶シリコンを使用して得られるものよりもかなり低いため、このようにして形成されるセンサの測定性能はかなり低い。
クラス10−2の(クラス10−2以上の)センサの場合、AIC技術により、所望のサイズで必要な性能レベルを達成することは現実的ではないと考えられる。従って、「In−IC」アプローチの方がはるかに有望であると考えられる。しかしながら、このアプローチは、機械構造が十分に小さくない限り有用ではない。実際、このような集積化をコスト面で現実的なものにするためには、センサが占有するシリコン表面をCMOS回路の利点が得られる程度にまで最小化することが適切である。この種類の加速度計の最大バルクは、約0.05mm2を超えないと推定される。比較として、MEMS加速度計(クラス10−2であるか又は10Gの測定レンジを持つ)の受感要素の従来の表面積は0.5mm2(コンタクトパッドを考慮に入れない)を下回ることがほとんどない。MEMSジャイロスコープの場合、受感要素の通常の表面積は20mm2超である。
換言すれば、相似縮小による小型化には、慣性力に対する機械構造の「相対的剛性化」が伴う。
本発明は、表面加工により作製され、複数の厚さを有し、且つ共振器が平面内で励振する共振MEMSセンサに関する。共振MEMSセンサは、例えば加速度計又はジャイロメータである。通常、同じ部品に2つの異なる厚さを持たせることができるだけでなく、2つよりも多くの厚さ、例えば3つの厚さを持たせることができる。
本発明によれば、表面加工により作製される共振センサの設計は、振動マス部分と検出部分との相関を低下させることにより変更される。
第1及び第2の領域は、SOI基板の表面の半導体層に形成することができる。
本発明によって、センサの種々の部分、すなわち
−共振器(群)、
−ヒンジ(群)又はねじれ軸、
−振動マス、
を個別に最適化することができる。
機械的なストップを設けて振動マスの動きを制限することができる。
デジタル検出手段を設けることもでき、この手段は、例えば信号のデジタルフィルタリング及び/又はデジタル処理のための手段を含む。
本発明は、特に、平面内で励振する共振器を備えた表面型MEMS共振センサの製造方法に関し、本方法は、
−第1の厚さ(E1)を有して振動マスを構成する厚い領域を形成すること、及び
−第1の厚さより小さい第2の厚さ(E2)を有して検出を行なう薄い領域を形成すること
を含む。
これらの領域は、SOI基板の表面の半導体材料層を、前記SOI基板の主平面に直交する方向(z)にエッチングすることにより形成することができる。
有利には、薄い領域は表面の半導体層に形成され、このとき厚い領域は、前記表面層上のエピタキシャル半導体層と、前記表面層とに形成される。
これらの図では、軸XX’1はセンサの受感軸である。参照番号2及び4は、それぞれ振動マス及び共振器を指す。参照番号6は加速度計の場合はヒンジを、ジャイロメータ(ジャイロメータについては図8に関連して後述する)の場合はねじれ軸を指す。断面図(図1B)に示すように、マス2と共振器4の厚さは同じではない。マス2の厚さは、例えばμmオーダーの第1の厚さE1であり、これは共振器の厚さE2よりも大きい。比E1/E2は、例えば2〜10である。
図1Cは、本発明による装置の上面図であり、この図ではヒンジが共振器にほぼ直交する。これらの図の平面においては、図1A〜1B及び1Cとは異なる構成を設定することができる。
本発明は、差別構造、すなわち複数のセンサが差別的にアセンブルされる構造に適用することもできる。従って、図1Dは、上記のような構造100、及び同じ種類であるが「頭−尾結合式」に又は差別的にアセンブルされた第2の構造200を模式的に示している。
共振センサは、外部応力(この場合は慣性力)の影響下にある共振器(音叉型又は振動ビーム型)に固有の周波数変化を測定する。利用される応答が周波数であるので、信号のデジタルフィルタリング及び/又はデジタル処理を行う手段10によって直接的に、信号のフィルタリング(ノイズ制限)、及びデータのデジタル処理が可能になる等、電気信号の処理に関連して多数の利点が得られる。実際、振動周波数の測定は、容量測定(i=d(CV)/dt−CdV/dt+V dC/dt、測定される量はV dC/dtである)によって行なわれる。図1Aでは、参照番号15、15’は、それぞれ励振電極及び検出電極を表わす。MOS測定を行なうこともでき、この場合、チャネルの電流が、トランジスタのゲートを構成する共振器構造の動きによって変化する。
