JP2004085361A - 物理量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電振動子を使用した物理量測定装置において、圧電振動子の小型化を可能とし、かつ高い検出感度が得られるようにする。
【解決手段】振動子20Aに対して電磁力を印加することによって、振動子20Aに駆動振動を励振する。駆動振動が励振された振動子20Aに物理量に応じて生ずる検出振動を、圧電材料の圧電性を利用して検出するように構成されている。物理量は例えば回転角速度である。電磁力は、好ましくは静電力、ローレンツ力である。
【選択図】 図1
【解決手段】振動子20Aに対して電磁力を印加することによって、振動子20Aに駆動振動を励振する。駆動振動が励振された振動子20Aに物理量に応じて生ずる検出振動を、圧電材料の圧電性を利用して検出するように構成されている。物理量は例えば回転角速度である。電磁力は、好ましくは静電力、ローレンツ力である。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電材料製の振動子を使用し、回転角速度等の物理量を検出するための物理量測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば自動車の車体回転速度フィードバック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに、振動型ジャイロスコープを使用することが検討されている。こうしたシステムにおいては、操舵輪の方向自身は、ハンドルの回転角度によって検出する。これと同時に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジャイロスコープによって検出する。そして、操舵輪の方向と実際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差に基づいて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによって、安定した車体制御を実現する。
【0003】本出願人は、特開平11−125528号公報において、振動子の駆動振動アームや検出振動アームに、細長い貫通孔を形成することを開示した。また、このようなアームを備える各種の振動型ジャイロスコープを開示した。また、「Proceeding of International Conference on Solid−State Sensors and Actuators 1997」第879〜882頁の文献「Silicon Angular Rate Sensor for Automotive Applications with Piezoelectric Drive and Piezoelectric Read−out」(S. Sassen el. al.)においては、シリコンウエハーの表面に圧電アクチュエーター膜を形成し、この圧電アクチュエーターを用いてシリコンウエハーを圧電的に駆動している。そして、回転角速度に対応する変位をピエゾ抵抗体膜を用いて検出している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】特開平11−125528号公報記載の圧電振動型ジャイロスコープは、高感度であり、エネルギー消費量が少ないという特徴を有する。この型の振動型ジャイロスコープにおいては、圧電振動子を更に小型化することが要請されている。しかし、これと同時に、動作周波数の上昇は防止しなければならない。従って、小型化された振動子を使用し、できるだけ低い駆動周波数によって、高い感度を得ることが望まれる。しかし、圧電振動子を用いた振動型ジャイロスコープにおいて振動子を小型化すると、感度が低下する傾向があった。
【0005】本発明の課題は、圧電振動子を使用した物理量測定装置において、圧電振動子の小型化が可能であり、かつ高い検出感度が得られるような装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも一部が圧電材料からなる振動子を使用して物理量を測定する装置であって、振動子に対して電磁力を印加することによって振動子に駆動振動を励振し、駆動振動が励振された振動子に物理量に応じて生ずる検出振動を圧電材料の圧電性を利用して検出するように構成されていることを特徴とする。
【0007】本発明者は、圧電振動子を用いた振動型ジャイロスコープにおいて、振動子を小型化したときに検出感度が低下する原因を検討した。まず、振動子を小型化すると、駆動振動のエネルギーが小さくなるので、検出振動の振幅も小さくなる。これを補うために、駆動振動片に幅の広い重量付加部を設けることを検討した。そして、このような駆動振動片に対して高い駆動電圧を印加し、駆動振動のエネルギーを大きくすることを試みた。しかし、この場合には、重量付加部それ自体を圧電機構によって直接駆動することができず、重量付加部を十分に大きく振動させることができない。このため、駆動振動のエネルギーを大きくすることは難しいために、検出振動の振幅にも限界があり、検出感度が低下する傾向が見られた。こうした傾向は、振動子の寸法が小さくなるのにつれて、圧電振動子を用いた測定装置の限界として顕著になってきた。
