CN112352185B

CN112352185B - 调整扫描镜的谐振频率

Info

Publication number: CN112352185B
Application number: CN201980043112.6A
Authority: CN
Inventors: M·A·钱皮恩; U·巴兰; J·O·米勒; W·O·戴维斯; G·T·吉布森
Original assignee: Microsoft Technology Licensing LLC
Current assignee: Microsoft Technology Licensing LLC
Priority date: 2018-06-27
Filing date: 2019-06-03
Publication date: 2022-12-02
Anticipated expiration: 2039-06-03
Also published as: US11029512B2; EP3814826A1; WO2020005467A1; EP3814826B1; CN112352185A; US20200004011A1

Abstract

公开了涉及扫描显示系统的示例。一个示例提供了包括控制器、光源和扫描镜系统的显示设备。扫描镜系统包括扫描镜和机电致动器系统，扫描镜被配置为以扫描镜的谐振频率在至少一个方向上扫描来自光源的光，机电致动器系统与扫描镜耦合，并且由控制器可控制以调整扫描镜的谐振频率。

Description

调整扫描镜的谐振频率

技术领域

本公开涉及扫描显示技术领域，并且更具体地，涉及用于调整扫描镜的谐振频率的显示设备及方法。

背景技术

在扫描显示系统中，来自光源的光可以经由可控制的反射镜在一个或多个方向上被扫描，以产生可视的图像。

发明内容

公开了涉及扫描显示系统的示例。一个示例提供了包括控制器、光源和扫描镜系统的显示设备。扫描镜系统包括扫描镜，其被配置为以扫描镜的谐振频率在至少一个方向上扫描来自光源的光，并且扫描镜还包括机电致动器系统，机电致动器系统与扫描镜耦合，并且由控制器可控制以调整扫描镜的谐振频率。

提供本发明内容以简化的形式介绍一些概念，这些概念将在下面的具体实施方式中被进一步描述。本发明内容不旨在标识所要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求保护的技术方案的范围。此外，所要求保护的技术方案不限于解决本公开的任何部分中提及的任何或所有缺点的实现。

附图说明

图1示意性地示出了示例显示设备。

图2示出了包括第一示例机电致动器系统的示例扫描镜系统。

图3示出了第二示例机电致动器系统。

图4A-图4B示出了第三示例机电致动器系统。

图5示意性地示出了用于调整扫描镜系统中的扫描镜的谐振频率的示例电路。

图6示出了图示调整扫描镜系统中的扫描镜的谐振频率的示例方法的流程图。

图7A-图7B示出了在制造期间调整扫描镜的质量以调整扫描镜的谐振频率的示例。

图8示出了图示制造扫描显示系统的示例方法的流程图。

具体实施方式

一些扫描显示系统可以以较慢的速率在第一方向上、并且以较快的速率在第二方向上扫描来自光源的光，以对用于显示的图像进行光栅扫描。在一些示例中，分开的反射镜可以用于不同的扫描方向，而在其他的一些示例中，同一反射镜可以用于在两个方向上扫描。各种类型的扫描镜可以被使用，包括但不限于微机电系统(MEMS)反射镜。

视频数据可以具有像素将以此在水平方向上被显示的相关联的行速率，并且具有整个图像或帧将以此在垂直方向上被显示的刷新速率或帧速率。为实现用于高分辨率图像显示器的相对快的行速率(例如，大于20kHz)，基于MEMS的扫描镜可以以其谐振频率被驱动。为促进图像显示，这样的反射镜可以被设计为具有是期望的帧速率的倍数(例如，400)的谐振速率，使得每个新的图像数据帧的扫描在一致的像素位置处开始。然而，由于谐振频率根据反射镜的结构(例如，形状、质量等)而变化，基于MEMS的反射镜的实际谐波频率可以与反射镜针对其而被设计的目标频率稍微不同，例如，由于制造差异和随着时间的使用。这可以导致扫描开始的位置在帧之间的差异，因为反射镜的振荡频率可以不是帧速率的确切倍数。此外，不同的视频数据可以具有相异的帧速率。数据缓冲可以用作针对这样的问题的一个可能的缓解策略。然而，这可能增加成本、复杂性和显示延时，其可能使该策略对于期望低显示时延的显示情况(诸如在虚拟现实或混合现实头戴式显示器中)不成立。用于补偿的其他机制(诸如帧锁定机制)可能引入类似的不期望的问题。

