JP2008022324A - 圧電振動子の支持構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電振動子10の支持構造は、屈曲振動を行う圧電振動子10を固定部材に支持する圧電振動子の支持構造であって、基板20と、基板20の一方の主面に形成される下部電極30と、下部電極30の表面に形成される圧電体40と、圧電体40の表面に形成される上部電極50と、圧電振動子10の屈曲振動の節部61,62近傍において下部電極30から外側方向に延在される支持梁31,32と、圧電振動子10の屈曲振動の節部61,62近傍において上部電極50から支持梁31,32とは反対外側方向に延在される支持梁51,52と、が備えられている。また、下部電極30は、屈曲振動の中立面60に形成されている。
【選択図】図1
Description
さらに、振動体が屈曲振動する際には圧縮面と伸張面とが存在するが、振動体と支持部が同じ厚さで形成されているために、支持部においても圧縮面と伸張面とが存在することから、振動漏れを抑制することは困難である。
なお、弾性部としては、例えば平面方向に屈曲させる形状としても、断面方向に屈曲させる形状としてもよい。
図1〜図3は実施形態1に係る圧電振動子を示し、図4は実施形態2、図5は実施形態2の変形例、図6,7は実施形態3を示している。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
(実施形態1)
(実施形態2)
図4は、実施形態2に係る圧電振動子を示す斜視図である。図4において、支持梁51,52と上部電極50との結合部51c、52cと先端支持部51a,52aとの間に、屈曲形成された弾性部51b、52bとが形成されている。
また、同様に、先端支持部52a及び結合部52cと支持梁32とは、平面視して直線上に形成されている。
(実施形態2の変形例)
図5は、実施形態2の変形例について、圧電振動子の長手方向端面から視認した側面図である。
また、同様に、先端支持部52a及び結合部52cと支持梁32とは、平面視して直線上に形成されている。
なお、弾性部51b,52bは、図示したようなクランク形状としても、他の形状にしてもよい。
(実施形態3)
図6は、実施形態3に係る圧電振動子10を表す斜視図、図7は、図6のB−B切断面を表す断面図である。図6,7において、圧電振動子10は、屈曲振動の中立面60に形成される下部電極30から延在される支持梁31,32と、上部電極50に連続して中立面60と同じ高さ位置から延在される支持梁51,52を備えて構成される。
なお、圧電体40の面積は、所望の屈曲振動が得られる有効面積となるように段部圧電体40aの範囲を設定している。また、支持梁51,52の幅は、上部電極50の厚さとほぼ同じにしている。
例えば、前述した実施形態1〜実施形態3では、支持梁31,32は直線で形成されているが、支持梁31,32についても、実施形態2及びその変形例にて示した支持梁51,52(図4,5、参照)のように屈曲部を設ける構造としてもよい。
さらに、一次の振動モードに限らず、二次、三次の屈曲振動モードを有する圧電振動子にも、上部電極または下部電極から支持梁を延在し、且つ、それら支持梁を節部(または節点)に設けることにより振動漏れを抑制することが可能な圧電振動子の支持構造を提供することができる。
Claims (7)
- 固定部材に支持され、屈曲振動を行う圧電振動子の支持構造であって、
前記圧電振動子が、基板と、前記基板の一方の主面に形成される下部電極と、前記下部電極の表面に形成される圧電体と、前記圧電体の表面に形成される上部電極と、前記屈曲振動の節近傍において前記下部電極から外側方向に延在される第1の支持梁と、前記屈曲振動の節近傍において前記上部電極から前記第1の支持梁とは反対外側方向に延在される第2の支持梁と、を備え、
前記第1の支持梁と前記第2の支持梁によって前記固定部材に支持されていることを特徴とする圧電振動子の支持構造。 - 請求項1に記載の圧電振動子の支持構造において、
前記下部電極が、前記屈曲振動における前記圧電振動子の中立面に形成され、
少なくとも前記第1の支持梁が、前記下部電極の同一平面上に延在されていることを特徴とする圧電振動子の支持構造。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動子の支持構造において、
少なくとも前記第2の支持梁が、前記上部電極と先端支持部との間に屈曲した弾性部を有していることを特徴とする圧電振動子の支持構造。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動子の支持構造において、
前記第1の支持梁と前記第2の支持梁とが、前記中立面の延長上に延在されていることを特徴とする圧電振動子の支持構造。 - 請求項1または請求項4のいずれか一項に記載の圧電振動子の支持構造において、
前記基板の前記第2の支持梁の延在方向端部に前記基板の総厚さより薄い段部が設けられ、
前記段部の表面に前記圧電体の一部が段部圧電体として形成され、
前記段部圧電体の表面に前記上部電極と接続する第2の支持梁が形成され、
前記第2の支持梁が、前記中立面の延長上に延在されていることを特徴とする圧電振動子の支持構造。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の圧電振動子の支持構造において、
前記第1の支持梁の前記下部電極との結合部の幅が、前記下部電極の厚さと略等しく、
前記第2の支持梁の前記上部電極との結合部の幅が、前記上部電極の厚さと略等しいことを特徴とする圧電振動子の支持構造。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電振動子の支持構造において、
前記中立面から前記基板の他方の主面までの厚さをd1とし、
前記中立面から前記上部電極の表面までの厚さをd2とし、
前記基板のヤング率をE1、密度をρ1とし、
前記圧電体のヤング率をE2、密度をρ2としたとき、
d1(E1/ρ1)1/2≒d2(E2/ρ2)1/2の関係にあることを特徴とする圧電振動子の支持構造。
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JP2013201638A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corp | 振動デバイス |
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