【0008】そこで、本発明者は、圧電材料からなる振動子を電磁力によって駆動し、これと共に振動子の検出振動は圧電機構によって検出することを想到した。このような装置によれば、振動子に電磁力によって駆動振動を励振していることから、駆動振動の振幅を大きくすることができ、あるいは駆動振動のエネルギーを大きくすることができる。
【0009】特に振動子の寸法の小型化をカバーするために、振動子に重量付加部を設けた場合には、この重量付加部を電磁力によって大きな振幅で励振することが可能になる。圧電機構では、重量付加部を大きな振幅をもって直接駆動することが設計上難しい。しかし、電磁力の場合には、重量付加部それ自体に電磁力を受けるデバイスを設置することによって、重量付加部それ自体を大きな力で駆動することが可能である。この結果、駆動振動のエネルギーを大きくし、検出感度を向上させることが可能である。
【0010】振動子の一部または全部は圧電材料からなる。圧電材料は特に限定しないが、圧電単結晶が好ましく、水晶、ニオブ酸リチウム単結晶、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶が特に好ましい。また、PZT等の圧電セラミックスも使用可能である。
【0011】本発明の振動子を圧電材料によって形成した場合には、この振動子に駆動電極および検出電極を設けることができる。
【0012】本発明において測定されるべき物理量は、特に限定されない。振動子に駆動振動を励振し、駆動振動中の振動子に対する物理量の影響によって振動子の振動状態に変化が生じたときに、この振動状態の変化から検出回路を通して検出可能な物理量を対象とする。こうした物理量としては、振動子に印加される加速度、角速度、角加速度が特に好ましい。また、測定装置としては慣性センサーが好ましい。
【0013】振動子に駆動振動を励振するための電磁力は、静電力と動電力とを含む。特に、静電力、ローレンツ力、電磁誘導が好ましい。
【0014】また、好適な実施形態においては、振動子が、駆動振動を励振するべき駆動振動片を備えており、この駆動振動片が重量付加部を備えている。この重量付加部を電磁力によって直接駆動することが特に好ましい。
【0015】図1は、本発明の一実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Aを概略的に示す平面図である。本例の振動子20Aは、例えば長方形の枠2を備えており、枠2の中に検出振動片5A、5Bが延びている。9は空隙である。検出振動片5Aと5Bとは直線状に延びている。各検出振動片5A、5Bの表面、裏面および両側面には、検出電極8が形成されている。また、検出振動片5A、5Bに直交する方向に細長い一対の駆動振動片3A、3Bが延びている。各駆動振動片3A、3Bの先端にはそれぞれ幅広い重量付加部4A、4Bが設けられている。重量付加部4A、4Bの表面、裏面および側面は駆動電極6によって被覆されている。更に枠2の内側面には、重量付加部4A、4Bに対向する位置に、導電性膜からなる駆動部7が設けられている。
【0016】検出電極8、駆動電極6は、図示しないワイヤーボンディングを通して、それぞれ所定の駆動回路、検出回路に接続されている。また、駆動部7は、図示しない配線を介して、外部の駆動回路に接続されている。
【0017】本例の振動子では、一対の駆動振動片3A、3Bの伸縮振動を駆動振動とする。具体的には、駆動電極6と静電駆動部7との間に電圧を印加することによって、静電力を重量付加部4A、4Bに対して加える。これによって重量付加部4A、4Bを静電力によって直接に駆動する。この結果、各駆動振動片3A、3Bは矢印Aのように伸縮振動する。この状態で振動子20AをZ軸の周りに回転させると、各重量付加部4A、4Bには、矢印Bのような屈曲振動が励振される。この振動Bとバランスをとるように,各検出振動片5A、5Bに矢印Cのように屈曲振動が励振される。この屈曲振動Cを検出振動とし、検出電極8から発生する信号を検出回路によって検出する。
【0018】図2の振動型ジャイロスコープ1Bの振動子20Bは、図1の振動子20Aと類似のものである。ただし、振動子20Bにおいては、各重量付加部4C、4Dに櫛形突起10が形成されている。また、枠2の内側面にも櫛形の駆動部11が形成されており、櫛形突起10と櫛形駆動部11とが組み合わされている。このように重量付加部に櫛形突起を設けることによって、重量付加部に対して、より低い電圧で大きな静電力を加えることができ、検出感度が一層向上する。
【0019】図3は、他の実施形態に係る振動子20Cを概略的に示す平面図であり、図4は、重量付加部4Eおよびその周辺の拡大図であり、図5は、振動子20Cおよびその駆動機構を示す平面図である。
【0020】本例の振動子20Cは、振動子に対して略垂直なZ軸の周りの回転角速度を測定するものである。振動子20Cの基部21は正方形をしている。基部21の周縁部から、二つの支持部22と、2つの周方向検出振動片5A、5Bとが突出している。各支持部および各検出振動片は互いに分離されている。