因此，公开了涉及调整显示设备中的扫描镜的谐振频率以允许谐波振荡的扫描镜与视频数据帧速率同步的示例。如下面更详细地描述的，所公开的示例可以允许显示设备动态地使操作适于补偿谐振频率中的制造差异、视频数据中的差异，和/或适于为由于诸如老化、温度等因素可能随着时间发生的谐振频率的改变而调整。以这种方式，适当的帧显示可以在不包括大型缓冲和/或帧锁定机制的情况下实现。

图1示意性地示出了与视频源102通信的示例显示设备100。显示设备100包括操作地耦合到扫描镜系统106和光源108的控制器104。控制器104被配置为控制光源108基于从视频源102接收到的视频图像数据发射光。光源108可以包括任何合适的发光元件，诸如一个或多个激光器。光源108可以输出在支持彩色图像的产生的任何合适波长范围内的光，例如，红、绿和蓝波长范围。在其他的一些示例中，光源108可以输出大体上单色的光。

扫描镜系统106包括一个或多个扫描镜110，其可控制以使来自光源的光被反射的角度变化，以从而扫描图像。如上面所提及的，扫描镜系统106可以包括被配置为在水平方向和垂直方向上扫描光的单个反射镜，或者用于在水平方向和垂直方向上扫描的分开的反射镜。在其他的一些示例中，扫描镜系统106可以经由任何合适数目的反射镜以任何其他合适的方式来扫描光。

由扫描镜系统106反射的光被引导朝向输出112以用于扫描图像的显示。输出112可以采取任何合适的形式，诸如投影光学元件、波导光学元件等。显示设备100可以被配置为虚拟现实头戴式显示器(HMD)设备、混合现实HMD设备、或者任何其他合适的显示设备，诸如平视显示器、移动设备显示器、监视器、电视等。

如上面所提到的，扫描镜系统106可以被配置为经由MEMS反射镜的谐波振荡在水平方向上扫描光。然而，由于制造公差和基于使用的因素，基于MEMS的扫描镜的实际谐振频率可以从目标扫描速率变化。相应地，扫描镜系统106包括机电致动器系统114，其包括一个或多个致动器116，一个或多个致动器116可控制以调整谐振频率，以将(多个)扫描镜116的水平扫描速率同步到接收到的视频的行速率。如下面更详细地描述的，机电致动器系统114可以被配置为改变支撑谐波振荡反射镜110的支撑件(挠曲件)中的张力，和/或改变反射镜中的质量分布，以从而调整反射镜振荡所处于的谐振频率。

图2示出了包括第一示例机电致动器的示例扫描镜系统200。扫描镜系统200包括经由第一挠曲件206和第二挠曲件208而附接到框架204的MEMS反射镜202。第一挠曲件206和第二挠曲件208可以提供相应的枢轴，反射镜可以经由枢轴旋转并且从而改变其角度定向，以使来自光源的光被反射的角度变化。取决于扫描镜系统200被并入到显示设备中的定向，反射镜202可以在水平方向或垂直方向上扫描。

