JP3286902B2 - 振動子の支持構造 - Google Patents
振動子の支持構造Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロにな
どに用いられる振動子の支持構造に関するものである。
どに用いられる振動子の支持構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の振動子の支持構造として、たとえ
ば、特開平８−２７８１４５号公報に示されたものがあ
る。これを図面を用いて説明する。図６に示す振動子の
支持構造は、圧電セラミック部材からなる直方体の振動
子２と、シリコン系樹脂からなる２つの円柱状の支持部
材３とからなる。
ば、特開平８−２７８１４５号公報に示されたものがあ
る。これを図面を用いて説明する。図６に示す振動子の
支持構造は、圧電セラミック部材からなる直方体の振動
子２と、シリコン系樹脂からなる２つの円柱状の支持部
材３とからなる。
【０００３】そして、振動子２は、振動子２の振動時に
発生する２つの節点Ｎ，Ｎに対応する箇所において、支
持部材３の一方端面と接着固定されるもので、支持部材
３の他方端面を、基板４に接着固定することにより、振
動子２は基板４に支持固定される。
発生する２つの節点Ｎ，Ｎに対応する箇所において、支
持部材３の一方端面と接着固定されるもので、支持部材
３の他方端面を、基板４に接着固定することにより、振
動子２は基板４に支持固定される。
【０００４】また、支持部材３の形状としては、円柱状
の他に直方体状などが用いられている。
の他に直方体状などが用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の振動子の支持構造には、次のような問題があった。
来の振動子の支持構造には、次のような問題があった。
【０００６】即ち、従来例では、柱状の支持部材に振動
子を載置して固定する形状であるため、支持状態の安定
性を考慮すると、柱状の支持部材を太くする必要があ
る。しかし、支持部材を太くすると、振動子が振動した
際に、振動子の振動が支持部材から基板に漏れ、振動子
の振動の振幅が小さくなる。このような振動子の支持構
造を有する振動ジャイロは、その検出信号の大きさが振
動子の振幅に比例するため、振動子の振幅が小さくなる
と検出信号も小さくなり、その結果、感度の低い振動ジ
ャイロとなってしまう。
子を載置して固定する形状であるため、支持状態の安定
性を考慮すると、柱状の支持部材を太くする必要があ
る。しかし、支持部材を太くすると、振動子が振動した
際に、振動子の振動が支持部材から基板に漏れ、振動子
の振動の振幅が小さくなる。このような振動子の支持構
造を有する振動ジャイロは、その検出信号の大きさが振
動子の振幅に比例するため、振動子の振幅が小さくなる
と検出信号も小さくなり、その結果、感度の低い振動ジ
ャイロとなってしまう。
【０００７】上記不具合を考慮して、柱状の支持部材を
細くすると、支持状態が安定せず、外的衝撃が加わった
ときに、振動子が支持部材から外れるなどの不具合が生
じてしまう。
細くすると、支持状態が安定せず、外的衝撃が加わった
ときに、振動子が支持部材から外れるなどの不具合が生
じてしまう。
【０００８】また、この振動子の支持構造では、支持部
材が高さを有するため、装置の低背化を実現することが
困難であった。
材が高さを有するため、装置の低背化を実現することが
困難であった。
【０００９】したがって、本発明の目的は、上述の問題
を解消するためになされたもので、振動子の支持が安定
し、振動子の振動が吸収されにくく、かつ、低背化が可
能な振動子の支持構造を提供することにある。
を解消するためになされたもので、振動子の支持が安定
し、振動子の振動が吸収されにくく、かつ、低背化が可
能な振動子の支持構造を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、柱状の振動子の２つの節点をそれぞれ支
持部材で支持してなる振動子の支持構造であって、 前記
支持部材が、前記振動子の振動時に発生する２つの節点
を、それぞれ上下方向から挟持するように設けられ、し
かもそれぞれ途中に屈曲部を含むとともに前記振動子の
上下方向および長手方向に直交する方向に伸びて形成さ
れてなり、 さらに前記２つの節点をそれぞれ上下方向か
ら狭持するように設けられた前記支持部材の屈曲部が、
各節点の上側の支持部材と下側の支持部材で前記振動子
の長手方向に関して互いに逆方向に屈曲して形成されて
いることを特徴としている。
に、本発明は、柱状の振動子の２つの節点をそれぞれ支
持部材で支持してなる振動子の支持構造であって、 前記
支持部材が、前記振動子の振動時に発生する２つの節点
を、それぞれ上下方向から挟持するように設けられ、し
かもそれぞれ途中に屈曲部を含むとともに前記振動子の
上下方向および長手方向に直交する方向に伸びて形成さ