【0021】各支持部22の先端から、支持部22に直交する方向に、それぞれ2つの駆動振動片3A、3Bまたは3C、3Dが延びている。各駆動振動片3A、3B、3C、3Dの各先端には、それぞれ幅広い重量付加部4E、4F、4G、4Hが設けられている。本例では、各駆動振動片および重量付加部を被覆するように駆動電極6が形成されている。また、各周方向検出振動片5A、5Bの各先端には、それぞれ幅広い重量付加部24A、24Bが設けられている。そして各検出振動片および重量付加部の表面、両側面および裏面には、所定の検出電極8が形成されている。
【0022】図5に示すように、本例の振動子20Cは、所定の枠2内に形成することができる。図5においては、枠2と振動子20Cとが直接連結していないが、両者を直接連結することができる。また、本例では、枠2の一部領域13Aの表面、裏面、側面を被覆する導電性膜からなる駆動部14Aを設ける。また、枠2の内側面から延びる突出部13Bを、領域13Aと対向する位置に設ける。突出部13Bを導電性膜14Bによって被覆し、駆動部とする。
【0023】図4に示すように、各重量付加部4E〜4Hを、対向する一対の駆動部14Aと14Bとの間に設置する。各重量付加部には、それぞれ櫛形突起12が多数設けられている。また、各駆動部14A、14Bには、それぞれ櫛形突起15が多数設けられている。櫛形突起12と15とを組み合わせる。
【0024】この状態で、各駆動部14A、14B、および駆動電極6に所定の交流電圧を印加することによって、各重量付加部を矢印Aのように励振する。このように各重量付加部が矢印Aのように振動する結果、各駆動振動片3A〜3Dはそれぞれ屈曲振動する。ここで振動子20CをZ軸の周りに回転させると、各支持部22が、矢印Bのように基部21への付け根を中心として屈曲振動する。この振動Bとバランスをとるように、各検出振動片5A、5Bが、基部21への付け根を中心として、矢印Cのように屈曲振動する。この検出振動を検出電極8によって検出し、電極8からの信号を検出回路で処理し、Z軸の周りの回転角速度に比例する信号を得る。
【0025】図6〜図8は、いずれも、電磁誘導によって振動子に駆動振動を励振する例を示す。
【0026】図6の振動型ジャイロスコープ1Dの振動子20Dは、いわゆる3本音叉型の振動子であり、2列の駆動振動片3E、3Fと、駆動振動片3Eと3Fとの間に挟まれた1列の検出振動片5Cとを備えている。各駆動振動片3E、3Fの中央部には、幅広い重量付加部4J、4Kが設けられている。本例では、主としてこの重量付加部4J、4Kに磁界Hを印加しておく。例えば図6の例では、紙面(振動子)に対して略垂直の方向に向かって延びる磁界Hを印加しておく。磁界Hを生成させる方法は限定されない。好ましくは振動子の近傍、例えばパッケージの内壁面にコイルを設置し、コイルに電流を流すことによって、磁界Hを生成させる。
【0027】各駆動振動片3E、3Fの表面には駆動電極6が形成されている。そして、駆動電極6に対して外部から交流電圧を印加すると、駆動電極6には外部から矢印Iのように電流が流れる。電流Iの方向は周期的に反転する。この結果、各重量付加部4J、4Kにはローレンツ力が加わり、矢印Aのように駆動振動が励振される。これに伴って駆動振動片3E、3Fは屈曲振動する。任意の瞬間において、駆動振動片3Eの振動方向と3Fの振動方向とは逆である。この状態で振動子20DをZ軸の周りに回転させると、各重量付加部4J、4Kには、矢印Bのような振動が励振される。この振動Bとバランスをとるように、中央の検出振動片5Cは矢印Cのように励振される。この検出振動Cを、所定の検出電極8によって検出し、外部の検出回路へと送って処理する。
【0028】図7の振動型ジャイロスコープ1Eの振動子20Eは、いわゆる2本音叉型の振動子であり、2列の駆動振動片3G、3Hを備えている。各駆動振動片3G、3Hの中央部には、幅広い重量付加部4J、4Kが設けられている。本例では、主としてこの重量付加部4J、4Kに磁界Hを印加しておく。図7の例では、紙面(振動子)に対して略垂直の方向に向かって延びる磁界Hを印加しておく。
【0029】各駆動振動片3G、3Hの表面には駆動電極6が形成されている。そして、駆動電極6に対して外部から交流電圧を印加すると、駆動電極6には外部から矢印Iのように電流が流れる。電流Iの方向は周期的に反転する。この結果、各重量付加部4J、4Kにはローレンツ力が加わり、矢印Aのように駆動振動が励振される。これに伴って駆動振動片3G、3Hは屈曲振動する。任意の瞬間において、駆動振動片3Gの振動方向と3Hの振動方向とは逆になる。この状態で振動子20DをY軸の周りに回転させると、各重量付加部4J、4Kには、矢印Cのような紙面と略垂直方向の屈曲振動が励振される。この検出振動Cを、所定の検出手段によって検出する。
【0030】駆動振動片3G、3Hの表面には駆動電極6が設けられているので、検出電極の形成が難しい。このため、駆動振動片3G、3Hの裏面、および両側面上に検出電極8を形成し、検出電極8によって、検出振動Cに対応する検出信号を検出し、出力する。
【0031】図8の振動型ジャイロスコープ1Fの振動子20Fは、いわゆる3本音叉型の振動子であり、3列の駆動振動片3J、3K、3Lを備えている。各駆動振動片3J、3K、3Lの中央部には、幅広い重量付加部4L、4M、4Nが設けられている。本例では、主としてこの重量付加部4L、4M、4Nに磁界Hを印加しておく。図8の例では、紙面(振動子)に対して略垂直の方向に向かって延びる磁界Hを印加しておく。
