JPH09269227A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- JPH09269227A JPH09269227A JP8080165A JP8016596A JPH09269227A JP H09269227 A JPH09269227 A JP H09269227A JP 8080165 A JP8080165 A JP 8080165A JP 8016596 A JP8016596 A JP 8016596A JP H09269227 A JPH09269227 A JP H09269227A
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- vibration
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動子の振動が抑制されることがなく、しか
も、高さ寸法が小さい振動ジャイロを提供する。 【解決手段】 振動子２は、支持部材としての二つの線
材８、８によって支持される。線材８、８は金属からな
り、第二の圧電体基板４の主面に平行な方向に突出する
コ字状の屈曲部９、９を備えるものであり、この屈曲部
９、９が、振動子２の共通電極７上のノード部分近傍に
半田付けされる。そして、線材８、８の両端が、枠体１
７の上面１８に半田付けされ、振動子２が中空において
支持固定される。 【効果】振動子２が振動する際には、線材８、８が振動
に追従して変形するため、振動が抑制されることがな
い。また、線材８、８は図面上の垂直方向には屈曲して
いないので、振動ジャイロの高さ寸法は小さくなる。
も、高さ寸法が小さい振動ジャイロを提供する。 【解決手段】 振動子２は、支持部材としての二つの線
材８、８によって支持される。線材８、８は金属からな
り、第二の圧電体基板４の主面に平行な方向に突出する
コ字状の屈曲部９、９を備えるものであり、この屈曲部
９、９が、振動子２の共通電極７上のノード部分近傍に
半田付けされる。そして、線材８、８の両端が、枠体１
７の上面１８に半田付けされ、振動子２が中空において
支持固定される。 【効果】振動子２が振動する際には、線材８、８が振動
に追従して変形するため、振動が抑制されることがな
い。また、線材８、８は図面上の垂直方向には屈曲して
いないので、振動ジャイロの高さ寸法は小さくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロに関
し、例えば回転角速度を検知することにより移動体の位
置を検出し、適切な誘導を行うナビゲーションシステ
ム、または手ぶれ等の外的振動による回転角速度を検知
し適切な制振を行う手ぶれ防止装置等の除振システム等
に応用できる振動ジャイロに関する。
し、例えば回転角速度を検知することにより移動体の位
置を検出し、適切な誘導を行うナビゲーションシステ
ム、または手ぶれ等の外的振動による回転角速度を検知
し適切な制振を行う手ぶれ防止装置等の除振システム等
に応用できる振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の振動ジャイロの構成を、図９およ
び図１０を用いて説明する。
び図１０を用いて説明する。
【０００３】従来の振動ジャイロは、図９に示す振動子
５０を備える。振動子５０は、例えば、ともに短冊状の
第一の圧電体基板５１および第二の圧電体基板５２をダ
ミー電極５３を挟み込んで積層し、接着してなるもので
ある。ここで、第一の圧電体基板５１および第二の圧電
体基板５２は、矢印Ｐで示すように、厚み方向において
互いに逆向きに分極される。なお、第一の圧電体基板５
１および第二の圧電体基板５２は、互いに対向する向き
に分極されてもよい。また、第一の圧電体基板５１の主
面には、その幅方向に間隔をおいて二つの分割電極５
４、５４が形成され、第二の圧電体基板５２の主面に
は、共通電極５５が形成される。
５０を備える。振動子５０は、例えば、ともに短冊状の
第一の圧電体基板５１および第二の圧電体基板５２をダ
ミー電極５３を挟み込んで積層し、接着してなるもので
ある。ここで、第一の圧電体基板５１および第二の圧電
体基板５２は、矢印Ｐで示すように、厚み方向において
互いに逆向きに分極される。なお、第一の圧電体基板５
１および第二の圧電体基板５２は、互いに対向する向き
に分極されてもよい。また、第一の圧電体基板５１の主
面には、その幅方向に間隔をおいて二つの分割電極５
４、５４が形成され、第二の圧電体基板５２の主面に
は、共通電極５５が形成される。
【０００４】このように、振動子５０においては、第一
の圧電体基板５１および第二の圧電体基板５２が互いに
逆向きに分極されているので、分割電極５４、５４およ
び共通電極５５間に、例えば正弦波信号等の駆動信号を
印加すると、第一の圧電体基板５１および第二の圧電体
