JP4687085B2 - 複合センサ - Google Patents
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Description
4 第1圧電素子
6 錘部
8 第2圧電素子
10 振動子
11 基板
12 第1アーム
14 第2アーム
16 連結部
18 駆動負電極
20 駆動正電極
22 検出正電極
23 検出負電極
26 シリコン板
28 下部電極
30 PZT圧電体
32 上部電極
Claims (4)
- 角速度センサと加速度センサを有する複合センサであって、固定基部と、前記固定基部に連結した第1圧電素子と、前記固定基部の周囲に配置した錘部と、前記錘部と前記固定基部とを連結した2つの第2圧電素子要素からなる第2圧電素子とを有し、前記錘部は、前記固定基部と連結するための連結部を有するとともに、前記錘部の連結部の厚みは前記第2圧電素子の厚みよりも厚く、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、Y軸方向に前記第1圧電素子を駆動振動させるとともに、Z軸方向に前記第2圧電素子を駆動振動させ、前記角速度センサは、コリオリ力に起因して変化する前記第1圧電素子のX軸方向又はZ軸方向の屈曲振動を検知してZ軸周り又はX軸周りの角速度を算出し、前記加速度センサは、前記錘部の可動に起因して変化する前記第2圧電素子の駆動振動周波数の変化を検知して加速度を算出する複合センサ。
- 前記第1圧電素子は、互いに略直交させ連結した第1アームと第2アームとを有するT形状であって、前記第1アームの一端を前記固定基部に連結し、他端を前記第2アームの略中央部に連結しており、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記第1アームをY軸方向に配置するとともに、Y軸方向に前記第2アームを駆動振動させ、Z軸周りの角速度は、X軸方向への前記第1アームの屈曲振動を検知して算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記第1圧電素子は、互いに略直交させ連結した第1アームと第2アームとを有するT形状であって、前記第1アームの一端を前記固定基部に連結し、他端を前記第2アームの略中央部に連結しており、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記第1アームをY軸方向に配置するとともに、Y軸方向に前記第2アームを駆動振動させ、X軸周りの角速度は、Z軸方向への前記第1アームの屈曲振動を検知して算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記第1圧電素子は、互いに略直交させ連結した第1アームと第2アームとを有するT形状であって、前記第1アームの一端を前記固定基部に連結し、他端を前記第2アームの略中央部に連結するとともに、第2アームの端部に錘部を連結しており、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、前記第1アームをY軸方向に配置するとともに、Y軸方向に前記第2アームを駆動振動させる請求項1記載の複合センサ。
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