【0032】各駆動振動片3J、3K、3Lの表面には駆動電極6が形成されている。そして、駆動電極6に対して外部から交流電圧を印加すると、駆動電極6には矢印Iのように電流が流れる。電流Iの方向は周期的に反転する。また、任意の瞬間において、駆動振動片3Jと3Lとの間では電流の方向は同じであり、駆動振動片3Jと3Kとの間では電流の方向が逆である。この結果、各重量付加部4L、4M、4Nにはローレンツ力が加わり、矢印Aのように駆動振動が励振される。任意の瞬間において、重量付加部4L、4Nの振動方向と、重量付加部4Mの振動方向とは逆である。これに伴って駆動振動片3J、3K、3Lは屈曲振動する。
【0033】この状態で振動子20FをY軸の周りに回転させると、各重量付加部4L、4M、4Nには、矢印Cのような紙面と略垂直方向の屈曲振動が励振される。任意の瞬間において、重量付加部4L、4Nの振動方向と、重量付加部4Mの振動方向とは逆である。
【0034】そして、重量付加部4Mの検出振動Cを、所定の検出手段によって検出する。駆動振動片3Kの表面には駆動電極6が設けられているので、検出電極の形成が難しい。このため、駆動振動片3Kの裏面および両側面上に検出電極8を形成し、検出電極8によって、検出振動Cに対応する検出信号を検出し、出力する。
【0035】本発明は、以上の形態の振動子に限定されるものではなく、種々の振動子に対して適用可能なものである。
【0036】図3〜図5に示すような形態の本発明例の振動型ジャイロスコープ1Cを作製する。ここで、振動子20Cは水晶によって形成し、各電極は、クロム膜と金膜とから成膜した。振動子20Cの外径寸法は0.99mm×0.95mmに設定する。そして、駆動電極6および各駆動部に電圧を印加することによって、各重量付加部を静電的に駆動する。この結果、1ピコクーロン/°/secの感度が得られる。
【0037】一方、比較例として、図3、4に示す形態と類似の振動型ジャイロスコープを作製する。振動子20Cは水晶によって形成し、各電極は、クロム膜と金膜とから成膜するものとする。振動子20Cの外径寸法は0.99mm×0.95mmに設定する。そして、各駆動振動片および重量付加部4E〜4Hに駆動電極を設け、駆動電極に電圧を印加することによって圧電的に駆動する。この結果、0.1ピコクーロン/°/secの感度が得られる。
【0038】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、圧電振動子を使用した物理量測定装置において、圧電振動子の小型化が可能であり、高い検出感度が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Aを概略的に示す平面図であり、静電力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図2】他の実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Bを概略的に示す断面図であり、静電力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図3】更に他の実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Cの振動子20Cを概略的に示す平面図であり、静電力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図4】振動子20Cの重量付加部4Eおよびその周辺の拡大図である。
【図5】振動子20C、枠2および駆動部14A、14Bの位置関係を示す平面図である。
【図6】更に他の実施形態に係る音叉型振動子20Dを概略的に示す平面図であり、ローレンツ力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図7】更に他の実施形態に係る音叉型振動子20Eを概略的に示す平面図であり、ローレンツ力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図8】更に他の実施形態に係る音叉型振動子20Fを概略的に示す平面図であり、ローレンツ力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【符号の説明】1A、1B、1C、1D、1E、1F 振動型ジャイロスコープ2 枠 3A、3B、3C、3D、3E、3F、3G、3H、3J、3K、3L 駆動振動片 4A、4B、4C、4D、4E、4F、4G、4H、4J、4K、4L、4M、4N、24A、24B 重量付加部 5A、5B、5C 検出振動片 6 駆動電極 7 静電駆動部8 検出電極 9 空隙 10、12 櫛形突起 11、15 櫛形の駆動部 14A、14B 静電駆動部 20A、20B、20C、20D、20E、20F 振動子 A 駆動振動
C 検出振動 H 磁界 I 電流