基板５２は、それぞれ長手方向における両端部より内側
の部分をノード部分として、主面に直交する方向に屈曲
振動する。このとき、第一の圧電体基板５１および第二
の圧電体基板５２は、互いに逆向きに振動する。そし
て、振動ジャイロが振動子５０の中心軸Ｏを中心に回転
すると、その回転角速度に応じたコリオリ力が働く。こ
のコリオリ力により、振動子５０の屈曲振動の方向が変
わり、分割電極５４、５４間に、回転角速度に応じた信
号が発生するため、この信号をもとに、回転角速度を検
出することができる。
の圧電体基板５１および第二の圧電体基板５２が互いに
逆向きに分極されているので、分割電極５４、５４およ
び共通電極５５間に、例えば正弦波信号等の駆動信号を
印加すると、第一の圧電体基板５１および第二の圧電体
基板５２は、それぞれ長手方向における両端部より内側
の部分をノード部分として、主面に直交する方向に屈曲
振動する。このとき、第一の圧電体基板５１および第二
の圧電体基板５２は、互いに逆向きに振動する。そし
て、振動ジャイロが振動子５０の中心軸Ｏを中心に回転
すると、その回転角速度に応じたコリオリ力が働く。こ
のコリオリ力により、振動子５０の屈曲振動の方向が変
わり、分割電極５４、５４間に、回転角速度に応じた信
号が発生するため、この信号をもとに、回転角速度を検
出することができる。
【０００５】ここで、振動子５０のノード部分近傍に
は、支持部材としての二つの線材５６、５６が取り付け
られる。線材５６、５６は金属を直線状に成形してなる
ものであり、それぞれ共通電極５５上に、振動子５０の
長手方向に直交して半田付けされる。そして、とくに図
示しないが、線材５６、５６の各両端が、例えば枠体に
固定されることにより、振動子５０が中空において支持
固定される。
は、支持部材としての二つの線材５６、５６が取り付け
られる。線材５６、５６は金属を直線状に成形してなる
ものであり、それぞれ共通電極５５上に、振動子５０の
長手方向に直交して半田付けされる。そして、とくに図
示しないが、線材５６、５６の各両端が、例えば枠体に
固定されることにより、振動子５０が中空において支持
固定される。
【０００６】また、支持部材として、図１０に示すよう
に、線材５７、５７を用いる場合もあった。線材５７、
５７は、それぞれコ字状に屈曲しており、各中央部が振
動子５０の共通電極５５上に半田付けされるとともに、
各両端が基板（図示せず）上の孔に差し込まれ、固定さ
れる。こうして、振動子５０が中空に支持される。
に、線材５７、５７を用いる場合もあった。線材５７、
５７は、それぞれコ字状に屈曲しており、各中央部が振
動子５０の共通電極５５上に半田付けされるとともに、
各両端が基板（図示せず）上の孔に差し込まれ、固定さ
れる。こうして、振動子５０が中空に支持される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の振動
ジャイロにおいては、次のような問題点があった。
ジャイロにおいては、次のような問題点があった。
【０００８】すなわち、振動子５０に取り付けられる線
材５６、５６が直線状であり、それぞれの両端において
固定されているため、振動子５０がその長手方向に直交
する方向（線材５６、５６の長手方向）に振動する際、
振動が抑制され、それにより振動ジャイロの温度特性お
よび感度が低下する恐れがあった。また、振動子５０に
線材５７、５７を取り付ける場合には、線材５７、５７
が屈曲しているため、振動子５０の振動の抑制は微小で
ある反面、振動子５０を中空に支持するために線材５
７、５７の脚部５９の長さ寸法を一定以上に確保しなけ
ればならず、振動ジャイロ全体としての高さ寸法が大き
くなり、小型化に対する制約となった。
材５６、５６が直線状であり、それぞれの両端において
固定されているため、振動子５０がその長手方向に直交
する方向（線材５６、５６の長手方向）に振動する際、
振動が抑制され、それにより振動ジャイロの温度特性お
よび感度が低下する恐れがあった。また、振動子５０に
線材５７、５７を取り付ける場合には、線材５７、５７
が屈曲しているため、振動子５０の振動の抑制は微小で
ある反面、振動子５０を中空に支持するために線材５
７、５７の脚部５９の長さ寸法を一定以上に確保しなけ
ればならず、振動ジャイロ全体としての高さ寸法が大き
くなり、小型化に対する制約となった。
【０００９】そこで、本発明においては、振動子の振動
が抑制されることがなく、しかも、高さ寸法が小さい振
動ジャイロを提供することを目的とする。
が抑制されることがなく、しかも、高さ寸法が小さい振
動ジャイロを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明においては、厚み方向に分極される第一の圧
電体基板、前記第一の圧電体基板に積層され、前記第一
の圧電体基板の分極方向と逆方向に分極される第二の圧
