JP3371609B2 - 振動ジャイロ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、回転角速度を検知することによって移動
体の位置を検出し、適切な誘導を行うナビゲーションシ
ステム、または手ぶれなどの外的振動による回転角速度
を検知し適切な制振を行う手ぶれ防止装置などの除振シ
ステムなどに応用できる振動ジャイロに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来の振動ジャイロの一例を示
す図解図である。この振動ジャイロ１は、振動子２を含
む。振動子２は、恒弾性金属材料からなる４角柱状の振
動体３を含む。振動体３の対向する一対の側面には、そ
れぞれ検出用圧電素子４が形成される。この検出用圧電
素子４は、圧電体基板の両面に電極が形成されてなる。
また、振動体３の検出用圧電素子４が形成されていない
１対の側面には、それぞれ駆動用圧電素子５が形成され
る。この駆動用圧電素子５も検出用圧電素子４と同様
に、圧電体基板の両面に電極が形成されてなる。

【０００３】この振動ジャイロ１は、振動体３のノード
点で支持部材６によって支持される。そして、駆動用圧
電素子５に駆動信号を印加すると、振動体２は、図１１
に一点鎖線および２点鎖線で示すように、駆動用圧電素
子５の主面に直交する方向に屈曲振動をする。

【０００４】このような状態で、振動ジャイロ１がたと
えばその軸を中心として回転すると、振動方向に直交す
る方向にコリオリ力が働く。すると、コリオリ力によっ
て振動体３の振動方向が変わり、検出用圧電素子４に出
力電圧が発生する。そして、この出力電圧を測定するこ
とによって、振動ジャイロ１の回転角速度を知ることが
できる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１０
に示すいわゆる音片型の振動ジャイロ１では、長さの２
乗に反比例して共振周波数が高くなり、振幅が小さくな
る。そのため、音片型の振動ジャイロ１は、長さを短く
して小型化しようとすると、回転角速度の検出感度が低
下する。

【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、小
型で高感度な振動ジャイロを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる振動ジ
ャイロは、第１の振動子と、第１の振動子の幅方向一端
側に間隔を隔てて平行に配置され、第１の振動子の長手
方向一端部に接続される第２の振動子と、第１の振動子
の幅方向他端側に間隔を隔てて平行に配置され、第１の
振動子の長手方向他端部に接続される第３の振動子とを
含む振動ジャイロであって、第１，第２，第３の振動子
は、それぞれ第１の圧電体基板と、第１の圧電体基板に
積層される第２の圧電体基板と、第１の圧電体基板の主
面に形成され、振動子を屈曲振動させるための共通電極
と、第２の圧電体基板の主面に形成され、回転角速度に
応じた検出信号を得るための２つの分割電極とを含み、
第２の振動子の一方の分割電極および第１の振動子の一
方の分割電極を電気的に接続するための第１の接続手段
と、第２の振動子の他方の分割電極および第１の振動子
の他方の分割電極を電気的に接続するための第２の接続
手段と、第３の振動子の一方の分割電極および第１の振
動子の一方の分割電極を電気的に接続するための第３の
接続手段と、第３の振動子の他方の分割電極および第１
の振動子の他方の分割電極を電気的に接続するための第
４の接続手段とを含む、振動ジャイロである。

【０００８】また、第１の圧電体基板および第２の圧電
体基板は、長手方向一端側においては、互いに逆の厚み
方向に分極され、長手方向他端側においては、互いに対
向する厚み方向に分極されてもよい。

【０００９】さらに、第２の振動子および第３の振動子
において、分割電極は、それらの長手方向一端から他端
にわたって形成されてもよい。

【００１０】また、第２の振動子および第３の振動子に
おいては、それぞれ４つの分割電極を含み、４つの分割
電極のうちの２つは、第２の振動子および第３の振動子
のそれぞれの長手方向一端側に設けられ、他の２つは、
第２の振動子および第３の振動子のそれぞれの長手方向
他端側に設けられ、かつ４つの分割電極は、長手方向一
端側の一方の分割電極が、長手方向他端側の他方の分割
電極に接続され、長手方向一端側の他方の分割電極が、
長手方向他端側の一方の分割電極に接続されてもよい。