−機械的共振による動作。すなわち、振動ボディ2の振幅の最適化による動作。これによって容量検出の精度が高まる。
−容量変化に関連する電気ノイズに殆ど依存しない測定精度。
サイジングの観点から、共振器の断面を極めて小さくすることは無関係ではない。
薄い領域内の種々の機械的要素の断面を小さくすることにより、応力の集中度を高めることができる。これらの応力を解析して、例えば衝撃を受けたときのこれらの要素のゆがみ及び破裂を防止することができる。この問題を解決又は制限するために、マスの動きを制限する機械的なストップを付加することができる。このような機械的なストップ12を図1Bに示す。
共振器を薄くすることはまた、振動の励起能及び/又は検出能を低下させる。電気感度の低下を制限するため、電子部品群を出来る限り近接させるように配置して(できればセンサを「In−IC」アプローチを用いて形成することにより)、信号対雑音比を悪化させ得る寄生容量及び/又は寄生抵抗を小さくすることができる。
本発明による共振センサでは、「3次元」プレーナー技術を使用することにより(すなわち、マス2の平面のエッチングだけでなく、前記平面に直交する方向のエッチングも行なうことにより)、センサの検出部分(ビーム4又は共鳴音叉)と慣性部分(マス2)との相関を低下させることができる。これにより、これらの2つの要素を個別に最適化して、慣性センサの小型化によって生じる感度の低下を克服することができる。このような個別の最適化は、例えば製造段階において、例えば後述するようにそれぞれの領域を個別にエッチングすることにより行なうことができる。
検出共振器の場合、共振器の一定の寸法(断面)を低減すると、感度が増大する。つまり、所定の応力に対する共振周波数の変化が大きくなる。即ち、共振器の断面が小さい程、共振器に加わる応力に応じた共振器の共振周波数の変化が大きくなる。所定の外力が共振器に加わる場合、共振器の共振周波数fの変化は、共振器4の断面が小さい程大きくなる。
上の式において、
fは、軸方向応力Fiが印加される共振器の固有周波数であり、
f0は、応力が印加されない(Fi=0)場合の中心周波数であり、
Fiは、ビーム4に加わる慣性力であり、
L、t及びlは、それぞれビーム4の長さ、厚さ及び幅であり、
Eはヤング率である。
Δf=fFi≠0−f0;Δf/f0はセンサの感度であり、共振器の断面が小さい程大きくなる。
項tl3を小さくして比Δf/f0を大きくすることが望ましい。
共振器の断面を更に小さくするために、振動マス2及びアンカー部に影響を及ぼすことなく共振器4を薄くすることができ、加速度計の場合はヒンジ6、ジャイロメータの場合はねじれ軸といったセンサの他の可動部分を薄くすると確実に有利である。この処理では、「3次元」表面加工技術(又はプレーナー技術)を使用するか、又はMEMSの特定の部分を選択的に薄くする本発明による方法を使用する。
第1の方法について、図2A〜2G及び図3A〜3Fを参照して説明する。
まず、SOI基板20を選択する(図2A)。例えば、SOI基板は、厚さ1μmのシリコン層22を、厚さ0.4μmのSiO2酸化皮膜24の上に備える。
エッチングはSiO2層の位置で停止する。次に、例えば2μmの厚さを有するSiO2層を堆積させ(図示せず)、続いて平坦化を行なってシリコン層22の位置で停止し、その後、例えば約0.4μmの厚さを有するSiO232を堆積させる(図2B)。
次に、初期の表面半導体層22の上に、例えば約3μmの厚さのシリコンエピタキシー35を成長させ、層32より厚くする(図2D及び3C)。
次に、機械構造に対してリソグラフィ及び異方性エッチング(例えば、DRIE)を行ない(図2F及び3E)、エッチングはSiO2二酸化皮膜24の位置で停止する。この工程によって、同じ処理の間に、振動マス及びヒンジ6を同じ厚さに形成することができる。
次に、皮膜24のHFエッチング(ウェット又は気相)を行なうことにより装置を解放する(図2G及び3F)。
まず、SOI基板20を選択する(図4A)。例えば、SOI基板は、厚さ4μmのシリコン層22を、厚さ0.4μmのSiO2酸化皮膜の上に備える。