電体基板、前記第一の圧電体基板の主面に形成される二
つの分割電極、および、前記第二の圧電体基板の主面に
形成される共通電極からなる振動子と、前記振動子を支
持するための支持部材とを備える振動ジャイロにおい
て、前記支持部材の一部に屈曲部が設けられ、該屈曲部
が前記共通電極に接着されたことを特徴とする。
め、本発明においては、厚み方向に分極される第一の圧
電体基板、前記第一の圧電体基板に積層され、前記第一
の圧電体基板の分極方向と逆方向に分極される第二の圧
電体基板、前記第一の圧電体基板の主面に形成される二
つの分割電極、および、前記第二の圧電体基板の主面に
形成される共通電極からなる振動子と、前記振動子を支
持するための支持部材とを備える振動ジャイロにおい
て、前記支持部材の一部に屈曲部が設けられ、該屈曲部
が前記共通電極に接着されたことを特徴とする。
【００１１】また、前記支持部材が、互いに別体の二つ
の線材からなることを特徴とする。さらに、前記支持部
材が、二つの前記屈曲部および該二つの屈曲部を互いに
連結させる連結部が一体に形成された単一の線材からな
ることを特徴とする。
の線材からなることを特徴とする。さらに、前記支持部
材が、二つの前記屈曲部および該二つの屈曲部を互いに
連結させる連結部が一体に形成された単一の線材からな
ることを特徴とする。
【００１２】このように、本発明にかかる振動ジャイロ
においては、振動子の支持部材に屈曲部が設けられてい
るため、振動子がその長手方向に直交する方向に振動す
る際には、支持部材が振動に追従して変形するため、振
動が抑制されることがなく、その結果、振動ジャイロの
温度特性および感度が向上する。しかも、支持部材を振
動子の高さ方向以外の方向に屈曲させれば、振動ジャイ
ロ全体の高さ寸法は小さくなり、設計の自由度が大きく
なる。
においては、振動子の支持部材に屈曲部が設けられてい
るため、振動子がその長手方向に直交する方向に振動す
る際には、支持部材が振動に追従して変形するため、振
動が抑制されることがなく、その結果、振動ジャイロの
温度特性および感度が向上する。しかも、支持部材を振
動子の高さ方向以外の方向に屈曲させれば、振動ジャイ
ロ全体の高さ寸法は小さくなり、設計の自由度が大きく
なる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施例にかかる振
動ジャイロの構成を図１乃至図３を用いて説明する。
動ジャイロの構成を図１乃至図３を用いて説明する。
【００１４】図１において、１は振動ジャイロであり、
振動子２を備える。振動子２は、例えば、ともに短冊状
の第一の圧電体基板３および第二の圧電体基板４をダミ
ー電極５を挟み込んで積層し、例えば接着剤により接着
してなるものである。ここで、第一の圧電体基板３およ
び第二の圧電体基板４は、矢印Ｐで示すように、厚み方
向において互いに逆向きに分極される。なお、第一の圧
電体基板３および第二の圧電体基板４は、互いに対向す
る向きに分極されてもよい。また、第一の圧電体基板３
の主面には、その幅方向に間隔をおいて二つの分割電極
６、６が形成され、第二の圧電体基板４の主面には、共
通電極７が形成される。さらに、分割電極６、６には、
駆動手段としての発振回路１０の一方の出力端が、抵抗
１１、１２を介してそれぞれ接続される。さらに、振動
子２の共通電極７には、発振回路１０の他方の出力端が
接続される。また、振動子２の分割電極６、６は、抵抗
１３、１４を介して、検出手段としての差動増幅回路１
５の非反転入力端および反転入力端にそれぞれ接続さ
れ、差動増幅回路１５の出力端および反転入力端間に
は、抵抗１６が接続される。
振動子２を備える。振動子２は、例えば、ともに短冊状
の第一の圧電体基板３および第二の圧電体基板４をダミ
ー電極５を挟み込んで積層し、例えば接着剤により接着
してなるものである。ここで、第一の圧電体基板３およ
び第二の圧電体基板４は、矢印Ｐで示すように、厚み方
向において互いに逆向きに分極される。なお、第一の圧
電体基板３および第二の圧電体基板４は、互いに対向す
る向きに分極されてもよい。また、第一の圧電体基板３
の主面には、その幅方向に間隔をおいて二つの分割電極
６、６が形成され、第二の圧電体基板４の主面には、共
通電極７が形成される。さらに、分割電極６、６には、
駆動手段としての発振回路１０の一方の出力端が、抵抗
１１、１２を介してそれぞれ接続される。さらに、振動
子２の共通電極７には、発振回路１０の他方の出力端が
接続される。また、振動子２の分割電極６、６は、抵抗
１３、１４を介して、検出手段としての差動増幅回路１
５の非反転入力端および反転入力端にそれぞれ接続さ
れ、差動増幅回路１５の出力端および反転入力端間に
は、抵抗１６が接続される。
【００１５】振動ジャイロ１においては、発振回路１０
から出力される正弦波信号等の駆動信号が、抵抗１１、