【００１１】

【作用】この発明では、第１〜第３の振動子が幅方向に
間隔を隔てながら接続されて、折り返し音片形状に形成
される。また、第１〜第３の振動子は、それぞれバイモ
ルフ構造を有する。そのため、第１〜第３の振動子は、
それぞれの分割電極と共通電極との間に駆動信号が印加
されると、それぞれ主面と直交する方向に屈曲振動す
る。この状態で、振動ジャイロがたとえばその長手方向
に延びる軸を中心として回転すると、振動方向に直交す
る方向にコリオリ力が働く。すると、コリオリ力によっ
て第１〜第３の振動子の振動方向が変わり、それぞれの
振動子に設けられた分割電極間に回転角速度に応じた出
力電圧が発生する。この出力電圧を測定することによっ
て、回転角速度を知ることができる。この発明では、第
１〜第３の振動子のそれぞれの分割電極は、第１〜第４
の接続手段により並列に接続されるので、大きな出力電
圧を得ることができる。

【００１２】また、第１の圧電体基板および第２の圧電
体基板が、長手方向一端側においては、互いに逆の厚み
方向に分極され、長手方向他端側においては、互いに対
向する厚み方向に分極された場合には、屈曲振動を励振
する効率が高まり、回転角速度に応じた信号を検出する
効率がよくなる。

【００１３】さらに、第２の振動子および第３の振動子
において、分割電極は、それらの長手方向一端から他端
にわたってそれぞれ形成された場合には、回転角速度に
応じた信号を検出する効率が高まる。

【００１４】また、第２の振動子および第３の振動子に
おいては、それぞれ４つの分割電極を含み、４つの分割
電極のうちの２つは、第２の振動子および第３の振動子
のそれぞれの長手方向一端側に設けられ、他の２つは、
第２の振動子および第３の振動子のそれぞれの長手方向
他端側に設けられ、かつ４つの分割電極は、長手方向一
端側の一方の分割電極が、長手方向他端側の他方の分割
電極に接続され、長手方向一端側の他方の分割電極が、
長手方向他端側の一方の分割電極に接続された場合に
も、回転角速度に応じた信号を検出する効率が高まる。

【００１５】

【発明の効果】この発明では、同一の長さの音片型の振
動ジャイロに比べて、より感度の高い振動ジャイロを得
ることできる。したがって、感度を維持しつつ、第１〜
第３の振動子の長さを短くすることができるため、小型
で高感度な振動ジャイロを得ることができる。

【００１６】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１７】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す斜視図解図
である。図２は図１に示す実施例の平面図解図である。
図３は、図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面および電
気的な接続状況を示す図解図である。この振動ジャイロ
１０は、たとえば４角柱状の第１の振動子１２ａを含
む。第１の振動子１２ａの幅方向の両側には、所定の間
隔を隔てて、４角柱状の第２の振動子１２ｂおよび第３
の振動子１２ｃがそれぞれ配置される。

【００１８】第１の振動子１２ａの長手方向の一端部に
は、第２の振動子１２ｂの長手方向の一端部が、４角柱
状の接続部１４ａを介して一体に接続される。第１の振
動子１２ａの長手方向の他端部には、第３の振動子１２
ｃの長手方向の一端部が、４角柱状の接続部１４ｂを介
して一体に接続される。したがって、第１の振動子１２
ａ，第２の振動子１２ｂおよび第３の振動子１２ｃは、
図２に示すように、平面略Ｓ字形状のいわゆる折り返し
音片形状に形成される。

【００１９】第１の振動子１２ａは、図３に示すよう
に、たとえば短冊状の第１の圧電体基板１６ａおよび第
２の圧電体基板１６ｂを含む。第１の圧電体基板１６ａ
および第２の圧電体基板１６ｂは、積層され接着され
る。また、第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体
基板１６ｂは、図３の矢印Ｐで示すように、互いに逆の
厚み方向に分極される。