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電材料製の振動子を使用し、回転角速度等の物理量を検出するための物理量測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば自動車の車体回転速度フィードバック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに、振動型ジャイロスコープを使用することが検討されている。こうしたシステムにおいては、操舵輪の方向自身は、ハンドルの回転角度によって検出する。これと同時に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジャイロスコープによって検出する。そして、操舵輪の方向と実際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差に基づいて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによって、安定した車体制御を実現する。
【0003】本出願人は、特開平11−125528号公報において、振動子の駆動振動アームや検出振動アームに、細長い貫通孔を形成することを開示した。また、このようなアームを備える各種の振動型ジャイロスコープを開示した。また、「Proceeding of International Conference on Solid−State Sensors and Actuators 1997」第879〜882頁の文献「Silicon Angular Rate Sensor for Automotive Applications with Piezoelectric Drive and Piezoelectric Read−out」(S. Sassen el. al.)においては、シリコンウエハーの表面に圧電アクチュエーター膜を形成し、この圧電アクチュエーターを用いてシリコンウエハーを圧電的に駆動している。そして、回転角速度に対応する変位をピエゾ抵抗体膜を用いて検出している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】特開平11−125528号公報記載の圧電振動型ジャイロスコープは、高感度であり、エネルギー消費量が少ないという特徴を有する。この型の振動型ジャイロスコープにおいては、圧電振動子を更に小型化することが要請されている。しかし、これと同時に、動作周波数の上昇は防止しなければならない。従って、小型化された振動子を使用し、できるだけ低い駆動周波数によって、高い感度を得ることが望まれる。しかし、圧電振動子を用いた振動型ジャイロスコープにおいて振動子を小型化すると、感度が低下する傾向があった。
【0005】本発明の課題は、圧電振動子を使用した物理量測定装置において、圧電振動子の小型化が可能であり、かつ高い検出感度が得られるような装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも一部が圧電材料からなる振動子を使用して物理量を測定する装置であって、振動子に対して電磁力を印加することによって振動子に駆動振動を励振し、駆動振動が励振された振動子に物理量に応じて生ずる検出振動を圧電材料の圧電性を利用して検出するように構成されていることを特徴とする。
【0007】本発明者は、圧電振動子を用いた振動型ジャイロスコープにおいて、振動子を小型化したときに検出感度が低下する原因を検討した。まず、振動子を小型化すると、駆動振動のエネルギーが小さくなるので、検出振動の振幅も小さくなる。これを補うために、駆動振動片に幅の広い重量付加部を設けることを検討した。そして、このような駆動振動片に対して高い駆動電圧を印加し、駆動振動のエネルギーを大きくすることを試みた。しかし、この場合には、重量付加部それ自体を圧電機構によって直接駆動することができず、重量付加部を十分に大きく振動させることができない。このため、駆動振動のエネルギーを大きくすることは難しいために、検出振動の振幅にも限界があり、検出感度が低下する傾向が見られた。こうした傾向は、振動子の寸法が小さくなるのにつれて、圧電振動子を用いた測定装置の限界として顕著になってきた。
【0008】そこで、本発明者は、圧電材料からなる振動子を電磁力によって駆動し、これと共に振動子の検出振動は圧電機構によって検出することを想到した。このような装置によれば、振動子に電磁力によって駆動振動を励振していることから、駆動振動の振幅を大きくすることができ、あるいは駆動振動のエネルギーを大きくすることができる。
【0009】特に振動子の寸法の小型化をカバーするために、振動子に重量付加部を設けた場合には、この重量付加部を電磁力によって大きな振幅で励振することが可能になる。圧電機構では、重量付加部を大きな振幅をもって直接駆動することが設計上難しい。しかし、電磁力の場合には、重量付加部それ自体に電磁力を受けるデバイスを設置することによって、重量付加部それ自体を大きな力で駆動することが可能である。この結果、駆動振動のエネルギーを大きくし、検出感度を向上させることが可能である。
【0010】振動子の一部または全部は圧電材料からなる。圧電材料は特に限定しないが、圧電単結晶が好ましく、水晶、ニオブ酸リチウム単結晶、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶が特に好ましい。また、PZT等の圧電セラミックスも使用可能である。