扫描镜系统200还包括机电致动器系统，其包括与第一挠曲件206邻近地耦合到框架204的第一致动器212，以及与第二挠曲件208邻近地耦合到框架的第二致动器214。第一致动器212和第二致动器214可致动以响应于电信号来调整第一挠曲件206和第二挠曲件208中的相应张力。在图2中所描绘的示例中，致动器212和致动器214跨越框架204中的相应间隙215。致动器212和致动器214可以跨间隙215施加相应的力，其可以被变化以调整挠曲件206和挠曲件208中的张力，并且从而调整反射镜202的谐振频率。例如，在接收到具有第一极性(例如，正)的电信号时，致动器212和致动器214可以跨间隙215施加收缩力，从而增大挠曲件206和挠曲件208中的张力和反射镜202的谐振频率。具有不同的第二极性(例如，负)的电信号可以使致动器212和致动器214跨间隙215施加扩张力，从而减小挠曲件206和挠曲件208中的张力和反射镜202的谐振频率。此外，由致动器212和致动器214施加到挠曲件206和挠曲件208的力的幅度以及因此的对反射镜202的谐振频率的调整的幅度可以通过控制被施加到致动器的电信号的幅度而被控制。

控制器(例如，图1的控制器104)可以生成控制信号，控制信号用于控制镜系统200的机电致动器系统以调整反射镜202的谐振频率。为允许控制器实现并且维持期望的谐振频率，扫描镜系统200可以包括被配置为感测镜运动(例如，通过感测挠曲件208中的应变)的反馈设备216。反馈设备216可以响应于挠曲件208在第一方向上的扭转提供正输出，并且响应于挠曲件在相反的第二方向上的扭转提供负输出，其中镜运动的程度可以由来自反馈设备216的输出信号的幅度指示。虽然所描绘的示例示出了被布置在挠曲件208上的单个反馈设备216，但是任何其他合适数目和布置的反馈设备可以被使用。此外，虽然上面被描述为感测应变，但是不同于应变计的任何其他合适的传感器可以在其他示例中被使用。

图3示出了另一示例扫描镜系统300，其包括被配置为调整扫描镜系统的谐振频率的机电致动器系统。扫描镜系统300包括经由第一挠曲件306和第二挠曲件308而附接到框架304的扫描镜302。在该示例中，机电致动器系统包括与第一挠曲件306邻近地耦合到框架304的第一致动器对312，以及与第二挠曲件308邻近地耦合到框架的第二致动器对314。致动器对310和致动器对312中的每个致动器跨越框架304中的相应间隙314。个体致动器在挠曲件306和挠曲件308的每一侧离开挠曲件306和挠曲件308的间隔可以提供机械优势，从而支持挠曲件张力和反射镜302的谐振频率能够在其中被调整的更大范围。

镜系统200和镜系统300的机电致动器系统可以利用任何合适类型的致动器。在一些示例中，每个致动器可以包括基于所施加的电压改变尺寸的压电材料。在其他的一些示例中，每个致动器可以包括磁性致动器，其中磁性元件之间的磁力可以经由电信号而变化。在又一些其他实例中，每个致动器可以包括静电致动器，其中电极之间的电场可以被变化以调整挠曲件张力。作为另一的示例，每个机电致动器可以利用一个或多个双金属条，其中不同材料的相异的热膨胀系数可以被利用以使挠曲件张力变化。此外，机电致动器系统的(多个)致动器可以被布置在扫描镜系统中的任何合适的位置处。在一些示例中，框架204和框架304可以从微加工硅裸片形成，并且机电致动器可以与反射镜202或反射镜302被定位在同一裸片表面上，或者被定位在相对的裸片表面上。