【００２０】第１の振動子１２ａの第１の圧電体基板１
６ａの主面には、その幅方向に間隔を隔てて２つの分割
電極１８ａ１，１８ａ２が形成される。２つの分割電極
１８ａ１，１８ａ２は、それぞれ第１の振動子１２ａの
長手方向の一端から他端にわたって形成される。また、
第１の振動子１２ａの第２の圧電体基板１６ｂの主面に
は、共通電極２０が形成される。さらに、第１の圧電体
基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂ間には、中間
電極２２が形成される。

【００２１】同様に、第２の振動子１２ｂは、たとえば
短冊状の第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基
板１６ｂを含む。第１の圧電体基板１６ａおよび第２の
圧電体基板１６ｂは、積層され接着される。また、第１
の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂは、
互いに逆の厚み方向に分極される。

【００２２】第２の振動子１２ｂの第１の圧電体基板１
６ａの主面には、その幅方向に間隔を隔てて２つの分割
電極１８ｂ１，１８ｂ２が形成される。２つの分割電極
１８ｂ１，１８ｂ２は、それぞれ第２の振動子１２ｂの
長手方向の一端から略中央部までにわたって形成され
る。また、第２の振動子１２ｂの第２の圧電体基板１６
ｂの主面には、共通電極２０が形成される。さらに、第
１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂ間
には、中間電極２２が形成される。

【００２３】同様に、第３の振動子１２ｃは、たとえば
短冊状の第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基
板１６ｂを含む。第１の圧電体基板１６ａおよび第２の
圧電体基板１６ｂは、積層され接着される。また、第１
の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂは、
互いに逆の厚み方向に分極される。

【００２４】第３の振動子１２ｃの第１の圧電体基板１
６ａの主面には、その幅方向に間隔を隔てて２つの分割
電極１８ｃ１，１８ｃ２が形成される。２つの分割電極
１８ｃ１，１８ｃ２は、それぞれ第３の振動子１２ｃの
長手方向の一端から略中央部までにわたって形成され
る。また、第３の振動子１２ｃの第２の圧電体基板１６
ｂの主面には、共通電極２０が形成される。さらに、第
１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂ間
には、中間電極２２が形成される。

【００２５】第１の振動子１２ａの一方の分割電極１８
ａ１は、第２の振動子１２ｂの一方の分割電極１８ｂ１
と、第１の接続手段としての第１のリード線２４ａによ
り電気的に接続される。第１の振動子１２ａの他方の分
割電極１８ａ２は、第２の振動子１２ｂの他方の分割電
極１８ｂ２と、第２の接続手段としての第２のリード線
２４ｂにより電気的に接続される。

【００２６】また、第１の振動子１２ａの一方の分割電
極１８ａ１は、第３の振動子１２ｃの一方の分割電極１
８ｃ１と、第３の接続手段としての第３のリード線２４
ｃにより電気的に接続される。第１の振動子１２ａの他
方の分割電極１８ａ２は、第３の振動子１２ｃの他方の
分割電極１８ｃ２と、第４の接続手段としての第４のリ
ード線２４ｄにより電気的に接続される。

【００２７】さらに、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２
ｃにそれぞれ形成された共通電極２０は、第１および第
２の接続部１４ａおよび１４ｂの一方主面を介して互い
に接続される。したがって、分割電極１８ａ１，１８ａ
２、分割電極１８ｂ１，１８ｂ２および分割電極１８ｃ
１，１８ｃ２は、互いに並列に接続される。

【００２８】次に、図３を参照しながら、この振動ジャ
イロの電気的な接続状況を説明する。第１〜第３の振動
子１２ａ〜１２ｃの分割電極１８ａ１〜１８ｃ１，１８
ａ２〜１８ｃ２には、駆動手段としての発振回路３０の
一方の出力端が、抵抗３２ａおよび３２ｂを介してそれ
ぞれ接続される。さらに、第１〜第３の振動子１２ａ〜
１２ｃの共通電極２０には、発振回路３０の他方の出力
端が接続される。

【００２９】また、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃ
の分割電極１８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２
は、抵抗３４ａおよび３４ｂを介して、検出手段として
の差動増幅回路３６の非反転入力端および反転入力端に
それぞれ接続される。さらに、差動増幅回路３６の出力
端および反転入力端間には、抵抗３４ｃが接続される。