次に、機械構造のリソグラフィ及びDRIEエッチングを行ない(図4B及び5B)、エッチングはSiO2二酸化皮膜24の位置で停止する。この工程によって、同じ処理の間に、同じ厚さの材料から、振動マス2と、ヒンジ6及び共振器部分4が形成される領域とを形成することができる。
ヒンジ6及び共振器4の領域の厚さを、例えばエッチング(例えば、RIE又はDRIE)により小さくする(図4D及び5D)。次に、樹脂35を除去する(図4E)。
この方法では、ヒンジ領域及び共振領域は、同じ工程で軸zに沿った深さ方向にエッチングされるので、ヒンジ領域及び共振領域は同じ厚さを有する。一方、振動マスを形成する領域のパターンはこの方向にはエッチングされない。
次に、Ti/Ni/Au金属を堆積させ、続いてリソグラフィエッチングを行ってコンタクト36を形成する(図6A及び7A)。
従って、この工程により、振動マスを形成する領域、共振器を形成する領域、及びヒンジ領域のパターンをエッチングすることができる。このとき、共振器を形成する領域及びヒンジ領域のパターンは、軸zに沿った深さ方向に、別々にエッチングすることができ(図6C及び6D)、よってそれぞれの最終的な厚さを個々に制御することができる。
軸zに沿って共振器のエッチング(例えば、RIE又はDRIE)を行なった後で樹脂35を除去する。
層24のHFエッチング(ウェット又は気相)を行なうことにより装置を解放する(図6E及び7E)。
この第3の方法では、ヒンジ領域及び共振領域の厚さは、これらの領域が異なる工程の間に軸zに沿った深さ方向にエッチングされるために互いに異なり、一方振動マスを形成する領域のパターンはこの方向にはエッチングされない。
3次元機械加工を半導体材料に対して行なうことにより得られる本発明の共振器は、共振器による検出を行なうジャイロメータに特に適している。このようなジャイロメータの原理は特許文献2に示唆されており、図8にも概略を示す。このようなジャイロメータは支持体(図示せず)及び2つの振動マス120、120’を備え、これらの振動マスは支持体の平面(X,Y)内において可動であり、特に振動することができる。これらの2つのマスは連結手段によって接続され、これらの連結手段も支持体に対して可動である。図示の構成では、本実施例では平行な2つの連結アーム140、140’が、手段160、160’により可動マスに接続されている。手段160、160’は、アーム140、140’に対して2つのマス120、120’を可動とするのに十分な可撓性を有する一方、マス120、120’の動きをアーム140、140’に伝達するのに十分な剛性を有する。好適には、連結アーム140、140’、及び可撓性手段又は曲がりアーム160、160’は、矩形フレームを形成する。可撓性手段160、160’は、例えば曲がりバネ、又は取り付けタブとすることができる。手段は、マス120、120’を支持体の平面(X,Y)内で振動させるために設けられる。この支持体は、例えば各可動マス120、120’の一方又は両方の面内に収まる励振コーム180、180’である。コーム180、180’は、静電気力によって、第1方向Xに(この場合は図面の左から右に向かって)各マス120、120’を前後に動かす。電磁励振のような他の手段も考慮可能である。
これらの装置の全てに関し、本発明では、振動マス(群)の断面より小さい断面、又は振動マス(群)の厚さよりも小さい厚さを有する、一つ以上の共振器の作製が可能である。
本発明によって、非常に小さなサイズで非常に高い性能(感度)を実現する慣性センサ(加速度計又はジャイロメータ)を得ることができる。
2 振動マス
4 共振器、ビーム
6 ヒンジ又はねじれ軸
10 信号のデジタル処理手段
15、15’ 電極
20 SOI基板
22 シリコン層
24 SiO2酸化皮膜
30 ギャップ
32 SiO2層
34 保護層
35、37 樹脂層
36 コンタクト
100、200 共振センサ
120、120’ 振動マス
140、140’ 連結アーム
160、160’ 可撓性手段、曲がりアーム
180、180’ 励振コーム
200、220 共振器
240 連結手段
260、280 電極
300、300’ ねじれ軸
320、320’ アンカー