１２を介して振動子２の分割電極６、６に印加され、第
一の圧電体基板３および第二の圧電体基板４が、それぞ
れ主面に直交する方向に屈曲振動する。そして、振動ジ
ャイロ１が振動子２の中心軸Ｏを中心に回転すると、そ
の回転角速度に応じたコリオリ力が、第一の圧電体基板
３および第二の圧電体基板４の主面に平行し、かつ振動
子２の中心軸Ｏに直交する方向に働く。このコリオリ力
により、振動子２の屈曲振動の方向が変わり、分割電極
６、６間に、回転角速度に応じた信号が発生する。そし
て、分割電極６、６間に発生した信号は、抵抗１３、１
４を介して、差動増幅回路１５によって検出されるた
め、差動増幅回路１５の出力信号をもとに、回転角速度
を検出することができる。
から出力される正弦波信号等の駆動信号が、抵抗１１、
１２を介して振動子２の分割電極６、６に印加され、第
一の圧電体基板３および第二の圧電体基板４が、それぞ
れ主面に直交する方向に屈曲振動する。そして、振動ジ
ャイロ１が振動子２の中心軸Ｏを中心に回転すると、そ
の回転角速度に応じたコリオリ力が、第一の圧電体基板
３および第二の圧電体基板４の主面に平行し、かつ振動
子２の中心軸Ｏに直交する方向に働く。このコリオリ力
により、振動子２の屈曲振動の方向が変わり、分割電極
６、６間に、回転角速度に応じた信号が発生する。そし
て、分割電極６、６間に発生した信号は、抵抗１３、１
４を介して、差動増幅回路１５によって検出されるた
め、差動増幅回路１５の出力信号をもとに、回転角速度
を検出することができる。
【００１６】ここで、図２に示すように、振動子２は、
支持部材としての二つの線材８、８によって支持され
る。線材８、８は金属からなり、第二の圧電体基板４の
主面に対して平行な方向に突出するコ字状の屈曲部９、
９を備えるものであり、この屈曲部９、９が、振動子２
の共通電極７上のノード部分近傍に例えば半田付けされ
る。そして、線材８、８の両端が、枠体１７の上面１８
に例えば半田付けされ、振動子２が中空において支持固
定される。このとき、振動子２および枠体１７双方の上
面は同一平面上に配置される。
支持部材としての二つの線材８、８によって支持され
る。線材８、８は金属からなり、第二の圧電体基板４の
主面に対して平行な方向に突出するコ字状の屈曲部９、
９を備えるものであり、この屈曲部９、９が、振動子２
の共通電極７上のノード部分近傍に例えば半田付けされ
る。そして、線材８、８の両端が、枠体１７の上面１８
に例えば半田付けされ、振動子２が中空において支持固
定される。このとき、振動子２および枠体１７双方の上
面は同一平面上に配置される。
【００１７】このように、線材８、８には屈曲部９、９
が設けられているため、振動子２を弾力的に支持するこ
とができる。すなわち、図３に示すように、振動子２が
その長手方向に直交する方向（線材８、８の長手方向）
に振動する際には、線材８、８が振動に追従して変形す
るため、振動が抑制されることがなく、その結果、振動
ジャイロ１の温度特性および感度が向上する。しかも、
線材８、８は、振動子２の高さ方向には屈曲していない
ため、振動ジャイロ１全体の高さ寸法は小さくなり、設
計の自由度が大きい。また、振動子２および枠体１７を
同一平面上に配置することから、半田付け作業におい
て、同一平面上の複数箇所にまとめて半田を付着させる
ことが可能となり、作業性が向上し、組立工程に自動機
を容易に導入することができる。
が設けられているため、振動子２を弾力的に支持するこ
とができる。すなわち、図３に示すように、振動子２が
その長手方向に直交する方向（線材８、８の長手方向）
に振動する際には、線材８、８が振動に追従して変形す
るため、振動が抑制されることがなく、その結果、振動
ジャイロ１の温度特性および感度が向上する。しかも、
線材８、８は、振動子２の高さ方向には屈曲していない
ため、振動ジャイロ１全体の高さ寸法は小さくなり、設
計の自由度が大きい。また、振動子２および枠体１７を
同一平面上に配置することから、半田付け作業におい
て、同一平面上の複数箇所にまとめて半田を付着させる
ことが可能となり、作業性が向上し、組立工程に自動機
を容易に導入することができる。
【００１８】なお、上記第一の実施例においては、支持
部材としての線材にコ字状の屈曲部を設ける場合につい
て説明したが、図４に示す線材２０のように、鋭角的に
折れ曲がった屈曲部２１を設ける場合、あるいは図５に
示す線材２２のように、略円弧状をなす屈曲部２３を設
ける場合にも、第一の実施例と同様の効果が得られる。
部材としての線材にコ字状の屈曲部を設ける場合につい
て説明したが、図４に示す線材２０のように、鋭角的に
折れ曲がった屈曲部２１を設ける場合、あるいは図５に
示す線材２２のように、略円弧状をなす屈曲部２３を設
ける場合にも、第一の実施例と同様の効果が得られる。
【００１９】また、図６に示す線材２４のように、二つ