【００３０】第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃでは、
第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂ
が互いに逆の厚み方向に分極されているので、分割電極
１８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２および共通電
極２０間にたとえば正弦波信号などの駆動信号を印加す
れば、第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板
１６ｂが互いに逆に伸縮振動する。この場合、第１の圧
電体基板１６ａがその主面に平行する方向に伸びている
ときには、第２の圧電体基板１６ｂはその主面に平行す
る方向に縮む。逆に、第１の圧電体基板１６ａがその主
面に平行する方向に縮んでいるときには、第２の圧電体
基板１６ｂはその主面に平行する方向に伸びる。そのた
め、折り返し音片としての第１〜第３の振動子１２ａ〜
１２ｃは、図４に誇張して示すように、その主面に直交
する方向に屈曲振動する。この場合、第２の振動子１２
ｂおよび第３の振動子１２ｃのそれぞれの長手方向の略
中央部が、ノード部分となる。そのため、第１〜第３の
振動子１２ａ〜１２ｃは、第２の振動子１２ｂおよび第
３の振動子１２ｃのノード部分の近傍において支持され
る。この場合、第２の振動子１２ｂおよび第３の振動子
１２ｃは、たとえば図５に示すように、ノード部分の近
傍において支持部材２６によって上下から挟持すること
ができる。この場合には、振動に大きな影響を与えるこ
となく第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃを支持するこ
とが可能である。

【００３１】次に、この実施例の振動ジャイロ１０の製
造方法の一例を説明する。まず、第１および第２の圧電
体基板１６ａおよび１６ｂが準備される。第１および第
２の圧電体基板１６ａおよび１６ｂは、互いに逆の厚み
方向に分極される。そして、第１および第２の圧電体基
板１６ａおよび１６ｂは、一体に積層される。この場
合、第１の圧電体基板１６ａと第２の圧電体基板１６ｂ
との間には、中間電極２２となるべき電極が全面にわた
って形成される。また、第１の圧電体基板１６ａの主面
には、分割電極を形成するための電極が全面にわたって
形成される。さらに、第２の圧電体基板１６ｂの主面に
は、共通電極となるべき電極が全面にわたって形成され
る。

【００３２】そして、たとえば打ち抜き加工により、積
層された第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基
板１６ｂは、略Ｓ字形状の折り返し音片形状に形成され
る。さらに、第１の圧電体基板１６ａの主面の電極を所
定の形状に削り取ることにより、上述の分割電極１８ａ
１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２が形成される。した
がって、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃは、一体に
形成される。そのため、この振動ジャイロ１０は、量産
性も良い。

【００３３】また、この場合において、図５に示すよう
に、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃのそれぞれの幅
長ｗと厚みｔとは、ほぼ一致させることが感度の向上の
点から好ましい。

【００３４】第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃの分割
電極１８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２には、発
振回路３０と、抵抗３２ａ，３２ｂ，３４ａ，３４ｂお
よび３４ｃと、差動増幅回路３６とが接続される。そし
て、発振回路３０から出力されるたとえば正弦波信号な
どの駆動信号が、抵抗３２ａおよび３２ｂを介して、第
１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃの分割電極１８ａ１〜
１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２および共通電極２０間に
印加される。

【００３５】この駆動信号によって、第１〜第３の振動
子１２ａ〜１２ｃは、図４に誇張して示すように、その
主面に直交する方向に屈曲振動する。この状態で、振動
ジャイロ１０が、たとえば第１の振動子１２ａの中心軸
を中心に回転すると、その回転角速度に応じたコリオリ
力が、第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板
１６ｂの主面に平行しかつ第１の振動子１２ａの中心軸
に直交する方向に働く。したがって、第１〜第３の振動
子１２ａ〜１２ｃのそれぞれの屈曲振動の方向が変わ
る。そのため、分割電極１８ａ１，１８ａ２間、分割電
極１８ｂ１，１８ｂ２間、および分割電極１８ｃ１，１
８ｃ２間には、それぞれ回転角速度に応じた信号が発生
する。