れてなり、 さらに前記２つの節点をそれぞれ上下方向か
ら狭持するように設けられた前記支持部材の屈曲部が、
各節点の上側の支持部材と下側の支持部材で前記振動子
の長手方向に関して互いに逆方向に屈曲して形成されて
いることを特徴としている。
【００１１】また、前記振動子は、厚み方向に分極され
る第１の圧電体基板と、該第１の圧電体基板に積層さ
れ、前記第１の圧電体基板の分極方向と逆方向に分極さ
れる第２の圧電体基板と、前記第１の圧電体基板の主面
に形成される分割電極と、前記第２の圧電体基板の主面
に形成される共通電極と、を備えたことを特徴としてい
る。
る第１の圧電体基板と、該第１の圧電体基板に積層さ
れ、前記第１の圧電体基板の分極方向と逆方向に分極さ
れる第２の圧電体基板と、前記第１の圧電体基板の主面
に形成される分割電極と、前記第２の圧電体基板の主面
に形成される共通電極と、を備えたことを特徴としてい
る。
【００１２】これにより、振動子が支持部材によって、
上下方向からサンドイッチ状に挟持されて支持されるた
め、振動子が振動したときに、振動子と支持部材との固
着部分が外れて振動子が落下するなどの不具合が生じる
ことがなく、耐衝撃性が向上し安定した接合状態が得ら
れる支持構造となる。また、支持部材が振動子を挟持す
る構造であるため、支持部材の高さは特に必要なく、支
持構造の低背化が達成される。
上下方向からサンドイッチ状に挟持されて支持されるた
め、振動子が振動したときに、振動子と支持部材との固
着部分が外れて振動子が落下するなどの不具合が生じる
ことがなく、耐衝撃性が向上し安定した接合状態が得ら
れる支持構造となる。また、支持部材が振動子を挟持す
る構造であるため、支持部材の高さは特に必要なく、支
持構造の低背化が達成される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。図１に、本発明の第１の実
施の形態に係る振動子の支持構造を用いた振動ジャイロ
を示す。この振動ジャイロは、略直方体型の振動子１１
と、振動子１１の振動時に発生する２つの節点Ｎ１，Ｎ
２に対応する位置で、振動子１１の上下方向から挟持す
るように支持する支持部材１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、１
２ｄ，１２ｅ，１２ｆとから構成される。振動子１１
は、第１の圧電体基板１３と第２の圧電体基板１４を有
する。第１の圧電体基板１３と第２の圧電体基板１４
は、電極層１５を介して積層される。第１の圧電体基板
１３および第２の圧電体基板１４は、それぞれ図１の矢
印に示すように、厚み方向において互いに逆向きに分極
されている。第１の圧電体基板１３の主面、つまり、第
１の圧電体基板１３における電極層１５と対向する面に
は、幅方向に間隔を持って分割電極１６ａ，１６ｂが形
成される。また、分割電極１６ａ，１６ｂはそれぞれ、
振動子１１の節点Ｎ１，Ｎ２より振動子１１の長手方向
端部側で分割されている。また、第２の圧電体基板１４
の主面、つまり、第２の圧電体基板１４における電極層
１５と対向する面の全面には、共通電極１７が形成され
ている。
を参照して詳細に説明する。図１に、本発明の第１の実
施の形態に係る振動子の支持構造を用いた振動ジャイロ
を示す。この振動ジャイロは、略直方体型の振動子１１
と、振動子１１の振動時に発生する２つの節点Ｎ１，Ｎ
２に対応する位置で、振動子１１の上下方向から挟持す
るように支持する支持部材１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、１
２ｄ，１２ｅ，１２ｆとから構成される。振動子１１
は、第１の圧電体基板１３と第２の圧電体基板１４を有
する。第１の圧電体基板１３と第２の圧電体基板１４
は、電極層１５を介して積層される。第１の圧電体基板
１３および第２の圧電体基板１４は、それぞれ図１の矢
印に示すように、厚み方向において互いに逆向きに分極
されている。第１の圧電体基板１３の主面、つまり、第
１の圧電体基板１３における電極層１５と対向する面に
は、幅方向に間隔を持って分割電極１６ａ，１６ｂが形
成される。また、分割電極１６ａ，１６ｂはそれぞれ、
振動子１１の節点Ｎ１，Ｎ２より振動子１１の長手方向
端部側で分割されている。また、第２の圧電体基板１４
の主面、つまり、第２の圧電体基板１４における電極層
１５と対向する面の全面には、共通電極１７が形成され
ている。
【００１４】支持部材１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２
ｄ，１２ｅ，１２ｆは、それぞれ、略Ｚ型の細い金属製
の板材からなり、それぞれ、振動子１１と接合する先端
部には、拡大部１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８