のコ字状の屈曲部２５、２５を設けてもよい。線材２４
は、屈曲部２５、２５の中間点において、振動子２の共
通電極７に接着されて用いられる。このように、振動子
２を挟んで二つの屈曲部２５、２５が配置される場合、
線材２４は、単一の屈曲部を有する線材に比べて、振動
子２の振動に対する追従性が高く、振動ジャイロの温度
特性および感度のより一層の向上が期待できる。ここ
で、線材２４に設ける屈曲部２５、２５の形状はコ字状
に限定されるものではない。すなわち、鋭角的に屈曲し
た屈曲部、または曲線状に屈曲した屈曲部を設けてもよ
く、また、図７に示す線材２６のように、コイル状の屈
曲部２７、２７を設けてもよい。さらに、一方の線材と
他方の線材とで、屈曲部の形状が異なっていてもよい。
のコ字状の屈曲部２５、２５を設けてもよい。線材２４
は、屈曲部２５、２５の中間点において、振動子２の共
通電極７に接着されて用いられる。このように、振動子
２を挟んで二つの屈曲部２５、２５が配置される場合、
線材２４は、単一の屈曲部を有する線材に比べて、振動
子２の振動に対する追従性が高く、振動ジャイロの温度
特性および感度のより一層の向上が期待できる。ここ
で、線材２４に設ける屈曲部２５、２５の形状はコ字状
に限定されるものではない。すなわち、鋭角的に屈曲し
た屈曲部、または曲線状に屈曲した屈曲部を設けてもよ
く、また、図７に示す線材２６のように、コイル状の屈
曲部２７、２７を設けてもよい。さらに、一方の線材と
他方の線材とで、屈曲部の形状が異なっていてもよい。
【００２０】また、上記第一の実施例においては、線材
に設ける屈曲部が、振動子を構成する圧電体基板の主面
に対して平行な方向に突出している場合について説明し
たが、屈曲部はどの向きに突出していてもよい。加え
て、一方の線材と他方の線材とで、屈曲部の突出する向
きが異なっていてもよい。
に設ける屈曲部が、振動子を構成する圧電体基板の主面
に対して平行な方向に突出している場合について説明し
たが、屈曲部はどの向きに突出していてもよい。加え
て、一方の線材と他方の線材とで、屈曲部の突出する向
きが異なっていてもよい。
【００２１】次に、本発明の第二の実施例にかかる振動
ジャイロの構成を、図８を用いて説明する。なお、第一
の実施例と同一または相当する部分には同一の符号を付
し、その説明は省略する。
ジャイロの構成を、図８を用いて説明する。なお、第一
の実施例と同一または相当する部分には同一の符号を付
し、その説明は省略する。
【００２２】本実施例にかかる振動ジャイロは、振動子
２を備える。振動子２は、支持部材としての線材３０に
より支持される。線材３０は、金属を成形してなり、二
つのコ字状の屈曲部３１、３１と、これら屈曲部３１、
３１を互いに連結させる二つの連結部３２、３２が一体
に形成されたものである。ここで、屈曲部３１、３１は
それぞれ、振動子２を構成する第二の圧電体基板４の主
面に対して平行な方向に突出している。そして、線材３
０の屈曲部３１、３１の各中間部が、振動子２の共通電
極７に例えば半田付けされ、さらに、連結部３２、３２
が、枠体１７の上面１８に例えば半田付けされ、振動子
２が中空において支持固定される。このとき、振動子２
および枠体１７双方の上面は同一平面上に配置される。
２を備える。振動子２は、支持部材としての線材３０に
より支持される。線材３０は、金属を成形してなり、二
つのコ字状の屈曲部３１、３１と、これら屈曲部３１、
３１を互いに連結させる二つの連結部３２、３２が一体
に形成されたものである。ここで、屈曲部３１、３１は
それぞれ、振動子２を構成する第二の圧電体基板４の主
面に対して平行な方向に突出している。そして、線材３
０の屈曲部３１、３１の各中間部が、振動子２の共通電
極７に例えば半田付けされ、さらに、連結部３２、３２
が、枠体１７の上面１８に例えば半田付けされ、振動子
２が中空において支持固定される。このとき、振動子２
および枠体１７双方の上面は同一平面上に配置される。
【００２３】このように構成される振動ジャイロにおい
ては、線材３０は屈曲部３１、３１が設けられているた
め、第一の実施例と同様に、線材３０が振動子２の振動
に追従して変形するため、振動が抑制されることがな
く、その結果、振動ジャイロの温度特性および感度が向
上する。しかも、線材３０は振動子２の高さ方向には屈
曲していないため、振動ジャイロ全体の高さ寸法は小さ
くなり、設計の自由度が大きい。また、振動子２および
枠体１７を同一平面上に配置することから、半田付けの
作業性が向上し、組立工程に自動機を容易に導入するこ
とができる。
ては、線材３０は屈曲部３１、３１が設けられているた
め、第一の実施例と同様に、線材３０が振動子２の振動
に追従して変形するため、振動が抑制されることがな
く、その結果、振動ジャイロの温度特性および感度が向
上する。しかも、線材３０は振動子２の高さ方向には屈