【００３６】この実施例の振動ジャイロ１０では、分割
電極１８ａ１，１８ａ２、分割電極１８ｂ１，１８ｂ
２、および分割電極１８ｃ１，１８ｃ２は、並列に接続
されているので、これらの分割電極１８ａ１，１８ａ２
間、分割電極１８ｂ１，１８ｂ２間、および分割電極１
８ｃ１，１８ｃ２間に発生する信号は、抵抗３４ａおよ
び３４ｂを介して、差動増幅回路３６によって増幅され
る。

【００３７】したがって、この振動ジャイロ１０では、
差動増幅回路３６の出力信号によって、回転角速度を知
ることができる。

【００３８】この実施例の振動ジャイロ１０では、第１
〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃのそれぞれの分割電極１
８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２が、第１〜第４
のリード線２４ａ〜２４ｄにより並列に接続されるの
で、大きな出力電圧を得ることができる。

【００３９】また、この実施例の振動ジャイロ１０で
は、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃが幅方向に間隔
を隔てながら接続され、折り返し音片形状に形成され
る。そして、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃにそれ
ぞれ形成された分割電極１８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２
〜１８ｃ２が、第１〜第４のリード線２４ａ〜２４ｄに
より並列に接続される。そのため、同一の長さの音片型
の振動ジャイロに比べて、より感度の高い振動ジャイロ
１０を得ることできる。したがって、第１〜第３の振動
子１２ａ〜１２ｃの長さを短くすることができ、振動ジ
ャイロ１０の小型化を図ることができる。

【００４０】さらに、この振動ジャイロ１０では、第２
の振動子１２ｂのノード部分近傍および第３の振動子１
２ｃのノード部分近傍にそれぞれ取り付けられた支持部
材２６で振動子１２が支持される。そのため、振動子１
２から外部へ振動がもれにくく、振動子１２を効率的に
振動させることができる。

【００４１】また、この振動ジャイロ１０は、量産性が
よい。

【００４２】図６はこの発明の他の実施例を示す図解図
である。この振動ジャイロ１０では、図６に矢印Ｐで示
すように、第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体
基板１６ｂが、互いに逆の厚み方向に分極される。第１
〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃの中間電極２２には、発
振回路３０の一方の出力端が接続される。第１〜第３の
振動子１２ａ〜１２ｃの共通電極２０には、発振回路３
０の他方の出力端が接続される。

【００４３】また、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃ
の分割電極１８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２
は、抵抗３４ａおよび３４ｂを介して、検出手段として
の差動増幅回路３６の非反転入力端および反転入力端に
それぞれ接続される。さらに、差動増幅回路３６の出力
端および反転入力端間には、抵抗３４ｃが接続される。

【００４４】図６に示す振動ジャイロ１０の第１〜第３
の振動子１２ａ〜１２ｃでは、第２の圧電体基板１６ｂ
が厚み方向に分極されているので、中間電極２２および
共通電極２０間にたとえば正弦波信号などの駆動信号を
印加すれば、第２の圧電体基板１６ｂが伸縮振動する。
そのため、図６に示す振動ジャイロ１０においても、第
１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃは、図４に誇張して示
すように、その主面に直交する方向に屈曲振動する。

【００４５】この場合、第２の振動子１２ｂおよび第３
の振動子１２ｃのそれぞれの長手方向の略中央部が、ノ
ード部分となる。そのため、第１〜第３の振動子１２ａ
〜１２ｃは、第２の振動子１２ｂおよび第３の振動子１
２ｃのノード部分の近傍において支持される。この場
合、第２の振動子１２ｂおよび第３の振動子１２ｃは、
たとえば図５に示すように、支持部材２６によって上下
から挟持される。この場合には、振動に大きな影響を与
えることなく第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃを支持
することが可能である。

【００４６】また、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃ
の分割電極１８ａ１〜１８ｃ１，１８ａ２〜１８ｃ２
は、抵抗３４ａおよび３４ｂを介して、検出手段として
の差動増幅回路３６の非反転入力端および反転入力端に
それぞれ接続される。さらに、差動増幅回路３６の出力
端および反転入力端間には、抵抗３４ｃが接続される。
この振動ジャイロ１０でも、差動増幅回路３６の出力信
号によって、回転角速度を知ることができる。