ｅ，１８ｆが形成されている。そして、節点Ｎ１におけ
る振動体１１の厚み方向上側に位置する分割電極１６
ａ，１６ｂの部分には、支持部材１２ａ，１２ｂが、拡
大部１８ａ，１８ｂを介してハンダ付けなどの方法によ
り固着されており、節点Ｎ１における振動体１１の厚み
方向下側に位置する共通電極１７の部分には、支持部材
１２ｃが、拡大部１８ｃを介してハンダ付けなどの方法
により固着される。同様に、節点Ｎ２の上側に位置する
分割電極１６ａ，１６ｂには、支持部材１２ｄ，１２ｅ
が拡大部１８ｄ，１８ｅを介して固着され、節点Ｎ２の
下側に位置する共通電極１７には、支持部材１２ｆが拡
大部１８ｆを介して固着される。以上のように、振動子
１１が、２つの節点Ｎ１，Ｎ２において、支持部材１２
ａ〜１２ｆにより、上下方向からサンドイッチ状に挟持
されて支持固定される。
ｄ，１２ｅ，１２ｆは、それぞれ、略Ｚ型の細い金属製
の板材からなり、それぞれ、振動子１１と接合する先端
部には、拡大部１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８
ｅ，１８ｆが形成されている。そして、節点Ｎ１におけ
る振動体１１の厚み方向上側に位置する分割電極１６
ａ，１６ｂの部分には、支持部材１２ａ，１２ｂが、拡
大部１８ａ，１８ｂを介してハンダ付けなどの方法によ
り固着されており、節点Ｎ１における振動体１１の厚み
方向下側に位置する共通電極１７の部分には、支持部材
１２ｃが、拡大部１８ｃを介してハンダ付けなどの方法
により固着される。同様に、節点Ｎ２の上側に位置する
分割電極１６ａ，１６ｂには、支持部材１２ｄ，１２ｅ
が拡大部１８ｄ，１８ｅを介して固着され、節点Ｎ２の
下側に位置する共通電極１７には、支持部材１２ｆが拡
大部１８ｆを介して固着される。以上のように、振動子
１１が、２つの節点Ｎ１，Ｎ２において、支持部材１２
ａ〜１２ｆにより、上下方向からサンドイッチ状に挟持
されて支持固定される。
【００１５】このように構成された支持構造を有する振
動ジャイロは、図２に示すような回路構成となってい
る。すなわち、分割電極１６ａ，１６ｂには、駆動手段
としての発振回路２１の一方の出力端が、抵抗２２ａ，
２２ｂを介してそれぞれ接続される。さらに、共通電極
１７には、発振回路２１の他方の出力端が接続される。
また、分割電極１６ａ，１６ｂは、抵抗２３ａ，２３ｂ
を介して、検出手段としての差動増幅回路２４の非反転
入力端（＋）および反転入力端（−）にそれぞれ接続さ
れ、差動増幅回路２４の出力端と差動増幅回路２４の反
転入力端（−）間には、抵抗２５が接続される。
動ジャイロは、図２に示すような回路構成となってい
る。すなわち、分割電極１６ａ，１６ｂには、駆動手段
としての発振回路２１の一方の出力端が、抵抗２２ａ，
２２ｂを介してそれぞれ接続される。さらに、共通電極
１７には、発振回路２１の他方の出力端が接続される。
また、分割電極１６ａ，１６ｂは、抵抗２３ａ，２３ｂ
を介して、検出手段としての差動増幅回路２４の非反転
入力端（＋）および反転入力端（−）にそれぞれ接続さ
れ、差動増幅回路２４の出力端と差動増幅回路２４の反
転入力端（−）間には、抵抗２５が接続される。
【００１６】そして、発振回路２１から出力される正弦
波信号などの駆動信号が、抵抗２２ａ，２２ｂを介し
て、振動子１１の分割電極に印加されると、第１の圧電
体基板１３および第２の圧電体基板１４が、それぞれの
主面に直交する方向に屈曲振動する。そして、振動ジャ
イロ１０が、振動子１１の中心軸Ｏを中心に回転する
と、その回転角速度に応じたコリオリ力が発生する。こ
のとき発生するコリオリ力は、第１の圧電体基板１３お
よび第２の圧電体基板１４の主面に平行し、かつ、振動
子１１の中心軸Ｏに直交する方向に働く。このコリオリ
力により、振動子１１の屈曲振動の方向が変わり、分割
電極１６ａ，１６ｂ間に、回転角速度に応じた信号が発
生する。そして、分割電極１６ａ，１６ｂに発生した信
号は、抵抗２３ａ，２３ｂを介して、差動増幅回路２４
によって検出されるため、差動増幅回路２４からの出力
信号をもとに、回転角速度を検出することができる。
波信号などの駆動信号が、抵抗２２ａ，２２ｂを介し
て、振動子１１の分割電極に印加されると、第１の圧電
体基板１３および第２の圧電体基板１４が、それぞれの
主面に直交する方向に屈曲振動する。そして、振動ジャ
イロ１０が、振動子１１の中心軸Ｏを中心に回転する
と、その回転角速度に応じたコリオリ力が発生する。こ
のとき発生するコリオリ力は、第１の圧電体基板１３お
よび第２の圧電体基板１４の主面に平行し、かつ、振動
子１１の中心軸Ｏに直交する方向に働く。このコリオリ
力により、振動子１１の屈曲振動の方向が変わり、分割
電極１６ａ，１６ｂ間に、回転角速度に応じた信号が発
生する。そして、分割電極１６ａ，１６ｂに発生した信
号は、抵抗２３ａ，２３ｂを介して、差動増幅回路２４