曲していないため、振動ジャイロ全体の高さ寸法は小さ
くなり、設計の自由度が大きい。また、振動子２および
枠体１７を同一平面上に配置することから、半田付けの
作業性が向上し、組立工程に自動機を容易に導入するこ
とができる。
【００２４】なお、上記第二の実施例においては、線材
にコ字状の屈曲部を設ける場合について説明したが、例
えば、鋭角的に折れ曲がった屈曲部を設ける場合、ある
いは略円弧状をなす屈曲部を設ける場合にも、第二の実
施例と同様の効果が得られる。加えて、同一の線材に互
いに異なる形状の屈曲部を設けてもよい。
にコ字状の屈曲部を設ける場合について説明したが、例
えば、鋭角的に折れ曲がった屈曲部を設ける場合、ある
いは略円弧状をなす屈曲部を設ける場合にも、第二の実
施例と同様の効果が得られる。加えて、同一の線材に互
いに異なる形状の屈曲部を設けてもよい。
【００２５】また、上記第二の実施例においては、線材
の屈曲部が、振動子を構成する圧電体基板の主面に対し
て平行な方向に突出している場合について説明したが、
屈曲部はどの向きに突出していてもよい。さらに、二つ
の屈曲部が互いに逆向きに突出していてもよい。
の屈曲部が、振動子を構成する圧電体基板の主面に対し
て平行な方向に突出している場合について説明したが、
屈曲部はどの向きに突出していてもよい。さらに、二つ
の屈曲部が互いに逆向きに突出していてもよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明にかかる振動ジャイロにおいて
は、振動子の支持部材に屈曲部が設けられているため、
振動子がその長手方向に直交する方向に振動する際に
は、支持部材が振動に追従して変形するため、振動が抑
制されることがなく、その結果、振動ジャイロの温度特
性および感度が向上する。しかも、支持部材を振動子の
高さ方向以外の方向に屈曲させれば、振動ジャイロ全体
の高さ寸法は小さくなり、設計の自由度が大きくなる。
は、振動子の支持部材に屈曲部が設けられているため、
振動子がその長手方向に直交する方向に振動する際に
は、支持部材が振動に追従して変形するため、振動が抑
制されることがなく、その結果、振動ジャイロの温度特
性および感度が向上する。しかも、支持部材を振動子の
高さ方向以外の方向に屈曲させれば、振動ジャイロ全体
の高さ寸法は小さくなり、設計の自由度が大きくなる。
【図１】本発明の第一の実施例にかかる振動ジャイロを
示す図解図である。
示す図解図である。
【図２】図１の振動ジャイロを構成する振動子、線材お
よび枠体を示す組立分解斜視図である。
よび枠体を示す組立分解斜視図である。
【図３】図２の振動子の上面図であり、（ａ）は無振動
の状態を示し、（ｂ）および（ｃ）は長手方向に直交す
る方向に振動している状態を示す。
の状態を示し、（ｂ）および（ｃ）は長手方向に直交す
る方向に振動している状態を示す。
【図４】本発明の第一の実施例の変形例にかかる振動ジ
ャイロを構成する線材の上面図である。
ャイロを構成する線材の上面図である。
【図５】本発明の第一の実施例の他の変形例にかかる振
動ジャイロを構成する線材の上面図である。
動ジャイロを構成する線材の上面図である。
【図６】本発明の第一の実施例のさらに他の変形例にか
かる振動ジャイロを構成する振動子および線材を示す要
部斜視図である。
かる振動ジャイロを構成する振動子および線材を示す要
部斜視図である。
【図７】本発明の第一の実施例のさらに他の変形例にか
かる振動ジャイロを構成する振動子および線材を示す要
部斜視図である。
かる振動ジャイロを構成する振動子および線材を示す要
部斜視図である。
【図８】本発明の第二の実施例にかかる振動ジャイロを
構成する振動子、線材および枠体を示す組立分解斜視図
である。
構成する振動子、線材および枠体を示す組立分解斜視図
である。
【図９】従来の振動ジャイロを構成する振動子および線
材を示す斜視図である。
材を示す斜視図である。
【図１０】従来の他の振動ジャイロを構成する振動子お
よび線材を示す斜視図である。
よび線材を示す斜視図である。
１ 振動ジャイロ ２ 振動子 ３ 第一の圧電体基板、 ４ 第二の圧電体基板、 ６ 分割電極 ７ 共通電極 ８、２０、２２、２４、２６、３０ 線材（支持部
材） ９、２１、２３、２５、２７、３１ 屈曲部 ３２ 連結部
材） ９、２１、２３、２５、２７、３１ 屈曲部 ３２ 連結部
Claims (3)
- 【請求項１】 厚み方向に分極される第一の圧電体基
板、 前記第一の圧電体基板に積層され、前記第一の圧電体基
板の分極方向と逆方向に分極される第二の圧電体基板、 前記第一の圧電体基板の主面に形成される二つの分割電
極、および、 前記第二の圧電体基板の主面に形成される共通電極から
なる振動子と、 前記振動子を支持するための支持部材とを備える振動ジ
ャイロにおいて、 前記支持部材の一部に屈曲部が設けられ、該屈曲部が前