【００４７】図６に示す振動ジャイロ１０によっても、
図１に示す振動ジャイロ１０と同様の効果を得ることが
できる。

【００４８】図７はこの発明のさらに他の実施例を示す
平面図解図であり、図８は線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおけ
る断面図解図である。図７に示す実施例では、図１に示
す実施例と比べて、第２の振動子１２ｂの分割電極１８
ｂ１および１８ｂ２が、第２の振動子１２ｂの長手方向
一端から他端にわたって形成される。また、第３の振動
子１２ｃの分割電極１８ｃ１および１８ｃ２が、第３の
振動子１２ｃの長手方向一端から他端にわたって形成さ
れる。

【００４９】第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電
体基板１６ｂは、積層された状態で、その長手方向の一
端側にノード部分が存在する。ノード部分は、第１の圧
電体基板１６ａ，第２の圧電体基板１６ｂの中央部より
一端側に位置するもので、その長手方向の一端からノー
ド部分にかけては、互いに逆の厚み方向に分極される。
また、長手方向の他端からノード部分にかけては、互い
に対向する厚み方向に分極される。

【００５０】図７に示す振動ジャイロ１０も、図１に示
す実施例と同様に発振回路３０および差動増幅回路３６
に接続され同様に動作する。

【００５１】また、第１の圧電体基板１６ａおよび第２
の圧電体基板１６ｂは、長手方向一端側においては、互
いに逆の厚み方向に分極され、長手方向他端側において
は、互いに対向する厚み方向に分極されることにより、
第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃの屈曲振動を励振す
る効率が高まり、回転角速度に応じた信号を検出する効
率がよくなる。

【００５２】さらに、第２の振動子１２ｂおよび第３の
振動子１２ｃにおいて、分割電極１８ｂ１，１８ｂ２，
１８ｃ１，１８ｃ２が、長手方向一端から他端にわたっ
て形成されることにより、回転角速度に応じた信号を検
出する効率が高まる。

【００５３】また、図７に示す振動ジャイロ１０では、
第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１６ｂ
の単位厚み当たりに印加される駆動信号が大きくなるの
で、それらの圧電体基板の屈曲振動の振幅および出力信
号の振幅が大きくなり、感度がよくなる。

【００５４】図９はこの発明の別の実施例を示す図解図
である。この振動ジャイロ１０の第２の振動子１２ｂ
は、４つの分割電極１８ｂ１〜１８ｂ４を含む。分割電
極１８ｂ１および１８ｂ２は、第２の振動子１２ｂの長
手方向の一端側に配置される。そして、分割電極１８ｂ
１は、第２の振動子１２ｂの幅方向の一方に形成され、
分割電極１８ｂ２は、間隔を隔てて第２の振動子１２ｂ
の幅方向の他方に形成される。

【００５５】また、分割電極１８ｂ３および１８ｂ４
は、第２の振動子１２ｂの長手方向の他端側に配置され
る。そして、分割電極１８ｂ３は、第２の振動子１２ｂ
の幅方向の一方に形成され、分割電極１８ｂ４は、間隔
を隔てて第２の振動子１２ｂの幅方向の他方に形成され
る。

【００５６】そして、図９に示すように、第５のリード
線２４ｅによって、分割電極１８ｂ１と分割電極１８ｂ
４とが接続され、第６のリード線２４ｆによって、分割
電極１８ｂ２と分割電極１８ｂ３とが接続される。同様
に、第７のリード線２４ｇによって、分割電極１８ｃ１
と分割電極１８ｃ４とが接続され、第８のリード線２４
ｈによって、分割電極１８ｃ２と分割電極１８ｃ３とが
接続される。

【００５７】このようにしても、第１および第２の圧電
体基板１６ａおよび１６ｂを励振する効率や、回転角速
度に応じた信号を検出する効率がよくなる。

【００５８】なお、図１および図６に示す実施例におい
て、第１の圧電体基板１６ａおよび第２の圧電体基板１
６ｂの分極の方向は、互いに対向する方向であってもよ
い。

【００５９】また、第１〜第４の接続手段は、第１〜第
４のリード線２４ａ〜２４ｄを用いることに限ることな
く、第１〜第３の振動子１２ａ〜１２ｃ，第１の接続手
段１４ａおよび第２の接続手段１４ｂの端面に電極パタ
ーンを形成することにより、形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す斜視図解図である。

