JP2006162313A - 複合センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定基部2と、この固定基部2に連結した第1圧電素子4と、固定基部2の周囲に配置した錘部6と、この錘部6と固定基部2とを連結した第2圧電素子8とを有する振動子10を備え、第1圧電素子4および第2圧電素子8は互いに駆動振動させ、角速度センサとしては、コリオリ力に起因して変化する第1圧電素子4の屈曲振動を検知して角速度を算出し、加速度センサとしては、錘部6の可動に起因して変化する第2圧電素子8の駆動振動を検知して加速度を算出する構成である。
【選択図】図1
Description
4 第1圧電素子
6 錘部
8 第2圧電素子
10 振動子
11 基板
12 第1アーム
14 第2アーム
16 連結部
18 駆動負電極
20 駆動正電極
22 検出正電極
23 検出負電極
26 シリコン板
28 下部電極
30 PZT圧電体
32 上部電極
Claims (9)
- 角速度センサと加速度センサを有する複合センサであって、固定基部と、前記固定基部に連結した第1圧電素子と、前記固定基部の周囲に配置した錘部と、前記錘部と前記固定基部とを連結した第2圧電素子とを有し、前記第1圧電素子および前記第2圧電素子を互いに駆動振動させ、前記角速度センサは、コリオリ力に起因して変化する前記第1圧電素子の屈曲振動を検知して角速度を算出し、前記加速度センサは、前記錘部の可動に起因して変化する前記第2圧電素子の駆動振動を検知して加速度を算出する複合センサ。
- 前記第1圧電素子は、互いに略直交させ連結した第1アームと第2アームとを有するT形状であって、前記第1アームを前記固定基部に連結しており、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記第1アームをY軸方向に配置するとともに、Y軸方向に前記第2アームを駆動振動させ、Z軸周りの角速度は、X軸方向への前記第1アームの屈曲振動を検知して算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記第1圧電素子は、互いに略直交させ連結した第1アームと第2アームとを有するT形状であって、前記第1アームを前記固定基部に連結しており、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記第1アームをY軸方向に配置するとともに、Y軸方向に前記第2アームを駆動振動させ、X軸周りの角速度は、Z軸方向への前記第1アームの屈曲振動を検知して算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記加速度センサは、前記第2圧電素子の駆動振動に伴う駆動振動周波数を検知して加速度を算出する請求項1記載の複合センサ。
- 駆動電極で挟んだ圧電膜を前記第2圧電素子に形成し、前記加速度センサは、前記第2圧電素子の駆動振動に伴う前記駆動電極間の静電容量を検知して加速度を算出する請求項1記載の複合センサ。
- 互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記錘部および2つの前記第2圧電素子をY軸方向に配置するとともに、前記第2圧電素子を駆動振動させ、X軸方向への加速度は、X軸方向への前記錘部の可動に起因して変化する前記第2圧電素子の駆動振動を検知して算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記錘部は、前記固定基部と連結するための連結部を有し、前記連結部を介して前記錘部と前記固定基部とを連結した請求項1記載の複合センサ。
- 前記錘部の連結部の厚みを前記第2圧電素子の厚みよりも厚くした請求項7記載の複合センサ。
- 前記第1圧電素子は、互いに略直交させ連結した第1アームと第2アームとを有するT形状であって、前記固定基部に前記第1アームを連結するとともに、第2アームの端部に錘部を連結しており、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記第1アームをY軸方向に配置するとともに、Y軸方向に前記第2アームを駆動振動させる請求項1記載の複合センサ。
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