記共通電極に接着されたことを特徴とする振動ジャイ
ロ。 - 【請求項２】 前記支持部材が、互いに別体の二つの線
材からなることを特徴とする請求項１に記載の振動ジャ
イロ。 - 【請求項３】 前記支持部材が、二つの前記屈曲部およ
び該二つの屈曲部を互いに連結させる連結部が一体に形
成された単一の線材からなることを特徴とする請求項１
に記載の振動ジャイロ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8080165A JPH09269227A (ja) | 1996-04-02 | 1996-04-02 | 振動ジャイロ |
| KR1019970012254A KR100198711B1 (en) | 1996-04-02 | 1997-04-02 | Vibrating gyroscope |
| DE69719833T DE69719833T2 (de) | 1996-04-02 | 1997-04-02 | Vibrationskreisel |
| EP97105464A EP0800058B1 (en) | 1996-04-02 | 1997-04-02 | Vibrating gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8080165A JPH09269227A (ja) | 1996-04-02 | 1996-04-02 | 振動ジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09269227A true JPH09269227A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13710717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8080165A Pending JPH09269227A (ja) | 1996-04-02 | 1996-04-02 | 振動ジャイロ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0800058B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09269227A (ja) |
| KR (1) | KR100198711B1 (ja) |
| DE (1) | DE69719833T2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6722622B2 (en) | 2001-02-26 | 2004-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator support structure, vibrating gyroscope therewith, and electronic device using the same |
| US6822375B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope and electronic device using the same having a driving circuit, a detection circuit and four supporting members with different rigidities, different shapes, different cross sections, different materials and different lengths |
| US7134335B2 (en) | 2003-10-06 | 2006-11-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibratory gyro piezoelectric vibrator |
| JP2008022324A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の支持構造 |
| JP2012252013A (ja) * | 2012-08-09 | 2012-12-20 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ |
| JP2014032205A (ja) * | 2013-09-27 | 2014-02-20 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4428309B2 (ja) | 2004-09-10 | 2010-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動型ジャイロスコープ |