によって検出されるため、差動増幅回路２４からの出力
信号をもとに、回転角速度を検出することができる。
【００１７】この振動子の支持構造では、振動子１１
が、サンドイッチ状に支持されているため、振動子１１
の振動時に振動子１１が支持部材１２ａ〜１２ｆから外
れて振動子１１が落下するといった不具合が生じる可能
性が低くなり、この支持構造を用いた振動ジャイロは耐
衝撃性が向上するため信頼性が向上する。
が、サンドイッチ状に支持されているため、振動子１１
の振動時に振動子１１が支持部材１２ａ〜１２ｆから外
れて振動子１１が落下するといった不具合が生じる可能
性が低くなり、この支持構造を用いた振動ジャイロは耐
衝撃性が向上するため信頼性が向上する。
【００１８】次に、図３に、本発明の振動体の支持構造
を用いた振動ジャイロの実装状態を示す。なお、図面の
見やすさを考慮し、振動子１１は、直方体形状で図示さ
れている。振動子１１は、支持部材１２ａ〜１２ｆによ
って吊られた状態で、金属などからなる枠体２１に収納
され、枠体２１の上面部と支持部材１２ａ，１２ｂ，１
２ｄ，１２ｆとが、ハンダ付けなどの方法により接着固
定される。同様に、枠体２１の下面部と支持部材１２
ｃ，１２ｆとが固着される。これにより、振動体１１が
中空において支持固定される。このとき、振動子１１の
上面と枠体２１の上面は、同一平面上に配置される構造
となる。同様に、振動子１１の下面枠体２１の下面は同
一平面上に配置される。
を用いた振動ジャイロの実装状態を示す。なお、図面の
見やすさを考慮し、振動子１１は、直方体形状で図示さ
れている。振動子１１は、支持部材１２ａ〜１２ｆによ
って吊られた状態で、金属などからなる枠体２１に収納
され、枠体２１の上面部と支持部材１２ａ，１２ｂ，１
２ｄ，１２ｆとが、ハンダ付けなどの方法により接着固
定される。同様に、枠体２１の下面部と支持部材１２
ｃ，１２ｆとが固着される。これにより、振動体１１が
中空において支持固定される。このとき、振動子１１の
上面と枠体２１の上面は、同一平面上に配置される構造
となる。同様に、振動子１１の下面枠体２１の下面は同
一平面上に配置される。
【００１９】このように実装された振動ジャイロは、振
動ジャイロ全体の高さ寸法が小さくなるため、低背化が
達成されると共に、低背化による設計の自由度も向上す
る。また、振動子の上面と枠体の上面、および、振動子
の下面と枠体の下面を同一平面上に配置することから、
ハンダ付け作業において、同一平面上の複数箇所にまと
めてハンダを付着させることが可能となり、作業性が向
上し、組立工程に単純な構造の自動機を導入することが
できる。
動ジャイロ全体の高さ寸法が小さくなるため、低背化が
達成されると共に、低背化による設計の自由度も向上す
る。また、振動子の上面と枠体の上面、および、振動子
の下面と枠体の下面を同一平面上に配置することから、
ハンダ付け作業において、同一平面上の複数箇所にまと
めてハンダを付着させることが可能となり、作業性が向
上し、組立工程に単純な構造の自動機を導入することが
できる。
【００２０】
【００２１】
【００２２】
【００２３】
【００２４】なお、上記の実施の形態では、振動子１１
と支持部材１２ａ〜１２ｆとの接合部分において、支持
部材１２ａ〜１２ｆには拡大部１８ａ〜１８ｆが形成さ
れているが、本発明は、特に、支持部材の接合部分の面
積を大きくする構造に限定されるものではない。ただ
し、支持部材に拡大部を設けて接合面積を大きくするこ
とにより、支持部材１２ａ〜１２ｆと振動子１１との接
合力が大きくなり、十分な耐衝撃性が得ることができる
ものとなる。また、支持部材１２が振動子１１との接合
部分以外は細い線状構造を有しているが、これは、振動
子１１の振動が支持部材１２を伝わって振動子１１の外
部に漏れるといった、振動のダンピング現象が起こりに
くくするためである。よって、耐衝撃性が向上すると共
に振動子１１の振幅が十分大きくなるような振動子の支
持構造となるため、この支持構造を用いた振動ジャイロ
の検出感度も良好となる。また、上記の本発明の実施の
形態において、支持部材は、略Ｚ型に形成されている
が、特にＺ型のように鋭角的に屈曲した形状に限定され
るものではなく、曲線状に形成してもよい。そして、支
持部材に屈曲部を設けることにより、振動子を弾力的に
支持することができ、振動子が振動したときに、支持部
材も屈曲部で変形するため、振動のダンピングが起こり
にくくなる。
と支持部材１２ａ〜１２ｆとの接合部分において、支持
部材１２ａ〜１２ｆには拡大部１８ａ〜１８ｆが形成さ
れているが、本発明は、特に、支持部材の接合部分の面
積を大きくする構造に限定されるものではない。ただ
し、支持部材に拡大部を設けて接合面積を大きくするこ
とにより、支持部材１２ａ〜１２ｆと振動子１１との接
合力が大きくなり、十分な耐衝撃性が得ることができる
ものとなる。また、支持部材１２が振動子１１との接合
