JPH10122867A

JPH10122867A - マイクロジャイロ

Info

Publication number: JPH10122867A
Application number: JP8270482A
Authority: JP
Inventors: Masaru Sugiura; 賢杉浦
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1996-08-26
Filing date: 1996-10-14
Publication date: 1998-05-15

Abstract

(57)【要約】【課題】振動片の振動が制約されず、かつ、静電力に
よる支えバネの吸着力を効率良く利用できるマイクロジ
ャイロの提供。【解決手段】駆動電極３を支えバネ２に接近させて設
け、静電力を有効に利用して支えバネ２と振動片１をよ
り強く振動させることができ、かつ、共振状態でも支え
バネ２と接触しない構造。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、角速度を検出す
るマイクロジャイロ（ｍｉｃｒｏ−ｇｙｒｏ）の小型軽
量化に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、角速度センサは船舶や航空機
に搭載されてその航行経路を記録するためのセンサの一
つとして用いられていたが、高い精度が必要で高価だっ
た。近年、各速度の検出はビデオカメラの手ぶれによる
記録映像の動揺を補正したり、自動車の進行方向の記録
や自動車の車体の回転を検出した信号を用いて車体方向
の安定化を図るために重要になっている。これらのビデ
オカメラ用や自動車用の角速度の検出は、船舶や航空機
用のように高い精度を必要としないが、小型で低価格が
求められていた。

【０００３】従来から用いられている音片形、音叉形、
スペリー形などのコリオリ（Ｃｏｒｉｏｌｉｓ）力を検
出することにより角速度を検出する振動ジャイロは小型
化・低価格化が可能であり、全長が数ｃｍ程度までの小
型化が図れているが、さらなる小型化は製作上困難視さ
れている。そこでさらに小型化を図るため、マイクロマ
シニング技術を適用した例が検討されており、１ｍｍ以
下への小型化も可能であるが、角速度の検出感度が現状
では良く無く改善が必要である。

【０００４】図５は音片形振動ジャイロの原理説明図で
ある。振動片１１は支えバネ１２ａおよび１２ｂで支持
され、振動片１１の片面に付けた圧電素子である駆動電
極１３を用いて振動片１１の中心軸１１ａが１１ｂおよ
び１１ｃになるように振動させる。ここで、振動片１１
が加振方向５１の状態で中心軸１１ａに角速度５２が加
わるとコリオリ力５３が発生する。角速度が逆方向であ
ればコリオリ力は逆方向に生ずる。このコリオリ力Ｆ
と、振動片１１の質量ｍと速度ｖと、角速度Ωとの関係
はＦ＝ｍｖΩとなり、角速度Ωが一定であればコリオリ
力の振動数は振動片１１の振動数に当然一致する。そし
てコリオリ力による振動片１１の変位は検出電極１５に
よって静電容量にて検出される。

【０００５】したがって、一定の角速度を高感度で得る
には、振動片の質量と速度を大きくすることが必要で、
速度を大きくするには振動周波数を高くするか振幅を大
きくしなければならない。この振動片１１の振幅を大き
くする方法の一つに振動片を駆動振動方向の共振周波数
で駆動する方法がある。この時、前記のようにコリオリ
力の振動は駆動周波数と同じ周波数のため、振動片１１
を駆動振動方向とコリオリ力の方向の共振周波数を一致
させる構造として、駆動時も検出時も共振による振幅の
増幅が得られる。そのため、図５の構造では振動片の軸
断面四角形状を共振できる正方形にするのが良い。な
お、この構造の寸法は数ｃｍ〜数十ｃｍである。

【０００６】図６はポリシリコンを構造材料としたマイ
クロジャイロの例である。振動片２１と支えバネ２２
ａ，２２ｂとアンカ（ａｎｃｈｏｒ）２４ａ，２４ｂが
一体に組み立てられ、アンカ２４ａ，２４ｂ下はスペー
サを介して基板２６と接合され、他は基板２６と離れて
いる。そして振動片２１の櫛歯に対向し振動片２１を振
動させる方向に駆動電極２３ａ，２３ｂが基板２６に固
定されている。この状態で駆動電極２３ａ，２３ｂの静
電力によって振動片２１を振動させておき、振動片２１
の振動方向に垂直でかつ基板２６と平行で振動片２１の
重心を通過する軸を中心とする回転が加わると、振動片
２１と基板２６との間隙が変化して不図示の検出電極と
の静電容量が変化して、角速度が測定される。なお、こ
の構造の寸法は１ｍｍ以下である。