【図２】図１に示す実施例の平面図解図である。

【図３】図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面および電
気的な接続状況を示す図解図である。

【図４】図１に示す振動ジャイロの振動の状況を誇張し
て示す図解図である。

【図５】図２の線Ｖ−Ｖにおける断面および支持状況を
示す図解図である。

【図６】この発明の他の実施例を示す断面図解図であ
る。

【図７】この発明のさらに他の実施例を示す平面図解図
である。

【図８】図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける断面を示
す図解図である。

【図９】この発明の別の実施例を示す平面図解図であ
る。

【図１０】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図解図
である。

【図１１】図１０に示す振動ジャイロの振動状況を示す
図解図である。

【符号の説明】

１０ 振動ジャイロ １２ａ 第１の振動子 １２ｂ 第２の振動子 １２ｃ 第３の振動子 １４ａ 第１の接続部 １４ｂ 第２の接続部 １６ａ 第１の圧電体基板 １６ｂ 第２の圧電体基板 １８ａ１，１８ａ２，１８ｂ１，１８ｂ２，１８ｃ１，
１８ｃ２ 分割電極 ２０ 共通電極 ２２ 中間電極 ２４ａ 第１のリード線 ２４ｂ 第２のリード線 ２４ｃ 第３のリード線 ２４ｄ 第４のリード線 ２６ 支持部材 ３０ 発振回路 ３２ａ，３２ｂ，３４ａ，３４ｂ，３４ｃ 抵抗 ３６ 差動増幅回路

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の振動子、 前記第１の振動子の幅方向一端側に間隔を隔てて平行に
   配置され、前記第１の振動子の長手方向一端部に接続さ
   れる第２の振動子、および前記第１の振動子の幅方向他
   端側に間隔を隔てて平行に配置され、前記第１の振動子
   の長手方向他端部に接続される第３の振動子を含む振動
   ジャイロであって、 前記第１，第２，第３の振動子は、それぞれ第１の圧電
   体基板、 前記第１の圧電体基板に積層される第２の圧電体基板、 前記第１の圧電体基板の主面に形成され、前記振動子を
   屈曲振動させるための共通電極、および前記第２の圧電
   体基板の主面に形成され、回転角速度に応じた検出信号
   を得るための２つの分割電極を含み、 前記第２の振動子の一方の分割電極と、前記第１の振動
   子の一方の分割電極とを電気的に接続するための第１の
   接続手段、 前記第２の振動子の他方の分割電極と、前記第１の振動
   子の他方の分割電極とを電気的に接続するための第２の
   接続手段、 前記第３の振動子の一方の分割電極と、前記第１の振動
   子の一方の分割電極とを電気的に接続するための第３の
   接続手段、および前記第３の振動子の他方の分割電極
   と、前記第１の振動子の他方の分割電極とを電気的に接
   続するための第４の接続手段を含む、振動ジャイロ。
2. 【請求項２】 前記第１の圧電体基板および前記第２の
   圧電体基板は、長手方向一端側においては、互いに逆の
   厚み方向に分極され、長手方向他端側においては、互い
   に対向する厚み方向に分極される、請求項１に記載の振
   動ジャイロ。
3. 【請求項３】 前記第２の振動子および前記第３の振動
   子において、前記分割電極は、それらの長手方向一端か
   ら他端にわたって形成される、請求項１または請求項２
   に記載の振動ジャイロ。
4. 【請求項４】 前記第２の振動子および前記第３の振動
   子においては、それぞれ４つの分割電極を含み、 ４つの前記分割電極のうちの２つは、前記第２の振動子
   および前記第３の振動子の長手方向一端側に設けられ、
   他の２つは、前記第２の振動子および前記第３の振動子
   の長手方向他端側に設けられ、かつ４つの前記分割電極
   は、長手方向一端側の一方の前記分割電極が、長手方向
   他端側の他方の前記分割電極に接続され、 長手方向一端側の他方の前記分割電極が、長手方向他端
   側の一方の前記分割電極に接続される、請求項１または
   請求項２に記載の振動ジャイロ。