【0011】本発明の振動子を圧電材料によって形成した場合には、この振動子に駆動電極および検出電極を設けることができる。
【0012】本発明において測定されるべき物理量は、特に限定されない。振動子に駆動振動を励振し、駆動振動中の振動子に対する物理量の影響によって振動子の振動状態に変化が生じたときに、この振動状態の変化から検出回路を通して検出可能な物理量を対象とする。こうした物理量としては、振動子に印加される加速度、角速度、角加速度が特に好ましい。また、測定装置としては慣性センサーが好ましい。
【0013】振動子に駆動振動を励振するための電磁力は、静電力と動電力とを含む。特に、静電力、ローレンツ力、電磁誘導が好ましい。
【0014】また、好適な実施形態においては、振動子が、駆動振動を励振するべき駆動振動片を備えており、この駆動振動片が重量付加部を備えている。この重量付加部を電磁力によって直接駆動することが特に好ましい。
【0015】図1は、本発明の一実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Aを概略的に示す平面図である。本例の振動子20Aは、例えば長方形の枠2を備えており、枠2の中に検出振動片5A、5Bが延びている。9は空隙である。検出振動片5Aと5Bとは直線状に延びている。各検出振動片5A、5Bの表面、裏面および両側面には、検出電極8が形成されている。また、検出振動片5A、5Bに直交する方向に細長い一対の駆動振動片3A、3Bが延びている。各駆動振動片3A、3Bの先端にはそれぞれ幅広い重量付加部4A、4Bが設けられている。重量付加部4A、4Bの表面、裏面および側面は駆動電極6によって被覆されている。更に枠2の内側面には、重量付加部4A、4Bに対向する位置に、導電性膜からなる駆動部7が設けられている。
【0016】検出電極8、駆動電極6は、図示しないワイヤーボンディングを通して、それぞれ所定の駆動回路、検出回路に接続されている。また、駆動部7は、図示しない配線を介して、外部の駆動回路に接続されている。
【0017】本例の振動子では、一対の駆動振動片3A、3Bの伸縮振動を駆動振動とする。具体的には、駆動電極6と静電駆動部7との間に電圧を印加することによって、静電力を重量付加部4A、4Bに対して加える。これによって重量付加部4A、4Bを静電力によって直接に駆動する。この結果、各駆動振動片3A、3Bは矢印Aのように伸縮振動する。この状態で振動子20AをZ軸の周りに回転させると、各重量付加部4A、4Bには、矢印Bのような屈曲振動が励振される。この振動Bとバランスをとるように,各検出振動片5A、5Bに矢印Cのように屈曲振動が励振される。この屈曲振動Cを検出振動とし、検出電極8から発生する信号を検出回路によって検出する。
【0018】図2の振動型ジャイロスコープ1Bの振動子20Bは、図1の振動子20Aと類似のものである。ただし、振動子20Bにおいては、各重量付加部4C、4Dに櫛形突起10が形成されている。また、枠2の内側面にも櫛形の駆動部11が形成されており、櫛形突起10と櫛形駆動部11とが組み合わされている。このように重量付加部に櫛形突起を設けることによって、重量付加部に対して、より低い電圧で大きな静電力を加えることができ、検出感度が一層向上する。
【0019】図3は、他の実施形態に係る振動子20Cを概略的に示す平面図であり、図4は、重量付加部4Eおよびその周辺の拡大図であり、図5は、振動子20Cおよびその駆動機構を示す平面図である。
【0020】本例の振動子20Cは、振動子に対して略垂直なZ軸の周りの回転角速度を測定するものである。振動子20Cの基部21は正方形をしている。基部21の周縁部から、二つの支持部22と、2つの周方向検出振動片5A、5Bとが突出している。各支持部および各検出振動片は互いに分離されている。
【0021】各支持部22の先端から、支持部22に直交する方向に、それぞれ2つの駆動振動片3A、3Bまたは3C、3Dが延びている。各駆動振動片3A、3B、3C、3Dの各先端には、それぞれ幅広い重量付加部4E、4F、4G、4Hが設けられている。本例では、各駆動振動片および重量付加部を被覆するように駆動電極6が形成されている。また、各周方向検出振動片5A、5Bの各先端には、それぞれ幅広い重量付加部24A、24Bが設けられている。そして各検出振動片および重量付加部の表面、両側面および裏面には、所定の検出電極8が形成されている。
【0022】図5に示すように、本例の振動子20Cは、所定の枠2内に形成することができる。図5においては、枠2と振動子20Cとが直接連結していないが、両者を直接連結することができる。また、本例では、枠2の一部領域13Aの表面、裏面、側面を被覆する導電性膜からなる駆動部14Aを設ける。また、枠2の内側面から延びる突出部13Bを、領域13Aと対向する位置に設ける。突出部13Bを導電性膜14Bによって被覆し、駆動部とする。
【0023】図4に示すように、各重量付加部4E〜4Hを、対向する一対の駆動部14Aと14Bとの間に設置する。各重量付加部には、それぞれ櫛形突起12が多数設けられている。また、各駆動部14A、14Bには、それぞれ櫛形突起15が多数設けられている。櫛形突起12と15とを組み合わせる。