在上面的示例中，扫描镜的谐振频率通过改变支撑反射镜的挠曲件中的张力而被调整。在其他的一些示例中，谐振频率可以通过移动耦合到扫描镜的质量块而被调整。图4A-图4B示出了示例扫描镜系统400，其包括经由第一挠曲件406和第二挠曲件408而附接到框架404的反射镜402，并且还包括耦合到扫描镜402的一个或多个可移动质量块410A、可移动质量块410B。在平衡的配置中，质量块410可以具有大致相等的质量并且被布置在挠曲件406和挠曲件408的相对侧上。图4A示意性地示出了镜系统400的第一状态，其中可移动质量块410被布置在相对于反射镜402的第一相应定位(例如，定向和/或相对位置)中，而图4B示出了镜系统的第二状态，其中可移动质量块410A、可移动质量块410B被布置在相对于反射镜的第二相应定位处。在第二定位中，可移动质量块410A、可移动质量块410B相对于第一定位中的质量分布，被移动而更加远离反射镜的振荡轴线。将质量块移动远离振荡轴线可以减小谐振频率，而将质量移动靠近振荡轴线可以增大谐振频率。在一些示例中，弹簧臂可以将可移动质量块410耦合到反射镜402(或者镜系统400中的另一合适位置)，从而支持可移动质量块的相对位置的调整，并且因此支持利用合适的相应致动器412A、致动器412B对反射镜的谐振频率的调整。致动器412可以采取任何合适的形式。例如，耦合到反射镜402的质量块可以包括磁性材料，并且致动器412可以包括被配置用于质量块的磁性致动的电磁体。在其他的一些示例中，致动器412可以利用静电力吸引可移动质量块410。虽然图4B描绘了可移动质量块410A、可移动质量块410B两者的移动，但是在其他的一些实施例中，单个可移动质量块可以经历致动以调整反射镜402的谐振频率。此外，虽然被示出为包括耦合到反射镜402的两个可移动质量块，但是基于可移动质量块的机电致动器系统的任何合适的实现是可能的，其可以包括任何其他合适数目的(多个)可移动质量块和/或(多个)可移动质量块到镜系统400中的其他位置的耦合。

图5示意性地示出了用于调整扫描镜系统中的扫描镜的谐振频率的示例电路500。例如，电路500可以用于调整镜系统110、镜系统200、镜系统300、和/或镜系统400中的反射镜的谐振频率。例如，电路500可以至少部分地在图1的控制器104中被实现。

电路500与扫描镜系统502接合，扫描镜系统502包括具有谐振频率的扫描镜，扫描镜由振荡器驱动器504以谐振频率驱动。镜系统502输出指示反射镜的谐振频率的信号，其由放大器506放大并且被反馈到振荡器驱动器504中。

指示扫描镜系统502的扫描镜的谐振频率的经放大的反馈信号由除法器507接收，除法器507将谐振频率除以整数(例如，由镜系统502扫瞄的图像中的水平行的数目)，从而产生指示镜系统的帧速率或垂直扫描速率的信号。该反射镜帧速率由相位检测器508接收，相位检测器508还接收指示被显示的视频图像数据的帧速率的信号。检测器508将反射镜帧速率与视频帧速率进行比较，并且作为响应生成馈送到调谐驱动器510的信号，以从而生成用于控制扫描镜系统502的机电致动器系统的控制信号。控制信号可以使机电致动器调整扫描镜系统502的扫描镜的谐振频率，使得反射镜的垂直扫描速率与视频图像数据的帧速率同步。在一些示例中，控制信号可以使反射镜的水平扫描速率与视频图像数据的行速率同步。在其他的一些示例中，垂直扫描镜或其他合适的扫描镜可以被调整。

图6示出了图示调整扫描显示设备中的扫描镜的谐振频率的方法600的流程图。在602处，方法600包括从视频源接收视频图像数据。在604处，方法600包括经由与扫描镜耦合的机电致动器系统，基于视频图像数据的帧速率调整扫描镜的谐振频率。如606处所指示的，在一些示例中，调整谐振频率可以包括将扫描镜的水平扫描速率与帧速率的倍数同步(例如，视频图像数据的行速率)。在一些示例中，扫描镜可以包括经由第一挠曲件和第二挠曲件而附接到框架的反射镜，并且调整谐振频率可以包括调整第一挠曲件和第二挠曲件的张力。在这样的示例中，如谐振频率可以经由一个或多个压电致动器608、经由一个或多个双金属条610、经由一个或多个磁性致动器、和/或经由一个或多个静电致动器被调整。备选地或者附加地，如在616处所指示的，谐振频率可以通过经由一个或多个可移动质量块重新分布反射镜的质量被调整。