| DE102008057280A1 (de) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Corioliskreisel, Einrichtung für einen Corioliskreisel und Verfahren zum Betrieb eines Corioliskreisels |
| JP6906618B2 (ja) * | 2017-08-29 | 2021-07-21 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07131280A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-19 | Toyota Motor Corp | 振動子の支持構造 |
| JPH07318351A (ja) * | 1994-05-23 | 1995-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子の支持構造 |
| JP2780643B2 (ja) * | 1994-06-03 | 1998-07-30 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
-
1996
- 1996-04-02 JP JP8080165A patent/JPH09269227A/ja active Pending
-
1997
- 1997-04-02 KR KR1019970012254A patent/KR100198711B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-04-02 DE DE69719833T patent/DE69719833T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-02 EP EP97105464A patent/EP0800058B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6822375B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope and electronic device using the same having a driving circuit, a detection circuit and four supporting members with different rigidities, different shapes, different cross sections, different materials and different lengths |
| US6722622B2 (en) | 2001-02-26 | 2004-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator support structure, vibrating gyroscope therewith, and electronic device using the same |
| US7134335B2 (en) | 2003-10-06 | 2006-11-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibratory gyro piezoelectric vibrator |
| JP2008022324A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の支持構造 |
| JP2012252013A (ja) * | 2012-08-09 | 2012-12-20 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ |
| JP2014032205A (ja) * | 2013-09-27 | 2014-02-20 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100198711B1 (en) | 1999-06-15 |
| DE69719833T2 (de) | 2004-03-04 |
| KR970070958A (ko) | 1997-11-07 |
| DE69719833D1 (de) | 2003-04-24 |
| EP0800058A2 (en) | 1997-10-08 |
| EP0800058B1 (en) | 2003-03-19 |
| EP0800058A3 (en) | 1998-11-11 |
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