【0024】この状態で、各駆動部14A、14B、および駆動電極6に所定の交流電圧を印加することによって、各重量付加部を矢印Aのように励振する。このように各重量付加部が矢印Aのように振動する結果、各駆動振動片3A〜3Dはそれぞれ屈曲振動する。ここで振動子20CをZ軸の周りに回転させると、各支持部22が、矢印Bのように基部21への付け根を中心として屈曲振動する。この振動Bとバランスをとるように、各検出振動片5A、5Bが、基部21への付け根を中心として、矢印Cのように屈曲振動する。この検出振動を検出電極8によって検出し、電極8からの信号を検出回路で処理し、Z軸の周りの回転角速度に比例する信号を得る。
【0025】図6〜図8は、いずれも、電磁誘導によって振動子に駆動振動を励振する例を示す。
【0026】図6の振動型ジャイロスコープ1Dの振動子20Dは、いわゆる3本音叉型の振動子であり、2列の駆動振動片3E、3Fと、駆動振動片3Eと3Fとの間に挟まれた1列の検出振動片5Cとを備えている。各駆動振動片3E、3Fの中央部には、幅広い重量付加部4J、4Kが設けられている。本例では、主としてこの重量付加部4J、4Kに磁界Hを印加しておく。例えば図6の例では、紙面(振動子)に対して略垂直の方向に向かって延びる磁界Hを印加しておく。磁界Hを生成させる方法は限定されない。好ましくは振動子の近傍、例えばパッケージの内壁面にコイルを設置し、コイルに電流を流すことによって、磁界Hを生成させる。
【0027】各駆動振動片3E、3Fの表面には駆動電極6が形成されている。そして、駆動電極6に対して外部から交流電圧を印加すると、駆動電極6には外部から矢印Iのように電流が流れる。電流Iの方向は周期的に反転する。この結果、各重量付加部4J、4Kにはローレンツ力が加わり、矢印Aのように駆動振動が励振される。これに伴って駆動振動片3E、3Fは屈曲振動する。任意の瞬間において、駆動振動片3Eの振動方向と3Fの振動方向とは逆である。この状態で振動子20DをZ軸の周りに回転させると、各重量付加部4J、4Kには、矢印Bのような振動が励振される。この振動Bとバランスをとるように、中央の検出振動片5Cは矢印Cのように励振される。この検出振動Cを、所定の検出電極8によって検出し、外部の検出回路へと送って処理する。
【0028】図7の振動型ジャイロスコープ1Eの振動子20Eは、いわゆる2本音叉型の振動子であり、2列の駆動振動片3G、3Hを備えている。各駆動振動片3G、3Hの中央部には、幅広い重量付加部4J、4Kが設けられている。本例では、主としてこの重量付加部4J、4Kに磁界Hを印加しておく。図7の例では、紙面(振動子)に対して略垂直の方向に向かって延びる磁界Hを印加しておく。
【0029】各駆動振動片3G、3Hの表面には駆動電極6が形成されている。そして、駆動電極6に対して外部から交流電圧を印加すると、駆動電極6には外部から矢印Iのように電流が流れる。電流Iの方向は周期的に反転する。この結果、各重量付加部4J、4Kにはローレンツ力が加わり、矢印Aのように駆動振動が励振される。これに伴って駆動振動片3G、3Hは屈曲振動する。任意の瞬間において、駆動振動片3Gの振動方向と3Hの振動方向とは逆になる。この状態で振動子20DをY軸の周りに回転させると、各重量付加部4J、4Kには、矢印Cのような紙面と略垂直方向の屈曲振動が励振される。この検出振動Cを、所定の検出手段によって検出する。
【0030】駆動振動片3G、3Hの表面には駆動電極6が設けられているので、検出電極の形成が難しい。このため、駆動振動片3G、3Hの裏面、および両側面上に検出電極8を形成し、検出電極8によって、検出振動Cに対応する検出信号を検出し、出力する。
【0031】図8の振動型ジャイロスコープ1Fの振動子20Fは、いわゆる3本音叉型の振動子であり、3列の駆動振動片3J、3K、3Lを備えている。各駆動振動片3J、3K、3Lの中央部には、幅広い重量付加部4L、4M、4Nが設けられている。本例では、主としてこの重量付加部4L、4M、4Nに磁界Hを印加しておく。図8の例では、紙面(振動子)に対して略垂直の方向に向かって延びる磁界Hを印加しておく。
【0032】各駆動振動片3J、3K、3Lの表面には駆動電極6が形成されている。そして、駆動電極6に対して外部から交流電圧を印加すると、駆動電極6には矢印Iのように電流が流れる。電流Iの方向は周期的に反転する。また、任意の瞬間において、駆動振動片3Jと3Lとの間では電流の方向は同じであり、駆動振動片3Jと3Kとの間では電流の方向が逆である。この結果、各重量付加部4L、4M、4Nにはローレンツ力が加わり、矢印Aのように駆動振動が励振される。任意の瞬間において、重量付加部4L、4Nの振動方向と、重量付加部4Mの振動方向とは逆である。これに伴って駆動振動片3J、3K、3Lは屈曲振動する。
【0033】この状態で振動子20FをY軸の周りに回転させると、各重量付加部4L、4M、4Nには、矢印Cのような紙面と略垂直方向の屈曲振動が励振される。任意の瞬間において、重量付加部4L、4Nの振動方向と、重量付加部4Mの振動方向とは逆である。
【0034】そして、重量付加部4Mの検出振動Cを、所定の検出手段によって検出する。駆動振動片3Kの表面には駆動電極6が設けられているので、検出電極の形成が難しい。このため、駆動振動片3Kの裏面および両側面上に検出電極8を形成し、検出電極8によって、検出振動Cに対応する検出信号を検出し、出力する。