【０００７】図７は単結晶シリコンを構造材料とした例
で、振動片３１と支えバネ３２とアンカ３４が一体で組
み立てられ、アンカ３４下はスペーサを介して基板３６
と接合され、他は基板３６と離れている。そして振動片
３１に対向して駆動電極３３ａ，３３ｂ、および検出電
極３５を設ける。駆動電極３３ａ，３３ｂによって振動
片３１を基板３６と平行に振動させておき、図５と同様
に角速度が加わると振動片３１は上下のいずれかに移動
して検出電極３５との静電容量の値が変化する。なお、
この構造の寸法は数ｍｍである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述の例は、静電力で
振動片を振動させる時、図６のように櫛歯電極の吸引力
を利用するよりも、図７に示した対向電極の吸着力を用
いる方がマイクロマシニングで製作するような狭い電極
間隙ではより大きな力が得られる。しかし、振動片が共
振周波数で駆動されると、その振幅が増幅されて、振動
片が駆動電極に当たって自由振動ができなくなる。

【０００９】また、マイクロマシニングで製作する時、
各材質の特徴を利用するため基板を例えば単結晶シリコ
ンとし、振動片と支えバネを金属とする。このようなマ
イクロジャイロでは、温度が変わると双方の線膨張率の
差によって熱応力が発生する。この熱応力が大きいと構
造が破壊されるが、破壊されなくても支えバネの張力が
変化して共振周波数が変化するので駆動周波数を共振周
波数に合わせるために複雑な電気回路が必要となる。

【００１０】この発明の目的は、振動片の振動が制約さ
れず、かつ、駆動電極からの静電力による吸着力を効率
良く利用でき、さらに、温度変化に影響されないマイク
ロジャイロを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、一端部が基板に固定された支えバネの他端部に、前
記基板の表面から所定距離離れた上方に位置する振動片
を振動可能に支え、前記振動片を駆動電極によって前記
基板の表面と平行に振動させ、前記振動片と前記基板の
表面との対向間隔の変化を検出電極によって静電容量の
変化として検出するマイクロジャイロにおいて、前記支
えバネは、前記一端部と前記他端部との間の中間部が前
記基板の表面から所定距離離れた上方に位置し、前記駆
動電極を前記支えバネの中間部との対向位置に配備し、
該駆動電極によって前記支えバネを前記基板の表面と平
行に振動可能としたことを特徴とする。

【００１２】請求項２に記載の発明は、請求項１におい
て、前記支えバネは前記振動片の両側を支えるように２
組備えられ、前記駆動電極は、前記２組の支えバネのそ
れぞれとの対向位置に配備されたことを特徴とする。

【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２において、前記駆動電極は、前記支えバネの中間部に
おける前記一端部寄りの部位との対向位置に配備されて
いることを特徴とする。

【００１４】請求項４に記載の発明は、請求項１から３
のいずれかにおいて、前記支えバネの他端部は、前記基
板に部分的に固定された枠の非固定部分に結合されてい
ることを特徴とする。

【００１５】請求項５に記載の発明は、請求項１から４
のいずれかにおいて、前記支えバネは、前記一端部より
も前記他端部が細くされていることを特徴とする。

【００１６】請求項６に記載の発明は、一端部が基板に
固定された支えバネの他端部に、前記基板の表面から所
定距離離れた上方に位置する振動片を振動可能に支え、
前記振動片を駆動電極によって前記基板の表面と平行に
振動させ、前記振動片と前記基板の表面との対向間隔の
変化を検出電極によって静電容量の変化として検出する
マイクロジャイロにおいて、前記基板に枠支えバネの一
端部を固定し、前記枠支えバネの他端部に、前記基板の
表面から所定距離離れた上方に位置する枠を振動可能に
支え、前記枠に前記支えバネの一端部を固定し、前記駆
動電極を前記枠との対向位置に配備し、該駆動電極によ
って前記枠を前記基板の表面と平行に振動可能としたこ
とを特徴とする。

【００１７】請求項７に記載の発明は、請求項６におい
て、前記支えバネは、前記枠の両側内周部に前記振動片
の両側を支えるように２組備えられ、前記枠支えバネ
は、前記枠の両側を支えるように２組備えられたことを
特徴とする。

【００１８】請求項８に記載の発明は請求項６または７
において、前記枠支えバネは、前記枠の両側外周部を支
えるように該枠の外側に２組備えられていることを特徴
とする。