如上面所提到的，制造用于扫描镜系统的扫描镜的差异可以导致反射镜具有稍微偏离目标谐振频率的谐振频率。因此，用于制造扫描镜的过程可以通过提供在制造期间对反射镜的谐振频率的调整而解决这样的差异。例如，图7A示出了扫描镜700，其被形成为具有对应于初始谐振频率的初始质量。由于经由制造过程而形成的扫描镜的初始谐振频率可能与期望的目标谐振频率不同，反射镜700被形成为具有一个或多个牺牲区域702，一个或多个牺牲区域702被配置为其中反射镜质量的一部分可以被移除以将谐振频率调整到对应于减少的质量的目标谐振频率的区。牺牲区域702被示出为占据反射镜700的周界，但是可以被布置在反射镜中的任何其他合适的位置处。

反射镜的谐振频率可以例如经由应变计或其他合适计量器被初始地测量，以确定反射镜的谐振频率。如果谐振频率与目标谐振频率不同，则将被移除以实现目标谐振频率的质量的量和位置可以被确定。在图7B中所描绘的示例中，反射镜700的所测量的谐振频率小于目标谐振频率，并且所计算的质量部分以缺口704的形式从牺牲区域702被移除。谐振频率可以再次被测量。在其他的一些示例中，反射镜700的所测量的谐振频率大于目标谐振频率，并且所计算的质量部分可以在区域702或另一合适的位置中被添加到反射镜。可以使用增大或减少反射镜700的质量的任何方法，包括但不限于材料沉积或激光烧灼。以这种方式，质量可以被添加或移除，直到目标谐振频率被达到或在期望的范围内为止。

图8示出了图示制造扫描显示系统的方法800的流程图。在802处，方法800包括形成具有初始质量和具有初始谐振频率的反射镜。可以使用形成反射镜的任何合适方法，诸如合适的光刻过程。在804处，方法800包括测量谐振频率。在806处，方法800包括，当谐振频率与目标谐振频率不同时，则将反射镜的质量从初始质量调整到经调整的质量以实现目标谐振频率。调整反射镜的质量可以包括通过经由激光烧蚀质量的一部分来减少质量808，或通过沉积添加质量的一部分来增加质量810(例如，经由合适的光刻过程)。在一些示例中，谐振频率可以在质量调整期间持续地被测量，而在其他的一些实例中，在谐振频率测量在质量调整步骤之间被测量的情况下，质量可以逐步地被调整，直到目标谐振频率被达到或者在期望的范围内为止。因为反射镜制造技术、以及用于将质量添加到反射镜或将质量从反射镜移除的技术可能表现出某种程度的公差，如本文中所使用的“目标谐振频率”在一些示例中可以指的是目标谐振频率的范围(例如，期望的目标谐振频率+/-2Hz)。在这些示例中，将反射镜配置为具有目标谐振频率可以包括将反射镜配置为具有由目标谐振频率所指的谐振频率的范围内的谐振频率。