部分以外は細い線状構造を有しているが、これは、振動
子１１の振動が支持部材１２を伝わって振動子１１の外
部に漏れるといった、振動のダンピング現象が起こりに
くくするためである。よって、耐衝撃性が向上すると共
に振動子１１の振幅が十分大きくなるような振動子の支
持構造となるため、この支持構造を用いた振動ジャイロ
の検出感度も良好となる。また、上記の本発明の実施の
形態において、支持部材は、略Ｚ型に形成されている
が、特にＺ型のように鋭角的に屈曲した形状に限定され
るものではなく、曲線状に形成してもよい。そして、支
持部材に屈曲部を設けることにより、振動子を弾力的に
支持することができ、振動子が振動したときに、支持部
材も屈曲部で変形するため、振動のダンピングが起こり
にくくなる。
【００２５】また、支持部材を恒弾性金属から構成すれ
ば、支持部材が曲がりやすくなるため、振動のダンピン
グがより生じにくくなる。また、支持部材を金属から構
成することにより、支持部材がリード線を兼用できるた
め、別途リード線を設ける必要が無くなり、工程が簡略
化されると共に、リード線による空中配線構造も生じる
ことなく、構造が簡略化される。
ば、支持部材が曲がりやすくなるため、振動のダンピン
グがより生じにくくなる。また、支持部材を金属から構
成することにより、支持部材がリード線を兼用できるた
め、別途リード線を設ける必要が無くなり、工程が簡略
化されると共に、リード線による空中配線構造も生じる
ことなく、構造が簡略化される。
【００２６】また、振動子構造として、２枚の圧電体基
板からなる振動体を示したが、特に、これらに限定され
るものではなく、一方主面と他方主面に電極を有する４
角柱の金属音片からなる振動子についても適用できる。
板からなる振動体を示したが、特に、これらに限定され
るものではなく、一方主面と他方主面に電極を有する４
角柱の金属音片からなる振動子についても適用できる。
【００２７】
【発明の効果】以上のように、本発明による振動子の支
持構造によれば、振動子が支持部材に上下方向からサン
ドイッチ状に挟持されて支持されるため、振動子が振動
したときに、振動子と支持部材との固着部分が外れて振
動子が落下するなどの不具合が生じることがなく、耐衝
撃性の向上し安定した接合状態が得られる支持構造とな
る。
持構造によれば、振動子が支持部材に上下方向からサン
ドイッチ状に挟持されて支持されるため、振動子が振動
したときに、振動子と支持部材との固着部分が外れて振
動子が落下するなどの不具合が生じることがなく、耐衝
撃性の向上し安定した接合状態が得られる支持構造とな
る。
【００２８】また、支持部材が振動子を挟持する構造で
あるため、支持部材の高さは特に必要なく、よって、支
持構造の低背化が達成され、装置全体の低背化も実現で
きるものである。
あるため、支持部材の高さは特に必要なく、よって、支
持構造の低背化が達成され、装置全体の低背化も実現で
きるものである。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る振動子の支持
構造を示す斜視図である。
構造を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る振動子の支持
構造を用いた振動ジャイロの回路構成を示す説明図であ
る。
構造を用いた振動ジャイロの回路構成を示す説明図であ
る。
【図３】本発明の実施の形態に係る振動子の支持構造の
実装状態を示す斜視図である。
実装状態を示す斜視図である。
【図４】従来の振動ジャイロを示す斜視図である。
１１ 振動子 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ 支
持部材 １３ 第１の圧電体基板 １４ 第２の圧電体基板 １６ａ，１６ｂ 分割電極 １７ 共通電極
持部材 １３ 第１の圧電体基板 １４ 第２の圧電体基板 １６ａ，１６ｂ 分割電極 １７ 共通電極
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−332988（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−34162（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−58761（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−131280（ＪＰ，Ａ) 近野正，圧電形の振動ジャイロ・方向 センサー，昭和61年度文部省科学研究費 補助金（一般研究（Ｂ））研究成果報告 書（課題番号Ｎｏ．60460142），日本, 73 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04 H01L 41/09
Claims (2)
- 【請求項１】 柱状の振動子の２つの節点をそれぞれ支