【００１９】請求項９に記載の発明は、請求項６または
７において、前記枠支えバネは、前記枠の両側内周部を
支えるように該枠の内側に２組備えられていることを特
徴とする。

【００２０】請求項１０に記載の発明は、請求項６から
９のいずれかにおいて、前記振動片と前記支えバネから
なる振動系の共振周波数と、前記枠と前記枠支えバネか
らなる振動系の共振周波数が異なることを特徴とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。

【００２２】（第１の実施形態）図１は、本発明の第１
の実施形態を説明するための斜視図である。

【００２３】表面が絶縁された基板６上にアンカ４（４
ａ，４ｂ）、駆動電極３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）、
検出電極５を固定し、検出電極５と間隔を保つように振
動片１を支える支えバネ２（２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）
がアンカ４に固定される。したがって、支えバネ２は、
基板６上の浮上構造物としての振動片１と支えバネ２を
支えることになる。これらアンカ４、駆動電極３、検出
電極５、振動片１、支えバネ２の材料はいずれも電気伝
導性が良好な金属とする。振動片１、支えバネ２、アン
カ４を接地電位に接続し、駆動電極３ａ，３ｃと３ｄ，
３ｄに電圧を交互に加えることにより、振動片１を基板
１と平行に上方で振動させる。アンカ４ａと４ｂを結ぶ
軸周りに角速度が加わると、振動片１に発生するコリオ
リ力つまり基板６表面に垂直な方向のコリオリ力は角速
度に比例し、検出電極５との間隔が変化して静電容量も
同時に変化する。

【００２４】この構造は振動片１を両側から支えバネ２
で支え、その支えバネ２の他端を基板６に固定するた
め、振動片１と支えバネ２の振動系は一本の弦のように
振動する。その振幅は振動片１にて最大となり、支えバ
ネ２の固定部近くは小さい。そのため、振動片１を振動
させる駆動電極３を支えバネ２に対向させて配置する
と、駆動電極３は振動片１の最大振幅より小さな位置に
あるため、支えバネ２のより近くに配置しても、振動系
が駆動電極３に接触せず、その振幅が制限されることが
無い。その結果、駆動電極３を支えバネ２のより近くに
設置して振動系に大きな力を作用させることができる。

【００２５】（第２の実施形態）図２は、本発明の第２
の実施形態を説明するための斜視図である。

【００２６】図２において、振動片１は支えバネ２を介
して枠４ｃと結合されており、枠４ｃはアンカ４ｍ，４
ｎを介して基板６に固定される。振動片１と支えバネ２
と基板６の線膨張率が異なることにより生ずる熱応力
は、枠４ｃとアンカ４と基板６間に生ずるが、支えバネ
２と振動片１には熱応力が生じない。つまり、振動片１
と支えバネ２を同一材質の枠４ｃに固定し、枠４ｃを基
板６に接合することにより、基板材との熱膨張率の差に
よる膨張差を枠４ｃで受けて支えバネ２に加わらない。
そのため、振動系の共振周波数は一定に保たれる。

【００２７】本例では、図２からも明らかなように、枠
７の短辺部分の内側に支えバネ２を取り付け、枠７の長
辺部分をアンカ４ｍ，４ｎによって基板６に固定してい
る。つまり、支えバネ２は、基板６に部分的に固定され
る枠７の非固定部分に取り付けられていることになる。
振動片１、支えバネ２、および枠７は、金属やポリシリ
コンなどの同一材料により製作され、その材料は、基板
６の材料としての単結晶シリコンやガラスなどとは異な
る。温度変化が生じた場合、支えバネ２ｂ，２ｄの長手
方向において、振動片１、支えバネ２との浮上構造物
と、基板６との間には、熱膨張率の差による膨張差が生
じるものの、その膨張差は枠７の短辺部分の変形によっ
て吸収されることになる。この結果、前述したように、
振動辺１と支えバネ２とによって構成される浮上構造物
のバネおよび質量系の固有振動数が変化しなくなる。

【００２８】（第３の実施形態）図３は、本発明の第３
の実施形態における振動片２の変位状態の説明図であ
る。

【００２９】振動片１は支えバネ２を経てアンカ４で支
えられ、駆動電極３によって振動片１は図のような状況
にもなり、支えバネ２は駆動電極３に触れずに振動片１
を自由振動させる。支えバネ２の各々は両持ちの梁の動
きを示すため、図のように振動片１とアンカ４との固定
部は平行を保って剛性が高い振動系を構成する。図４は
この剛性を低下させる一例で、支えバネ２（２ｐ，２
ｑ，２ｒ，２ｓ）のアンカ４との固定部は図３と同様で
あるが、それらの支えバネ２と振動片１との固定部（支
えバネ２ｒではＨ部）の幅を狭くして図のように撓りや
すくする構成である。この構成によると図３と同じ駆動
力で振幅をよく大きくすることができる。