另一示例提供了显示设备，其包括控制器、光源和扫描镜系统，扫描镜系统包括扫描镜和机电致动器系统，扫描镜被配置为以扫描镜的谐振频率在至少一个方向上扫描来自光源的光，机电致动器系统与扫描镜耦合，并且由控制器可控制以调整扫描镜的谐振频率。在这样的示例中，显示设备备选地或附加地可以包括电子电路，其被配置为通过将谐振频率与由显示设备接收到的视频的帧速率进行比较，来生成控制信号以控制机电致动器系统。在这样的示例中，电子电路备选地或附加地可以被配置为将扫描镜的扫描速率与由显示设备接收到的视频的帧速率的倍数同步。在这样的示例中，扫描速率可以是水平扫描速率。在这样的示例中，扫描镜可以包括经由第一挠曲件和第二挠曲件而附接到框架的反射镜。在这样的示例中，机电致动器系统可以包括与第一挠曲件邻近地耦合到框架的第一致动器和与第二挠曲件邻近地耦合到框架的第二致动器，使得第一致动器的致动和第二致动器的致动调整第一挠曲件的张力和第二挠曲件的张力。在这样的示例中，第一致动器和第二致动器备选地或附加地可以跨越框架中的相应间隙。在这样的示例中，机电致动器系统备选地或附加地可以包括与第一挠曲件邻近地耦合到框架的第一致动器对和与第二挠曲件邻近地耦合到框架的第二致动器对。在这样的示例中，机电致动器系统备选地或附加地可以包括压电致动器。在这样的示例中，机电致动器系统备选地或附加地可以包括磁性致动器。在这样的示例中，机电致动器系统备选地或附加地可以包括静电致动器。在这样的示例中，机电致动器系统备选地或附加地可以包括与扫描镜耦合的可移动质量块。在这样的示例中，机电致动器系统备选地或附加地可以包括双金属条。

另一示例提供了在扫描显示设备上进行的方法，其包括：从视频源接收视频图像数据；经由机电致动器系统，基于视频图像数据的帧速率，调整与机电致动器系统耦合的扫描镜的谐振频率；以及经由扫描镜，以谐振频率扫描来自光源的光。在这样的示例中，调整谐振频率可以包括将扫描镜的水平扫描速率与帧速率的倍数同步。在这样的示例中，扫描镜可以包括经由第一挠曲件和第二挠曲件而附接到框架的反射镜，并且调整谐振频率可以包括调整第一挠曲件的张力和第二挠曲件的张力。在这样的示例中，第一挠曲件的张力和第二挠曲件的张力可以经由压电致动器被调整。在这样的示例中，调整谐振频率备选地或附加地可以包括调整与扫描镜耦合的质量块的定位。

另一示例提供了制造扫描显示系统的方法，其包括：形成具有对应于初始谐振频率的初始质量的反射镜；确定具有初始质量的反射镜的谐振频率；以及当谐振频率与目标谐振频率不同时，则将反射镜的质量从初始质量调整到经调整的质量，使得反射镜具有目标谐振频率。在这样的示例中，调整反射镜的质量可以包括以下中的一项或多项：经由沉积过程沉积添加质量的一部分，以及经由激光烧蚀质量的一部分。

将理解，本文中所描述的配置和/或方法在本质上是示例性的，并且这些具体实施例或示例不以限制性的意义被考虑，因为诸多的变化是可能的。本文中所描述的例程和方法可以表示任何数目的处理策略中的一个或多个处理策略。如此，所图示和/或所描述的各种动作可以以所图示和/或所描述的序列、以其他序列、并行地被执行，或者被省略。同样地，上面所描述的过程的顺序可以被改变。

本公开的技术方案包括本文中所公开的各种过程、系统、和配置、以及其他特征、功能、动作、和/或性质的所有新颖的和非显而易见的组合以及子组合，以及其任何的和全部的等效体。

Claims

1.一种显示设备，包括：

控制电路，包括调谐驱动器、相位检测器和振荡器驱动器；

光源；以及

扫描镜系统，包括：

扫描镜，经由挠曲件而附接到框架，所述扫描镜被配置为由所述振荡器驱动器以所述扫描镜的谐振频率驱动，并且从而以所述谐振频率在至少一个方向上扫描来自所述光源的光，以及

机电致动器系统，与所述扫描镜耦合，并且由所述调谐驱动器可控制以调整所述扫描镜的所述谐振频率，所述机电致动器系统包括跨越对应间隙的致动器，所述间隙形成在所述框架中并且与所述挠曲件间隔开，所述致动器被配置为施加以下一项或多项：