持部材で支持してなる振動子の支持構造であって、 前記支持部材は、前記振動子の振動時に発生する２つの
節点を、それぞれ上下方向から挟持するように設けら
れ、しかもそれぞれ途中に屈曲部を含むとともに前記振
動子の上下方向および長手方向に直交する方向に伸びて
形成されてなり、 さらに前記２つの節点をそれぞれ上下方向から狭持する
ように設けられた前記支持部材の屈曲部は、各節点の上
側の支持部材と下側の支持部材で前記振動子の長手方向
に関して互いに逆方向に屈曲して形成されている ことを
特徴とする、振動子の支持構造。 - 【請求項２】 前記振動子は、厚み方向に分極される第
１の圧電体基板と、該第１の圧電体基板に積層され、前
記第１の圧電体基板の分極方向と逆方向に分極される第
２の圧電体基板と、前記第１の圧電体基板の主面に形成
される分割電極と、前記第２の圧電体基板の主面に形成
される共通電極と、を備えたことを特徴とする請求項１
に記載の振動子の支持構造。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13830497A JP3286902B2 (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 振動子の支持構造 |
| US09/086,025 US6288478B1 (en) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Vibrating gyroscope |
| EP03027292A EP1406062B1 (en) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Vibrating gyroscope |
| KR1019980019522A KR100287481B1 (ko) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | 진동자이로스코프 |
| DE69832843T DE69832843T2 (de) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Vibrationskreisel |
| EP98109778A EP0881465B1 (en) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Vibrating gyroscope |
| US09/950,524 US6720714B2 (en) | 1997-05-28 | 2001-09-10 | Vibrating gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13830497A JP3286902B2 (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 振動子の支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10332379A JPH10332379A (ja) | 1998-12-18 |
| JP3286902B2 true JP3286902B2 (ja) | 2002-05-27 |
Family
ID=15218755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13830497A Expired - Lifetime JP3286902B2 (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 振動子の支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3286902B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3674440B2 (ja) | 2000-02-15 | 2005-07-20 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
-
1997
- 1997-05-28 JP JP13830497A patent/JP3286902B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 近野正，圧電形の振動ジャイロ・方向センサー，昭和６１年度文部省科学研究費補助金（一般研究（Ｂ））研究成果報告書（課題番号Ｎｏ．６０４６０１４２），日本，７３ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10332379A (ja) | 1998-12-18 |
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