【0035】本発明は、以上の形態の振動子に限定されるものではなく、種々の振動子に対して適用可能なものである。
【0036】図3〜図5に示すような形態の本発明例の振動型ジャイロスコープ1Cを作製する。ここで、振動子20Cは水晶によって形成し、各電極は、クロム膜と金膜とから成膜した。振動子20Cの外径寸法は0.99mm×0.95mmに設定する。そして、駆動電極6および各駆動部に電圧を印加することによって、各重量付加部を静電的に駆動する。この結果、1ピコクーロン/°/secの感度が得られる。
【0037】一方、比較例として、図3、4に示す形態と類似の振動型ジャイロスコープを作製する。振動子20Cは水晶によって形成し、各電極は、クロム膜と金膜とから成膜するものとする。振動子20Cの外径寸法は0.99mm×0.95mmに設定する。そして、各駆動振動片および重量付加部4E〜4Hに駆動電極を設け、駆動電極に電圧を印加することによって圧電的に駆動する。この結果、0.1ピコクーロン/°/secの感度が得られる。
【0038】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、圧電振動子を使用した物理量測定装置において、圧電振動子の小型化が可能であり、高い検出感度が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Aを概略的に示す平面図であり、静電力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図2】他の実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Bを概略的に示す断面図であり、静電力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図3】更に他の実施形態に係る振動型ジャイロスコープ1Cの振動子20Cを概略的に示す平面図であり、静電力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図4】振動子20Cの重量付加部4Eおよびその周辺の拡大図である。
【図5】振動子20C、枠2および駆動部14A、14Bの位置関係を示す平面図である。
【図6】更に他の実施形態に係る音叉型振動子20Dを概略的に示す平面図であり、ローレンツ力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図7】更に他の実施形態に係る音叉型振動子20Eを概略的に示す平面図であり、ローレンツ力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【図8】更に他の実施形態に係る音叉型振動子20Fを概略的に示す平面図であり、ローレンツ力を利用して振動子に駆動振動を励振する。
【符号の説明】1A、1B、1C、1D、1E、1F 振動型ジャイロスコープ2 枠 3A、3B、3C、3D、3E、3F、3G、3H、3J、3K、3L 駆動振動片 4A、4B、4C、4D、4E、4F、4G、4H、4J、4K、4L、4M、4N、24A、24B 重量付加部 5A、5B、5C 検出振動片 6 駆動電極 7 静電駆動部8 検出電極 9 空隙 10、12 櫛形突起 11、15 櫛形の駆動部 14A、14B 静電駆動部 20A、20B、20C、20D、20E、20F 振動子 A 駆動振動
C 検出振動 H 磁界 I 電流
Claims (9)
- 少なくとも一部が圧電材料からなる振動子を使用して物理量を測定する装置であって、
前記振動子に対して電磁力を印加することによって前記振動子に駆動振動を励振し、前記駆動振動が励振された振動子に前記物理量に応じて生ずる検出振動を前記圧電材料の圧電性を利用して検出するように構成されていることを特徴とする、物理量測定装置。 - 前記電磁力が静電力であることを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記電磁力がローレンツ力であることを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記振動子が、前記駆動振動を励振するべき駆動振動片を備えており、この駆動振動片が重量付加部を備えていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記重量付加部に対して前記電磁力を印加することを特徴とする、請求項4記載の装置。
- 前記重量付加部が櫛形突起を有することを特徴とする、請求項4または5記載の装置。
- 前記振動子が略平板状であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記圧電材料が圧電単結晶であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記物理量が回転角速度であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の装置。
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