跨所述间隙的收缩力，从而增大所述挠曲件中的张力并且增大所述扫描镜的所述谐振频率；以及跨所述间隙的扩张力，从而减小所述挠曲件中的所述张力并且减小所述扫描镜的所述谐振频率，

其中所述控制电路被配置为经由所述相位检测器比较指示视频帧速率的信号和指示所述谐振频率的信号，在执行调整以允许指示所述视频帧速率的所述信号和指示所述谐振频率的所述信号的所述比较之后，由所述相位检测器进行的所述比较被执行，以及基于将指示所述视频帧速率的所述信号与指示所述谐振频率的所述信号进行比较，将信号提供给所述调谐驱动器。

2.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述控制电路被配置为通过将指示所述谐振频率的所述信号除以按视频帧在所述至少一个方向上被扫描的行的数目，来执行所述调整以允许指示所述视频帧速率的所述信号和指示所述谐振频率的所述信号的所述比较。

3.根据权利要求2所述的显示设备，其中所述至少一个方向包括水平方向。

4.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述挠曲件是第一挠曲件，并且所述扫描镜包括经由所述第一挠曲件和第二挠曲件而附接到所述框架的反射镜。

5.根据权利要求4所述的显示设备，其中所述致动器是第一致动器，并且所述机电致动器系统还包括第二致动器，并且其中所述第一致动器与所述第一挠曲件邻近地耦合到所述框架，并且所述第二致动器与所述第二挠曲件邻近地耦合到所述框架，使得所述第一致动器的致动和所述第二致动器的致动调整所述第一挠曲件的张力和所述第二挠曲件的张力。

6.根据权利要求4所述的显示设备，其中所述机电致动器系统包括：与所述第一挠曲件邻近地耦合到所述框架的第一致动器对和与所述第二挠曲件邻近地耦合到所述框架的第二致动器对。

7.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述机电致动器系统包括压电致动器。

8.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述机电致动器系统包括磁性致动器。

9.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述机电致动器系统包括静电致动器。

10.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述机电致动器系统包括与所述扫描镜耦合的可移动质量块。

11.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述机电致动器系统包括双金属条。

12.一种在扫描显示设备上进行的方法，包括：

从视频源接收视频图像数据；

通过经由调谐驱动器控制机电致动器系统，基于由相位检测器提供给所述调谐驱动器的信号来调整与所述机电致动器系统耦合的扫描镜的谐振频率，所述信号基于经由所述相位检测器比较所述视频图像数据的帧速率与所述扫描镜的反射镜帧速率而被确定，所述反射镜帧速率通过将指示所述扫描镜的所述谐振频率的信息除以在一方向上由所述扫描镜在图像中所扫描的行的数目而被确定，所述扫描镜包括经由第一挠曲件和第二挠曲件附接到框架的反射镜，所述机电致动器系统包括第一致动器和第二致动器，所述第一致动器和所述第二致动器各自跨越形成在所述框架中并且与所述第一挠曲件和所述第二挠曲件间隔开的相应间隙，所述第一致动器和所述第二致动器被配置为施加以下一项或多项：跨所述间隙的收缩力，从而增大所述第一挠曲件和所述第二挠曲件中的张力并且增大所述扫描镜的所述谐振频率；以及跨所述间隙的扩张力，从而减小所述第一挠曲件和所述第二挠曲件中的所述张力并且减小所述扫描镜的所述谐振频率；以及

通过经由振荡器驱动器以所述谐振频率驱动所述扫描镜，以所述谐振频率扫描来自光源的光。

13.根据权利要求12所述的方法，其中调整所述谐振频率包括将所述扫描镜的水平扫描速率与所述视频图像数据的所述帧速率的倍数同步。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述第一致动器和所述第二致动器中的每一个包括压电致动器。

15.根据权利要求12所述的方法，其中调整所述谐振频率包括调整与所述扫描镜耦合的质量块的位置。