Claims (22)
- 平面内で励振する共振器(4)を備えた表面型MEMS共振センサであって、
−第1の厚さ(E1)を有して振動マスを形成する、第1の、いわゆる厚い領域(2)、及び
−第1の厚さより小さい第2の厚さ(E2)を有して検出を行なう第2の、薄い領域(4)
を備えることを特徴とするセンサ。 - 第1領域(2)の表面積Sが0.1mm2未満であることを特徴とする、加速度計である請求項1記載のセンサ。
- 第1領域(2)の表面積Sが5mm2未満であることを特徴とする、ジャイロメータである請求項1記載のセンサ。
- 第1及び第2領域が、SOI基板(20)の表面の半導体層(22)内に形成されることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれか一項に記載のセンサ。
- ヒンジ又はねじれ軸を形成する第3領域(6)を備えることを特徴とする、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のセンサ。
- 第3領域の厚さが、第1領域の厚さと第2領域の厚さとの間であることを特徴とする、請求項5記載のセンサ。
- 第3領域の厚さが第1領域の厚さに等しいことを特徴とする、請求項5記載のセンサ。
- 第3領域の厚さが第2領域の厚さに等しいことを特徴とする、請求項5記載のセンサ。
- 振動マス(2)の動きを制限する機械的なストップ(12)を更に備えることを特徴とする、請求項1ないし8のいずれか一項に記載のセンサ。
- 検出手段(10)を更に備えることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれか一項に記載のセンサ。
- 検出手段(10)が、信号のデジタルフィルタリング及び/又はデジタル処置を行う手段を備えることを特徴とする、請求項10記載のセンサ。
- 差別型にアセンブルされた第1共振センサ(100)及び第2共振センサ(200)を備え、各センサが請求項1ないし11のいずれか一項に記載のセンサであることを特徴とする、表面検出装置。
- 表面型MEMS共振センサの製造方法であって、前記センサが平面内で励振する共振器を備えることを特徴とし、
−第1の厚さ(E1)を有して振動マスを形成する厚い第1の領域を形成すること、及び
−第1の厚さより小さい第2の厚さ(E2)を有して検出を行なう薄い第2の領域を形成すること
を含む方法。 - 厚い領域及び薄い領域は、半導体材料層(22)に対して3次元方向のエッチングを行なうことにより形成することを特徴とする、請求項13記載の方法。
- 薄い領域及び厚い領域は、SOI基板の表面半導体材料層を、前記SOI基板の主平面に直交する方向(z)にエッチングすることにより形成することを特徴とする、請求項13又は14に記載の方法。
- 第1領域の厚さと第2領域の厚さの間の厚さを有する、ヒンジ又はねじれ軸領域と呼ばれる第3領域(6)の形成を更に含むことを特徴とする、請求項13ないし15のいずれか一項に記載の方法。
- 第2領域及び第3領域は、互いに独立したエッチング工程により形成することを特徴とする、請求項16記載の方法。
- 第1領域の厚さに等しい厚さを有する、ヒンジ又はねじれ軸領域と呼ばれる第3領域(6)の形成を更に含むことを特徴とする、請求項13ないし17のいずれか一項に記載の方法。
- 第1領域及び第2領域は、第3領域の形成を可能にするエッチング工程とは別の、単一のエッチング工程の間に形成されることを特徴とする、請求項18記載の方法。
- 第2領域の厚さに等しい厚さを有する、ヒンジ又はねじれ軸領域と呼ばれる第3領域(6)の形成を更に含むことを特徴とする、請求項13ないし19のいずれか一項に記載の方法。
- 第2領域及び第3領域は、第1領域の形成を可能にするエッチング工程とは別の単一のエッチング工程の間に形成されることを特徴とする、請求項20記載の方法。
- 薄い領域を表面半導体層(22)内に形成し、厚い領域を、前記表面層の上にエピタキシャル成長させた表面半導体層(35)内及び前記表面層内に形成することを特徴とする、請求項13ないし21のいずれか一項に記載の方法。
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