【００３０】振動系の変位の検出感度を高めるには振動
片１の基板平行方向と基板垂直方向の共振周波数をほぼ
一致させる必要があり、また支えバネ２の断面形状を長
手方向に均一でなく一部を細くすると曲がり易くなる。
この一部を細くすることによって支えバネ２の振動によ
る形状は固定支持から支え支持になる。これが図３と図
４の違いである。

【００３１】ここで、振動計の変位の検出感度について
説明する。その検出感度を高めるためには、振動片１が
駆動電極３の静電力によって強制振動される基板平行方
向（図１中の±Ｙ方向）と、コリオリ力によって強制振
動される基板垂直方向（図１中の±Ｚ方向）の共振周波
数が一致する必要がある。その理由は、＋Ｙ方向に振動
するときに−Ｚ方向の振動が発生し、−Ｙ方向に振動す
るときに＋Ｚ方向の振動が発生するからである。±Ｚ方
向の共振周波数を決めるためには、支えバネ２の全体に
渡っての断面形状を変えてもよいが、図４の場合には、
支えバネ２の長手方向における一部の断面形状を部分的
に変えている。また、図４のように支えバネ２の一部を
細くすることによって、支えバネ２の振動による形状は
固定支持から支え支持になるが、ここで支え支持とは、
図４のように振動片１と支えバネ２との結合部の変形が
若干許容される弾性的な支持であり、図３のように振動
片１と支えバネ２との結合部が固定的である場合とを比
較するために用いた。

【００３２】いずれにしても図３および図４の場合に
は、駆動電極３が振動片１の両側にある場合よりも小さ
な間隙で駆動電極３を配置でき、さらに図４のような支
え支持の場合には、振動片１の同一振幅に対し支えバネ
２の固定側の振幅が小さく、その部分に駆動電極３を設
けて、支えバネ２と駆動電極３との間隙が小さくても両
者が接触することなしに振動片１の大きな振幅を得るこ
とができる。なお、駆動電極３の位置は支えバネ２の中
央から振動片１側にても同様な結果を得られる。

【００３３】（第４の実施形態）図８から図１０は、本
発明の第４の実施形態の説明図である。

【００３４】図１において、表面が電気的に絶縁された
基板６上にアンカ４（４ａ，４ｂ）が機械的に接合して
配置され、そのアンカ４に一端が機械的に接合された枠
支えバネ７（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）の他端に平面略
長方形の枠８が機械的に接合されることによって、枠８
が基板６の上方位置に支えられている。さらに、一端が
枠８の短辺部分に機械的に接合された支えバネ２（２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）の他端に振動片１が機械的に接
合されることによって、図９のように、基板６上に配置
された検出電極５の上方位置にて振動片１が支えられて
いる。駆動電極３（３ａ，３ｂ）は、枠８の両側部と対
向するように基板６上に配置されている。アンカ４、枠
支えバネ７、枠８、支えバネ２、および振動片１は、良
好な電気伝導性のある例えば金属材料により成形する。

【００３５】使用に際しては、振動片１、支えバネ２、
枠８、枠支えバネ７、アンカ４を接地電位とし、駆動電
極３ａ，３ｂに交互に電圧を印加して、枠８を基板６の
表面と平行に振動させる。振動片１と支えバネ２と構成
される振動部の基板６の表面と平行方向の共振周波数に
対して、枠８の振動周波数が近いとき、その振動部が共
振して、基板６の表面と平行な方向において振動片１の
大きな振幅を得ることができる。このとき、振動片１の
支えバネ２の軸周りに角速度が作用すると、振動片１に
対して、基板６の表面に垂直方向に角速度の大きさに比
例するコリオリ力が働き、振動片１は基板６との間のギ
ャップを変化させるように振動する。そのギャップの変
化を振動片１と検出電極５との間の静電容量の変化とし
て検出することにより、前出の角速度の大きさを検出す
る。

【００３６】ところで、枠８を振動させたとき、その枠
８の振動数が、振動片１と支えバネ２とで構成される振
動部の固有振動数であり、かつ枠８の固有振動数とは異
なるとき、枠８の振幅は小さいまま、振動片１に大きな
振幅を得ることができる。その結果、駆動部となる枠８
と駆動電極３との間のギャップを小さくして大きな駆動
力を得ながらも、振動片１に大きな振幅を与えることが
可能となる。図８、図９のような構成においては、通
常、振動片１と支えバネ２とで構成される振動部の固有
振動数と、枠８の固有振動数とは異なるものとなる。

【００３７】図１０は、図８、図９の構造の模式図であ
り、駆動電極３によって枠８が図１０中の矢印方向に加
振される。その振動数を振動片１と支えバネ２からなる
振動系の固有振動数（枠８と枠支えバネ７からなる振動
系の固有振動数とは異なる）とすることにより、枠８と
枠支えバネ７からなる振動系は共振せずに、振動片１と
支えバネ２からなる振動系が共振し、枠８の振幅は小さ
くても振動片１には大きな振幅が得られることになる。
図１１は、振動片１と支えバネ２からなる振動部に加え
る加振周波数と振幅との関係の説明図であり、共振周波
数Ｘｎのときの振幅をＲｍａｘとすると、加振周波数が
Ｘｎ±△Ｘｎのときに振幅がＲｍａｘ／２^1/2となる。
ここで、△Ｘｎ＝２ζＸｎ、ζ＝ｃ／｛２・（ｍｋ）
^1/2｝である（ｃ；減衰係数、ｍ；質量、ｋ；バネ定
数）。したがって、枠８を振動させる周波数をＸｎ±△
Ｘｎ程度とすることにより、振動片１の大きな振幅が得
られることになる。

【００３８】また、振動片１、支えバネ２、枠８、およ
び枠支えバネ７を同一材料により形成し、それらによっ
て成る浮上構造物と基板６との熱膨張率の差によって生
じる熱膨張の差を枠８および枠支えバネ７に吸収させ
て、それを振動片１および支えバネ２に加わりにくくす
ることにより、振動片１と支えバネ２からなる振動部の
共振周波数に影響を与えないようにすることもできる。

【００３９】（第５の実施形態）図１２は、本発明の第
５の実施形態を説明するための斜視図である。

【００４０】本例は、枠８の内側に位置するようにアン
カ４（４ａ，４ｂ）を配置し、そのアンカ４と枠８の内
側との間に枠支えバネ７（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）の
両端を機械的に結合して、枠８を支えるようになってい
る。その枠８には、支えバネ２（２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ）を介して振動片１が支えられている。枠８の外側に
駆動電極３（３ａ，３ｄ）が配設され、また基板６の上
面に振動片１と対向する検出電極（図示せず）が配設さ
れていることは、前述した第４の実施形態と同様であ
り、本例によっても第４の実施形態と同様に機能する。

【００４１】このように、本例の場合は、枠８の内側に
アンカ４と枠支えバネ７を配置しているため、マイクロ
ジャイロ全体の小型化が可能となる。また、本例の場合
は、前述した第４の実施形態の場合に比して、アンカ４
ａ，４ｂの間隔を小さく設定することができ、このこと
は熱応力の影響を回避する上においてきわめて有利とな
る。すなわち、枠支えバネ７に生じた熱応力は枠８によ
って吸収され、またアンカ４の左右両側に枠支えバネ７
からの熱応力が掛かって、それらの熱応力が互いに相殺
し合うため、アンカ４が基板６から剥離するおそれもな
い。

【００４２】

【発明の効果】この発明によれば、振動片が支えバネで
支えられ、この振動系が振動されて角速度が測定される
マイクロジャイロにおいて、振幅が振動片より小さな支
えバネとの対向位置に駆動電極を接近させて配設するこ
とにより、振動片が共振しても支えバネが駆動電極に接
せず、かつ、支えバネを効率よく振動させて、角速度の
検出感度をより良くすることができ、例えば、図７とほ
ぼ同じ大きさでは２倍〜４倍の角速度の検出感度が得ら
れる。

【００４３】また、この発明によれば、基板と主要部材
の線膨張率が異なることによる熱応力が角速度の検出に
影響しない構造とすることができる。

【００４４】さらに、この発明によれば、支えバネと振
動片との固定部の振動方向の剛性を低くすることによ
り、振動片の振幅をより大きくすることができる。

【００４５】また、この発明によれば、枠を枠支えバネ
によって支え、さらに、その枠に支えバネによって振動
片を支え、振幅が振動片より小さな枠との対向位置に駆
動電極を接近させて配設することにより、振動片が共振
しても枠が駆動電極に接せず、かつ、枠を効率よく振動
させて、角速度の検出感度をより良くすることができ
る。

【００４６】また、振動片、支えバネ、および枠支えバ
ネを枠の内側に配備することにより、マイクロジャイロ
の小型化を図ることができると共に、熱膨張差の影響を
回避することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態を説明するための斜
視図である。

【図２】この発明の第２の実施形態を説明するための斜
視図である。

【図３】この発明の第３の実施形態における振動片の変
位状態を説明するための平面図である。

【図４】この発明の第３の実施形態における振動片の変
形例の変位状態を説明するための平面図である。

【図５】音片形振動ジャイロの動作原理図である。

【図６】従来例を説明するためのの斜視図である。

【図７】他の従来例を説明するための斜視図である。

【図８】この発明の第４の実施形態を説明するための斜
視図である。

【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。

【図１０】図８の構成の模式図である。

【図１１】図８の振動片と支えバネからなる振動部に加
える加振周波数と振幅との関係の説明図である。

【図１２】この発明の第５の実施形態を説明するための
斜視図である。

【符号の説明】

１振動片２ａ支えバネ３ｂ駆動電極４ａアンカ４ｃ枠５検出電極６基板７枠支えバネ８枠１１振動片１１ａ中心軸１２ａ支えバネ１３駆動電極２１振動片２２ａ支えバネ３１振動片５１加振方向５２角速度５３コリオリ力

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一端部が基板に固定された支えバネの他
端部に、前記基板の表面から所定距離離れた上方に位置
する振動片を振動可能に支え、前記振動片を駆動電極に
よって前記基板の表面と平行に振動させ、前記振動片と
前記基板の表面との対向間隔の変化を検出電極によって
静電容量の変化として検出するマイクロジャイロにおい
て、前記支えバネは、前記一端部と前記他端部との間の中間
部が前記基板の表面から所定距離離れた上方に位置し、前記駆動電極を前記支えバネの中間部との対向位置に配
備し、該駆動電極によって前記支えバネを前記基板の表
面と平行に振動可能としたことを特徴とするマイクロジ
ャイロ。
【請求項２】前記支えバネは前記振動片の両側を支え
るように２組備えられ、前記駆動電極は、前記２組の支えバネのそれぞれとの対
向位置に配備されたことを特徴とする請求項１に記載の
マイクロジャイロ。
【請求項３】前記駆動電極は、前記支えバネの中間部
における前記一端部寄りの部位との対向位置に配備され
ていることを特徴とする請求項１または２に記載のマイ
クロジャイロ。
【請求項４】前記支えバネの他端部は、前記基板に部
分的に固定された枠の非固定部分に結合されていること
を特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のマイク
ロジャイロ。
【請求項５】前記支えバネは、前記一端部よりも前記
他端部が細くされていることを特徴とする請求項１から
４のいずれかに記載のマイクロジャイロ。
【請求項６】一端部が基板に固定された支えバネの他
端部に、前記基板の表面から所定距離離れた上方に位置
する振動片を振動可能に支え、前記振動片を駆動電極に
よって前記基板の表面と平行に振動させ、前記振動片と
前記基板の表面との対向間隔の変化を検出電極によって
静電容量の変化として検出するマイクロジャイロにおい
て、前記基板に枠支えバネの一端部を固定し、前記枠支えバネの他端部に、前記基板の表面から所定距
離離れた上方に位置する枠を振動可能に支え、前記枠に前記支えバネの一端部を固定し、前記駆動電極を前記枠との対向位置に配備し、該駆動電
極によって前記枠を前記基板の表面と平行に振動可能と
したことを特徴とするマイクロジャイロ。
【請求項７】前記支えバネは、前記枠の両側内周部に
前記振動片の両側を支えるように２組備えられ、前記枠支えバネは、前記枠の両側を支えるように２組備
えられたことを特徴とする請求項６に記載のマイクロジ
ャイロ。
【請求項８】前記枠支えバネは、前記枠の両側外周部
を支えるように該枠の外側に２組備えられていることを
特徴とする請求項６または７に記載のマイクロジャイ
ロ。
【請求項９】前記枠支えバネは、前記枠の両側内周部
を支えるように該枠の内側に２組備えられていることを
特徴とする請求項６または７に記載のマイクロジャイ
ロ。
【請求項１０】前記振動片と前記支えバネからなる振
動系の共振周波数と、前記枠と前記枠支えバネからなる
振動系の共振周波数が異なることを特徴とする請求項６
から９のいずれかに記載のマイクロジャイロ。